CN220740734U - 修整轮及修整装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种修整轮及修整装置，修整轮设置于修整装置的机架上，并能够相对于抛光垫进行公转和自转，以修整抛光垫。修整轮包括修整轮本体及修整件，其中：修整轮本体设有第一通孔及通孔组，第一通孔与修整轮本体同心设置，通孔组包括与第一通孔间隔布置的第二通孔；修整件可拆卸地安装于第一通孔及第二通孔中的至少一者内，修整件的厚度大于修整轮本体的厚度。这样就能够通过调节修整件的安装位置来调整该修整轮的修整范围，在不更换修整轮本体的情况下实现对抛光垫整体和局部的形状进行修整，适用范围较广，并且还能够降低加工成本，提高加工效率。

Description

修整轮及修整装置

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，特别是一种修整轮及修整装置。

背景技术

在晶圆的生产加工过程中，需要进行抛光等工序，而影响晶圆表面平坦度的主要因素是抛光垫的垫形和表面粗糙度。

在相关现有技术中，通常采用表面镀有金刚石磨粒的修整轮对抛光垫进行修整，通过设计修整轮不同的公转和自转转速来对抛光垫的不同位置进行不同程度的磨损，从而整体改变抛光垫的垫形和表面粗糙度。但是，现有的修整轮的形状通常是固定的，例如环形修整轮等，无法调整修整范围，因此只能够对抛光垫整体进行修整，当需要塑造抛光垫的局部形状时，需要更换不同的修整轮，有一定的局限性。

实用新型内容

基于此，有必要针对上述问题，提供一种修整轮及修整装置，该修整轮能够调节修整范围，适用范围较广。

本实用新型首先提供一种修整轮，包括：修整轮本体，设有第一通孔及通孔组，所述第一通孔与所述修整轮本体同心设置，所述通孔组包括与所述第一通孔间隔布置的第二通孔；以及，修整件，可拆卸地安装于所述第一通孔及/或所述第二通孔内，所述修整件的厚度大于所述修整轮本体的厚度。

上述修整轮中，修整轮本体上设有第一通孔及第二通孔，当需要对抛光垫进行整体或较大范围地修整时，可以将修整件安装于第二通孔内，或者在第一通孔和第二通孔内均安装修整件，此时修整件能够修整到的范围较大；当需要对抛光垫进行小范围或局部修整时，可以将修整件安装于第一通孔内，此时修整件能够修整到的范围较小。这样就能够通过调节修整件的安装位置来调整该修整轮的修整范围，在不更换修整轮本体的情况下实现对抛光垫整体和局部的形状进行修整，适用范围较广，并且还能够降低加工成本，提高加工效率。

在其中一个实施例中，所述通孔组的数量为多组，多组所述通孔组的所述第二通孔的圆心与所述修整轮本体的圆心O3之间的距离不同。

如此设置，能够进一步扩大修整区域的调节范围，从而扩大该修整轮的使用范围。

在其中一个实施例中，每组所述通孔组包括多个沿所述修整轮本体的周向间隔布置的所述第二通孔，同组所述通孔组的所述第二通孔的圆心与所述修整轮本体的圆心O3之间的距离相同。

如此设置，在同组通孔组的多个第二通孔内均安装修整件时能够提高修整效率。

在其中一个实施例中，所述通孔组包括第一通孔组及第二通孔组，所述第一通孔组的所述第二通孔的圆心O1与所述修整轮本体的圆心O3之间的距离为L1，所述第二通孔组的所述第二通孔的圆心O2与所述修整轮本体的圆心O3之间的距离为L2，所述第二通孔的半径为r，满足L1-L2＝r。

如此设置，第一通孔组及第二通孔组的第二通孔的圆心与修整轮本体的圆心O3之间的距离差小于第二通孔的直径，从而能够提升修整范围的调节精度。

在其中一个实施例中，所述修整件设有与所述修整件同心设置的排液孔。

如此设置，排液孔用于在修整过程中排出修整轮上的液体及抛光垫上被磨下的碎屑，避免抛光垫上被磨下的碎屑堆积在修整轮上影响修整效果。

在其中一个实施例中，所述修整轮本体设有多个间隔布置的悬挂孔。

如此设置，修整轮能够通过悬挂孔悬挂收纳，收纳方便。

在其中一个实施例中，所述修整件的两侧面均凸出于所述修整轮本体的两侧面。

如此设置，能够同时修整位于修整轮两侧面的两个抛光垫，提升修整效率。

本实用新型还提供一种修整装置，包括：机架；外齿齿轮，绕自身轴线转动设置于所述机架；内齿齿轮，绕自身轴线转动设置于所述机架，并与所述外齿齿轮同心设置，所述内齿齿轮的内径大于所述外齿齿轮的外径；以及，上述的修整轮，所述修整轮设置于所述外齿齿轮及所述内齿齿轮之间，所述修整轮本体包括外齿部，所述外齿部与所述外齿齿轮及所述内齿齿轮啮合。

如此设置，能够通过外齿齿轮及内齿齿轮驱动修整轮在绕外齿齿轮公转的同时绕修整轮的自身轴线自转，实现对抛光垫的抛光。

在其中一个实施例中，所述外齿齿轮及所述内齿齿轮的旋向相同，且所述内齿齿轮的转速大于所述外齿齿轮的转速。

如此设置，修整轮绕外齿齿轮公转，并与外齿齿轮旋向相同，同时修整轮绕自身轴线自转，并与外齿齿轮旋向相反。

在其中一个实施例中，所述修整轮的数量为多个，多个所述修整轮沿所述外齿齿轮的周向间隔布置。

如此设置，多个修整轮能够提高修整效率。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或传统技术中的技术方案，下面将对实施例或传统技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型一种实施方式的修整轮本体的结构示意图；

图2为本实用新型一种实施方式的修整轮的结构示意图；

图3为本实用新型提供图1中修整轮本体的通孔组的结构示意图；

图4为本实用新型提供图1中修整轮本体的通孔组的尺寸示意图；

图5为本实用新型第一种实施方式的修整装置的结构示意图；

图6为本实用新型第二种实施方式的修整装置的结构示意图；

图7为本实用新型第三种实施方式的修整装置的结构示意图；

图8为本实用新型一种实施方式的下抛光垫的抛光尺寸折线图；

图9为本实用新型一种实施方式的上抛光垫的抛光尺寸折线图。

附图标记：1、修整轮本体；11、第一通孔；12、通孔组；121、第二通孔；12a、第一通孔组；12b、第二通孔组；13、悬挂孔；14、外齿部；2、修整件；21、排液孔；3、外齿齿轮；4、内齿齿轮。

具体实施方式

为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。

需要说明的是，当组件被称为“固定于”或“设置于”另一个组件，它可以直接在另一个组件上或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中组件。本申请的说明书所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”、“下”可以是第一特征直接和第二特征接触，或第一特征和第二特征间接地通过中间媒介接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

除非另有定义，本申请的说明书所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本申请。本申请的说明书所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

在晶圆的生产加工过程中，需要进行长晶、切片、倒角、磨片、腐蚀、双抛、边抛、最终抛、清洗、检测等多项工序，而影响晶圆表面平坦度的主要因素是用于对晶圆进行抛光的抛光垫的垫形和表面粗糙度。在晶圆的抛光过程中，当晶圆的厚度高于游星轮衬套厚度以上时，需要晶圆的面形为凸面形，当晶圆厚度不断降低到游星轮衬套厚度以下时，晶圆的凸面形逐渐变平，当晶圆的面形逐渐趋于水平之后停机，从而获得平坦度参数较高的晶圆。由此可知，游星轮衬套厚度以上凸起的面形是保证晶圆平坦度的前提，而晶圆的面形主要取决于抛光垫的垫形，为保证晶圆为凸面形，需要设置上抛光垫凸起，下抛光垫凹陷。

在相关现有技术中，通常采用表面镀有金刚石磨粒的修整轮对抛光垫进行修整，将修整轮与外齿齿轮及内齿齿轮啮合形成行星轮系，并通过外齿齿轮及内齿齿轮的旋转驱动修整轮绕外齿齿轮公转的同时，绕修整轮自身轴线自转，用户能够通过设计外齿齿轮和内齿齿轮不同的转速以及外齿齿轮、内齿齿轮和修整轮之间的传动比，来控制修整轮不同的公转和自转转速，从而对抛光垫的不同位置进行不同程度的磨损，以整体改变抛光垫的垫形和表面粗糙度。但是，现有的修整轮形状通常是固定的，例如环形修整轮，其修整范围始终为外齿齿轮和内齿齿轮之间的环形区域，无法调整修整范围，因此只能够对抛光垫整体进行修整；也有部分修整轮的调整范围较小，当需要塑造抛光垫的局部或小范围的形状时，需要更换不同结构的修整轮，有一定的局限性。

为了解决上述问题，如图1至图7所示，本实用新型首先提供一种修整轮，该修整轮能够通过调节修整范围，实现对抛光垫整体和局部的形状进行修整，适用范围较广。

如图1至图2所示，具体地，修整轮设置于修整装置的机架上，并能够相对于抛光垫进行公转和自转，以修整抛光垫。修整轮包括修整轮本体1及修整件2，其中：修整轮本体1设有第一通孔11及通孔组12，第一通孔11与修整轮本体1同心设置，通孔组12包括与第一通孔11间隔布置的第二通孔121；修整件2可拆卸地安装于第一通孔11及第二通孔121中的至少一者内，修整件2的厚度大于修整轮本体1的厚度。

如前所述，现有的修整轮无法调整修整范围，只能够对抛光垫整体进行修整，无法塑造抛光垫的局部形状，有一定的局限性。而本实用新型实施例提供的修整轮中，修整轮本体1上设有第一通孔11及第二通孔121，当需要对抛光垫进行整体或较大范围地修整时，可以将修整件2安装于第二通孔121内，如图5所示，修整件2能够修整到的范围为A1、A2之间的环形区域，修整面积较大；当需要对抛光垫进行小范围或局部修整时，可以将修整件2安装于第一通孔11内，如图7所示，修整件2能够修整到的范围为C1、C2之间的环形区域，修正面积较小；或者，还可以根据抛光垫的垫形及磨损程度的需求，在第一通孔11及第二通孔121内均安装修整件2。这样就能够通过调节修整件2的安装位置来调整该修整轮的修整范围，在不更换修整轮本体1的情况下实现对抛光垫整体和局部的形状进行修整，适用范围较广，并且还能够降低加工成本，提高加工效率。

如图3至图4所示，通孔组12的数量为多组，多组通孔组12的第二通孔121的圆心与修整轮本体1的圆心O3之间的距离不同。这样，能够进一步扩大修整区域的调节范围，如图6所示，修整件2能够修整到的范围为B1、B2之间的环形区域，此时，修整面积小于A1、A2之间的环形区域，大于C1、C2之间的环形区域，从而能够进一步扩大该修整轮的使用范围。

如图1所示，每组通孔组12包括多个沿修整轮本体1的周向间隔布置的第二通孔121，同组通孔组12的第二通孔121的圆心与修整轮本体1的圆心O3之间的距离相同。可以在同组通孔组12的其中一个、两个或多个第二通孔121内安装修整件2，由于同组通孔组12的第二通孔121的圆心与修整轮本体1的圆心O3之间的距离相同，每个第二通孔121内的修整件2的修整范围相同，当修整轮的自转及公转速度相同的情况下，在同组通孔组12的第二通孔121内安装的修整件2的数量越多，修整效率越高。

在图示地实施方式中，多个第二通孔121沿修整轮本体1的周向均匀间隔布置，以保证抛光垫表面均匀磨损，同时还能够保证修整轮的平衡性，提升修整效果。当然，在其他实施方式中，多个第二通孔121之间的间距也可以不同，只要保证相邻的第二通孔121之间不会相互重合即可，本实用新型实施例在此不做具体限制。

如图4所示，在修整轮本体1的同一半径上，只有一个第二通孔121的圆心经过该半径。也就是说，每个第二通孔121的圆心与修整轮本体1的圆心O3之间的连线互呈夹角，且每个第二通孔121之间不会相互重合。这样，能够保证多组通孔组12的第二通孔121之间不会相互干涉，并且不同组通孔组12的第二通孔121的圆心与修整轮本体1的圆心O3之间的距离差可以小于第二通孔121的直径，从而能够提升修整范围的调节精度。

在图示的实施方式中，如图3至图4所示，通孔组12包括第一通孔组12a及第二通孔组12b，第一通孔组12a的第二通孔121的圆心O1与修整轮本体1的圆心O3之间的距离为L1，第二通孔组12b的第二通孔121的圆心O2与修整轮本体1的圆心O3之间的距离为L2，第二通孔121的半径为r，满足L1-L2＝r。即第二通孔组12b的第二通孔121的圆心O2所在圆弧与第一通孔组12a的第二通孔121相切。

其中，第一通孔组12a包括三个沿修整轮本体1的周向均匀间隔布置的第二通孔121，即第一通孔组12a的三个第二通孔121之间间隔120度；第二通孔组12b包括三个沿修整轮本体1的周向均匀间隔布置的第二通孔121，即第二通孔组12b的三个第二通孔121之间间隔120度；第一通孔组12a的第二通孔121与相邻的第二通孔组12b的第二通孔121之间间隔60度，以保证修整轮的平衡性及稳定性。

当然，在其他实施方式中，通孔组12的数量也可以是三组、四组或更多，每组通孔组12的第二通孔121的数量可以是一个、两个、三个或更多，只要保证多组通孔组12的第二通孔121之间均不会相互干涉即可，本实用新型实施例在此不做具体限制。

以图示的实施方式为例，可以只在第一通孔11内安装修整件2，只在第一通孔组12a的第二通孔121内安装修整件2，或者只在第二通孔组12b的第二通孔121内安装修整件2；也可以在第一通孔11和第一通孔组12a的第二通孔121内安装修整件2，在第一通孔11和第二通孔组12b的第二通孔121内安装修整件2，或者在第一通孔组12a的第二通孔121和第二通孔组12b的第二通孔121内安装修整件2；还可以在第一通孔11、第一通孔组12a的第二通孔121和第二通孔组12b的第二通孔121内均安装修整件2。修整件2的具体安装位置及安装数量能够根据抛光垫的垫形需要进行调整，本实用新型实施例在此不做具体限制。

如图2所示，修整件2设有与修整件2同心设置的排液孔21。排液孔21用于在修整过程中排出修整轮上的液体及抛光垫上被磨下的碎屑，避免抛光垫上被磨下的碎屑堆积在修整轮上影响修整效果。排液孔21与修整件2同心设置能够保证修整件2的平衡性及稳定性，避免修整件2在第一通孔11或第二通孔121内发生倾斜而影响修整效果。其中，排液孔21的直径可以是修整件2的直径的1/5，在不影响修整效果的同时，避免抛光垫上被磨下的碎屑堵塞排液孔21。当然，排液孔21的直径也可以根据需要设置为其他尺寸。

如图1所示，修整轮本体1设有多个间隔布置的悬挂孔13。在不使用修整轮时，能够将修整轮通过悬挂孔13悬挂收纳，收纳方便。同时，在修整过程中，修整轮上的液体及抛光垫上被磨下的碎屑也能够通过悬挂孔13排出，进一步避免抛光垫上被磨下的碎屑堆积在修整轮上影响修整效果。在图示的实施方式中，悬挂孔13的数量为六个，六个悬挂孔13沿修整轮本体1的周向均匀间隔布置，以保证修整轮本体1的平衡性。其中，悬挂孔13的直径可以是修整件2的直径的1/6。当然，在其他实施方式中，悬挂孔13的数量也可以是一个、两个、三个或更多，悬挂孔13的直径也可以根据需要设置为其他尺寸，本实用新型实施例在此不做具体限制。

在一种实施方式中，修整件2的两侧面均凸出于修整轮本体1的两侧面。这样，就能够同时修整位于修整轮两侧面的两个抛光垫，提升修整效率。在另一种实施方式中，当只需要修整一个抛光垫时，修整件2也可以只有一侧面凸出于修整轮本体1的一侧面，另一面与修整轮本体1的另一侧面齐平，或低于修整轮本体1的另一侧面。

如图5至图7所示，本实用新型还提供一种修整装置，包括机架(图未示)、外齿齿轮3、内齿齿轮4及上述的修整轮，其中：外齿齿轮3绕自身轴线转动设置于机架；内齿齿轮4，绕自身轴线转动设置于机架，并与外齿齿轮3同心设置，内齿齿轮4的内径大于外齿齿轮3的外径；修整轮设置于外齿齿轮3及内齿齿轮4之间，修整轮本体1包括外齿部14，外齿部14与外齿齿轮3及内齿齿轮4啮合。这样，能够通过外齿齿轮3、内齿齿轮4及修整轮相互配合形成行星轮系，外齿齿轮3及内齿齿轮4能够驱动修整轮在绕外齿齿轮3公转的同时绕修整轮的自身轴线自转，实现对抛光垫的抛光。

其中，修整装置的上下两侧均能够设置抛光垫，抛光垫与外齿齿轮3及内齿齿轮4同心设置，并能够绕自身轴线旋转，以提高修整效率。

如图5至图7所示，修整轮的数量可以为多个，多个修整轮沿外齿齿轮3的周向间隔布置，以提高修整效率。其中，多个修整轮可以沿外齿齿轮3的周向均匀间隔布置，避免相邻的修整轮之间相互干涉。

外齿齿轮3及内齿齿轮4的旋向相同，例如沿+X方向，且内齿齿轮4的转速大于外齿齿轮3的转速。此时，修整轮绕外齿齿轮3沿+X方向公转，并绕修整轮自身轴线沿-X方向自转。在一种实施方式中，外齿齿轮3及内齿齿轮4均绕自身轴线沿+X方向旋转，外齿齿轮3的转速为6.5rad/min，内齿齿轮4的转速为0.8rad/min，位于修整轮上侧的抛光垫绕自身轴线沿-X方向旋转，转速为2.9rad/min，位于修整轮下侧的抛光垫绕自身轴线沿+X方向旋转，转速为10.7rad/min。

如图5所示，步骤一，在第一通孔组12a的三个第二通孔121内安装修整件2，并以上述方式驱动修整轮进行公转和自转，此时，修整轮能够修整到上下两侧的抛光垫的范围为A1、A2之间的环形区域，保持这种方式修整一段时间，例如10分钟。如图6所示，步骤二，在第二通孔组12b的三个第二通孔121内安装修整件2，并以上述方式驱动修整轮进行公转和自转，此时，修整轮能够修整到上下两侧的抛光垫的范围为B1、B2之间的环形区域，保持这种方式修整一段时间，例如10分钟。如图7所示，步骤三，在第一通孔11内安装修整件2，并以上述方式驱动修整轮进行公转和自转，此时，修整轮能够修整到上下两侧的抛光垫的范围为C1、C2之间的环形区域，保持这种方式修整一段时间，例如10分钟。

如图8所示，为位于修整轮下侧的抛光垫在经过上述步骤一、步骤二和步骤三的半径与厚度关系折线图。经过上述步骤一后，由于位于修整轮下侧的抛光垫内侧的相对转速较大，修整速率快，因此抛光垫内侧的厚度相对外侧低；经过上述步骤二后，抛光垫最内侧和最外侧区域的厚度未发生改变，抛光垫在B1、B2之间的环形区域的厚度进一步降低；经过上述步骤三后，抛光垫在C1、C2之间的环形区域的厚度进一步降低，其余区域的厚度未发生改变。如图9所示，为位于修整轮上侧的抛光垫在经过上述步骤一、步骤二和步骤三的半径与厚度关系折线图。由于位于修整轮上侧的抛光垫的转动方向相反，因此位于修整轮下侧的抛光垫的厚度规律也相反。

当然，在其他实施方式中，用户也能够根据抛光垫的垫形需要改变外齿齿轮3、内齿齿轮4以及上下两侧的抛光垫的旋转方向和转速，或者改变修整轮上的修整件2的数量及布置方式。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请的专利保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种修整轮，其特征在于，包括：

修整轮本体(1)，设有第一通孔(11)及通孔组(12)，所述第一通孔(11)与所述修整轮本体(1)同心设置，所述通孔组(12)包括与所述第一通孔(11)间隔布置的第二通孔(121)；以及，

修整件(2)，可拆卸地安装于所述第一通孔(11)及/或所述第二通孔(121)内，所述修整件(2)的厚度大于所述修整轮本体(1)的厚度。

2.根据权利要求1所述的修整轮，其特征在于，所述通孔组(12)的数量为多组，多组所述通孔组(12)的所述第二通孔(121)的圆心与所述修整轮本体(1)的圆心O3之间的距离不同。

3.根据权利要求2所述的修整轮，其特征在于，每组所述通孔组(12)包括多个沿所述修整轮本体(1)的周向间隔布置的所述第二通孔(121)，同组所述通孔组(12)的所述第二通孔(121)的圆心与所述修整轮本体(1)的圆心O3之间的距离相同。

4.根据权利要求2所述的修整轮，其特征在于，所述通孔组(12)包括第一通孔组(12a)及第二通孔组(12b)，所述第一通孔组(12a)的所述第二通孔(121)的圆心O1与所述修整轮本体(1)的圆心O3之间的距离为L1，所述第二通孔组(12b)的所述第二通孔(121)的圆心O2与所述修整轮本体(1)的圆心O3之间的距离为L2，所述第二通孔(121)的半径为r，满足L1-L2＝r。

5.根据权利要求1所述的修整轮，其特征在于，所述修整件(2)设有与所述修整件(2)同心设置的排液孔(21)。

6.根据权利要求1所述的修整轮，其特征在于，所述修整轮本体(1)设有多个间隔布置的悬挂孔(13)。

7.根据权利要求1所述的修整轮，其特征在于，所述修整件(2)的两侧面均凸出于所述修整轮本体(1)的两侧面。

8.一种修整装置，其特征在于，包括：

机架；

外齿齿轮(3)，绕自身轴线转动设置于所述机架；

内齿齿轮(4)，绕自身轴线转动设置于所述机架，并与所述外齿齿轮(3)同心设置；以及，

如权利要求1-7任一项所述的修整轮，所述修整轮设置于所述外齿齿轮(3)及所述内齿齿轮(4)之间，所述修整轮本体(1)包括外齿部(14)，所述外齿部(14)与所述外齿齿轮(3)及所述内齿齿轮(4)啮合。

9.根据权利要求8所述的修整装置，其特征在于，所述外齿齿轮(3)及所述内齿齿轮(4)的旋向相同，所述内齿齿轮(4)的转速大于所述外齿齿轮(3)的转速。

10.根据权利要求8所述的修整装置，其特征在于，所述修整轮的数量为多个，多个所述修整轮沿所述外齿齿轮(3)的周向间隔布置。