CN220688331U - 超精密波齿复合圈垫 - Google Patents

Abstract

本实用新型提出一种超精密波齿复合圈垫，包括：垫片本体，垫片本体成环状，垫片本体的环体横截面上端成圆滑过渡的曲线状，环体横截面上端曲线两侧分别形成有A限定边线及B限定边线，A限定边线的下端点与B限定边线下端点圆弧过渡连接形成曲线的凹陷位，A限定边线的上端点与B限定边线的上端点不在同一水平面上，由此，本实用新型提出一种超精密波齿复合圈垫的密封性和稳定性较高，能够适用于对密封要求较高的场合。

Description

超精密波齿复合圈垫

技术领域

本实用新型涉及密封垫片技术领域，尤其涉及一种超精密波齿复合圈垫。

背景技术

在现有的各种机械设备和管道的法兰连接中，为了达到密封不漏的目的，常常需要各种垫片作为密封件。因而，密封垫片是一种重要的密封元件，被广泛地应用石油、化工、冶金、发电、船舶等行业，是当前半导体真空设备上法兰、管件、仪器仪表接头处的密封的关键零部件。

在相关技术中的波齿复合圈垫常采用单道密封的方式，该密封方式密封性和稳定性较差，容易发生泄漏，难以满足对密封要求较高的场合。

发明内容

本实用新型旨在至少在一定程度上解决上述技术中的技术问题之一。

为此，本实用新型的第一个目的在于提出一种超精密波齿复合圈垫，密封性和稳定性较高，能够适用于对密封要求较高的场合。

为达到上述目的，本实用新型第一方面实施例提出了一种超精密波齿复合圈垫，包括：垫片本体，所述垫片本体成环状，所述垫片本体的环体横截面上端成圆滑过渡的曲线状。

本实用新型实施例的一种超精密波齿复合圈垫，能够通过双道密封的方式，提高其密封性和稳定性。

另外，根据本实用新型上述实施例提出的超精密波齿复合圈垫还可以具有如下附加的技术特征：

具体的，所述环体横截面上端曲线两侧分别形成有A限定边线及B限定边线，所述A限定边线的下端点与所述B限定边线下端点圆弧过渡连接形成曲线的凹陷位；所述A限定边线的上端点与所述B限定边线的上端点不在同一水平面上。

具体的，所述环体横截面上端曲线呈向下凹陷的圆弧状。

具体的，所述环状横截面还包括两限定互相平行的限定侧边。

具体的，所述限定侧边包括X子侧边和Y子侧边；所述A限定边线从其上端点向一侧下方圆弧过渡延伸形成X子侧边，所述B限定边线从其上端点向一侧下方延伸设置有Y子侧边。

具体的，所述A限定边线与X子侧边之间的夹角不大于90°。

具体的，所述B限定边线与Y子侧边之间的夹角不大于90°。

具体的，所述限定侧边相对水平面成15°～45°倾斜角。

具体的，所述垫片本体的环体横截面下端形成的曲线与所述上端形成的曲线形状相同且对称设置。

具体的，所述环体横截面呈类倒置数字“8”形截面状。

本实用新型附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1为根据本实用新型一个实施例的超精密波齿复合圈垫的结构示意图；

图2为根据本实用新型一个实施例的清超精密波齿复合圈垫的剖视结构示意图；

图3为根据本实用新型一个实施例的环体横截面的结构示意图。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

下面参照附图描述本实用新型实施例的一种超精密波齿复合圈垫。

本实用新型实施例提供的一种超精密波齿复合圈垫，可用于各种机械设备和管道的法兰连接中，尤其是适用于半导体真空设备上法兰、管件、仪器仪表接头处。

如图1-图3所示，本实用新型实施例的超精密波齿复合圈垫，可包括：垫片本体1，其中，垫片本体1成环状，垫片本体1的环体横截面2上端成圆滑过渡的曲线状。

可以理解的是，该实施例中所述的垫片本体1整体非平面结构设计，保证了产品在端面受到挤压时，本体发生弹性变形，且由于结构的高刚度，这种变形是可重复的。目标产品初始接触是圆弧度，经压平后，刀口开始工作，产生第二道密封，使用密封可靠性大幅增加，应说明的是，垫片本体1的环体横截面2上端成圆滑过渡的曲线状，改善了接触应力形式，相比平面接触应力,提高了结构强度。

环体横截面2上端曲线两侧分别形成有A限定边线21及B限定边线22，A限定边线21的下端点与B限定边线22下端点圆弧过渡连接形成曲线的凹陷位，环体横截面2上端曲线呈向下凹陷的圆弧状。

可以理解的是，该实施例中所描述的环体横截面2的凹陷位为垫片本体1上的环状内凹槽。

进一步的，A限定边线21的上端点与B限定边线22的上端点不在同一水平面上。

需要说明的是，该实施例中所描述的B限定边线22的上端点高于A限定边线21的上端点，当待连接的目标产品(例如，半导体真空设备上管道的连接端)对垫片本体1的上端接触时，会先与B限定边线22的上端点处的圆弧凸起接触。

具体而言，在需要对目标产品(例如，半导体真空设备)密封安装时，相关人员(例如，安装人员)通过辅助工具待连接的目标产品(例如，半导体真空设备上管道的连接端)放置在垫片本体1上，且与垫片本体1的上端面抵触连接时，目标产品会按压B限定边线22的上端点处的圆弧凸起，该圆弧凸起在收到挤压后，发生弹性形变，以使B限定边线22的上端点与A限定边线21的上端点处于同一平面，此时，产生第二道密封，通过双道密封的密封方式，大大增加了密封性和密封的稳定性，保证了目标产品长时间的正常工作。

在本实用新型的一个实施例中，如图2和图3所示，环状横截面还包括两限定互相平行的限定侧边23，限定侧边23包括X子侧边231和Y子侧边232。

其中，A限定边线21从其上端点向一侧下方圆弧过渡延伸形成X子侧边231，B限定边线22从其上端点向一侧下方延伸设置有Y子侧边232。

进一步的，A限定边线21与X子侧边231之间的夹角不大于90°，B限定边线22与Y子侧边232之间的夹角不大于90°。限定侧边23相对水平面成15°～45°倾斜角。

在本实用新型的一个实施例中，如图3所示，垫片本体1的环体横截面2下端形成的曲线与上端形成的曲线形状相同且对称设置，其中，环体横截面2呈类倒置数字“8”形截面状。

可以理解的是，两个目标产品(例如，半导体真空设备上的管道)在通过垫片本体1相连时，可使两个该目标产品分别对垫片本体1的两端进行挤压，而在两个目标产品通过垫片本体1相连时，通过垫片本体1的双道密封，可使两个目标产品在运行过程中呈现良好的密封性。

综上，本实用新型提出一种超精密波齿复合圈垫的密封性和稳定性较高，能够适用于对密封要求较高的场合。

在本说明书的描述中，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管上面已经示出和描述了本实用新型的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本实用新型的限制，本领域的普通技术人员在本实用新型的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

Claims (8)

1.一种超精密波齿复合圈垫，其特征在于，包括：垫片本体，所述垫片本体成环状，所述垫片本体的环体横截面上端成圆滑过渡的曲线状；

所述环体横截面上端曲线两侧分别形成有A限定边线及B限定边线，所述A限定边线的下端点与所述B限定边线下端点圆弧过渡连接形成曲线的凹陷位；

所述A限定边线的上端点与所述B限定边线的上端点不在同一水平面上；

所述环体横截面上端曲线呈向下凹陷的圆弧状；

所述B限定边线的上端点高于A限定边线的上端点，当待连接的目标产品对垫片本体的上端接触时，会先与B限定边线的上端点处的圆弧凸起接触，圆弧凸起在受到挤压后，发生弹性形变，以使B限定边线的上端点与A限定边线的上端点处于同一平面，以此产生第二道密封。

2.根据权利要求1所述的超精密波齿复合圈垫，其特征在于，所述环状横截面还包括两限定互相平行的限定侧边。

3.根据权利要求2所述的超精密波齿复合圈垫，其特征在于，所述限定侧边包括X子侧边和Y子侧边；

所述A限定边线从其上端点向一侧下方圆弧过渡延伸形成X子侧边，所述B限定边线从其上端点向一侧下方延伸设置有Y子侧边。

4.根据权利要求3所述的超精密波齿复合圈垫，其特征在于，所述A限定边线与X子侧边之间的夹角不大于90°。

5.根据权利要求4所述的超精密波齿复合圈垫，其特征在于，所述B限定边线与Y子侧边之间的夹角不大于90°。

6.根据权利要求2-5任意一项所述的超精密波齿复合圈垫，其特征在于，所述限定侧边相对水平面成15°～45°倾斜角。

7.根据权利要求1-5任意一项所述的超精密波齿复合圈垫，其特征在于，所述垫片本体的环体横截面下端形成的曲线与所述上端形成的曲线形状相同且对称设置。

8.根据权利要求7所述的超精密波齿复合圈垫，其特征在于，所述环体横截面呈类倒置数字“8”形截面状。