CN220685235U - 一种带水汽捕获装置的真空镀膜设备 - Google Patents
一种带水汽捕获装置的真空镀膜设备 Download PDFInfo
- Publication number
- CN220685235U CN220685235U CN202322372833.8U CN202322372833U CN220685235U CN 220685235 U CN220685235 U CN 220685235U CN 202322372833 U CN202322372833 U CN 202322372833U CN 220685235 U CN220685235 U CN 220685235U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- baffle
- cold trap
- base
- vacuum
- trap pipeline
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 30
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 title claims abstract description 19
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 31
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 28
- 238000007790 scraping Methods 0.000 claims abstract description 6
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims abstract description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 8
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 3
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract description 8
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 6
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 5
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 3
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000003912 environmental pollution Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000007888 film coating Substances 0.000 description 1
- 238000009501 film coating Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
本实用新型公开一种带水汽捕获装置的真空镀膜设备，所述设备包括镀膜机体，所述镀膜机体内设置真空腔室，所述镀膜机体的外部、内部分别设置制冷器、冷阱管道，所述冷阱管道连通所述制冷器；所述冷阱管道沿所述镀膜机体的内壁布置，且所述冷阱管道的四周分布底座，所述底座密接滑动配合竖直设置的挡板，且所述底座的内侧一周固定连接保温隔绝层，所述挡板的一侧设置驱动组件，所述驱动组件驱动所述挡板上下移动，所述挡板的表面抵靠设置与所述底座固定连接用于刮下冷凝水的刮板，所述挡板端侧的下方设置向下倾斜的导液槽。本实用新型设计捕获收集水汽，且减少真空腔室的温度冷却时间的真空镀膜设备用水汽捕获装置。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空镀膜设备领域，特别涉及一种带水汽捕获装置的真空镀膜设备。
背景技术
在镀膜设备真空腔体内，水汽分子是典型的环境污染气体，占腔内残余气体65％到95％，当真空度达到10E-2Pa时，水汽分子用平常真空泵难排出腔体，是典型的具副作用的污染气体，是工件的污染源，从而使产品的产量和质量受到影响。真空应用中水蒸气不仅影响真空系统的质量，同时也会使真空度抽不上去，从而影响工艺结果。镀膜设备的冷阱管道将真空腔室内的水汽捕集并冷凝在表面来提高抽真空的真空度。
公告号为CN217922311U的中国实用新型专利公开了一种镀膜设备，包括：真空腔体，所述真空腔体包括真空腔室；位于所述真空腔室内，且与所述真空腔体内壁固定连接的冷阱管道；与所述冷阱管道连通的制冷器，所述制冷器设置于所述真空腔体的外部。由于镀膜质量对真空度的要求较高，而镀膜设备中的水汽对抽真空的影响较大，当水汽含量较高时无法使得所述真空腔室内的真空值达到预定范围。因此通过位于所述真空腔室内的所述冷阱管道，能够迅速的将所述真空腔室内的水汽捕集并冷凝在表面，从而使系统快速获得所需要的工艺真空条件，保证了膜材分子自由程和精准的光学厚度，显著提高镀膜沉积质量和生产效率，提高膜基界面结合力。
在现有技术中，水汽冷凝后大面积附着在冷阱管道表面，而在一般镀膜过程加热环境下基片表面易有水汽从而影响镀膜质量。
实用新型内容
有鉴于现有技术的缺点，本实用新型所要解决的技术问题是提供一种带水汽捕获装置的真空镀膜设备，旨在设计捕获收集水汽，且减少真空腔室的温度冷却时间的真空镀膜设备用水汽捕获装置。
为实现上述目的，本实用新型提供一种带水汽捕获装置的真空镀膜设备，所述设备包括镀膜机体，所述镀膜机体内设置真空腔室，所述镀膜机体的外部、内部分别设置制冷器、冷阱管道，所述冷阱管道连通所述制冷器；所述冷阱管道沿所述镀膜机体的内壁布置，且所述冷阱管道的四周分布底座，所述底座密接滑动配合竖直设置的挡板，且所述底座的内侧一周固定连接保温隔绝层，所述挡板的一侧设置驱动组件，所述驱动组件驱动所述挡板上下移动，所述挡板的表面抵靠设置与所述底座固定连接用于刮下冷凝水的刮板，所述挡板端侧的下方设置向下倾斜的导液槽，所述导液槽的汇集口对应所述挡板，且所述导液槽的下端固定连接用于收集水汽冷凝水的收集罐。
可选的，所述驱动组件包括电机、与所述电机的传动轴固定连接的齿轮、与所述齿轮啮合的齿条，所述齿条固定安装于所述挡板的端侧，所述齿轮转动带动所述挡板移动。
可选的，所述底座呈方形环块状，所述底座设置十字滑动槽，所述挡板与所述底座对应的连接端设置配合的滑动块。
可选的，所述导液槽的底端开设排水孔，所述排水孔与所述收集罐相对应，所述排水孔的下端设置螺纹，所述收集罐的顶部与所述排水孔之间螺纹连接。
可选的，所述挡板的表面与所述刮板的接触面均设置疏水性涂层。
可选的，所述冷阱管道固定连接所述底座的一侧，且所述冷阱管道分别与所述挡板、镀膜机体的内壁之间存在间隙。
本实用新型的有益效果：本实用新型的与制冷器连通的冷阱管道设置于真空腔室内；挡板滑动配合密接设置于冷阱管道四周的底座，通过冷阱管道的低温使真空腔室内的水汽凝结在挡板表面，实现低温冷凝效应，迅速捕集真空腔室的水汽分子，从而获得洁净的真空环境，提高产品的产量和质量，改善镀膜的品质，提高薄膜的附着力和多层镀膜能力，底座的内侧一周固定连接保温隔绝层，减小外部的热量通过真空腔室传递至冷阱管道，增强利用挡板的表面的低温冷凝效应，且由驱动组件将挡板向上移动，刮板刮下冷凝水流向导液槽在收集罐中被收集，减少水汽冷凝后的蒸发面积降低蒸发速率，而减弱污染真空环境的能力从而不易有水汽到基片表面，使镀膜质量提高，待镀膜结束，真空腔室内的温度未冷却至室温时，开启制冷器冷阱管道辅助降温，冷阱管道与真空腔室的环境直接接触，真空腔室的环境温度传递给冷阱管道而加快温度下降从而节省冷却时间。
附图说明
图1是本实用新型的一种带水汽捕获装置的真空镀膜设备的结构示意图；
图2是本实用新型的一种带水汽捕获装置的真空镀膜设备的挡板、驱动组件结构内部示意图；
图3是本实用新型的一种带水汽捕获装置的真空镀膜设备的挡板、驱动组件另一视角结构示意图；
图4是本实用新型的一种带水汽捕获装置的真空镀膜设备的底座结构示意图。
具体实施方式
下面详细描述本专利的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利，而不能理解为对本专利的限制。
在本专利的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利的限制。
在本专利的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定相连、设置，也可以是可拆卸连接、设置，或一体地连接、设置。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利中的具体含义。
经申请人的研究发现：水汽冷凝后依旧存在于真空腔体内，使在一般镀膜过程加热环境下基片表面易有水汽而影响镀膜质量。
因此，本实用新型实施例提供了一种带水汽捕获装置的真空镀膜设备，可以如图1-图4所示，设备包括镀膜机体1，镀膜机体1内设置真空腔室2，镀膜机体1的外部、内部分别设置制冷器3、冷阱管道4，冷阱管道4连通制冷器3；冷阱管道4沿镀膜机体1的内壁布置，且冷阱管道4的四周分布底座5，底座5密接滑动配合竖直设置的挡板6，且底座5的内侧一周固定连接保温隔绝层，挡板6的一侧设置驱动组件，驱动组件驱动挡板6上下移动，挡板6的表面抵靠设置与底座5固定连接用于刮下冷凝水的刮板7，挡板6端侧的下方设置向下倾斜的导液槽8，导液槽8的汇集口对应挡板6，且导液槽8的下端固定连接用于收集水汽冷凝水的收集罐9。
可选的，驱动组件包括电机10、与电机10的传动轴固定连接的齿轮11、与齿轮11啮合的齿条12，齿条12固定安装于挡板6的端侧，齿轮11转动带动挡板6移动。
可选的，底座5呈方形环块状，底座5设置十字滑动槽13，挡板6与底座5对应的连接端设置配合的滑动块14。
可选的，导液槽8的底端开设排水孔，排水孔与收集罐9相对应，排水孔的下端设置螺纹，收集罐9的顶部与排水孔之间螺纹连接。
可选的，挡板6的表面与刮板7的接触面均设置疏水性涂层。
可选的，冷阱管道4固定连接底座5的一侧，且冷阱管道4分别与挡板6、镀膜机体1的内壁之间存在间隙。
本实用新型的工作原理为：将基材放入真空腔室2且抽真空至一定程度后，开启制冷器3，冷阱管道4的低温使真空腔室2内的水汽凝结在挡板6表面，关闭制冷器3，启动驱动组件将挡板6向上移动，刮板7刮下冷凝水流向导液槽8在收集罐9中被收集，待镀膜结束，真空腔室2内的温度未冷却至室温时，开启制冷器3冷阱管道4辅助降温，温度降至室温并恢复常压，最后打开真空腔室2，取出基材。
本实用新型实施例的与制冷器3连通的冷阱管道4设置于真空腔室2内；挡板6滑动配合密接设置于冷阱管道4四周的底座5，通过冷阱管道4的低温使真空腔室2内的水汽凝结在挡板6表面，实现低温冷凝效应，迅速捕集真空腔室2的水汽分子，从而获得洁净的真空环境，提高产品的产量和质量，改善镀膜的品质，提高薄膜的附着力和多层镀膜能力，底座5的内侧一周固定连接保温隔绝层，减小外部的热量通过真空腔室2传递至冷阱管道4，增强利用挡板6的表面的低温冷凝效应，且由驱动组件将挡板6向上移动，刮板7刮下冷凝水流向导液槽8在收集罐9中被收集，减少水汽冷凝后的蒸发面积降低蒸发速率，而减弱污染真空环境的能力从而不易有水汽到基片表面，使镀膜质量提高，待镀膜结束，真空腔室2内的温度未冷却至室温时，开启制冷器3冷阱管道4辅助降温，冷阱管道4与真空腔室2的环境直接接触，真空腔室2的环境温度传递给冷阱管道4而加快温度下降从而节省冷却时间。
以上详细描述了本实用新型的较佳具体实施例。应当理解，本领域的普通技术人员无需创造性劳动就可以根据本实用新型的构思作出诸多修改和变化。因此，凡本技术领域中技术人员依本实用新型的构思在现有技术的基础上通过逻辑分析、推理或者有限的实验可以得到的技术方案，皆应在由权利要求书所确定的保护范围内。
Claims (6)
1.一种带水汽捕获装置的真空镀膜设备，其特征在于，所述设备包括镀膜机体，所述镀膜机体内设置真空腔室，所述镀膜机体的外部、内部分别设置制冷器、冷阱管道，所述冷阱管道连通所述制冷器；所述冷阱管道沿所述镀膜机体的内壁布置，且所述冷阱管道的四周分布底座，所述底座密接滑动配合竖直设置的挡板，且所述底座的内侧一周固定连接保温隔绝层，所述挡板的一侧设置驱动组件，所述驱动组件驱动所述挡板上下移动，所述挡板的表面抵靠设置与所述底座固定连接用于刮下冷凝水的刮板，所述挡板端侧的下方设置向下倾斜的导液槽，所述导液槽的汇集口对应所述挡板，且所述导液槽的下端固定连接用于收集水汽冷凝水的收集罐。
2.根据权利要求1所述的带水汽捕获装置的真空镀膜设备，其特征在于，所述驱动组件包括电机、与所述电机的传动轴固定连接的齿轮、与所述齿轮啮合的齿条，所述齿条固定安装于所述挡板的端侧，所述齿轮转动带动所述挡板移动。
3.根据权利要求1所述的带水汽捕获装置的真空镀膜设备，其特征在于，所述底座呈方形环块状，所述底座设置十字滑动槽，所述挡板与所述底座对应的连接端设置配合的滑动块。
4.根据权利要求1所述的带水汽捕获装置的真空镀膜设备，其特征在于，所述导液槽的底端开设排水孔，所述排水孔与所述收集罐相对应，所述排水孔的下端设置螺纹，所述收集罐的顶部与所述排水孔之间螺纹连接。
5.根据权利要求1所述的带水汽捕获装置的真空镀膜设备，其特征在于，所述挡板的表面与所述刮板的接触面均设置疏水性涂层。
6.根据权利要求1所述的带水汽捕获装置的真空镀膜设备，其特征在于，所述冷阱管道固定连接所述底座的一侧，且所述冷阱管道分别与所述挡板、镀膜机体的内壁之间存在间隙。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202322372833.8U CN220685235U (zh) | 2023-09-01 | 2023-09-01 | 一种带水汽捕获装置的真空镀膜设备 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202322372833.8U CN220685235U (zh) | 2023-09-01 | 2023-09-01 | 一种带水汽捕获装置的真空镀膜设备 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN220685235U true CN220685235U (zh) | 2024-03-29 |
Family
ID=90410458
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202322372833.8U Active CN220685235U (zh) | 2023-09-01 | 2023-09-01 | 一种带水汽捕获装置的真空镀膜设备 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN220685235U (zh) |
-
2023
- 2023-09-01 CN CN202322372833.8U patent/CN220685235U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN212620285U (zh) | 一种高性能化工管式换热器 | |
| CN220685235U (zh) | 一种带水汽捕获装置的真空镀膜设备 | |
| CN114487294A (zh) | 一种基于物联网监测的碳排放监测系统及其使用方法 | |
| CN220689423U (zh) | 一种防溅水蒸发式冷凝器 | |
| CN209577616U (zh) | 一种机械加工用零部件保养设备 | |
| CN208728669U (zh) | 一种铸造用降温辅助机构 | |
| CN205635766U (zh) | 一种光学镜片生产系统 | |
| KR20130007438A (ko) | 성막 장치 | |
| JP5646405B2 (ja) | 成膜装置 | |
| CN214019220U (zh) | 一种刮板浓缩器 | |
| CN206201418U (zh) | 一种负压滴注湿式自清理及间歇喷液自清理冷却器系统 | |
| CN207996756U (zh) | 连续生产型超声雾化喷涂镀膜设备 | |
| CN113005004B (zh) | 一种涂覆面积大的生物酶浓缩装置 | |
| CN204801017U (zh) | 一种具有水夹套冷却的真空系统用冷却器 | |
| CN208794859U (zh) | 一种便于处理凝结水的干燥箱 | |
| CN212612786U (zh) | 一种饮用水生产线的输送系统 | |
| CN221131022U (zh) | 一种用于四氢呋喃的精馏提纯装置 | |
| CN218252746U (zh) | 金属复合支撑臂用冷却装置 | |
| CN218155647U (zh) | 一种水处理用多效换热器 | |
| CN221267141U (zh) | 一种平行浓缩仪 | |
| CN216549701U (zh) | 一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备 | |
| CN218249023U (zh) | 一种用于去除尾气中粘性液滴的除油装置 | |
| CN112587945A (zh) | 一种柜式浓缩干燥设备 | |
| CN214597284U (zh) | 一种冷却效果好的蒸馏装置 | |
| CN216107226U (zh) | 一种用于钛和钛合金板材加工生产线的酸洗装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |