CN220672547U - 一种晶圆机器人定位轨道机构 - Google Patents

Abstract

本申请属于半导体制造技术领域，公开了一种晶圆机器人定位轨道机构，包括轨道驱动单元，负载支架和晶圆机器人本体，轨道驱动单元包括一安装基座，安装基座的内侧壁横向固定安装有一直线电机，直线电机的底部固定连接有线缆拖链，用于容纳供电和信号传输线缆，负载支架与直线电机的动子滑座可拆卸地固定连接，晶圆机器人本体与负载支架可拆卸地固定连接。通过轨道驱动单元对晶圆机器人本体进行水平方向的驱动，可在晶圆加工平台中用于晶圆机器人的扩展运动定位，能够有效扩展机械手取片范围。通过各组件的模块化设计，可适应各系列晶圆机器人和机械手，安装方便，进一步节省了设备的占地面积和装配运行成本。

Description

一种晶圆机器人定位轨道机构

技术领域

本申请涉及半导体制造技术领域，更具体地说，涉及一种晶圆机器人定位轨道机构。

背景技术

在晶圆生产制造过程中，通常采用晶圆机器人对晶圆片进行夹取传输。晶圆机器人的机械手可以为关节机械手或直角坐标机械手，关节机械手或直角坐标机械手可以从腔室侧面传输晶圆，晶圆从侧面进出腔室。其中，关节机械手具有滑轨、本体、手臂、手爪等几部分。直角坐标机械手可采用导轨与同步带组合实现XYZ轴的运动。

但是，上述晶圆机器人在传输晶圆过程中，存在以下问题：取片范围有限，在较长的工艺平台上通常需要设置多个晶圆机器人，大大增加设备的占地面积和装配运行成本。

实用新型内容

为了解决上述问题，本申请提供一种晶圆机器人定位轨道机构。

本申请提供的一种晶圆机器人定位轨道机构采用如下的技术方案：

一种晶圆机器人定位轨道机构，包括轨道驱动单元，负载支架和晶圆机器人本体，所述轨道驱动单元包括一安装基座，所述安装基座的内侧壁横向固定安装有一直线电机，所述直线电机的底部固定连接有线缆拖链，用于容纳供电和信号传输线缆，所述负载支架与直线电机的动子滑座可拆卸地固定连接，所述晶圆机器人本体与负载支架可拆卸地固定连接。

进一步的，所述安装基座的内侧壁在对应直线电机轨道首末两端的上方均固定安装有限位光电传感器，所述直线电机的动子滑座的顶部固定连接有光电开关触发板。

通过上述技术方案，用于对直线电机的水平运行位置进行限位。

进一步的，所述安装基座的内侧壁在对应直线电机轨道的两端可拆卸地固定连接有盖板支撑架，两侧所述盖板支撑架之间可拆卸的固定连接有电机盖板，电机盖板横向贯穿直线电机的动子滑座，用于对其轨道和定子排进行遮挡。

通过上述技术方案，对直线电机的轨道和定子排部位进行遮挡保护，保证洁净度，进而提高直线电机的运行稳定性。

进一步的，所述安装基座在位于线缆拖链的外侧可拆卸地固定连接有拖链盖板。

通过上述技术方案，对线缆拖链部位进行遮挡保护。

进一步的，所述负载支架包括一L形的负载安装板和固定安装在其两侧的负载加强筋板，所述晶圆机器人本体可拆卸地固定安装在负载安装板上。

通过上述技术方案，结构强度更高，进一步提高了晶圆机器人本体的安装稳定性。

综上所述，本申请包括以下至少一个有益技术效果：

通过轨道驱动单元对晶圆机器人本体进行水平方向的驱动，可在晶圆加工平台中用于晶圆机器人的扩展运动定位，能够有效扩展机械手取片范围。通过各组件的模块化设计，可适应各系列晶圆机器人和机械手，安装方便，进一步节省了设备的占地面积和装配运行成本。采用直驱直线电机驱动，非机械式传动，洁净度高，响应速度快，能够提高晶圆生产中的机械传输稳定性和传动效率，进而提高了生产效率和生产质量。

附图说明

图1为本申请的结构示意图；

图2为本申请的结构拆分示意图；

图3为本申请的侧面剖视图。

图中标号说明：

1、轨道驱动单元；11、安装基座；12、直线电机；13、线缆拖链；14、限位光电传感器；15、光电开关触发板；16、盖板支撑架；17、电机盖板；18、拖链盖板；2、负载支架；21、负载安装板；22、负载加强筋板；3、晶圆机器人本体。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述；显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

在本申请的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”、“顶/底端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“套设/接”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

实施例1：

以下结合附图1-3对本申请作进一步详细说明。

本申请实施例公开一种晶圆机器人定位轨道机构，包括轨道驱动单元1，负载支架2和晶圆机器人本体3，轨道驱动单元1包括一安装基座11，安装基座11的内侧壁横向固定安装有一直线电机12，直线电机12的底部固定连接有线缆拖链13，用于容纳供电和信号传输线缆，负载支架2与直线电机12的动子滑座可拆卸地固定连接，晶圆机器人本体3与负载支架2可拆卸地固定连接。

请参见图2和图3，安装基座11的内侧壁在对应直线电机12轨道首末两端的上方均固定安装有限位光电传感器14，直线电机12的动子滑座的顶部固定连接有光电开关触发板15，用于对直线电机12的水平运行位置进行限位。

请参见图1、图2和图3，安装基座11的内侧壁在对应直线电机12轨道的两端可拆卸地固定连接有盖板支撑架16，两侧盖板支撑架16之间可拆卸的固定连接有电机盖板17，电机盖板17横向贯穿直线电机12的动子滑座，用于对直线电机12的轨道和定子排部位进行遮挡保护，保证洁净度，进而提高直线电机12的运行稳定性。

作为本实施例的进一步优选，安装基座11在位于线缆拖链13的外侧可拆卸地固定连接有拖链盖板18，能够对线缆拖链13部位进行遮挡保护。

请参见图1和图2，负载支架2包括一L形的负载安装板21和固定安装在其两侧的负载加强筋板22，晶圆机器人本体3可拆卸地固定安装在负载安装板21上，结构强度更高，进一步提高了晶圆机器人本体3的安装稳定性。

本申请实施例一种晶圆机器人定位轨道机构的实施原理为：通过轨道驱动单元1对晶圆机器人本体3进行水平方向的驱动，可在晶圆加工平台中用于晶圆机器人的扩展运动定位，能够有效扩展机械手取片范围。通过各组件的模块化设计，可适应各系列晶圆机器人和机械手，安装方便，进一步节省了设备的占地面积和装配运行成本。采用直驱直线电机12驱动，非机械式传动，洁净度高，响应速度快，能够提高晶圆生产中的机械传输稳定性和传动效率，进而提高了生产效率和生产质量。

以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种晶圆机器人定位轨道机构，包括轨道驱动单元(1)，负载支架(2)和晶圆机器人本体(3)，其特征在于：所述轨道驱动单元(1)包括一安装基座(11)，所述安装基座(11)的内侧壁横向固定安装有一直线电机(12)，所述直线电机(12)的底部固定连接有线缆拖链(13)，用于容纳供电和信号传输线缆，所述负载支架(2)与直线电机(12)的动子滑座可拆卸地固定连接，所述晶圆机器人本体(3)与负载支架(2)可拆卸地固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆机器人定位轨道机构，其特征在于：所述安装基座(11)的内侧壁在对应直线电机(12)轨道首末两端的上方均固定安装有限位光电传感器(14)，所述直线电机(12)的动子滑座的顶部固定连接有光电开关触发板(15)。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆机器人定位轨道机构，其特征在于：所述安装基座(11)的内侧壁在对应直线电机(12)轨道的两端可拆卸地固定连接有盖板支撑架(16)，两侧所述盖板支撑架(16)之间可拆卸的固定连接有电机盖板(17)，电机盖板(17)横向贯穿直线电机(12)的动子滑座，用于对其轨道和定子排进行遮挡。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆机器人定位轨道机构，其特征在于：所述安装基座(11)在位于线缆拖链(13)的外侧可拆卸地固定连接有拖链盖板(18)。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆机器人定位轨道机构，其特征在于：所述负载支架(2)包括一L形的负载安装板(21)和固定安装在其两侧的负载加强筋板(22)，所述晶圆机器人本体(3)可拆卸地固定安装在负载安装板(21)上。