CN220672527U - 一种晶圆钝化装置 - Google Patents

Abstract

本公开提供一种晶圆钝化装置，包括：用于放置晶圆的钝化工作台；用于在晶圆表面扫描涂布钝化液的扫描单元，设置于钝化工作台上方，且相对钝化工作台可移动；用于配制钝化液的钝化液配制单元，包括至少两个配制瓶、混合容器及注射器，不同配制瓶被配置为用于盛放不同溶液，混合容器分别连通至不同配制瓶，混合容器被配置为用于可将不同溶液混合成钝化液，注射器被配置为连通至混合容器及扫描单元，以从混合容器抽吸钝化液、或向扫描单元排放钝化液；控制单元，与扫描单元及钝化液配制单元分别连接，用于控制扫描单元及钝化液配制单元的工作状态。本公开提供的晶圆钝化装置，可实现钝化液的现用现配，实现硅片表面均匀喷涂钝化液的自动化。

Description

一种晶圆钝化装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆检测技术领域，尤其涉及一种晶圆钝化装置。

背景技术

少数载流子寿命是评价半导体材料的方法之一，准确测试少数载流子寿命对于评价半导体性能和半导体探测器的效率有着重要意义。针对晶圆的少数载流子寿命的检测，容易受到体寿命和表面复合寿命的影响，需要对晶圆表面进行钝化处理，降低表面复合对测量少数载流子寿命的影响。

湿化学钝化法是现在普遍的钝化方法。但是，在湿化学钝化法中所采用的钝化液需要提前配置好，钝化时需要打开装有钝化液的容量瓶，大量钝化晶圆时，长时间敞开钝化液瓶口，会造成钝化液分解挥发，影响对晶圆的钝化效果。并且，钝化时先将晶圆装入钝化袋中，之后滴入钝化液，再使用刮板将钝化袋中的钝化液在晶圆表面均匀刮开，以达到钝化的目的。这就导致钝化时需要大量的钝化袋，成本高。其次，使用刮板刮涂钝化液的方式，因每个操作人员的手法不同，钝化的效果也存在巨大的差异，且钝化袋的边缘容易积累多余的钝化液，影响后续少子寿命的测试结果。

实用新型内容

本公开实施例提供了一种晶圆钝化装置，能够实现钝化液的现用现配，实现硅片表面均匀喷涂钝化液的自动化。

本公开实施例所提供的技术方案如下：

一种晶圆钝化装置，包括：

用于放置晶圆的钝化工作台；

用于在所述晶圆表面扫描涂布钝化液的扫描单元，所述扫描单元设置于所述钝化工作台上方，且相对所述钝化工作台可移动；

用于配制钝化液的钝化液配制单元，所述钝化液配制单元包括至少两个配制瓶、混合容器及注射器，不同所述配制瓶被配置为用于盛放不同溶液，所述混合容器分别连通至不同所述配制瓶，且所述混合容器被配置为用于可将不同溶液混合成钝化液，所述注射器被配置为连通至所述混合容器及所述扫描单元，以从所述混合容器抽吸钝化液、或向所述扫描单元排放所述钝化液；及

控制单元，与所述扫描单元及所述钝化液配制单元分别连接，用于控制所述扫描单元及所述钝化液配制单元的工作状态。

在本公开的一个实施例中，所述钝化液配制单元还包括第一控制阀和第二控制阀，所述第一控制阀被配置为连通在所述混合容器与所述注射器之间的管路上，所述第二控制阀被配置为连通在所述注射器与所述扫描单元之间的管路上，所述控制单元被配置为控制所述第一控制阀与所述第二控制阀的启闭状态。

在本公开的一个实施例中，所述扫描单元包括：

扫描探头，所述扫描探头具有喷射口，所述扫描探头被构造为包括内腔室，所述内腔室一端连通至所述喷射口，另一端通过管路连通至所述注射器；及

真空发生件，所述真空发生件连接至所述内腔室，且被配置为用于为所述内腔室提供负压；其中，

所述控制单元还连接至所述真空发生件，用于控制所述真空发生件的工作状态。

在本公开的一个实施例中，所述扫描探头还包括位于所述内腔室外围的外腔室，所述外腔室连通至所述喷射口；所述扫描单元还包括：

废液收集容器；及

动力泵，所述动力泵的出液端连通至所述废液收集容器，进液端通过管路连通至所述外腔室，以使晶圆表面钝化后多余钝化液经由所述外腔室被回收至废液收集容器；其中，

所述控制单元还连接至所述动力泵，用于控制所述动力泵的工作状态。

在本公开的一个实施例中，所述扫描单元包括：

扫描探头组件，所述扫描探头组件包括至少一个扫描探头；及

旋转组件，所述旋转组件被配置为受所述控制单元控制可在晶圆表面绕晶圆周向旋转所述扫描探头组件。

在本公开的一个实施例中，所述扫描探头组件包括：横梁及多个所述扫描探头，所述横梁平行所述钝化工作台的承载面设置，且多个所述扫描探头沿所述横梁的延伸方向依次间隔排列；

所述旋转组件包括：动力件及受所述动力件驱动而转动的第一旋转轴，所述第一旋转轴垂直于所述钝化工作台的承载面设置；

其中，所述横梁连接至所述第一旋转轴上，且随所述第一旋转轴同步转动。

在本公开的一个实施例中，所述横梁上包括沿其延伸方向依次间隔排列的多个安装位，所述扫描探头被构造为可拆卸地安装至所述安装位上。

在本公开的一个实施例中，多个所述扫描探头被配置为在所述横梁的延伸方向上可同步移动。

在本公开的一个实施例中，所述扫描单元还包括：

主动轮，所述主动轮垂直所述钝化液工作台设置，且被构造为受动力件驱动可转动；

从动轮，在所述横梁的延伸方向上，所述从动轮与所述主动轮间隔设置，且多个所述扫描探头排列于所述主动轮与所述从动轮之间；

传送带，所述传送带绕设于所述主动轮与所述从动轮之间，所述传送带被构造为在所述主动轮转动时可运动；及

滑动件，所述滑动件可滑动地设置于所述横梁上，所述滑动件连接至所述传送带上、且被构造为可随所述传送带同步移动，多个所述扫描探头被构造为固定在所述滑动件上，以随所述滑动件同步移动。

在本公开的一个实施例中，所述晶圆钝化装置还包括用于翻转所述晶圆的翻转单元，所述翻转单元包括：

夹取组件，所述夹取组件被构造为可夹持或释放所述晶圆；及

操控组件，所述操控组件被构造为可操控所述夹取组件执行以下动作：

沿垂直所述钝化工作台的竖直方向上的升降动作；

在水平方向上靠近或远离所述钝化工作台的平移动作；及

绕水平旋转轴旋转的旋转动作。

在本公开的一个实施例中，所述操控组件包括：

升降台，所述升降台被构造为在所述竖直方向上可升降；

转台，所述转台被构造为安装至所述升降台的顶部，且绕竖直旋转轴可转动；及

第二旋转轴，所述第二旋转轴可绕水平旋转轴转动地连接至所述转台上；

其中，所述夹取组件连接至所述第二旋转轴上。

本公开实施例所带来的有益效果如下：

本公开实施例所提供的晶圆钝化装置，包括钝化工作台、扫描单元、钝化液配制单元及控制单元，其中钝化液配制单元包括至少两个配制瓶、混合容器及注射器，在进行晶圆钝化时，可通过控制单元控制配制瓶内的不同溶液按照预定比例进入到混合容器中混合，而形成钝化液，然后，注射器可在控制单元的控制下抽吸混合容器中的钝化液，并排放至扫描单元，扫描单元可在晶圆表面移动扫描，而向晶圆表面涂覆钝化液。如此，实现在晶圆上自动涂覆钝化液的过程，相较于相关技术中通过操作人员手工涂覆钝化液的方式来说，钝化液的用量准确、涂抹均匀，且不易在钝化的过程中引入污染，提高了对硅片少数载流子寿命检测的准确性。并且，可自动实现钝化液现用现配，钝化过程中不使用钝化袋，可大幅降低钝化作业成本。

附图说明

图1表示本公开实施例中提供的晶圆钝化装置的结构示意图；

图2表示本公开实施例中提供的晶圆钝化装置中扫描探头的结构示意图；

图3表示本公开实施例中提供的晶圆钝化装置中横梁的结构示意图；

图4表示本公开实施例中提供的晶圆钝化装置中夹取组件的结构示意图。

具体实施方式

为使本公开实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本公开实施例的附图，对本公开实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本公开的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本公开的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。

除非另外定义，本公开使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”、“一”或者“该”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。

如图1所示，本公开实施例提供了一种晶圆钝化装置，包括：

用于放置晶圆1的钝化工作台10；

用于在所述晶圆1表面扫描涂布钝化液的扫描单元20，所述扫描单元20设置于所述钝化工作台10上方，且相对所述钝化工作台10可移动；

用于配制钝化液的钝化液配制单元30，所述钝化液配制单元30包括至少两个配制瓶31、混合容器32及注射器33，不同所述配制瓶31被配置为用于盛放不同溶液，所述混合容器32分别连通至不同所述配制瓶31，且所述混合容器32被配置为用于可将不同溶液混合成钝化液，所述注射器33被配置为连通至所述混合容器32及所述扫描单元20，以从所述混合容器32抽吸钝化液、或向所述扫描单元20排放所述钝化液；及

控制单元40，与所述扫描单元20及所述钝化液配制单元30分别连接，用于控制所述扫描单元20及所述钝化液配制单元30的工作状态。

上述方案中，晶圆钝化装置包括钝化工作台10、扫描单元20、钝化液配制单元30及控制单元40，其中钝化液配制单元30包括至少两个配制瓶31、混合容器32及注射器33，在进行晶圆1钝化时，可通过控制单元40控制配制瓶31内的不同溶液按照预定比例进入到混合容器32中混合，而形成钝化液，然后，注射器33可在控制单元40的控制下抽吸混合容器32中的钝化液，并排放至扫描单元20，扫描单元20可在晶圆1表面移动扫描，而向晶圆1表面涂覆钝化液。如此，实现在晶圆1上自动涂覆钝化液的过程，相较于相关技术中通过操作人员手工涂覆钝化液的方式来说，钝化液的用量准确、涂抹均匀，且不易在钝化的过程中引入污染，提高了对硅片少数载流子寿命检测的准确性。并且，可自动实现钝化液现用现配，钝化过程中不使用钝化袋，可大幅降低钝化作业成本。

在本公开的一个实施例中，如图1所示，所述钝化工作台10可包括支撑架组件11及晶圆承托盘组件12，其中晶圆承托盘组件12可被支撑架组件11支撑，晶圆1可承托于所述晶圆承托盘组件12上。所述支撑架组件11可被构造为可转动所述晶圆承托盘组件12，或者是，不可转动所述晶圆承托盘组件12。

当然可以理解的是，以上仅是示例，在实际应用中，所述钝化工作台10的具体构造不限定于此。

此外，在本公开的一个实施例中，至少两个所述配制瓶31可以包括第一配制瓶和第二配制瓶，第一配制瓶内可盛放乙醇，第二配制瓶内可盛放高浓度碘液，第一配制瓶、第二配制瓶分别通过管路连接至混合容器32中，且可通过管路上安装控制开关等，来控制乙醇和高浓度碘酒的配置比例，以使混合容器32中的钝化液达到目标钝化浓度。

在本公开的一个实施例中，如图1所示，所述钝化液配制单元30还包括第一控制阀34和第二控制阀35，所述第一控制阀34被配置为连通在所述混合容器32与所述注射器33之间的管路上，所述第二控制阀35被配置为连通在所述注射器33与所述扫描单元20之间的管路上，所述控制单元40被配置为控制所述第一控制阀34与所述第二控制阀35的启闭状态。

采用上述方案，在所述控制单元40控制下，第一控制阀34开启、第二控制阀35关闭时，此时注射器33内可产生负压，混合容器32中钝化液可进入注射器33；第一控制阀34关闭、第二控制阀35开启时，此时，注射器33可产生正压，以将其内部的钝化液推送至扫描单元20。其中，第一控制阀34和第二控制阀35可选用电磁阀等任意合适的部件。

在本公开的一个实施例中，所述注射器33可产生正压和负压，以执行抽吸和排放钝化液的动作。具体而言，所述注射器33可包括注射筒及活塞，其中活塞可在注射筒内往复移动，以使得注射器33的注射头可抽吸或排放钝化液。活塞的运动可受控制单元40的控制。

在一个示例性的实施例中，所述钝化液配制单元30还可包括推拉组件，所述推拉组件被构造为连接至所述活塞上，且可推拉所述活塞，以使所述活塞在所述注射筒内运动。所述推拉组件可以选用伸缩杆等任意合适的部件实现。

在一个示例性的实施例中，该晶圆钝化装置中所使用的管路、所述混合容器32、所述注射器33以及所述扫描探头等均为不透光材料，如此，可以有效保证钝化过程中钝化液不会分解，从而保证钝化效果。

在本公开的一个实施例中，如图1和图2所示，所述扫描单元20包括：扫描探头21及真空发生件22，所述扫描探头21具有喷射口21A，所述扫描探头21被构造为包括内腔室211，所述内腔室211一端连通至所述喷射口21A，另一端通过进液管路21B连通至所述注射器33；所述真空发生件22通过真空管21C连接至所述内腔室211，且被配置为用于为所述内腔室211提供负压；其中，所述控制单元40还连接至所述真空发生件22，用于控制所述真空发生件22的工作状态。

采用上述方案，所述扫描探头21的内腔室211两端分别连通喷射口21A及注射器33，因此，注射器33内排放的钝化液可通过内腔室211流向喷射口21A，以向晶圆1表面涂覆钝化液；而所述内腔室211还通过管路连通至所述负压发生件，这样，可通过所述负压发送件使得内腔室211中可保持一定程度的负压，从而使得钝化液不会直接流到晶圆1表面。

其中，所述负压发生件可以选用真空泵等任意合适的装置。

在本公开的一个实施例中，如图1和图2所示，所述扫描探头21还包括位于所述内腔室211外围的外腔室212，所述外腔室212连通至所述喷射口21A。所述扫描单元20还包括：废液收集容器23及动力泵24，所述动力泵24的出液端连通至所述废液收集容器23，进液端通过废液管路21D连通至所述外腔室212，以使晶圆1表面钝化后多余钝化液经由所述外腔室212被回收至废液收集容器23；其中，所述控制单元40还连接至所述动力泵24，用于控制所述动力泵24的工作状态。其中，所述动力泵24可以选用蠕动泵等任意合适的装置。

采用上述方案，将所述扫描探头21构造为包括内腔室211和外腔室212，其中内腔室211可向晶圆1表面涂覆钝化液，而外腔室212则可以在动力泵24的动力下，将晶圆1表面钝化后多余钝化液经由所述外腔室212被回收至废液收集容器23。如此，扫描探头21内部被构造为包括内腔室211和外腔室212的双腔室结构，内腔室211内部真空可保证钝化液流速，多余钝化液可通过外腔室212排走，使晶圆1表面无钝化液残留。

此外，在本公开的一个实施例中，所述扫描单元20包括：扫描探头组件及旋转组件25，所述扫描探头组件包括至少一个扫描探头21；所述旋转组件25被配置为受所述控制单元40控制可在晶圆1表面绕晶圆1周向旋转所述扫描探头组件。

采用上述方案，通过在晶圆1表面旋转扫描探头组件的方式，可在晶圆1表面均匀涂覆钝化液。可以理解的是，在其他实施例中，扫描探头21也可以通过其他运动轨迹在晶圆1表面均匀涂覆钝化液。

在本公开的一个实施例中，如图1所示，所述扫描探头组件包括：横梁26及多个所述扫描探头21，所述横梁26平行所述钝化工作台10的承载面设置，且多个所述扫描探头21沿所述横梁26的延伸方向依次间隔排列；所述旋转组件25包括：动力件及受所述动力件驱动而转动的第一旋转轴252，所述第一旋转轴252垂直于所述钝化工作台10的承载面设置；其中，所述横梁26连接至所述第一旋转轴252上，且随所述第一旋转轴252同步转动。

采用上述方案，通过在所述横梁26上依次设置多个扫描探头21，旋转横梁26时，可带动多个扫描探头21同步转动，以在晶圆1表面同时大面积涂覆钝化液，有利于提高作业效率，且更有利于涂覆均匀性。其中，所述动力件可选用电机等任意合适的装置，电机转速可根据实际需要设定。

需要说明的是，在一些实施例中，所述第一旋转轴252可位于所述钝化工作台10的中心轴上，即晶圆1的中心轴上，且所述横梁26可以是一端连接至所述第一旋转轴252上，所述横梁26的延伸长度可大于或等于晶圆1的半径，这样，所述横梁26每旋转一周，可将晶圆1中心至边缘均涂覆有钝化液。当然可以理解的是，所述横梁26尺寸并不限定于此。

在本公开的一个实施例中，所述旋转组件25还包括悬挂架253，所述横梁通过所述悬挂架253与所述第一旋转轴252连接。

此外，在本公开的一些实施例中，如图1和图3所示，所述横梁26上包括沿其延伸方向依次间隔排列的多个安装位260，所述扫描探头21被构造为可拆卸地安装至所述安装位260上。采用上述方案，可以根据晶圆1的尺寸规格，合理调整所述横梁26上的所述扫描探头21的数量及位置。

在本公开的一个实施例中，多个所述扫描探头21被配置为在所述横梁26的延伸方向上可同步移动。这样，由于扫描探头21间隔设置，相邻两个扫描探头21之间存在间隙，通过在横梁26延伸方向上同步移动扫描探头21，可使得扫描探头21可将钝化液更为均匀地涂覆在晶圆1表面，以使晶圆1表面充分钝化。

具体而言，扫描探头21沿横梁26的移动距离可被设定为预设距离，例如，预设距离等于一个扫描探头21的宽度一半的距离，以使扫描探头21之间未钝化上的区域充分钝化。当然可以理解的是，对于所述扫描探头21的移动距离不限于此。

在本公开的一个实施例中，如图1和图3所示，所述扫描单元20还包括：主动轮261、从动轮262、传送带263及滑动件264，其中所述主动轮261垂直所述钝化液工作台设置，且被构造为受动力件驱动可转动；在所述横梁26的延伸方向上，所述从动轮262与所述主动轮261间隔设置，且多个所述扫描探头21排列于所述主动轮261与所述从动轮262之间；所述传送带263绕设于所述主动轮261与所述从动轮262之间，所述传送带263被构造为在所述主动轮261转动时可运动；所述滑动件264可滑动地设置于所述横梁26上，所述滑动件264连接至所述传送带263上、且被构造为可随所述传送带263同步移动，多个所述扫描探头21被构造为固定在所述滑动件264上，以随所述滑动件264同步移动。

采用上述方案，通过驱动所述主动轮261旋转，可带动所述传送带263转动，进而使得与所述传送带263连接的所述滑动件264在所述横梁26上同步移动，安装至所述滑动件264上的多个扫描探头21则同步移动。这种结构简单，易于组装和实现。具体地，所述横梁26上可设置滑轨，所述滑动件264可被构造为沿所述滑轨移动，以使得扫描探头21移动更平稳。

当然可以理解的是，在其他实施例中，所述扫描探头21的移动方式不限定于此。例如，所述扫描探头21还可以安装至所述滑动件264上，所述滑动件264还可以由丝杠组件或者伸缩杆等来驱动移动。

此外，在本公开的一个实施例中，如图1所示，所述晶圆钝化装置还包括用于翻转所述晶圆1的翻转单元27，所述翻转单元27包括：

夹取组件271，所述夹取组件271被构造为可夹持或释放所述晶圆1；及

操控组件272，所述操控组件272被构造为可操控所述夹取组件271执行以下动作：沿垂直所述钝化工作台10的竖直方向上的升降动作；在水平方向上靠近或远离所述钝化工作台10的平移动作；及绕水平旋转轴旋转的旋转动作。

采用上述方案，当晶圆1正面钝化完成时，首先，可通过操控组件272控制夹取组件271的升降及平移的动作，将夹取组件271移动至晶圆1所在位置，使得夹取组件271夹持住晶圆1；然后，通过操控组件272升降所述夹取组件271，使得晶圆1被提升，并通过操控组件272控制所述转台转动所述夹取组件271，以使得晶圆1离开所述钝化工作台10；之后，通过所述操控组件272控制所述夹取组件271绕水平旋转轴旋转，以使晶圆1被翻转而背面朝上，此时，可通过所述操控组件272操作所述夹取组件271，再将晶圆1背面朝上地放置于钝化工作台10；之后，通过控制单元40控制所述扫描单元20等，对晶圆1背面涂覆钝化液，以对晶圆1背面进行钝化。

在本公开的一个实施例中，所述操控组件272包括：

升降台2721，所述升降台2721被构造为在所述竖直方向上可升降；

转台2722，所述转台2722被构造为安装至所述升降台2721的顶部，且绕竖直旋转轴可转动；及

第二旋转轴2723，所述第二旋转轴2723可绕水平旋转轴转动地连接至所述转台2722上；

其中，所述夹取组件271连接至所述第二旋转轴2723上。

在上述方案中，通过升降台2721实现夹取组件271在竖直方向的升降动作，通过转台2722实现夹取组件271水平转动平移动作，通过第二旋转轴2723实现夹取组件271翻转晶圆1的动作。应当理解的是，对于所述操纵组件的具体构造并不限定于此。

在本公开的一个实施例中，所述夹取组件271可选用可伸缩的机械手等任意合适的装置。示例性的，如图4所示，机械手可包括半圆型夹持臂2711、弧形收缩弹簧2712以及可伸缩机械横臂2713等组成。对于所述机械手的具体构造不再进行赘述，只要能够实现夹取晶圆1功能的机械手结构都可应用于此。当然可以理解的是，所述夹取组件271也可不限于机械手，也可以选用其他部件来实现。

为了更为清楚地描述本实用新型，以下举例说明本公开一个实施例中的晶圆钝化装置的工作过程：

首先，将待钝化的晶圆1正面朝上放在钝化工作台10上；

然后，通过控制单元40控制钝化液配制单元30开始配制钝化液；具体地，控制注射器33为混合容器32提供负压，控制各配制瓶31对应的控制开关启闭状态，使得乙醇和高浓度碘液等溶液以预定比例进入混合容器32中，以稀释得到目标钝化浓度的钝化液；

然后，通过控制单元40，控制第一控制阀34打开，第二控制阀35关闭，使配制好的钝化液进入到注射器33中；

然后，关闭第一控制阀34，打开第二控制阀35，注射器33反推钝化液，钝化液进入扫描探头21的内腔室211中，真空泵开启，使扫描探头21的内腔室211中保持一定程度的负压，使钝化液不会直接流到晶圆1表面；

然后，旋转横梁26开始旋转扫描探头21，其中旋转速度可根据实际需要进行设定，钝化后的多余钝化液被蠕动泵回收到废液收集瓶中；

然后，当晶圆1正面钝化完以后，升降台2721和转台2722将机械手伸缩到合适的位置，以使得机械手抓取晶圆1，机械手抓取晶圆1之后，转台2722带动机械手旋转到钝化工作台10以外，第二旋转轴2723带动机械手旋转180°，以使晶圆1背面朝上，此时，通过升降台2721及转台2722配合，将机械手夹持晶圆1放回钝化工作台10，扫描探头21开始在晶圆1背面涂覆钝化液。

有以下几点需要说明：

(1)本公开实施例附图只涉及到与本公开实施例涉及到的结构，其他结构可参考通常设计。

(2)为了清晰起见，在用于描述本公开的实施例的附图中，层或区域的厚度被放大或缩小，即这些附图并非按照实际的比例绘制。可以理解，当诸如层、膜、区域或基板之类的元件被称作位于另一元件“上”或“下”时，该元件可以“直接”位于另一元件“上”或“下”或者可以存在中间元件。

(3)在不冲突的情况下，本公开的实施例及实施例中的特征可以相互组合以得到新的实施例。

以上，仅为本公开的具体实施方式，但本公开的保护范围并不局限于此，本公开的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (11)

1.一种晶圆钝化装置，其特征在于，包括：

用于放置晶圆的钝化工作台；

用于在所述晶圆表面扫描涂布钝化液的扫描单元，所述扫描单元设置于所述钝化工作台上方，且相对所述钝化工作台可移动；

用于配制钝化液的钝化液配制单元，所述钝化液配制单元包括至少两个配制瓶、混合容器及注射器，不同所述配制瓶被配置为用于盛放不同溶液，所述混合容器分别连通至不同所述配制瓶，且所述混合容器被配置为用于可将不同溶液混合成钝化液，所述注射器被配置为连通至所述混合容器及所述扫描单元，以从所述混合容器抽吸钝化液、或向所述扫描单元排放所述钝化液；及

控制单元，与所述扫描单元及所述钝化液配制单元分别连接，用于控制所述扫描单元及所述钝化液配制单元的工作状态。

2.根据权利要求1所述的晶圆钝化装置，其特征在于，

所述钝化液配制单元还包括第一控制阀和第二控制阀，所述第一控制阀被配置为连通在所述混合容器与所述注射器之间的管路上，所述第二控制阀被配置为连通在所述注射器与所述扫描单元之间的管路上，所述控制单元被配置为控制所述第一控制阀与所述第二控制阀的启闭状态。

3.根据权利要求1所述的晶圆钝化装置，其特征在于，

所述扫描单元包括：

扫描探头，所述扫描探头具有喷射口，所述扫描探头被构造为包括内腔室，所述内腔室一端连通至所述喷射口，另一端通过管路连通至所述注射器；及

真空发生件，所述真空发生件连接至所述内腔室，且被配置为用于为所述内腔室提供负压；其中，

所述控制单元还连接至所述真空发生件，用于控制所述真空发生件的工作状态。

4.根据权利要求3所述的晶圆钝化装置，其特征在于，

所述扫描探头还包括位于所述内腔室外围的外腔室，所述外腔室连通至所述喷射口；所述扫描单元还包括：

废液收集容器；及

动力泵，所述动力泵的出液端连通至所述废液收集容器，进液端通过管路连通至所述外腔室，以使晶圆表面钝化后多余钝化液经由所述外腔室被回收至废液收集容器；其中，

所述控制单元还连接至所述动力泵，用于控制所述动力泵的工作状态。

5.根据权利要求1所述的晶圆钝化装置，其特征在于，

所述扫描单元包括：

扫描探头组件，所述扫描探头组件包括至少一个扫描探头；及

旋转组件，所述旋转组件被配置为受所述控制单元控制可在晶圆表面绕晶圆周向旋转所述扫描探头组件。

6.根据权利要求5所述的晶圆钝化装置，其特征在于，

所述扫描探头组件包括：横梁及多个所述扫描探头，所述横梁平行所述钝化工作台的承载面设置，且多个所述扫描探头沿所述横梁的延伸方向依次间隔排列；

所述旋转组件包括：动力件及受所述动力件驱动而转动的第一旋转轴，所述第一旋转轴垂直于所述钝化工作台的承载面设置；

其中，所述横梁连接至所述第一旋转轴上，且随所述第一旋转轴同步转动。

7.根据权利要求6所述的晶圆钝化装置，其特征在于，

所述横梁上包括沿其延伸方向依次间隔排列的多个安装位，所述扫描探头被构造为可拆卸地安装至所述安装位上。

8.根据权利要求6所述的晶圆钝化装置，其特征在于，

多个所述扫描探头被配置为在所述横梁的延伸方向上可同步移动。

9.根据权利要求8所述的晶圆钝化装置，其特征在于，

所述扫描单元还包括：

主动轮，所述主动轮垂直所述钝化液工作台设置，且被构造为受动力件驱动可转动；

从动轮，在所述横梁的延伸方向上，所述从动轮与所述主动轮间隔设置，且多个所述扫描探头排列于所述主动轮与所述从动轮之间；

传送带，所述传送带绕设于所述主动轮与所述从动轮之间，所述传送带被构造为在所述主动轮转动时可运动；及

滑动件，所述滑动件可滑动地设置于所述横梁上，所述滑动件连接至所述传送带上、且被构造为可随所述传送带同步移动，多个所述扫描探头被构造为固定在所述滑动件上，以随所述滑动件同步移动。

10.根据权利要求1所述的晶圆钝化装置，其特征在于，

所述晶圆钝化装置还包括用于翻转所述晶圆的翻转单元，所述翻转单元包括：

夹取组件，所述夹取组件被构造为可夹持或释放所述晶圆；及

操控组件，所述操控组件被构造为可操控所述夹取组件执行以下动作：

沿垂直所述钝化工作台的竖直方向上的升降动作；

在水平方向上靠近或远离所述钝化工作台的平移动作；及

绕水平旋转轴旋转的旋转动作。

11.根据权利要求10所述的晶圆钝化装置，其特征在于，所述操控组件包括：

升降台，所述升降台被构造为在所述竖直方向上可升降；

转台，所述转台被构造为安装至所述升降台的顶部，且绕竖直旋转轴可转动；及

第二旋转轴，所述第二旋转轴可绕水平旋转轴转动地连接至所述转台上；

其中，所述夹取组件连接至所述第二旋转轴上。