CN220626163U - 可调节式制样平台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种可调节式制样平台，其包括底座以及供放置样品的平台板，所述平台板通过球形铰链角度可调地安装于所述底座上。所述球形铰链包括具有球形槽的球铰支座以及转动配合于所述球形槽内的球形体，所述球形体顶部露出所述球形槽并连接有支撑杆。整个平台组装完成后，将待测样品固定在顶层平台板上，如果样品不能保持水平，可以通过外力转动球形铰链调节上方平台板的水平角度，球形铰链的球形体与球形槽紧密配合，两者间的摩擦力可以保持在没有外力的情况下球形铰链不会自主转动，因此，在平台板转动到位后，可以保持住角度，将样品调整至达到最好的观测效果。

Description

可调节式制样平台

技术领域

本实用新型芯片失效分析领域，尤其涉及一种可调节式制样平台。

背景技术

在IC芯片(Integrated Circuit Chip)失效分析领域，会经常使用到显微镜设备，显微镜成像时，需要待测样品与镜头保持水平，一些使用后或者载板的样品，在观测时，IC不能达到很好的水平位置，这样在镜头对焦后，会一部分有比较清晰的成像，一部分又比较模糊，对测试结果有比较大的影响。通常显微镜镜头和载物平台都是没有办法进行水平角度的调节，所以对于此类样品无法达到很好的观测效果，基于此，故亟待开发一种可调节式的制样平台，改善目前传统的制样方式。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型提供一种可调节式制样平台，该平台可以根据测试需求，调节平台角度，使样品处于一个比较好的观测状态。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种可调节式制样平台，其包括底座以及供放置样品的平台板，所述平台板通过球形铰链角度可调地安装于所述底座上。

作为本实用新型进一步的方案，所述球形铰链包括具有球形槽的球铰支座以及转动配合于所述球形槽内的球形体，所述球形体顶部露出所述球形槽并连接有支撑杆。

作为本实用新型进一步的方案，所述支撑杆的顶部垂直固定有支撑板，所述平台板可拆卸安装于所述支撑板上。

作为本实用新型进一步的方案，所述平台板粘贴在所述支撑板上。

作为本实用新型进一步的方案，所述底座为磁吸底座，所述球铰支座采用磁性金属制作。

作为本实用新型进一步的方案，所述磁性底座由磁吸开关控制磁性大小。

作为本实用新型进一步的方案，所述球铰支座包括紧固件连接的至少两个分块，至少两个分块相互拼接形成是球形槽。

作为本实用新型进一步的方案，所述支撑杆沿所述球形体的径向延伸。

作为本实用新型进一步的方案，所述球形槽的开口朝上。

本实用新型采用了以上技术方案，使其具有以下有益效果：

整个平台组装完成后，将待测样品固定在顶层平台板上，如果样品不能保持水平，可以通过外力转动球形铰链调节上方平台板的水平角度，球形铰链的球形体与球形槽紧密配合，两者间的摩擦力可以保持在没有外力的情况下球形铰链不会自主转动，因此，在平台板转动到位后，可以保持住角度，将样品调整至达到最好的观测效果。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例的可调节式制样平台的正视图。

图2为本实用新型实施例的可调节式制样平台的俯视图。

图3为本实用新型实施例的球形铰链的分解示意图。

附图中标记对应关系如下：

1-平台板；2-支撑板；3-支撑杆；41-球铰支座；42-球形槽；43-球形体；44-分块；5-磁吸底座；6-磁吸开关；7-紧固件。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在IC失效分析领域，会经常使用到显微镜设备，显微镜成像时，需要待测样品与镜头保持水平。由于平时测试中样品的多样性，一些样品制样后，IC不能保持水平位置，导致影响到观测效果。

为解决上述问题，本实用新型将提供一种可进行水平角度调节的可调节式制样平台，该平台通过简易、稳定的链接结构，使样品能进行任意水平角度的调节，使得面对一些异型样品时，也能得到很好的观测效果。

下面根据本实用新型的整体结构，对其实施例进行说明。

参阅图1～3所示，本实用新型实施例的一种可调节式制样平台，包括底座以及供放置样品的平台板1，该平台板1通过一个球形铰链水平角度可调地安装于底座上。其中，该球形铰链4进一步包括具有球形槽42的球铰支座41以及转动配合于该球形槽42内的球形体43，球形体43顶部露出球形槽42并连接有支撑杆3。球形铰链4呈长方体形状，可以由至少两个分块44拼接而成，多个分块44相互拼接的中心处共同围设形成一个球形形状的球形槽42，该球形槽42顶部开口且位于长方体球铰支座41的顶面，球形槽42与球形体43紧密配合，在外力作用下可相对转动，在没有外力作用下，可通过两者间的摩擦力保持角度不变。进一步的，构成球铰支座41的若干分块44之间可以采用螺丝或螺钉等紧固件7连接固定，在各分块44的拼接面上配合开设螺纹孔来连接螺丝或螺钉。

球形体43的顶部约1/5的部分露出球形槽42，支撑杆3的下端固定在球形体43的顶部，该支撑杆3沿球形体43的径向向上延伸，在支撑杆3的顶部垂直固定有一个支撑板2，平台板1可拆卸安装于该支撑板2上，优选的，平台板1可采用双面胶粘贴固定在支撑板2上，可以方便更换平台板1。

进一步的，底座为磁吸底座5，球铰支座41采用磁性金属制作，因此，球铰支座41可以在磁吸底座磁化时被牢牢地吸附在磁性底座5上，而在磁性底座5解除磁化的状态下，方便从磁性底座5上取下，实现样品平台的可移动。磁性底座上设置有用于控制磁性大小(即产生磁化或解除磁化)的磁吸开关。

磁性底座5里面是一个圆柱体，在其中间放置一条条形的永久磁铁或恒磁磁铁，外面底座位置是一块软磁材料。软磁材料是指在较弱的磁场下，易磁化也易退磁的一种铁氧体材料。

通过转动磁吸开关，来转动磁性底座5里面的磁铁。当磁铁的两极(N或S)呈上下方向时，也就是磁铁的N或S极正对软磁材料底座时，就被磁化了，这个方向上具有强磁，所以能够用于吸住钢铁表面(即球铰支座)。而当磁铁的两极处于水平方向时，及NS的正中间正对软磁材料底座时(长条形磁铁的正中间只有极小的磁性，可以不记)不会被磁化，所以此时底座上几乎没有磁力，就可以很容易地从钢铁表面取下来了。

本实用新型的可调节式制样平台组装完成后，将待测样品固定在顶层平台板上，如果样品不能保持水平，可以通过外力转动球形铰链调节上方平台板的水平角度，球形铰链的球形体与球形槽紧密配合，两者间的摩擦力可以保持在没有外力的情况下球形铰链不会自主转动，因此，在平台板转动到位后，可以保持住角度，将样品调整至达到最好的观测效果。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，但本具体实施例仅仅是对本实用新型的解释，其并不是对实用新型的限制，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合，本领域技术人员在阅读完本说明书后可在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下，可以根据需要对实施例做出没有创造性贡献的修改、替换和变型等，但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。

Claims (9)

1.一种可调节式制样平台，其特征在于：包括底座以及供放置样品的平台板，所述平台板通过球形铰链角度可调地安装于所述底座上。

2.如权利要求1所述的可调节式制样平台，其特征在于，所述球形铰链包括具有球形槽的球铰支座以及转动配合于所述球形槽内的球形体，所述球形体顶部露出所述球形槽并连接有支撑杆。

3.如权利要求2所述的可调节式制样平台，其特征在于：所述支撑杆的顶部垂直固定有支撑板，所述平台板可拆卸安装于所述支撑板上。

4.如权利要求3所述的可调节式制样平台，其特征在于：所述平台板粘贴在所述支撑板上。

5.如权利要求2所述的可调节式制样平台，其特征在于：所述底座为磁吸底座，所述球铰支座采用磁性金属制作。

6.如权利要求5所述的可调节式制样平台，其特征在于：所述磁吸底座由磁吸开关控制磁性大小。

7.如权利要求2所述的可调节式制样平台，其特征在于：所述球铰支座包括紧固件连接的至少两个分块，至少两个分块相互拼接形成是球形槽。

8.如权利要求2所述的可调节式制样平台，其特征在于：所述支撑杆沿所述球形体的径向延伸。

9.如权利要求2所述的可调节式制样平台，其特征在于：所述球形槽的开口朝上。