CN220606257U - 真空镀膜设备机柜 - Google Patents

Abstract

本申请实施例提供一种真空镀膜设备机柜，涉及镀膜设备技术领域，便于整理线材，安装方便，不会阻挡镀膜设备的安装和维护。该机柜主要由壳体和侧门版构成，壳体具有容纳腔，用于容纳真空镀膜设备侧门板，设置于壳体两侧，且盖设于开口处，侧门板与壳体相连。本申请实施例提供的机柜可用于保护机柜内设备。

Description

真空镀膜设备机柜

技术领域

本申请涉及镀膜设备技术领域，更具体地，涉及一种真空镀膜设备真空镀膜设备机柜。

背景技术

真空镀膜产品是一种广泛应用于半导体相关工艺领域的必备设备，例如：公开（公布）号： CN307799020S专利，该产品用于热丝薄膜沉积在半导体表面进行镀膜，通常产品交付时线材都是裸露在外的。在该产品的底面和背面均需要通入多种气路和电线以保证产品的运行。伴随着市场对产品的功能要求愈发复杂，相应的气路与电线越来越多，导致产品的热量也逐渐增多，整机的性能要求越来越高，该产品出现故障的可能性也随之增加。基于此，由于线材过多，暴露在外部容易导致线材互相缠绕，不利于设备的检修和维护。

发明内容

本申请的实施例提供一种真空镀膜设备机柜，便于整理线材，安装方便，不会阻挡真空镀膜设备的安装和维护。

为达到上述目的，本申请的实施例采用如下技术方案：

第一方面，本申请实施例提供一种真空镀膜设备机柜，由壳体、装置架、侧门板和门锁组成，真空镀膜设备机柜内部具有容纳腔，用于容纳真空镀膜设备，壳体两相对侧面开设有开口与容纳腔相连通；装置架，设置于容纳腔内，且与壳体相连；装置架用于承载真空镀膜设备；侧门板，设置于壳体两侧，且盖设于开口处，侧门板与壳体相连；侧门板开设有散热口；门锁，设置于侧门板上，门锁用于将侧门板与壳体之间锁紧。

本申请实施例提供的真空镀膜设备机柜，由壳体、装置架、侧门板和门锁组成，真空镀膜设备机柜内部具有容纳腔，用于容纳真空镀膜设备，壳体两相对侧面开设有开口与容纳腔相连通；装置架，设置于容纳腔内，且与壳体相连；装置架用于承载真空镀膜设备；侧门板，设置于壳体两侧，且盖设于开口处，侧门板与壳体相连；侧门板开设有散热口；门锁，设置于侧门板上，门锁用于将侧门板与壳体之间锁紧，这样，具有便于打开功能的侧门板与真空镀膜设备机柜壳体固定装配为一体，安装时只需要将侧门板本体安装在真空镀膜设备机柜的壳体上，安装方便，且布局合理，因此，不会由于在检修设备时需要将真空镀膜设备机柜整体移除或花费更多时间解除侧门板的锁止状态；另外，门锁固定在侧门板上，不会阻挡镀膜设备的安装和维护。

结合第一方面，在第一方面的第一种可选实现方式中，壳体具有第一面板和相对的第二面板，第一面板和第二面板上开设散热口，真空镀膜设备机柜还包括：雨搭，侧门板上设置有多个雨搭与侧门板相连；一个雨搭位于一个散热口正上方。

结合第一方面，在第一方面的第二种可选实现方式中，门锁包括：底座，具有第一安装面a和相对的第二安装面b，第一安装面a位于壳体外侧，第一安装面a上开设有安装槽；安装槽内的两个侧壁开设有滑动槽；

锁把手，底座开设有锁孔，锁把手通过锁孔与底座连接，当锁把手转动后位于第一位置时，将侧门板与壳体设为锁止状态；当锁把手转动后位于第二位置时，壳体与侧门板处于解锁状态；滑块，滑块置于安装槽内，且滑块与滑动槽形成滑动连接，用于受力时推动锁把手，从而将滑块与锁把手形成插接；弹簧，弹簧用于滑块受力时将锁把手与滑块形成的插接状态更改为弹起状态。

结合第一方面或第一方面的第二种中任一种可选的实现方式，在第一方面的第三种可选实现方式中，门锁还包括：锁扣，锁扣位于第二平面通过锁孔与锁把手相连接，锁扣随锁把手旋转，用于锁止侧门板与壳体的侧面。

结合第一方面的实现方式，在第一方面的第四种可选实现方式中，装置架包括：竖直脚架，位于容纳腔内，为装置架底部，与壳体的底部垂直相连；横向置物架，为装置架顶部，与脚架垂直连接，用于承托真空镀膜设备，多个垫片，垫片与置物架顶部连接，用于将真空镀膜设备于装置架相连。

结合第一方面或第一方面的第二种中任一种可选的实现方式，在第一方

面的第五种可选实现方式中，还包括：螺栓组件，底座与侧门板通过螺栓组件连接。

结合第一方面或第一方面的第一种中任一种可选的实现方式，在第一方面的第六种可选实现方式中，壳体还包括：透明视板，透明视板嵌设于视窗中。

结合第一方面或第一方面的第一种至第六种中任一种可选的实现方式，壳体底壁上还开设有线材通过口，用于供真空镀膜设备机柜的管线穿过。

附图说明

图1为本申请实施例提供的真空镀膜设备机柜45°立体结构示意图；

图2为本申请实施例提供的真空镀膜设备机柜的内部立体结构示意图；

图3为本申请实施例提供的真空镀膜设备机柜的侧门板的结构示意图；

图4为本申请实施例提供的真空镀膜设备机柜的门锁的结构示意图；

图5为本申请实施例提供的真空镀膜设备机柜的门锁的俯视结构示意图；

图6为本申请实施例提供的真空镀膜设备机柜的门锁与侧门板连接结构示意图；

图7为本申请实施例提供的真空镀膜设备机柜的门锁的旋转结构示意图；

附图标记：

100-真空镀膜设备机柜；101-壳体；102-侧门板；103-装置架；104-门锁；105-雨搭；106-螺栓组件；1011-透明视板；1012-线材通过口；1013-散热口；1031-竖直脚架；1032-横向置物架；1041-底座；1042-锁把手；1043-滑块；1044弹簧；1045-锁扣；1046滑动槽。

具体实施方式

第一方面，参照图1和图3，本申请实施例提供一种真空镀膜设备机柜100，由101壳体和至少1个侧门板102围成，本实用新型以侧门板102数量为两个进行举例说明，如图1所示，该真空镀膜设备机柜100的侧门板102为左右两侧各一个。真空镀膜设备机柜100内部用于设置真空镀膜设备，侧门板102朝向壳体101内部的一侧为内侧面，侧门板102的内侧面固定有1045锁扣1045（参照图4）。这样，具有锁止功能的门锁104与侧门板102固定装配为一体（门锁104安装在侧门板102的边部即可，如图3所示），安装时只需要将侧门板102安装在壳体101上，安装方便，门锁104可以布置在侧门板102边部对应真空镀膜设备机柜100内部的任意位置，因此，不会产生因内部设备型号不同而打开侧门板102检修不方便的问题；另外，门锁104固定在真空镀膜设备机柜侧门板102上，在检修真空镀膜设备时，可以通过门锁104打开，而后卸下侧门板102进行维护，不会阻挡真空镀膜设备的安装和维护。

锁扣1045和门锁104连接在侧门板102的内侧面。同时，锁扣1045会随着锁把手1042的转动方向而转动，示例性的，参考图7，锁把手1042逆时针旋转90°，锁扣1045伴随着锁把手1042同步旋转90°。在一种实施方式中，锁把手1042处于第一位置时，其中，第一位置为垂直于侧面板102底部，锁扣1045位置为平行于侧面板102底部，可以理解的是，锁扣1045的长度可以延伸至壳体101，以锁止侧门板102与壳体101。

具体的，当真空镀膜设备机柜100内设有真空镀膜设备在运行时，镀膜设备是易因发热过大导致故障的，因此，散热口1013置在壳体101和侧门板102的底部靠近镀膜设备的位置，以便第一时间降低真空镀膜设备处于运行时产生的热量。在实际应用中，避免特殊意外情况，如恶劣天气下设备真空镀膜设备机柜所处于的现实空间环境存在漏雨、渗水等情况，因此可以参考图1，配置雨搭105于侧门板102外侧，可以理解的是，可以根据壳体101和侧门板102上散热口1013的位置，可以自由配置壳体101和侧门板102上雨搭105的位置，雨搭105用于防止散热口进水以避免置于壳体101中的镀膜设备损坏。

散热口1013可以是一个或多个，多个散热口1013更适配大功率、发热高的镀膜设备，可以按照实际需要进行配置。可选的，壳体101底壁上还开设有线材通过口1012，用于供所述真空镀膜设备机柜的管线穿过，使得容纳腔内部空间更加充足，加强了设备的散热，同时内部更加整洁和美观，利于线路排查。

进一步的，侧门板102上安装有门锁104，门锁104结构参照图4所示，门锁104由底座1041、锁把手1042、滑块1043和弹簧1044组成，具体地，底座1041具有第一安装面a和相对的第二安装面b，第一安装面a位于外侧，即与侧门板102外侧同向，第一安装面a上开设有安装槽，用于安装锁把手1042、滑块1043和弹簧1044，第二安装面b用于安装锁扣1045。安装槽内配置有滑动槽1046，滑动槽1046用于连接底座1041与滑块1043，可以理解的是，滑块1043可以在受力时沿着滑动槽1046方向移动，弹簧1044与滑块1043连接，用于在一种实现方式下，将一个与弹簧1044弹力相对的力作用于滑块1043，弹簧1044可以将滑块1043沿滑动槽1046方向移动，滑块1043将锁把手1042从第一位置推动至可持握的位置，当锁把手1042处于可持握位置时，用户可以对其进行旋转操作，进行旋转时锁把手1042带动锁扣1045以将壳体101于侧门板102置于解锁状态。一般的，锁扣1045于锁把手1042之间可以通过螺旋结构进行连接，需要说明的是，第一位置参考如图5，为滑块完全静止不受力时，锁把手在安装槽内所处于的自然位置，滑块受力时，锁把手被推起时可以进行旋转的位置可以为可持握的位置。在某一个实施例中，第二位置可以参考如图7中锁把手1042顺时针旋转90°位置，当锁把手处于第二位置时，侧门板与壳体侧面处于解锁状态，第二位置为锁扣1045与壳体101侧面解除接触的任意位置。还需要说明的是，如图6所示，门锁104的底座104与侧门板102之间使用螺栓组件106进行连接，使门锁104可以稳定固定在侧门板102之上，同时使用螺栓组件106进行门锁104的底座1041与侧门板102易于拆卸和方便更换锁具。

装置架103用于在壳体101内部与镀膜设备连接，参照图2，装置架103可以由竖直脚架1031和横向置物架1032组成，竖直脚架1031置于壳体101底部内侧，用于维持置物架的稳定，本实用新型以竖直脚架1031为四脚架进行举例说明，竖直脚架1031还可以是三脚架或其他结构，可以根据镀膜设备的重量和外观，进行选择对应合适的竖直脚架1031；横向置物架1032配置于装置架103的顶部，与所述脚架垂直连接，用于承托真空镀膜设备；多个垫片，垫片与置物架顶部连接，用于将真空镀膜设备与所述装置架103相连，垫片可以用于缓解真空镀膜设备的压力，以防止横向置物架1032变形，保持装置架103整体的稳定性，同时可以增加真空镀膜设备与横向置物架1032中的摩擦力，减少设备运行时可能产生的微小位移，使其运行时的稳定性增加。如图1所示，透明视板1011内嵌设于视窗之中，可以便于操作人员实时观察设备运行情况，以便于调整和即时对设备进行维修。

在本说明书的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本申请的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本申请进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例技术方案的范围。

Claims (8)

1.一种真空镀膜设备机柜，其特征在于，包括：壳体，所述壳体具有容纳腔，用于容纳所述真空镀膜设备，所述壳体两相对侧面开设有开口与所述容纳腔相连通；装置架，设置于所述容纳腔内，且与所述壳体相连；所述装置架用于承载所述真空镀膜设备；侧门板，设置于所述壳体两侧，且盖设于所述开口处，所述侧门板与所述壳体相连；所述侧门板开设有散热口；门锁，设置于所述侧门板上，所述门锁用于将所述侧门板与所述壳体之间锁紧。

2.根据权利要求 1所述的真空镀膜设备机柜，其特征在于，所述壳体具有第一面板和相对的第二面板，所述第一面板和第二面板上开设散热口，所述机柜还包括：雨搭，所述侧门板上设置有多个雨搭与所述侧门板相连；一个所述雨搭位于一个所述散热口正上方。

3.根据权利要求 1所述的真空镀膜设备机柜，其特征在于，所述门锁包括：底座，具有第一安装面 a和相对的第二安装面 b，所述第一安装面 a位于所述壳体外侧，所述第一安装面 a上开设有安装槽；所述安装槽内的两个侧壁开设有滑动槽；锁把手，所述底座开设有锁孔，所述锁把手通过所述锁孔与所述底座连接，当所述锁把手转动后位于第一位置时，将所述侧门板与所述壳体设为锁止状态；当锁把手转动后位于第二位置时，所述壳体与所述侧门板处于解锁状态；滑块，所述滑块置于所述安装槽内，且所述滑块与所述滑动槽形成滑动连接，用于受力时推动锁把手，从而将所述滑块与所述锁把手形成插接；弹簧，所述弹簧用于所述滑块受力时将所述锁把手与滑块形成的插接状态更改为弹起状态。

4.根据权利要求 3所述的真空镀膜设备机柜，其特征在于，所述门锁还包括：锁扣，所述锁扣位于所述第二安装面 b通过所述锁孔与所述锁把手相连接，所述锁扣随所述锁把手旋转，用于锁止所述侧门板与所述壳体的侧面。

5.根据权利要求 1所述的真空镀膜设备机柜，其特征在于，所述装置架包括：竖直脚架，位于所述容纳腔内，为所述装置架底部，与所述壳体的底部垂直相连；横向置物架，为所述装置架顶部，与所述脚架垂直连接，用于承托所述真空镀膜设备；多个垫片，所述垫片与置物架顶部连接，用于将所述真空镀膜设备与所述装置架相连。

6.根据权利要求 3所述的真空镀膜设备机柜，其特征在于，还包括：螺栓组件，所述底座与所述侧门板通过所述螺栓组件连接。

7.根据权利要求 2所述的真空镀膜设备机柜，其特征在于，所述壳体的第一面板上开设有视窗，所述壳体还包括：透明视板，所述透明视板嵌设于所述视窗中。

8.根据权利要求 1~7任一项所述的真空镀膜设备机柜，其特征在于，所述壳体底壁上还开设有线材通过口，用于供所述真空镀膜设备机柜的管线穿过。