CN220604658U - 一种干法刻蚀设备的承载盘系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种干法刻蚀设备的承载盘系统，包括固定壳，所述固定壳的两侧均开设有散热口，且固定壳的内壁固定连接有隔板，所述固定壳的内底壁固定安装有电动推杆，且电动推杆的伸缩杆顶端固定连接有移动板；所述移动板的底部固定连接有限位柱。该干法刻蚀设备的承载盘系统，通过移动板、散热口和挡板等结构的设置，通过加热管对固定壳内部空间加热，需要快速降温时，将电动推杆带动移动板向上移动，使得阻拦加热气体流向圆晶片的底部，并通过挡板的移动将散热口打开进行散热，从而方便进行快速降温，且方便调温使用，不需要进行冷热流体的使用，结构简单并满足使用需求，从而提高干法刻蚀设备的承载盘系统的实用性。
Description
技术领域
本实用新型涉及干刻蚀卡盘技术领域，具体为一种干法刻蚀设备的承载盘系统。
背景技术
等离子刻蚀机，是干法刻蚀中最常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面，在进行刻蚀设备的使用时，需要将圆晶片放置在承载盘(卡盘)上进行刻蚀操作。
但现有的承载盘在使用时还存在一些缺陷，在将圆晶片放置在承载盘上进行刻蚀时，需要将承载盘内部进行温度的控制，从而保证圆晶片底部受热均匀，避免影响刻蚀加工效果，且现有的承载盘内部温度调节操作需要冷热两种流体进行调温使用，降温时需要供液泵抽取冷却液，进而导致温度调节较为不便，如中国专利公开的专利公开号为CN217719548U的一种刻蚀机的静电卡盘装置，进而需要提出一种一种干法刻蚀设备的承载盘系统。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种干法刻蚀设备的承载盘系统，以解决上述背景技术中提出的承载盘调温不便的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种干法刻蚀设备的承载盘系统，包括固定壳，所述固定壳的两侧均开设有散热口，且固定壳的内壁固定连接有隔板，所述固定壳的内底壁固定安装有电动推杆，且电动推杆的伸缩杆顶端固定连接有移动板；
所述移动板的底部固定连接有限位柱，且移动板的外壁固定连接有连接块，所述固定壳的内壁固定安装有通气格板，且通气格板的内部移动连接有移动柱，所述移动柱的顶端固定安装有挡板。
优选的，所述固定壳的顶部开设有放置槽，且放置槽的内部开设有贯穿口，所述放置槽的内部放置有圆晶片，所述固定壳的顶部两侧均开设有出气孔，且圆晶片通过放置槽放置在固定壳的顶部。
优选的，所述固定壳的两侧均固定安装有固定盒，且固定盒的一侧固定安装有吹风扇，所述固定盒的内部固定连接有加热管，且固定壳对应固定盒的内侧开设有进风口。
优选的，所述隔板垂直设置在通气格板的底部，所述固定壳的顶部内侧壁固定安装有温度传感器，所述固定盒水平设置在通气格板和隔板之间。
优选的，所述电动推杆的伸缩杆移动设置在隔板的内部，所述限位柱移动设置在隔板的内部，且限位柱对称设置在移动板的顶部，所述移动板的顶部设置有密封垫。
优选的，所述连接块对称安装在移动板的外壁，且连接块挤压设置在移动柱的底端，所述挡板通过移动柱移动设置在通气格板的顶部。
优选的，所述挡板移动设置在散热口的一侧，所述通气格板的内部有弧形格孔，且移动板挤压设置在通气格板的底部，所述移动板的整体直径大于弧形格孔的整体直径。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该干法刻蚀设备的承载盘系统；
1.通过移动板、散热口和挡板等结构的设置，通过加热管对固定壳内部空间加热，需要快速降温时，将电动推杆带动移动板向上移动，使得阻拦加热气体流向圆晶片的底部，并通过挡板的移动将散热口打开进行散热，从而方便进行快速降温，且方便调温使用，不需要进行冷热流体的使用，结构简单并满足使用需求，从而提高干法刻蚀设备的承载盘系统的实用性；
2.通过温度传感器对圆晶片底部空间的温度进行检测，需要加热时，通过加热管加热固定盒内部气体，然后通过吹风扇吹风将热量从通气格板内部经过进入固定壳的顶部空间，且将固定壳上层的多余空气从出气孔排出，从而方便对圆晶片进行均为加热使用，且加热空气时通过挡板阻拦散热口将热空气在圆晶片底部暂留，从而方便快速加热空气至需要温度，使得保证圆晶片的干法刻蚀效果，且提高干法刻蚀设备的承载盘系统的使用价值。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图；
图2为本实用新型固定壳的内部结构示意图；
图3为本实用新型加热管的位置结构示意图；
图4为本实用新型移动板和限位柱的连接结构示意图。
图中：1、固定壳；2、放置槽；3、圆晶片；4、出气孔；5、散热口；6、固定盒；7、吹风扇；8、加热管；9、隔板；10、电动推杆；11、移动板；12、限位柱；13、连接块；14、移动柱；15、挡板；16、通气格板；17、温度传感器。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
实例一：
请参阅图2-4，本实用新型提供一种技术方案：一种干法刻蚀设备的承载盘系统，包括固定壳1，固定壳1的两侧均开设有散热口5，且固定壳1的内壁固定连接有隔板9，固定壳1的内底壁固定安装有电动推杆10，且电动推杆10的伸缩杆顶端固定连接有移动板11，隔板9垂直设置在通气格板16的底部，固定壳1的顶部内侧壁固定安装有温度传感器17，固定盒6水平设置在通气格板16和隔板9之间；
移动板11的底部固定连接有限位柱12，电动推杆10的伸缩杆移动设置在隔板9的内部，限位柱12移动设置在隔板9的内部，且限位柱12对称设置在移动板11的顶部，移动板11的顶部设置有密封垫，且移动板11的外壁固定连接有连接块13，固定壳1的内壁固定安装有通气格板16，且通气格板16的内部移动连接有移动柱14；
移动柱14的顶端固定安装有挡板15，连接块13对称安装在移动板11的外壁，且连接块13挤压设置在移动柱14的底端，挡板15通过移动柱14移动设置在通气格板16的顶部，挡板15移动设置在散热口5的一侧，通气格板16的内部有弧形格孔，且移动板11挤压设置在通气格板16的底部，移动板11的整体直径大于弧形格孔的整体直径；
通过加热管8对固定壳1内部空间加热，需要快速降温时，将电动推杆10带动移动板11向上移动，使得阻拦加热气体流向圆晶片3的底部，并通过挡板15的移动将散热口5打开进行散热，从而方便进行快速降温，且方便调温使用，不需要进行冷热流体的使用，结构简单并满足使用需求，从而提高干法刻蚀设备的承载盘系统的实用性；
密封垫的设置方便增加移动板11与通气格板16之间的密封，进而在移动板11挤压在通气格板16的底部后，将通气格板16的弧形格孔进行密封，使得快速阻断热量的流动，同时移动柱14在通气格板16内部移动方便将挡板15限制垂直移动，从而方便挡板15的使用，且连接块13下移后，挡板15通过重力带动移动柱14向下移动复位；
实例二：
在实例一的基础上，为方便承载盘内部的快速加热使用，所以请参阅图1-3，固定壳1的顶部开设有放置槽2，且放置槽2的内部开设有贯穿口，放置槽2的内部放置有圆晶片3，固定壳1的顶部两侧均开设有出气孔4，且圆晶片3通过放置槽2放置在固定壳1的顶部，固定壳1的两侧均固定安装有固定盒6，且固定盒6的一侧固定安装有吹风扇7，固定盒6的内部固定连接有加热管8，且固定壳1对应固定盒6的内侧开设有进风口；
需要加热时，通过加热管8加热固定盒6内部气体，然后通过吹风扇7吹风将热量从通气格板16内部经过进入固定壳1的顶部空间，且将固定壳1上层的多余空气从出气孔4排出，从而方便对圆晶片3进行均为加热使用，且加热空气时通过挡板15阻拦散热口5将热空气在圆晶片3底部暂留，从而方便快速加热空气至需要温度，使得保证圆晶片3的干法刻蚀效果，且提高干法刻蚀设备的承载盘系统的使用价值；
出气孔4的设置方便在加热管8使用对固定壳1内部加热时，方便将显示流动的空气进行流通使用，使得圆晶片3底部可进行均匀加热使用，且吹风扇7的设置方便将热空气快速流动，方便均匀固定壳1的上层空气，温度传感器17的设置方便对圆晶片3底部的温度进行监测，进而方便随着调温操作。
工作原理：在使用该干法刻蚀设备的承载盘系统时，将圆晶片3放置在放置槽2的内侧，然后通过加热管8的使用将固定盒6内部空气加热，接着通过吹风扇7将固定盒6内部的热量向固定壳1内部吹动，且将热空气通过通气格板16的格孔向上进入固定壳1的上层空间，接着将圆晶片3的底部进行均为加热，且通过温度传感器17进行圆晶片3底部空气的温度检测；
在需要快速降温时，通过电动推杆10将移动板11向上推动，进而将限位柱12在隔板9内部移动，接着将移动板11挤压在通气格板16的格孔底部，从而将热量进行阻拦，同时连接块13将移动柱14向上挤压，进而将挡板15向上移动将散热口5打开，从而方便将上层热量快速消散，使得方便快速调节温度。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (7)
1.一种干法刻蚀设备的承载盘系统，包括固定壳(1)，其特征在于：所述固定壳(1)的两侧均开设有散热口(5)，且固定壳(1)的内壁固定连接有隔板(9)，所述固定壳(1)的内底壁固定安装有电动推杆(10)，且电动推杆(10)的伸缩杆顶端固定连接有移动板(11)；
所述移动板(11)的底部固定连接有限位柱(12)，且移动板(11)的外壁固定连接有连接块(13)，所述固定壳(1)的内壁固定安装有通气格板(16)，且通气格板(16)的内部移动连接有移动柱(14)，所述移动柱(14)的顶端固定安装有挡板(15)。
2.根据权利要求1所述的一种干法刻蚀设备的承载盘系统，其特征在于，所述固定壳(1)的顶部开设有放置槽(2)，且放置槽(2)的内部开设有贯穿口，所述放置槽(2)的内部放置有圆晶片(3)，所述固定壳(1)的顶部两侧均开设有出气孔(4)，且圆晶片(3)通过放置槽(2)放置在固定壳(1)的顶部。
3.根据权利要求1所述的一种干法刻蚀设备的承载盘系统，其特征在于，所述固定壳(1)的两侧均固定安装有固定盒(6)，且固定盒(6)的一侧固定安装有吹风扇(7)，所述固定盒(6)的内部固定连接有加热管(8)，且固定壳(1)对应固定盒(6)的内侧开设有进风口。
4.根据权利要求3所述的一种干法刻蚀设备的承载盘系统，其特征在于，所述隔板(9)垂直设置在通气格板(16)的底部，所述固定壳(1)的顶部内侧壁固定安装有温度传感器(17)，所述固定盒(6)水平设置在通气格板(16)和隔板(9)之间。
5.根据权利要求1所述的一种干法刻蚀设备的承载盘系统，其特征在于，所述电动推杆(10)的伸缩杆移动设置在隔板(9)的内部，所述限位柱(12)移动设置在隔板(9)的内部，且限位柱(12)对称设置在移动板(11)的顶部，所述移动板(11)的顶部设置有密封垫。
6.根据权利要求1所述的一种干法刻蚀设备的承载盘系统，其特征在于，所述连接块(13)对称安装在移动板(11)的外壁，且连接块(13)挤压设置在移动柱(14)的底端，所述挡板(15)通过移动柱(14)移动设置在通气格板(16)的顶部。
7.根据权利要求1所述的一种干法刻蚀设备的承载盘系统，其特征在于，所述挡板(15)移动设置在散热口(5)的一侧，所述通气格板(16)的内部有弧形格孔，且移动板(11)挤压设置在通气格板(16)的底部，所述移动板(11)的整体直径大于弧形格孔的整体直径。
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