CN220604630U - 耐高温立式石英舟 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了耐高温立式石英舟，包括有左支撑板、右支撑板，左支撑板和右支撑板之间设有若干连接杆和若干支撑杆，所述支撑杆分为有至少一根底支撑杆和至少两根侧支撑杆，侧支撑杆的高度高于底支撑杆的高度，侧支撑杆分别位于底支撑杆的两侧，侧支撑杆和底支撑杆围成放置槽，所述连接杆分别位于放置槽的两侧以及放置槽的下方。本实用新型的耐高温立式石英舟，结构强度高，可以拆卸更换破损部件，能够在长期高温负重条件下减少变形，太高了使用寿命，能够适应不同规格硅片产品生产使用，能够对其中的硅片等形成良好的保护。
Description
技术领域
本实用新型属于石英舟技术领域，具体涉及耐高温立式石英舟。
背景技术
立式石英舟主要用作硅片的容器，可以方便硅片的存储、搬运、退火等操作。石英舟由石英玻璃制成，可以承受硅片退火过程中的高温。现有的立式石英舟结构简单，一般包括三根支撑杆以及位于支撑杆两端的两块侧板。现有的立式石英舟存在容易磕碰损坏的问题，使用寿面短。加上支撑杆与侧板一体连接，一旦部分损坏，就要更换整个石英舟，导致生产实业需要消耗大量的石英舟，推搞了生产成本。同时，现有的石英舟只能放置一种规格的硅片。
实用新型内容
为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：耐高温立式石英舟，包括有左支撑板、右支撑板，左支撑板和右支撑板之间设有若干连接杆和若干支撑杆，所述支撑杆分为有至少一根底支撑杆和至少两根侧支撑杆，侧支撑杆的高度高于底支撑杆的高度，侧支撑杆分别位于底支撑杆的两侧，侧支撑杆和底支撑杆围成放置槽，所述连接杆分别位于放置槽的两侧以及放置槽的下方。
作为上述技术方案的优选，所述侧支撑杆上和底支撑杆上分别设有刻槽，侧支撑杆上的刻槽与底支撑杆上的刻槽相对应。
作为上述技术方案的优选，所述左支撑板上和右支撑板上分别设有供侧支撑杆或者底支撑杆插入的插孔。
作为上述技术方案的优选，所述支撑杆分为有一根底支撑杆和两根侧支撑杆。
作为上述技术方案的优选，每根所述支撑杆对应一组插孔组，一组插孔组中包括有若干个朝左支撑板中部依次排列的插孔，支撑杆的一端插入对应插孔组中的其中一个插孔中。
作为上述技术方案的优选，所述支撑杆的端部设有卡槽，支撑杆插入插孔中后左支撑板或者右支撑板卡入卡槽中。
作为上述技术方案的优选，所述左支撑板的两侧边上、左支撑板的底边上、右支撑板的两侧边上、右支撑板的底边上分别设有若干槽口，槽口内宽外窄设置，所述连接杆的横截面形状与槽口的形状相匹配。
作为上述技术方案的优选，所述左支撑板的中部、右支撑板的中部分别设有减重孔。
作为上述技术方案的优选，所述左支撑板的上边、右支撑板的上边分别设有若干定位凸起，所述左支撑板的下边、右支撑板的下边分别设有若干定位槽，定位槽与定位凸起相对应，定位槽的直径大于定位凸起的直径。
本实用新型的有益效果是：本实用新型的耐高温立式石英舟，结构强度高，可以拆卸更换破损部件，能够在长期高温负重条件下减少变形，太高了使用寿命，能够适应不同规格硅片产品生产使用，能够对其中的硅片等形成良好的保护。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图；
图2是左支撑板或者右支撑板的截面结构示意图；
图3是卡槽的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
如图1-3所示，耐高温立式石英舟，包括有左支撑板1、右支撑板2，左支撑板1和右支撑板2之间设有若干连接杆3和若干支撑杆，所述支撑杆分为有至少一根底支撑杆4和至少两根侧支撑杆5，侧支撑杆5的高度高于底支撑杆4的高度，侧支撑杆5分别位于底支撑杆4的两侧，侧支撑杆5和底支撑杆4围成放置槽，所述连接杆3分别位于放置槽的两侧以及放置槽的下方。利用连接杆3提高石英舟的结构强度，同时对石英舟内的硅片形成保护。左支撑板1、右支撑板2、连接杆3和支撑杆均有石英制成，保证其能够承受高温。连接杆3减少了石英舟长时间高温负重使用后的形变，提高了石英舟的使用寿命。
进一步的，所述侧支撑杆5上和底支撑杆4上分别设有刻槽6，侧支撑杆5上的刻槽6与底支撑杆4上的刻槽6相对应。每个刻槽6供一个硅片的边沿卡入。刻槽6也可以替换成凸棱，相邻凸棱之间形成供一个硅片的边沿放入的夹槽。
进一步的，所述左支撑板1上和右支撑板2上分别设有供侧支撑杆5或者底支撑杆4卡入的插孔7。
进一步的，所述支撑杆分为有一根底支撑杆4和两根侧支撑杆5。底支撑杆4制成硅片的底部，两根侧支撑杆5在两侧对硅片形成夹持作用。两根侧支撑杆5的高度略低于硅片圆心的高度，方便硅片的取放。
进一步的，每根所述支撑杆对应一组插孔7组，一组插孔7组中包括有若干个朝左支撑板1中部依次排列的插孔7，支撑杆的一端插入对应插孔7组中的其中一个插孔7中。当硅片规格发生改变时，可以选择更靠近内部的插孔7来安装支撑杆，使得石英舟可以适应不同规格硅片的生产加工过程使用需要。
进一步的，所述支撑杆的端部设有卡槽8，支撑杆插入插孔7中后左支撑板1或者右支撑板2卡入卡槽8中。支撑杆的端部插入到插孔7中后，下压支撑杆，使得左支撑板1或者右支撑板2卡入卡槽8中，这样支撑杆与左支撑板1、右支撑板2之间可以连接成整体。需要更换石英舟中的任何破损的部件时，可以将支撑杆往上轻敲，使得左支撑板1、右支撑板2退出卡槽8，再将支撑杆拔出即可。
进一步的，所述左支撑板1的两侧边上、左支撑板1的底边上、右支撑板2的两侧边上、右支撑板2的底边上分别设有若干槽口9，槽口9内宽外窄设置，所述连接杆3的横截面形状与槽口9的形状相匹配。连接杆3提高了石英舟的整体结构强度，同时也方便石英舟的拆解。支撑杆上卡槽8与左支撑板1、右支撑板2上插孔7的配合，使得石英舟在长度方向上能够保持稳定，而内宽外窄的槽口9与连接杆3的配合，使得石英舟在高度及宽度方向上保持稳定。
进一步的，所述左支撑板1的中部、右支撑板2的中部分别设有减重孔10。减重孔10可以降低左支撑板1、右支撑板2的材料使用量，使得石英舟整体重量降低。
进一步的，所述左支撑板1的上边、右支撑板2的上边分别设有若干定位凸起11，所述左支撑板1的下边、右支撑板2的下边分别设有若干定位槽12，定位槽12与定位凸起11相对应，定位槽12的直径大于定位凸起11的直径。这样当需要将石英舟堆叠起来时，下一个石英舟上的定位凸起11卡入上一个石英舟上的定位槽12中，上下石英舟之间不易发生窜动，使得光滑的石英舟能够稳定堆放，提高了堆叠过程中稳定性。
值得一提的是，本实用新型专利申请涉及的石英材料等技术特征应被视为现有技术，这些技术特征的具体结构、工作原理以及可能涉及到的控制方式、空间布置方式采用本领域的常规选择即可，不应被视为本实用新型专利的发明点所在，本实用新型专利不做进一步具体展开详述。
以上详细描述了本实用新型的较佳具体实施例，应当理解，本领域的普通技术人员无需创造性劳动就可以根据本实用新型的构思做出诸多修改和变化，因此，凡本技术领域中技术人员依本实用新型的构思在现有技术的基础上通过逻辑分析、推理或者有限的实验可以得到的技术方案，皆应在由权利要求书所确定的保护范围内。
Claims (9)
1.耐高温立式石英舟，其特征在于，包括有左支撑板、右支撑板，左支撑板和右支撑板之间设有若干连接杆和若干支撑杆，所述支撑杆分为有至少一根底支撑杆和至少两根侧支撑杆，侧支撑杆的高度高于底支撑杆的高度，侧支撑杆分别位于底支撑杆的两侧，侧支撑杆和底支撑杆围成放置槽，所述连接杆分别位于放置槽的两侧以及放置槽的下方。
2.如权利要求1所述的耐高温立式石英舟，其特征在于，所述侧支撑杆上和底支撑杆上分别设有刻槽，侧支撑杆上的刻槽与底支撑杆上的刻槽相对应。
3.如权利要求2所述的耐高温立式石英舟，其特征在于，所述左支撑板上和右支撑板上分别设有供侧支撑杆或者底支撑杆插入的插孔。
4.如权利要求3所述的耐高温立式石英舟，其特征在于，所述支撑杆分为有一根底支撑杆和两根侧支撑杆。
5.如权利要求4所述的耐高温立式石英舟，其特征在于，每根所述支撑杆对应一组插孔组，一组插孔组中包括有若干个朝左支撑板中部依次排列的插孔，支撑杆的一端插入对应插孔组中的其中一个插孔中。
6.如权利要求5所述的耐高温立式石英舟，其特征在于，所述支撑杆的端部设有卡槽，支撑杆插入插孔中后左支撑板或者右支撑板卡入卡槽中。
7.如权利要求1所述的耐高温立式石英舟，其特征在于，所述左支撑板的两侧边上、左支撑板的底边上、右支撑板的两侧边上、右支撑板的底边上分别设有若干槽口，槽口内宽外窄设置，所述连接杆的横截面形状与槽口的形状相匹配。
8.如权利要求1所述的耐高温立式石英舟，其特征在于，所述左支撑板的中部、右支撑板的中部分别设有减重孔。
9.如权利要求8所述的耐高温立式石英舟，其特征在于，所述左支撑板的上边、右支撑板的上边分别设有若干定位凸起，所述左支撑板的下边、右支撑板的下边分别设有若干定位槽，定位槽与定位凸起相对应，定位槽的直径大于定位凸起的直径。
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