CN220589354U - 用于净化cvd反应釜粉尘的防爆除尘结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型用于净化CVD反应釜粉尘的防爆除尘结构，包括褶式滤筒过滤器，褶式滤筒过滤器对应连接进气管和主出气管道；进气管上设置有定量给料加粉装置；过滤器用做CVD反应釜积尘的容纳仓，定量给料加粉装置用做对应容纳仓喷入超细氢氧化钙粉尘的加料部，加料部对应进行超细氢氧化钙粉尘喷入使CVD反应釜积尘惰化，形成用于净化CVD反应釜粉尘的防爆除尘装备。
Description
技术领域
本实用新型涉及通风除尘技术及通风除尘装备，具体的，是一种用于净化CVD反应釜粉尘的防爆除尘结构。
背景技术
在线CVD法镀膜技术，是在浮法玻璃生产过程中，连续沉积化合物薄膜的CVD工艺技术，在其生产中CVD反应釜会积聚大量的内腔积尘。
在玻璃生产线中CVD反应釜工作一个周期后需要进行人工清理其内腔积尘，在清理过程中会产生大量可燃爆粉尘；现阶段一般通过湿式除尘系统进行收集过滤积尘；存在需要解决问题：
1、传统的湿式除尘系统很难满足环保排放要求且伴有污水废弃物；
2、所处理的粉尘具有自燃和可燃爆性，当该粉尘在过滤器和管道积聚到一定程度时经常发生火灾和爆炸事故，普通的袋式过滤器难以驾驭；
3、火灾或者爆炸事故发生时车间不能进行生产，需要更换整套除尘系统，造成时间及经济巨大损失；
4、如用普通的干式过滤器则会发生不可控的火灾和爆炸事故，此类事故属于安全生产事故。
同时，CVD反应釜腔体内积尘非常细微且具有极强的自燃及可燃爆性，成为安全生产中的一大隐患。为此需要开发一种低成本且高效过滤方案，同时亦能能对除尘系统进行爆炸保护的解决方案显得尤为必要。
因此，有必要提供一种用于净化CVD反应釜粉尘的防爆除尘结构来解决上述问题。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种用于净化CVD反应釜粉尘的防爆除尘结构。
技术方案一如下：
一种用于净化CVD反应釜粉尘的防爆除尘结构，包括褶式滤筒过滤器，褶式滤筒过滤器对应连接进气管和主出气管道；
进气管上设置有定量给料加粉装置；
过滤器用做CVD反应釜积尘的容纳仓，定量给料加粉装置用做对应容纳仓喷入超细氢氧化钙粉尘的加料部，加料部对应进行超细氢氧化钙粉尘喷入使CVD反应釜积尘惰化，形成用于净化CVD反应釜粉尘的防爆除尘装备。
进一步的，褶式滤筒过滤器包括过滤器本体泄爆膜，泄爆膜上设置有泄爆传感器，褶式滤筒过滤器的过滤器料斗上设置有温度变送器A。
进一步的，褶式滤筒过滤器上还设置有压差变送器，进气管上设置有温度变送器B和机械隔爆装置，且褶式滤筒过滤器还对应设置有清灰控制器和PLC中央控制柜。
进一步的，褶式滤筒过滤器包括浸碳工艺防静电处理过的褶式滤筒，褶式滤筒对应设置有静电跨接。
进一步的，褶式滤筒过滤器的料斗安装有锁气卸灰装置，锁气卸灰装置阀体装有防静电跨接。
进一步的，定量给料加粉装置包括60L容量的给料容器，给料容器上端有防护盖板，下端有螺旋送料机构，螺旋送料机构通过齿轮电机进行驱动送料，螺旋送料机构末端连接喷吹风机、喷吹风机把螺旋送料机构运送的定量超细氢氧化钙粉尘通过进气风管道送入容纳仓。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：
1)可以大幅提高净化CVD反应釜积尘的过滤效率，满足苛刻的环保要求；
2)可以有效的杜绝过滤净化CVD反应釜粉尘时发生自燃和粉尘爆炸发生；
3)如果粉尘发生爆炸时可以对其爆炸产生的危害进行有效控制，做到安全泄爆，减少经济损失和避免人员伤害；
4)相比传统的除尘系统如发生火灾或者粉尘爆炸，可减少重新投入；
5)可以把除尘系统不可控的火灾和爆炸进行有效控制，做到隐患消除、危害可控，积极的对生产进行保驾护航，提供一个安全可靠的生产环境。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
实施例：
请参阅图1，本实施例展示一种用于净化CVD反应釜粉尘的防爆除尘结构，包括褶式滤筒过滤器1，褶式滤筒过滤器1对应连接进气管7和主出气管道10；
进气管7上设置有定量给料加粉装置2；
过滤器1用做CVD反应釜积尘的容纳仓，定量给料加粉装置2用做对应容纳仓喷入超细氢氧化钙粉尘的加料部，加料部对应进行喷入超细氢氧化钙粉尘使CVD反应釜积尘惰化，形成用于净化CVD反应釜粉尘的防爆除尘装备。
褶式滤筒过滤器1包括过滤器本体泄爆膜11，泄爆膜11上设置有泄爆传感器12，褶式滤筒过滤器1的过滤器料斗上设置有温度变送器A13。
褶式滤筒过滤器1上还设置有压差变送器14，进气管7上设置有温度变送器B15和机械隔爆装置16，且褶式滤筒过滤器1还对应设置有清灰控制器17和PLC中央控制柜6。
褶式滤筒过滤器1包括浸碳工艺防静电处理过的褶式滤筒8，褶式滤筒8对应设置有静电跨接18。
褶式滤筒过滤器1的料斗安装有锁气卸灰装置3，锁气卸灰装置3阀体装有防静电跨接19。
定量给料加粉装置2包括60L容量的给料容器20，给料容器20上端有防护盖板21，下端有螺旋送料机构22，螺旋送料机构22通过齿轮电机23进行驱动送料，螺旋送料机构22末端连接喷吹风机24、喷吹风机24把螺旋送料机构22运送的定量超细氢氧化钙粉尘通过进气风管道7送入容纳仓。
本实施例的防爆除尘步骤为：
1)含有CVD反应釜积尘的粉尘通过主进气管道7穿过机械式隔爆装置16进入褶式滤筒过滤器1；
1-1)PLC控制柜6通过控制定量给料加粉装置2对喷入超细氢氧化钙粉尘，CVD反应釜积尘和氢氧化钙粉尘按比例混合后在褶式滤筒8的外壁上积聚；
1-2)随着压差变送器14的压差逐渐升高，达到设定清灰值时，清灰控制器17控制脉冲清灰阀9对褶式滤筒8进行脉冲气流清灰；
1-3)灰尘被脉冲气流吹落到过滤器料斗上的锁气卸灰装置3排放到灰桶或者吨袋中；
1-4)含尘气体经过褶式滤筒8过滤后进入风机4和烟囱5高空排放；
2)随着混合粉尘在褶式滤筒外壁8上不断积聚，褶式滤筒8通过静电跨接18把粉尘摩擦产生的静电直接导入大地进行消散；
3)定量给料加粉装置2喷入的超细氢氧化钙粉尘与CVD反应釜积尘进行混合后不能直接判断该混合粉尘已经进行完全惰化，需要锁气卸灰装置3产生的混合粉尘进行可燃爆测试，如果测试混合粉尘仍然具备可燃爆或自燃的能力，需要通过PLC控制柜控制6定量给料加粉装置2喷粉量进行调整，直到混合粉尘失去燃烧或者爆炸的能力；一般先按照5:1的比例进行氢氧化钙粉尘喷入。
步骤3)中，混合惰化粉尘的比例达不到惰化的功能，褶式滤筒过滤器1中的粉尘趋向阴燃或者发生爆炸，温度变送器A13和温度变送器B15探测到温度异常会发出报警信号给PLC控制柜6，PLC控制柜6会及时发出报警信号并对风机5强制停机；如发生爆炸，褶式滤筒过滤器的泄爆传感器12会发出停机信号给风机4和定量给料加粉装置2，机械隔爆装置16会阻隔火焰在管道上逆向传播，锁气卸灰3会隔离火焰向灰桶/吨袋传播，同时泄爆膜11进行泄爆的同时把火焰导向指定的区域。
其中，本实施例具有如下效用：
高效过滤：
褶式滤筒过滤器1使用褶式滤筒进行过滤，褶式滤筒通过褶皱空间开阔和褶深浅设计使其过滤面积是同体积滤袋过滤面积的2-3倍，极大降低了过滤气布比；缩短了滤件长度，减少粉尘磨损同时降低了压差；竖直安装的褶式滤筒既避免了可燃爆粉尘积聚在滤筒上发生阴燃又可以使过滤器脉冲清灰效果更佳，无清灰死区面积。
可控防爆：
褶式滤筒过滤器1的防静电褶式滤筒，通过浸碳工艺能够把粉尘摩擦产生的静电及时均匀的导出，避免静电积聚引燃粉尘；通过泄爆膜，泄爆口安装导流板把因爆炸产生的火焰直接导入斜上方，控制爆炸的危害范围。过滤器料斗底端安装防静电功能的锁气卸灰装置进行卸料。过滤器前端管道上安装机械隔爆装置进行爆炸隔离。在过滤器主管道隔爆装置与过滤器之间接入定量给料加粉装置，该装置通过螺旋输料进行定量给料，把超细颗粒均匀的碳酸氢钙粉喷入主管道，使碳酸氢钙粉与CVD反应釜积尘按照一定的比例进行充分混合，使可燃爆粉得到惰化失去自燃和爆炸的能力。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：
1)可以大幅提高净化CVD反应釜积尘的过滤效率，满足苛刻的环保要求；
2)可以有效的杜绝过滤净化CVD反应釜粉尘时发生自燃和粉尘爆炸发生；
3)如果粉尘发生爆炸时可以对其爆炸产生的危害进行有效控制，做到安全泄爆，减少经济损失和避免人员伤害；
4)相比传统的除尘系统如发生火灾或者粉尘爆炸，可减少重新投入；
5)可以把除尘系统不可控的火灾和爆炸进行有效控制，做到隐患消除、危害可控，积极的对生产进行保驾护航，提供一个安全可靠的生产环境。
以上所述的仅是本实用新型的一些实施方式。对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。
Claims (6)
1.一种用于净化CVD反应釜粉尘的防爆除尘结构，其特征在于：包括褶式滤筒过滤器，褶式滤筒过滤器对应连接进气管和主出气管道；
进气管上设置有定量给料加粉装置；
过滤器用做CVD反应釜积尘的容纳仓，定量给料加粉装置用做对应容纳仓喷入超细氢氧化钙粉尘的加料部，加料部对应进行超细氢氧化钙粉尘喷入使CVD反应釜积尘惰化，形成用于净化CVD反应釜粉尘的防爆除尘装备。
2.根据权利要求1所述的一种用于净化CVD反应釜粉尘的防爆除尘结构，其特征在于：褶式滤筒过滤器包括过滤器本体泄爆膜，泄爆膜上设置有泄爆传感器，褶式滤筒过滤器的过滤器料斗上设置有温度变送器A。
3.根据权利要求2所述的一种用于净化CVD反应釜粉尘的防爆除尘结构，其特征在于：褶式滤筒过滤器上还设置有压差变送器，进气管上设置有温度变送器B和机械隔爆装置，且褶式滤筒过滤器还对应设置有清灰控制器和PLC中央控制柜。
4.根据权利要求3所述的一种用于净化CVD反应釜粉尘的防爆除尘结构，其特征在于：褶式滤筒过滤器包括浸碳工艺防静电处理过的褶式滤筒，褶式滤筒对应设置有静电跨接。
5.根据权利要求4所述的一种用于净化CVD反应釜粉尘的防爆除尘结构，其特征在于：褶式滤筒过滤器的料斗安装有锁气卸灰装置，锁气卸灰装置阀体装有防静电跨接。
6.根据权利要求5所述的一种用于净化CVD反应釜粉尘的防爆除尘结构，其特征在于：定量给料加粉装置包括60L容量的给料容器，给料容器上端有防护盖板，下端有螺旋送料机构，螺旋送料机构通过齿轮电机进行驱动送料，螺旋送料机构末端连接喷吹风机、喷吹风机把螺旋送料机构运送的定量超细氢氧化钙粉尘通过进气风管道送入容纳仓。
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