CN220585244U - 一种衬底 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种衬底，包括呈矩形状的平板部，平板部的一面用于涂覆光刻胶，平板部上设置容胶机构，容胶机构环绕平板部的外侧缘设置，容胶机构用于容纳平板部的边缘区域的光刻胶。在于平板部上涂覆光刻胶，光刻胶因其流动性向平板部的边缘流动时，位于边缘区域的光刻胶部分被容纳于容胶机构内，使位于平板部的边缘区域的光刻胶的顶部与位于平板部的中心区域的光刻胶的顶部齐平，避免不同区域的光刻胶产生高度差，影响边缘尺寸，一定程度提高了产品的良率。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体加工技术领域，特别涉及一种衬底。
背景技术
半导体衬底是一种用于制造半导体器件的材料基底，是最常用的半导体材料之一。半导体衬底具有良好的电学特性和热学特性，可以提供半导体器件所需要的物理特性和结构支持，对半导体器件的性能和稳定性具有至关重要的作用。
图形化蓝宝石衬底，是通过在蓝宝石平片衬底的表面涂覆光刻胶，进而通过刻蚀等工艺形成具有微米级细微结构的图形。在此基础上进行LED外延层的生长，可改善蓝宝石衬底的缺陷，并显著提高LED最终的出光效率。
但因蓝宝石衬底为平片衬底，在涂覆光刻胶时，由于光刻胶的流动性，光刻胶会在平片衬底的边缘位置形成堆胶，使得位于平板衬底边缘区域的光刻胶的高度远高于位于中心区域的光刻胶，在后续作业时影响边缘尺寸，进而影响产品良率。
实用新型内容
针对现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种衬底，旨在解决现有技术中因衬底为平片衬底，在涂覆光刻胶时，易在平片衬底的边缘位置形成堆胶，使得位于平板衬底边缘区域的光刻胶的高度远高于位于中心区域的光刻胶，影响边缘尺寸，造成产品良率下降的技术问题。
为了实现上述目的，本实用新型是通过如下技术方案来实现的：
一种衬底，包括呈矩形状的平板部，所述平板部的一面用于涂覆光刻胶，所述平板部上设置容胶机构，所述容胶机构环绕所述平板部的外侧缘设置，所述容胶机构用于容纳所述平板部的边缘区域的光刻胶。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：在于所述平板部上涂覆所述光刻胶，光刻胶因其流动性向所述平板部的边缘流动时，位于边缘区域的所述光刻胶部分被容纳于所述容胶机构内，使位于所述平板部的边缘区域的所述光刻胶的顶部与位于所述平板部的中心区域的所述光刻胶的顶部齐平，避免不同区域的所述光刻胶产生高度差，影响边缘尺寸，一定程度提高了产品的良率。
进一步，所述容胶机构为第一倾斜面，所述平板部的外侧壁形成所述第一倾斜面，所述第一倾斜面与所述平板部朝向所述光刻胶的一面之间形成钝角。
更进一步，所述第一倾斜面为圆弧凸面。
更进一步，所述平板部与所述光刻胶之间设置圆弧部，所述圆弧部背向所述平板部的一面形成圆弧曲面，所述圆弧曲面与所述第一倾斜面的弧度相同。
更进一步，所述容胶机构为环形容胶槽，所述平板部朝向所述光刻胶的一面内凹形成所述环形容胶槽。
更进一步，所述环形容胶槽朝向所述平板部的中心的一侧壁形成第二倾斜面，所述第二倾斜面与所述环形容胶槽的底部之间形成钝角。
更进一步，所述第二倾斜面为圆弧凸面。
更进一步，所述环形容胶槽背向所述平板部的中心的一侧壁形成第三倾斜面，所述第三倾斜面与所述环形容胶槽的底部之间形成钝角。
再进一步，所述第三倾斜面为圆弧凸面。
附图说明
图1为本实用新型第一实施例中衬底的截面示意图；
图2为本实用新型第二实施例中衬底的截面示意图；
图3为本实用新型第三实施例中衬底于第一视角下的结构示意图；
图4为本实用新型第三实施例中衬底于第二视角下的结构示意图；
主要元件符号说明：
| 平板部 | 10 | 第一倾斜面 | 210 |
| 环形容胶槽 | 220 | 第二倾斜面 | 221 |
| 第三倾斜面 | 222 | 圆弧部 | 30 |
| 圆弧曲面 | 310 |
如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本实用新型。
具体实施方式
为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的若干实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容更加透彻全面。
需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
请参阅图1，本实用新型第一实施例中的衬底，优选地，所述衬底为蓝宝石衬底。所述衬底包括呈矩形状的平板部10，所述平板部10的一面用于涂覆光刻胶，所述平板部10上设置容胶机构，所述容胶机构环绕所述平板部10的外侧缘设置，所述容胶机构用于容纳所述平板部10的边缘区域的光刻胶。在于所述平板部10上涂覆所述光刻胶，光刻胶因其流动性向所述平板部10的边缘流动时，位于边缘区域的所述光刻胶部分被容纳于所述容胶机构内，使位于所述平板部10的边缘区域的所述光刻胶的顶部与位于所述平板部10的中心区域的所述光刻胶的顶部齐平，避免不同区域的所述光刻胶产生高度差，影响边缘尺寸，一定程度提高了产品的良率。
具体地，所述容胶机构为第一倾斜面210，所述平板部10的外侧壁形成所述第一倾斜面210，所述第一倾斜面210与所述平板部10朝向所述光刻胶的一面之间形成钝角。通过设置所述第一倾斜面210，当所述光刻胶流动至所述平板部10的边缘区域时，光刻胶沿所述第一倾斜面210自所述平板部10朝向所述光刻胶的一面向所述平板部10背向所述光刻胶的一面流动，因所述光刻胶具有一定粘附性，即可在流动的过程中逐步附着并沉积于所述第一倾斜面210上，通过所述第一倾斜面210降低位于所述平板部10的边缘区域的光刻胶的高度，使不同区域的所述光刻胶的高度一致。
优选地，所述第一倾斜面210为圆弧凸面，通过设置所述圆弧凸面，可避免所述光刻胶沿所述第一倾斜面210流动时，因较为平直的斜面导致所述光刻胶的流动速度较快，进而脱离所述平板部10。
请参阅图2，本实用新型第二实施例中的衬底，其与第一实施例中的衬底的不同之处在于，所述平板部10与所述光刻胶之间设置圆弧部30，所述圆弧部30背向所述平板部10的一面形成圆弧曲面310，所述圆弧曲面310与所述第一倾斜面210的弧度相同。通过设置所述圆弧部30，可避免所述光刻胶堆积于所述平板部10的中心处，通过所述圆弧曲面310将部分所述光刻胶引导至所述第一倾斜面210上，以更好的降低位于所述平板部10的边缘区域的所述光刻胶的高度。
请参阅图3及图4，本实施例新型第三实施例中的衬底，其与第一实施例中的衬底的不同之处在于，所述容胶机构为环形容胶槽220，所述平板部10朝向所述光刻胶的一面内凹形成所述环形容胶槽220，可以理解地，所述环形容胶槽220环绕所述平板部10的外侧缘设置，即所述环形容胶槽220背向所述平板部10的中心的一侧壁邻近所述平板部10的外侧壁。当所述光刻胶流动至所述平板部10的边缘区域时，光刻胶进入所述环形容胶槽220内，通过所述环形容胶槽220降低位于所述平板部10的边缘区域的光刻胶的高度，使不同区域的所述光刻胶的高度一致。且通过设置所述容胶槽，可避免所述光刻胶自所述平板部10的外侧缘脱离所述平板部10。
所述环形容胶槽220朝向所述平板部10的中心的一侧壁形成第二倾斜面221，所述第二倾斜面221与所述环形容胶槽220的底部之间形成钝角，通过所述第二倾斜面221的引导，可使所述光刻胶更好的进入所述环形容胶槽220内，进一步地，所述第二倾斜面221为圆弧凸面。
优选地，所述环形容胶槽220背向所述平板部10的中心的一侧壁形成第三倾斜面222，所述第三倾斜面222与所述环形容胶槽220的底部之间形成钝角，进一步地，所述第三倾斜面222为圆弧凸面。可以理解地，因所述环形容胶槽220邻近所述平板部10的外侧壁，通过设置所述第三倾斜面222，可于所述平板部10的边缘区域形成回升结构，在所述环形容胶槽220内的所述光刻胶较多时，所述光刻胶可沿所述第三倾斜面222向所述平板部10的外侧缘方向上升，并覆盖所述平板部10的边缘区域，确保所述光刻胶的涂覆均匀性。
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (9)
1.一种衬底，包括呈矩形状的平板部，所述平板部的一面用于涂覆光刻胶，其特征在于，所述平板部上设置容胶机构，所述容胶机构环绕所述平板部的外侧缘设置，所述容胶机构用于容纳所述平板部的边缘区域的光刻胶。
2.根据权利要求1所述的衬底，其特征在于，所述容胶机构为第一倾斜面，所述平板部的外侧壁形成所述第一倾斜面，所述第一倾斜面与所述平板部朝向所述光刻胶的一面之间形成钝角。
3.根据权利要求2所述的衬底，其特征在于，所述第一倾斜面为圆弧凸面。
4.根据权利要求3所述的衬底，其特征在于，所述平板部与所述光刻胶之间设置圆弧部，所述圆弧部背向所述平板部的一面形成圆弧曲面，所述圆弧曲面与所述第一倾斜面的弧度相同。
5.根据权利要求1所述的衬底，其特征在于，所述容胶机构为环形容胶槽，所述平板部朝向所述光刻胶的一面内凹形成所述环形容胶槽。
6.根据权利要求5所述的衬底，其特征在于，所述环形容胶槽朝向所述平板部的中心的一侧壁形成第二倾斜面，所述第二倾斜面与所述环形容胶槽的底部之间形成钝角。
7.根据权利要求6所述的衬底，其特征在于，所述第二倾斜面为圆弧凸面。
8.根据权利要求5所述的衬底，其特征在于，所述环形容胶槽背向所述平板部的中心的一侧壁形成第三倾斜面，所述第三倾斜面与所述环形容胶槽的底部之间形成钝角。
9.根据权利要求8所述的衬底，其特征在于，所述第三倾斜面为圆弧凸面。
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