CN220582231U - 真空管道系统及光伏设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及光伏设备技术领域，提供一种真空管道系统及光伏设备，其中，真空管道系统包括第一真空泵；第一腔室和第二腔室，分别通过第一管道和第二管道与第一真空泵连通；第一主抽阀和第一预抽阀设置于第一管道上；第一主抽阀的最大开度大于第一预抽阀；第二主抽阀和第二预抽阀设置于第二管道上；第二主抽阀的最大开度大于第二预抽阀。本实用新型提供的真空管道系统及光伏设备，通过第一腔室和第二腔室共用第一真空泵，节约了成本；另外，通过将第一预抽阀、第一主抽阀、第二预抽阀和第二主抽阀的设置，能够避免第一腔室和第二腔室发生真空度骤变，防止出现应力集中导致第一腔室和第二腔室的损坏破裂。

Description

真空管道系统及光伏设备

技术领域

本实用新型涉及光伏设备技术领域，尤其涉及一种真空管道系统及光伏设备。

背景技术

光伏设备指的是光伏制造企业用于生产原料、电池组件、零部件等产品中使用，并在反复使用中基本保持原有实物形态和功能的机器设备，其中包括硅棒制造设备、硅片制造设备、电池片制造设备、电池组件制造设备、薄膜组件制造设备等。在电池片制造设备中，有一种为等离子体增强化学的气相沉积，PECVD(Plasma Enhanced Chemical VaporDeposition)设备。在PECVD设备中，大多工艺需要在低压环境中进行，通常情况是通过一根炉管配置一个真空泵来形成炉内的真空环境。

但是，在PECVD设备中，隔离腔和加热腔大多数时间都在保压状态，若每个腔体用一个真空泵，真空泵抽速浪费，而且，抽速快慢影响着工艺时间，抽速快能够快速达到工艺要求的真空环境，但是若一开始就快速抽真空，会使得反应腔体内在真空度骤变导致反应腔体出现应力集中现象，容易导致反应腔体损坏破裂。

实用新型内容

本实用新型提供一种真空管道系统，用以解决现有技术中每个腔体均用一个真空泵导致真空泵抽速浪费且工作开始就快速抽真空导致腔体出现应力集中，容易导致反应腔体破裂的缺陷。

本实用新型提供一种真空管道系统，包括：

第一真空泵；

第一腔室和第二腔室，分别通过第一管道和第二管道与所述第一真空泵连通；

第一阀门，设置于所述第一管道上，所述第一阀门包括第一主抽阀和第一预抽阀；所述第一主抽阀的最大开度大于所述第一预抽阀；

第二阀门，设置于所述第二管道上，所述第二阀门包括第二主抽阀和第二预抽阀；所述第二主抽阀的最大开度大于所述第二预抽阀。

根据本实用新型提供的一种真空管道系统，还包括：

第二真空泵；

第三腔室，通过第三管道与所述第二真空泵连通；

第三阀门，设置于所述第三管道上；所述第三阀门包括第三主抽阀和第三预抽阀；所述第三主抽阀的最大开度大于所述第三预抽阀；

且所述第二真空泵的最大抽气速率大于所述第一真空泵。

根据本实用新型提供的一种真空管道系统，所述第一腔室上设置有第一腔体真空计；所述第二腔室上设置有第二腔体真空计。

根据本实用新型提供的一种真空管道系统，所述第一腔室为隔离腔；所述第二腔室为加热腔。

根据本实用新型提供的一种真空管道系统，所述第一管道上和所述第二管道上均包括波纹管。

根据本实用新型提供的一种真空管道系统，所述第三腔室为工艺腔。

根据本实用新型提供的一种真空管道系统，所述第三管道上设置有管道真空计，且所述管道真空计设置于所述第三真空泵和所述第三阀门之间。

根据本实用新型提供的一种真空管道系统，所述第三腔室上设置有第三腔体真空计，且所述第三腔体真空计的测量精度小于所述管道真空计。

根据本实用新型提供的一种真空管道系统，所述第三管道上还设置有蝶阀。

本实用新型还提供一种光伏设备，包括如上所述的真空管道系统。

本实用新型提供的真空管道系统，通过第一腔室和第二腔室共用第一真空泵，节约了成本；另外，第一真空泵冷启动时间过后先打开第一预抽阀，当达到一定压力以下时再打开第一主抽阀；当第一腔室达到预定压力后关闭第一预抽阀和第一主抽阀；再打开第二预抽阀，当第二腔室的压力达到一定压力以下时再打开第二主抽阀，当第二腔室达到预定压力后，将第一预抽阀和第一主抽阀全部打开，当第一腔室和第二腔室的压力均小于预定压力时，第一真空泵降频保压。

通过第一预抽阀和第一主抽阀的设置，能够防止第一腔室内发生真空度骤变，避免出现应力集中导致第一腔室的腔体损坏破裂。同理，通过第二预抽阀和第二主抽阀的设置，能够防止第二腔室内发生真空度骤变，避免出现应力集中导致第二腔室的腔体损坏破裂。

本实用新型提供的光伏设备，由于包括如上所述的真空管道系统，因此具备如上所述的各种优势。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型提供的真空管道系统的其中一个实施例的结构示意图；

图2是本实用新型提供的真空管道系统的另外一个实施例的结构示意图；

附图标记：

1、第一真空泵；2、第一腔室；3、第二腔室；4、第一管道；5、第二管道；6、第一阀门；61、第一主抽阀；62、第一预抽阀；7、第二阀门；71、第二主抽阀；72、第二预抽阀；8、第二真空泵；9、第三腔室；10、第三管道；11、第三阀门；111、第三主抽阀；112、第三预抽阀；12、第一腔体真空计；13、第二腔体真空计；14、波纹管；15、管道真空计；16、第三腔体真空计；17、蝶阀。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型中的附图，对本实用新型中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型实施例的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型实施例的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

下面结合图1至图2描述本实用新型的真空管道系统。

如图1所示，本实用新型实施例提供一种真空管道系统，包括第一真空泵1、第二腔室2、第三腔室3、第一阀门6和第二阀门7，第一真空泵1能够利用机械、物理、化学或物理化学是方法对被抽通气进行抽气而获得真空。第一腔室2和第二腔室3分别通过第一管道4和第二管道5与第一真空泵1连通；其中，第一管道4和第二管道5可以相连通，作为两个支路，两个支路和干路连通，干路和第一真空泵1连通。也可以是第一管道4和第二管道5直接与第一真空泵1连通。第一阀门6设置于第一管道4上，第一阀门6包括第一主抽阀61和第一预抽阀62，第一主抽阀61的最大开度大于第一预抽阀62。第二阀门7设置于第二管道5上，第二阀门7包括第二主抽阀71和第二预抽阀72；第二主抽阀71的最大开度大于第二预抽阀72。

本实用新型提供通过第一腔室2和第二腔室3共用第一真空泵1，节约了成本；另外，第一真空泵1冷启动时间过后先打开第一预抽阀62，当达到一定压力以下时再打开第一主抽阀61；当第一腔室2达到预定压力后关闭第一预抽阀62和第一主抽阀61；再打开第二预抽阀72，当第二腔室3的压力达到一定压力以下时再打开第二主抽阀71，当第二腔室3达到预定压力后，将第一预抽阀62和第一主抽阀61全部打开，当第一腔室2和第二腔室3的压力均小于预定压力时，第一真空泵1降频保压。

本实施例通过第一预抽阀62、第一主抽阀61的设置，能够防止第一腔室2内发生真空度骤变，避免出现应力集中导致第一腔室2的腔体损坏破裂。同理，通过第二预抽阀72和第二主抽阀71的设置，能够防止第二腔室3内发生真空度骤变，避免出现应力集中导致第二腔室3的腔体损坏破裂。

在本实用新型的一个实施例中，还包括第二真空泵8、第三腔室9和第三阀门11，第二真空泵8能够利用机械、物理、化学或物理化学是方法对被抽通气进行抽气而获得真空。第三腔室9通过第三管道10与第二真空泵8连通；第三阀门11设置于第三管道10上；第三阀门11包括第三主抽阀111和第三预抽阀112；第三主抽阀111的最大开度大于第三预抽阀112；且第二真空泵8的最大抽气速率大于第一真空泵1，对应的，第三腔室9所需的压力通常大于第一腔室2或第二腔室3。

本实施例在工作时，第二真空泵8开启后先冷启动，此时，第三阀门11不打开，当第二真空泵8冷启动时间过后先打开第三预抽阀112，当压力达到一定压力以下时打开第三主抽阀111，关闭第三预抽阀112，当第三腔室9内压力达到预设压力时，第二真空泵8降频保压。其中，一定压力可以为5mbar，预设压力可以为0.1mbar。在实际应用过程中，还可以根据实际情况设置一定压力的其他压力数值和预设压力的其他压力数值。

在本实用新型的一个实施例中，第一腔室2上设置有第一腔体真空计12，第一腔体真空计12用于检测第一腔室2的压力；第二腔室3上设置有第二腔体真空计13，第二腔体真空计13用于检测第二腔室2的压力。

在本实用新型的一个实施例中，第一腔室2为隔离腔；第二腔室3为加热腔。PECVD的隔离腔和加热腔大多时间处于保压状态，隔离腔和加热腔共用第一真空泵，第一真空泵1的抽气速率小于第二真空泵8，在工作前开启，先抽隔离腔达到预定压力后关闭第一阀门6，再打开第二阀门7抽真空达到预定压力后再将第一阀门6打开后保压。隔离腔和加热腔不用反复抽真空且没有特气进入，只是在初步开启时需要抽真空，工作期间保压即可。

在本实用新型的一个实施例中，第一管道4上和第二管道5上均包括波纹管14，波纹管14的设置能够削弱震动避免第一管道4或第二管道5被震开焊。

在本实用新型的一个实施例中，第三腔室9为工艺腔，工艺腔与第二真空泵8连通，第二真空泵8的最大抽气速率可以选用3500立方米/小时，能够快速响应，保证工艺腔内的压力。

在本实用新型的一个实施例中，第三管道10上设置有管道真空计15，且管道真空计15设置于第三真空泵8和第三阀门11之间，管道真空计15用于检测第三管道10内的压力。

在本实用新型的一个实施例中，第三腔室9上设置有第三腔体真空计16，且第三腔体真空计16的测量精度小于管道真空计15，管道真空计15能够对第三管道10的压力进行检测，第三腔体真空计16对第三腔室9的压力进行检测，能够对第三腔室9内的压力实现精确的检测。其中，第三腔体真空计16可以采用薄膜规，管道真空计15可以采用复合规。

在本实用新型的一个实施例中，第三管道10上还设置有蝶阀17，蝶阀17通过开合角度控制第三腔室9的压力。当第三腔室9充入特气需要控制压力时，第三腔体真空计16负责检测压力，当压力达到预定压力时，蝶阀17通过控制其开度将压力保持在需求的压力进行生产，能够实现精确控压。

下面对本实用新型提供的光伏设备进行描述，下文描述的光伏设备与上文描述的真空管道系统可相互对应参照。

本实用新型的另外一方面在于提供一种光伏设备，包括上任一实施例所述的真空管道系统。

本实用新型提供的光伏设备，可以为PECVD设备，也可以是其他任何能够用到真空管道系统的设备。

本实用新型提供的光伏设备，由于包括如上所述的真空管道系统，第一腔室2和第二腔室3可共用第一真空泵1，另外，第一真空泵1冷启动时间过后先打开第一预抽阀62，当达到一定压力以下时再打开第一主抽阀61；当第一腔室2达到预定压力后关闭第一预抽阀62和第一主抽阀61；再打开第二预抽阀72，当第二腔室3的压力达到一定压力以下时再打开第二主抽阀71，当第二腔室3达到预定压力后，将第一预抽阀62和第一主抽阀61全部打开，当第一腔室2和第二腔室3的压力均小于预定压力时，第一真空泵1降频保压；避免第一腔室2和第二腔室3内在真空度骤变导致反应腔体出现应力集中现象。

在本实用新型实施例的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型实施例中的具体含义。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“方式”、“具体方式”、或“一些方式”等的描述意指结合该实施例或方式描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型实施例的至少一个实施例或方式中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或方式。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或方式中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或方式以及不同实施例或方式的特征进行结合和组合。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种真空管道系统，其特征在于，包括：

第一真空泵(1)；

第一腔室(2)和第二腔室(3)，分别通过第一管道(4)和第二管道(5)与所述第一真空泵(1)连通；

第一阀门(6)，设置于所述第一管道(4)上，所述第一阀门(6)包括第一主抽阀(61)和第一预抽阀(62)；所述第一主抽阀(61)的最大开度大于所述第一预抽阀(62)；

第二阀门(7)，设置于所述第二管道(5)上，所述第二阀门(7)包括第二主抽阀(71)和第二预抽阀(72)；所述第二主抽阀(71)的最大开度大于所述第二预抽阀(72)。

2.根据权利要求1所述的真空管道系统，其特征在于，还包括：

第二真空泵(8)；

第三腔室(9)，通过第三管道(10)与所述第二真空泵(8)连通；

第三阀门(11)，设置于所述第三管道(10)上；所述第三阀门(11)包括第三主抽阀(111)和第三预抽阀(112)；所述第三主抽阀(111)的最大开度大于所述第三预抽阀(112)；

且所述第二真空泵(8)的最大抽气速率大于所述第一真空泵(1)。

3.根据权利要求1所述的真空管道系统，其特征在于，所述第一腔室(2)上设置有第一腔体真空计(12)；所述第二腔室(3)上设置有第二腔体真空计(13)。

4.根据权利要求3所述的真空管道系统，其特征在于，所述第一腔室(2)为隔离腔；所述第二腔室(3)为加热腔。

5.根据权利要求1所述的真空管道系统，其特征在于，所述第一管道(4)上和所述第二管道(5)上均包括波纹管(14)。

6.根据权利要求2所述的真空管道系统，其特征在于，所述第三腔室(9)为工艺腔。

7.根据权利要求6所述的真空管道系统，其特征在于，所述第三管道(10)上设置有管道真空计(15)，且所述管道真空计(15)设置于所述第二真空泵(8)和所述第三阀门(11)之间。

8.根据权利要求7所述的真空管道系统，其特征在于，所述第三腔室(9)上设置有第三腔体真空计(16)，且所述第三腔体真空计(16)的测量精度小于所述管道真空计(15)。

9.根据权利要求6所述的真空管道系统，其特征在于，所述第三管道(10)上还设置有蝶阀(17)。

10.一种光伏设备，其特征在于，包括权利要求1至9任一项所述的真空管道系统。