CN220572817U - 晶圆废水深度处理装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半导体晶圆加工技术领域，提出了晶圆废水深度处理装置，解决了晶圆废水深度处理装置无法实现过滤过程中自动将过滤下来的杂质及时清理出去以及无法实现不停机的情况下对过滤网进行清理的问题，其包括承载座，所述承载座的上方通过高度调节机构连接有晶圆废水处理箱，所述晶圆废水处理箱内设有三个等距离分布的圆晶废水处理机构。本实用新型通过三个往复丝杆控制三个清洁毛刷一起在三个过滤网的表面进行自动清理工作，便于在过滤的过程中，自动将三个过滤网表面过滤下来的杂质及时清理出去，有利于提高三个过滤网的过滤效率，并且也无需停机对三个过滤网进行清理，有利于提高整个装置的处理效果。

Description

晶圆废水深度处理装置

技术领域

本实用新型涉及半导体晶圆加工技术领域，具体涉及晶圆废水深度处理装置。

背景技术

半导体晶圆加工是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨、抛光和切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。

现有的半导体晶圆加工设备一般是把加工废水收集在一起，最后在经过多层过滤网的层层过滤实现晶圆废水深度处理。

就比如，申请号为202220461801.8的专利公开了一种5G半导体晶圆加工用废水处理装置，其具有三个过滤网，通过三个过滤网依次过滤将废水中杂质剔除，但是在过滤的过程中，无法自动将三个过滤网表面过滤下来的杂质及时清理出去，进而会降低三个过滤网的过滤效率，并且后续也无法在不停机的情况下对三个过滤网进行清理，进而会降低整个装置的处理效率。

实用新型内容

本实用新型提出晶圆废水深度处理装置，解决了现有的晶圆废水深度处理装置无法实现过滤过程中自动将过滤下来的杂质及时清理出去以及无法实现不停机的情况下对过滤网进行清理的问题。

本实用新型的技术方案如下：

晶圆废水深度处理装置，包括承载座，所述承载座的上方通过高度调节机构连接有晶圆废水处理箱，且晶圆废水处理箱的顶部为开口状结构，所述晶圆废水处理箱内设有三个等距离分布的圆晶废水处理机构，且晶圆废水处理箱外设有一个驱动机构。

作为优选的，三个所述圆晶废水处理机构均包括可拆卸式固定于晶圆废水处理箱内的过滤网、转动安装于晶圆废水处理箱内的往复丝杆、螺纹套装于往复丝杆中部的清洁毛刷、焊接于晶圆废水处理箱内的导向柱、固定嵌装于清洁毛刷内并与导向柱活动连接的直线轴承和对称开设于晶圆废水处理箱两侧的两个杂质排除斜口。

作为优选的，三个所述过滤网的滤孔孔径大小自上而下依次递减，且清洁毛刷底部的刷毛与过滤网的表面接触。

作为优选的，所述晶圆废水处理箱的两侧外壁均可拆卸式固定有固定罩，且两个固定罩的下部均安装有杂质收集抽屉。

作为优选的，所述驱动机构包括通过螺栓固定于其中一个固定罩侧壁的驱动电机、固定套装于位于中间的一个往复丝杆上的双槽皮带轮和依次固定套装于另外两个往复丝杆上的两个单槽皮带轮。

作为优选的，所述驱动电机的输出轴通过联轴器与位于中间的一个往复丝杆的一端同轴固定连接，且双槽皮带轮通过两根皮带依次与两个单槽皮带轮传动连接。

作为优选的，所述高度调节机构包括开设于承载座顶部的移动通道、转动安装于移动通道内的双向螺杆、对称螺接于双向螺杆两个相反螺纹端的两个T型滑块、对称铰接于两个T型滑块顶部的两个斜支架、固设于承载座侧壁的伺服电机、固定套装于伺服电机输出轴上的蜗杆和固定套装于双向螺杆上的蜗轮。

作为优选的，两个所述斜支架的顶部分别铰接于两个固定罩的底部，两个T型滑块的外壁均与移动通道的内壁滑动连接，且蜗杆与蜗轮啮合。

作为优选的，所述晶圆废水处理箱的底部固定连通有排液管，排液管上安装有电磁阀，且承载座的顶部放置有位于排液管正下方的承接容器。

本实用新型的有益效果为：

1、本实用新型中，通过三个往复丝杆控制三个清洁毛刷一起在三个过滤网的表面进行自动清理工作，便于在过滤的过程中，自动将三个过滤网表面过滤下来的杂质及时清理出去，有利于提高三个过滤网的过滤效率，并且也无需停机对三个过滤网进行清理，有利于提高整个装置的处理效果；

2、本实用新型中，通过设置的驱动机构，使得三个圆晶废水处理机构实现联动的效果，进而实现三个圆晶废水处理机构采用同一个驱动电机共同操控的效果，操控起来更加方便，降低了使用成本；

3、本实用新型中，通过设置的高度调节机构，能够对晶圆废水处理箱的高度进行灵活的调节，这样便于满足不同状况下的使用需求，也能够适应不同高度的承接容器的收集工作。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

图1为本实用新型整体前视的三维结构示意图；

图2为本实用新型中晶圆废水处理箱和两个固定罩前面切除后的三维结构示意图；

图3为本实用新型中驱动机构的三维结构示意图；

图4为本实用新型中圆晶废水处理机构的三维放大结构示意图；

图5为本实用新型中高度调节机构的三维放大结构示意图。

图中：1、承载座；2、晶圆废水处理箱；3、过滤网；4、往复丝杆；5、清洁毛刷；6、导向柱；7、直线轴承；8、杂质排除斜口；9、固定罩；10、杂质收集抽屉；11、驱动电机；12、双槽皮带轮；13、单槽皮带轮；14、移动通道；15、双向螺杆；16、T型滑块；17、斜支架；18、伺服电机；19、蜗杆；20、蜗轮；21、承接容器。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都涉及本实用新型保护的范围。

实施例1

如图1-4所示，本实施例提出了晶圆废水深度处理装置，包括晶圆废水处理箱2、圆晶废水处理机构和驱动机构；

晶圆废水处理箱2的顶部为开口状结构，便于晶圆废水的进入，圆晶废水处理机构的数量为三个，三个圆晶废水处理机构为等距离分布设置；

三个圆晶废水处理机构均包括以下部件：

过滤网3：过滤网3可拆卸式固定于晶圆废水处理箱2内，三个过滤网3的滤孔孔径大小自上而下依次递减；

往复丝杆4：往复丝杆4通过两个轴承分别与晶圆废水处理箱2的两侧内壁贯穿连接；

清洁毛刷5：清洁毛刷5螺纹套装于往复丝杆4的中部，清洁毛刷5底部的刷毛与过滤网3的表面接触；

导向柱6：导向柱6焊接于晶圆废水处理箱2内；

直线轴承7：直线轴承7固定嵌装于清洁毛刷5内并与导向柱6活动连接，保证了清洁毛刷5进行直线运动；

两个杂质排除斜口8：两个杂质排除斜口8对称开设于晶圆废水处理箱2的两侧；

晶圆废水处理箱2的两侧外壁均可拆卸式固定有固定罩9，两个固定罩9的下部均安装有杂质收集抽屉10，便于将清理下来的杂质进行统一收集；

本实施例为了使得三个圆晶废水处理机构实现联动的效果，设计了驱动机构，其包括以下部件：

驱动电机11：驱动电机11通过螺栓固定于其中一个固定罩9的侧壁，驱动电机11的输出轴通过轴承与该固定罩9的内壁贯穿连接，驱动电机11的输出轴通过联轴器与位于中间的一个往复丝杆4的一端同轴固定连接；

双槽皮带轮12：双槽皮带轮12固定套装于位于中间的一个往复丝杆4上；

两个单槽皮带轮13：两个单槽皮带轮13依次固定套装于另外两个往复丝杆4上，双槽皮带轮12通过两根皮带依次与两个单槽皮带轮13传动连接；

综上所述：本实施例通过驱动电机11操控通过联轴器与之输出轴连接的往复丝杆4转动，随后该往复丝杆4上的双槽皮带轮12转动，在两根皮带的传动作用下使得另外两个单槽皮带轮13会控制另外的两个往复丝杆4跟着转动，随后在各自的三个导向柱6的限位下，三个清洁毛刷5会在三个过滤网3的表面进行往复运动，将三个过滤网3表面的杂质从各自的两个杂质排除斜口8处清理出去，最终所清理下来的杂质在重力的作用下会落到两个杂质收集抽屉10内进行统一的收集，这样一来便于在过滤的过程中，自动将三个过滤网3表面过滤下来的杂质及时清理出去，有利于提高三个过滤网3的过滤效率，并且也无需停机对三个过滤网3进行清理，有利于提高整个装置的处理效果。

实施例2

如图1和图5所示，本实施例是在实施例1的基础上进行优化，本实施例提出了晶圆废水深度处理装置，还包括承载座1和高度调节机构，高度调节机构包括以下部件：

移动通道14：移动通道14开设于承载座1的顶部中间位置处；

双向螺杆15：双向螺杆15通过两个轴承分别与移动通道14的两侧内壁贯穿连接；

两个T型滑块16：两个T型滑块16对称螺接于双向螺杆15两个相反的螺纹端上，两个T型滑块16的外壁均与移动通道14的内壁滑动，便于保证两个T型滑块16进行直线运动；

两个斜支架17：两个斜支架17对称铰接于两个T型滑块16的顶部，两个斜支架17的顶部分别铰接于两个固定罩9的底部；

伺服电机18：伺服电机18通过螺栓固定于承载座1的侧壁，伺服电机18通过导线连接有倒顺开关；

蜗杆19和蜗轮20：蜗杆19固定套装于伺服电机18的输出轴，蜗轮20固定套装于双向螺杆15上，蜗杆19与蜗轮20啮合；

晶圆废水处理箱2的底部固定连通有排液管，排液管上安装有电磁阀，承载座1的顶部放置有位于排液管正下方的承接容器21；

综上所述：本实施例通过伺服电机18操控蜗杆19正反转动，随后与蜗杆19啮合的蜗轮20会操控双向螺杆15正反转动，在移动通道14的限位下，两个T型滑块16会相互远离或相互靠近，随后在两个铰接设置的斜支架17的带动下，晶圆废水处理箱2会在竖直方向上进行升降运行，这样能够对晶圆废水处理箱2的高度进行灵活的调节，这样便于满足不同状况下的使用需求，也能够适应不同高度的承接容器21的收集工作。

工作原理：首先，晶圆废水会从晶圆废水处理箱2的顶部进入并依次经过三个滤孔孔径递减的过滤网3的层层过滤，实现对晶圆废水的深度处理，打开排液管上的电磁阀便可将过滤后的废水排至承接容器21内实现收集；

其次，通过驱动电机11操控通过联轴器与之输出轴连接的往复丝杆4转动，随后该往复丝杆4上的双槽皮带轮12转动，在两根皮带的传动作用下使得另外两个单槽皮带轮13会控制另外的两个往复丝杆4跟着转动，随后在各自的三个导向柱6的限位下，三个清洁毛刷5会在三个过滤网3的表面进行往复运动，将三个过滤网3表面的杂质从各自的两个杂质排除斜口8处清理出去，最终所清理下来的杂质在重力的作用下会落到两个杂质收集抽屉10内进行统一的收集；

最后，通过伺服电机18操控蜗杆19正反转动，随后与蜗杆19啮合的蜗轮20会操控双向螺杆15正反转动，在移动通道14的限位下，两个T型滑块16会相互远离或相互靠近，随后在两个铰接设置的斜支架17的带动下，晶圆废水处理箱2会在竖直方向上进行升降运行，这样能够对晶圆废水处理箱2的高度进行灵活的调节，便于满足不同状况下的使用需求，也能够适应不同高度的承接容器21的收集工作。

以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (9)

1.晶圆废水深度处理装置，包括承载座(1)，其特征在于，所述承载座(1)的上方通过高度调节机构连接有晶圆废水处理箱(2)，且晶圆废水处理箱(2)的顶部为开口状结构，所述晶圆废水处理箱(2)内设有三个等距离分布的圆晶废水处理机构，且晶圆废水处理箱(2)外设有一个驱动机构。

2.根据权利要求1所述的晶圆废水深度处理装置，其特征在于，三个所述圆晶废水处理机构均包括可拆卸式固定于晶圆废水处理箱(2)内的过滤网(3)、转动安装于晶圆废水处理箱(2)内的往复丝杆(4)、螺纹套装于往复丝杆(4)中部的清洁毛刷(5)、焊接于晶圆废水处理箱(2)内的导向柱(6)、固定嵌装于清洁毛刷(5)内并与导向柱(6)活动连接的直线轴承(7)和对称开设于晶圆废水处理箱(2)两侧的两个杂质排除斜口(8)。

3.根据权利要求2所述的晶圆废水深度处理装置，其特征在于，三个所述过滤网(3)的滤孔孔径大小自上而下依次递减，且清洁毛刷(5)底部的刷毛与过滤网(3)的表面接触。

4.根据权利要求1所述的晶圆废水深度处理装置，其特征在于，所述晶圆废水处理箱(2)的两侧外壁均可拆卸式固定有固定罩(9)，且两个固定罩(9)的下部均安装有杂质收集抽屉(10)。

5.根据权利要求1所述的晶圆废水深度处理装置，其特征在于，所述驱动机构包括通过螺栓固定于其中一个固定罩(9)侧壁的驱动电机(11)、固定套装于位于中间的一个往复丝杆(4)上的双槽皮带轮(12)和依次固定套装于另外两个往复丝杆(4)上的两个单槽皮带轮(13)。

6.根据权利要求5所述的晶圆废水深度处理装置，其特征在于，所述驱动电机(11)的输出轴通过联轴器与位于中间的一个往复丝杆(4)的一端同轴固定连接，且双槽皮带轮(12)通过两根皮带依次与两个单槽皮带轮(13)传动连接。

7.根据权利要求1所述的晶圆废水深度处理装置，其特征在于，所述高度调节机构包括开设于承载座(1)顶部的移动通道(14)、转动安装于移动通道(14)内的双向螺杆(15)、对称螺接于双向螺杆(15)两个相反螺纹端的两个T型滑块(16)、对称铰接于两个T型滑块(16)顶部的两个斜支架(17)、固设于承载座(1)侧壁的伺服电机(18)、固定套装于伺服电机(18)输出轴上的蜗杆(19)和固定套装于双向螺杆(15)上的蜗轮(20)。

8.根据权利要求7所述的晶圆废水深度处理装置，其特征在于，两个所述斜支架(17)的顶部分别铰接于两个固定罩(9)的底部，两个T型滑块(16)的外壁均与移动通道(14)的内壁滑动连接，且蜗杆(19)与蜗轮(20)啮合。

9.根据权利要求1所述的晶圆废水深度处理装置，其特征在于，所述晶圆废水处理箱(2)的底部固定连通有排液管，排液管上安装有电磁阀，且承载座(1)的顶部放置有位于排液管正下方的承接容器(21)。