CN220569652U - 一种具有起升结构的双工位 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种具有起升结构的双工位，用于晶圆的搬运，双工位包括：壳体、工位、起升结构、机械手及末端执行器组件；工位为两个，两个工位沿水平方向并排固设在壳体内；末端执行器组件包括：连接板和两个叉式末端执行器；两个叉式末端执行器水平固定在连接板上，两个叉式末端执行器伸出连接板且分别对应两个工位；机械手通过连接板控制两个叉式末端执行器搬运晶圆；当两个叉式末端执行器穿过壳体将晶圆送至对应的工位的上方后，起升结构将晶圆抬升；当两个叉式末端执行器退出壳体后，起升结构将晶圆放置在对应的工位。本实用新型使机械手一次搬运的晶圆数量翻倍，同时减少了机械手的搬运动作，提高了机械手搬运效率。

Description

一种具有起升结构的双工位

技术领域

本实用新型涉及半导体芯片制造设备技术领域，尤其涉及一种具有起升结构的双工位。

背景技术

在半导体领域，晶圆作为最常用的基材被广泛应用在芯片、集成电路和电子器件的制造上，晶圆整个加工过程中经常需要将晶圆在各个工位之间进行传送，现有的晶圆传送方式多采用机械手抓取。

现有的机械手将晶圆水平取出，并通过转动改变方向，最后通过升降以及直线运动，将圆晶放置在一个工位的位置处；完成在一个工位取放晶圆后，需回转继续拿取晶圆后再回转将圆晶放置到另一工位，机械手一次只能实现一个工位的晶圆搬运，机械手的取放动作多，搬运效率低。

实用新型内容

本实用新型提供一种具有起升结构的双工位，以减少机械手取放动作，提高机械手搬运效率。

为了实现上述目的，本实用新型的技术方案是：

一种具有起升结构的双工位，用于晶圆的搬运，包括：壳体、工位、起升结构、机械手及末端执行器组件；工位为两个，两个工位沿水平方向并排固设在壳体内；末端执行器组件包括：连接板和两个叉式末端执行器；两个叉式末端执行器水平固定在连接板上，两个叉式末端执行器伸出连接板且分别对应两个工位；机械手固设在壳体水平方向的一侧，机械手与连接板转动连接，机械手通过连接板控制两个叉式末端执行器搬运晶圆；起升结构设置在壳体上，起升结构与工位相离；壳体的侧壁具有让位，当两个叉式末端执行器穿过壳体将晶圆送至对应的工位的上方后，起升结构将晶圆抬升；当两个叉式末端执行器退出壳体后，起升结构将晶圆放置在对应的工位。

进一步的，起升结构包括：顶针部件和驱动部件；顶针部件位于壳体内，驱动部件从壳体下方穿入后与顶针部件连接，驱动部件能够带动顶针部件升降；驱动部件包括：安装壳体、伺服电机、联轴器、螺母、丝杠及推杆组件；安装壳体为竖直两端开口的中空腔体，安装壳体竖直固设在壳体的下方；伺服电机竖直固设在安装壳体的下端，联轴器、丝杠及螺母均设在安装壳体内，伺服电机通过联轴器带动丝杠同步转动，丝杠竖直设置在安装壳体的轴线位置，丝杠与螺母螺旋传动；螺母与推杆组件连接，推杆组件从壳体的下方穿入其内后与顶针部件相连，螺母带动推杆组件竖向移动，推杆组件带动顶针部件竖向移动。

进一步的，推杆组件包括：推杆座和推杆；推杆座为下端开口的中空腔体，推杆座的下端与螺母固定连接，丝杠伸入推杆座的腔体中，推杆座随螺母竖向移动；推杆与丝杠同轴设置，推杆的一端与推杆座的上端固定连接、另一端穿过壳体后与顶针部件固定连接。

进一步的，驱动部件还包括导向组件；导向组件设置在推杆座与安装壳体的内壁之间，导向组件对推杆组件进行竖向的导向和径向的限位。

进一步的，导向组件包括：导轨和滑块；导轨固设在安装壳体的内壁上，导轨的长度方向沿竖直设置；滑块设置在导轨上并沿导轨滑动，滑块与推杆座固定连接。

进一步的，顶针部件包括：顶针组件和安装环；顶针组件为三组，三组顶针组件设置在安装环上，三组顶针组件沿安装环的同一圆周方向间隔设置；安装环与推杆组件固定连接，三组顶针组件与推杆组件相离；推杆组件带动安装环竖向移动，安装环带动三组顶针组件竖向移动，使三组顶针组件能够抬升和放下晶圆。

进一步的，顶针组件包括：顶针、顶针安装座及连接座；连接座竖直设置在安装环上，连接座与安装环可拆卸连接；连接座为竖直方向的两端开口的中空腔体，顶针安装座的一端位于连接座的腔体内、另一端从连接座的上端口穿出；顶针为细长杆状，顶针竖直设置在顶针安装座上，顶针与顶针安装座可拆卸连接。

进一步的，机械手包括：本体、第一大臂及第一小臂；本体与壳体并排设置且固定连接；第一大臂的一端转动连接本体、另一端与第一小臂的端部转动连接；本体能够驱动第一大臂转动，第一小臂能够绕第一大臂转动；第一小臂与连接板固定连接。

进一步的，机械手还包括：第二大臂和第二小臂；第二大臂的一端转动连接本体、另一端与第二小臂的端部转动连接；第二大臂和第一大臂共同连接于本体的同一位置；本体能够驱动第二大臂转动，第二小臂能够绕第二大臂转动；第一大臂、第二大臂、第一小臂及第二小臂在竖直方向错开布置，由下至上依次为：第一大臂、第二大臂、第一小臂及第二小臂；末端执行器组件为两组，一组连接第一小臂、另一组连接第二小臂，两组末端执行器组件在竖直方向错开布置。

进一步的，叉式末端执行器通过安装组件与连接板固定连接；安装组件包括：安装座、固定板及固定螺钉；安装座的一端通过螺钉可拆卸连接在连接板上、另一端与叉式末端执行器连接，叉式末端执行器设有通孔，安装座设有通孔，固定板设有螺纹孔，叉式末端执行器的通孔、安装座的通孔及固定板的螺纹孔相对应，安装座与固定板夹住叉式末端执行器，将固定螺钉依次穿过安装座和叉式末端执行器的通孔后拧入固定板的螺纹孔，将叉式末端执行器固定。

有益效果：

本申请设置机械手和两个叉式末端执行器，并设置有双工位承接晶圆，使机械手一次动作可搬运两片晶圆；本申请设置起升结构将叉式末端执行器搬运的晶圆抬升，实现晶圆与叉式末端执行器的脱离，机械手控制叉式末端执行器退出壳体，起升结构将晶圆放置在对应的工位上。实现机械手一次搬运两片晶圆送到双工位上方，通过起升结构将两片晶圆放置在双工位上，使机械手一次搬运的晶圆数量翻倍，减少了机械手的搬运动作，提高了机械手搬运效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型公开的一种具有起升结构的双工位的结构示意图；

图2为本实用新型公开的一种具有起升结构的双工位的隐藏机械手框架部分后的结构示意图；

图3为本实用新型公开的一种具有起升结构的双工位的剖视图；

图4为本实用新型公开的一种具有起升结构的双工位的起升结构、工位及壳体的装配关系的剖视图；

图5为本实用新型公开的一种具有起升结构的双工位的起升结构示意图；

图6为本实用新型公开的一种具有起升结构的双工位的起升结构的剖视图；

图7为本实用新型公开的一种具有起升结构的双工位的顶针部件的结构示意图；

图8为本实用新型公开的一种具有起升结构的双工位的顶针部件的俯视图；

图9为图8中的A-A剖视图；

图10为图9中Ⅱ的局部放大图；

图11为图7中Ⅰ的局部放大图；

图12为本实用新型公开的一种具有起升结构的双工位的机械手隐藏框架部分后的结构示意图；

图13为本实用新型公开的一种具有起升结构的双工位的机械手隐藏框架部分后的俯视图；

图14为本实用新型公开的一种具有起升结构的双工位的机械手的驱动部分的结构示意图；

图15为本实用新型公开的一种具有起升结构的双工位的安装组件的结构示意图。

1、壳体；

2、工位；

3、起升结构；31、顶针部件；311、顶针组件；3111、顶针；3112、顶针安装座；31121、喇叭段；31122、圆柱段；3113、连接座；31131、圆筒段；31132、圆环段；312、安装环；3121、圆角矩形槽；3122、U型压环；32、驱动部件；321、安装壳体；322、伺服电机；323、联轴器；324、螺母；3241、定位台阶段；3242、连接段；325、丝杠；326、推杆组件；3261、推杆座；3262、推杆；327、导向组件；3271、滑块；3272、导轨；

4、机械手；41、本体；411、框架部分；412、驱动部分；4121、第一驱动轴；4122、第一驱动器；4123、第二驱动轴；4124、第二驱动器；42、第一大臂；43、第一小臂；44、第二大臂；45、第二小臂；

5、末端执行器组件；51、叉式末端执行器；52、连接板；

6、安装组件；61、安装座；62、固定板；63、固定螺钉。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

一种具有起升结构的双工位，用于晶圆的搬运，结合图1、图2和图3所示，包括：壳体1、工位2、起升结构3、机械手4及末端执行器组件5；壳体1为长方体的中空腔体，腔体的上方开口。工位2为两个，两个工位2固设在壳体1内，两个工位2沿腔体的一侧壁并排设置，两个工位2的上表面水平且等高；末端执行器组件5包括：连接板52和两个叉式末端执行器51；两个叉式末端执行器51水平固定在连接板52上，两个叉式末端执行器51伸出连接板52且分别对应两个工位2；机械手4固设在壳体1水平方向的一侧，机械手4与连接板52转动连接，机械手4通过连接板52控制两个叉式末端执行器51搬运晶圆；起升结构3包括顶针部件31和驱动部件32，顶针部件31设置在壳体1内，驱动部件32固设在壳体1上，驱动部件32从壳体1的下表面穿入后连接顶针部件31，工位2具有让位，使起升结构3能够穿过工位2；壳体1对应两个工位2的侧壁开设有矩形的开孔，为两个叉式末端执行器51让位，使两个叉式末端执行器51可以进入和退出壳体1的腔体；当两个叉式末端执行器51进入壳体1将晶圆送至对应的工位2的上方后，起升结构3将晶圆抬升，使晶圆脱离叉式末端执行器51；当两个叉式末端执行器51退出壳体1后，起升结构3将晶圆放置在对应的工位2，完成机械手4一次搬运两片晶圆并放置在双工位2上。

结合图4、图5和图6所示，驱动部件32包括：安装壳体321、伺服电机322、联轴器323、螺母324、丝杠325及推杆组件326；安装壳体321为具有竖直两端开口的中空腔体的圆筒状结构，安装壳体321竖直设置，安装壳体321的上端固设在壳体1的下表面；伺服电机322竖直固设在安装壳体321的下端面，联轴器323、丝杠325及螺母324均设在安装壳体321内，伺服电机322的转轴通过联轴器323与丝杠325连接，伺服电机322通过联轴器323带动丝杠325同步转动，丝杠325竖直设置在安装壳体321的轴线位置，丝杠325与螺母324螺旋传动，丝杠325旋转带动螺母324竖向移动；螺母324与推杆组件326连接，壳体1的底部设有让位供推杆组件326从壳体1的下方穿入其内，推杆组件326与壳体1内的顶针部件31相连，螺母324带动推杆组件326竖向移动，推杆组件326带动顶针部件31竖向移动，实现顶针部件31的升降。当机械手输送晶圆至工位上时，伺服电机322启动使顶针部件31上升，顶针部件31将晶圆抬升脱离机械手，机械手移开，伺服电机322反向动作使顶针部件31下降，顶针部件31低于工位台面后，晶圆放置在工位上；当机械手取走晶圆时，伺服电机322启动使顶针部件31上升，顶针部件31将晶圆抬升，机械手移至晶圆的下方，伺服电机322反向动作使顶针部件31下降，顶针部件31低于机械手的位置后，晶圆放置在机械手上，机械手移开取走晶圆。

如图6所示，推杆组件326包括：推杆座3261和推杆3262；推杆座3261为下端开口的中空腔体，螺母324依次包括定位台阶段3241和连接段3242，连接段3242插入推杆座3261的腔体，连接段3242与推杆座3261的腔体相配合，定位台阶段3241的定位面与推杆座3261的下端面抵接，定位台阶段3241上设有通孔，推杆座3261的下端面上设有螺纹孔，定位台阶段3241的通孔与推杆座3261下端面上的螺纹孔对正，通过在螺纹孔和通孔中设置螺钉将推杆座3261与螺母324固定连接；丝杠325穿过螺母324后伸入推杆座3261的腔体中，防止推杆座3261与丝杠325相互干涉，并充分利用丝杠325与安装壳体321之间的空间，减小了轴向的长度，使推杆座3261与丝杠325更加紧凑；丝杠325旋转使螺母324竖向移动，螺母324带动推杆座3261同步移动；推杆3262与丝杠325同轴设置，使力沿推杆3262的轴向传递，有利于提高竖向移动的精度；推杆3262的下端通过销钉与推杆座3261的上端固定连接，推杆3262的上端穿过壳体1的让位后与顶针部件31固定连接。

优选的，结合图5和图6所示，驱动部件32还包括导向组件327，导向组件327设置在推杆座3261与安装壳体321的内壁之间，导向组件327包括：滑块3271和导轨3272；导轨3272通过螺钉固设在安装壳体321的内壁上，导轨3272的长度方向沿竖直设置；滑块3271设置在导轨3272上并沿导轨3272竖向滑动，滑块3271与推杆座3261通过螺钉固定连接。滑块3271和导轨3272共同作用对推杆座3261进行竖向的导向和径向的限位，防止推杆座3261晃动，影响竖向移动的精度。

结合图5、图6和图7所示，顶针部件31包括：顶针组件311和安装环312；顶针组件311为三组，三组顶针组件311设置在安装环312上，三组顶针组件311沿安装环312的同一圆周方向成三角状设置；推杆3262的通过内六角螺钉与安装环312固定，推杆3262与安装环312的连接位置位于其中两组顶针组件311之间。推杆组件326带动安装环312竖向移动，安装环312带动三组顶针组件311竖向移动，使三组顶针组件311能够抬升和放下晶圆。

结合图8、图9和图10所示，每组顶针组件311均包括：顶针3111、顶针安装座3112及连接座3113。

结合图1、图4和图5所示，工位2对应三组顶针组件311开设有三个竖直方向的通孔，每组的顶针3111穿入对应的通孔，顶针3111可在通孔中上下移动，实现伸出后支撑晶圆。

结合图8、图10和图11所示，连接座3113由同轴的圆筒段31131和圆环段31132组成，圆筒段31131的下端开口与圆环段31132的开口直径大小一致，圆环段31132的外径大于圆筒段31131的外径；安装环312上开设有圆角矩形槽3121和U型压环3122，U型压环3122沿圆角矩形槽3121的侧壁固设，U型压环3122与圆角矩形槽3121的底面平行且间隔；U型压环3122口部一侧的圆角矩形槽3121开口大于圆环段31132的直径，圆环段31132的直径大小介于U型压环3122内外侧的宽度，圆筒段31131的直径小于U型压环3122内侧的宽度；圆环段31132从U型压环3122口部的位置进入圆角矩形槽3121，推动圆筒段31131带动圆环段31132向U型压环3122移动，圆环段31132的上表面与U型压环3122的下表面抵接，从而将连接座3113固定在安装环312上；拉动圆筒段31131带动圆环段31132远离U型压环3122，圆环段31132与U型压环3122脱离，可将连接座3113从圆角矩形槽3121中取出。

顶针安装座3112由上至下依次包括喇叭段31121和圆柱段31122；喇叭段31121和圆柱段31122同轴，沿轴线开设有贯通喇叭段31121和圆柱段31122的通孔。

喇叭段31121由上端的开口呈十字型向下开设槽至喇叭段31121长度方向的中部，使喇叭段31121的上端为四瓣，使喇叭段31121的上半部分具有弹性；顶针3111为细长杆状，顶针3111的外周面具有环状的槽，喇叭段31121的内壁具有凸起，顶针3111竖直插入喇叭段31121的盲孔中，喇叭段31121的凸起卡入顶针3111的槽内，实现顶针3111与喇叭段31121的可拆卸连接。

圆筒段31131的上端开口小于下端开口，圆柱段31122的直径大小介于圆筒段31131上下开口的直径大小，圆柱段31122的高度小于圆筒段31131的高度；顶针安装座3112从圆环段31132的下开口穿入，圆柱段31122位于连接座3113内，喇叭段31121的一端竖直穿出连接座3113的上开口，使圆柱段31122被限制在连接座3113的腔体内，圆柱段31122可在连接座3113的腔体的径向和轴向上移动，实现顶针3111随圆柱段31122移动；当顶针3111受径向的力时，圆柱段31122可产生移动以减弱径向力对顶针3111的作用，避免顶针3111损坏。

结合图5和图6所示，推杆3262的上端面设置有螺纹孔，螺纹孔位于其中两组顶针组件311之间，安装环312上设有通孔，螺纹孔中设有螺钉，螺钉穿过安装环312的通孔后拧入螺纹孔，将安装环312与推杆组件326固定连接；推杆组件326带动安装环312竖向移动，安装环312带动三组顶针组件311竖向移动，使三组顶针组件311能够抬升和放下晶圆。

结合图1、图12和图14所示，机械手4包括：本体41、第一大臂42、第一小臂43、第二大臂44及第二小臂45；本体41包括框架部分411和驱动部分412，框架部分411设置在壳体1与两个工位2相对的侧壁的外侧，框架部分411与壳体1并排且固定连接；框架部分411为上表面开口的长方体空腔，驱动部分412固定设置在框架部分411的下表面的中部，并且驱动部分412从框架部分411的下表面穿入框架部分411的腔体内，第一大臂42、第一小臂43、第二大臂44及第二小臂45均设置在框架部分411的腔体内；驱动部分412包括：第一驱动轴4121、第一驱动器4122、第二驱动轴4123和第二驱动器4124；第一驱动轴4121为管状，第一驱动轴4121同轴套设在第二驱动轴4123外，第二驱动轴4123的两端伸出第一驱动轴4121，第一大臂42与第一驱动轴4121的上端连接，第二大臂44与第二驱动轴4123的上端连接；第一驱动器4122驱动第一驱动轴4121转动，第一驱动轴4121带动第一大臂42转动；第二驱动器4124驱动第二驱动轴4123转动，第二驱动轴4123带动第二大臂44转动；两组驱动轴分别驱动第一大臂42和第二大臂44转动，使第一大臂42和第二大臂44均可独立转动同时也能一同转动。第一小臂43的一端转动连接第一大臂42远离驱动部分412的端部、另一端为自由端，第二小臂45的一端转动连接第二大臂44远离驱动部分412的端部、另一端为自由端，第一小臂43能够绕第一大臂42转动，第二小臂45能够绕第二大臂44转动；第一大臂42、第二大臂44、第一小臂43及第二小臂45在竖直方向错开布置，由下至上依次为：第一大臂42、第二大臂44、第一小臂43及第二小臂45，使第一大臂42、第一小臂43的动作与第二大臂44、第二小臂45互不干涉。

结合图1、图5和图15所示，两个叉式末端执行器51均通过安装组件6固定在连接板52上，两个叉式末端执行器51位于连接板52的水平方向的两端，每组的两个叉式末端执行器51均水平设置，每组的两个叉式末端执行器51均朝向对应的工位2；叉式末端执行器51的宽度小于起升结构3的顶针3111间的最小距离，防止叉式末端执行器51与起升结构3的顶针3111干涉，使叉式末端执行器51可插入起升结构3的顶针3111间。

结合图12和图13所示，末端执行器组件5为两组，两组末端执行器组件5上下错开设置，一组连接第一小臂43、另一组连接第二小臂45，其中连接第一小臂43的一组位于下方，使两组末端执行器组件5互不干涉，实现两组末端执行器组件5均能搬运晶圆；第一小臂43的自由端固定连接在对应的连接板52的上表面的中部，第二小臂45的自由端固定连接在对应的连接板52的下表面的中部，两个连接板52竖直方向平行间隔布置，使第一大臂42和第一小臂43带动一组末端执行器组件5搬运晶圆，第二大臂44和第二小臂45带动另一组末端执行器组件5搬运晶圆，两组配合增加搬运晶圆的数量，减少了等待的时间，提高搬运的效率。

结合图1和图13所示，安装组件6包括：安装座61、固定板62及固定螺钉63；安装座61的一端通过螺钉可拆卸连接在连接板52上、另一端与叉式末端执行器51连接，叉式末端执行器51的端部设有通孔，安装座61设有通孔，固定板62设有螺纹孔，叉式末端执行器51的通孔、安装座61的通孔及固定板62的螺纹孔相对应且直径大小相配合；安装座61与固定板62夹住叉式末端执行器51，将叉式末端执行器51的通孔、固定板62的螺纹孔与安装座61的通孔对应，将固定螺钉63依次穿过安装座61的通孔和叉式末端执行器51的通孔后拧入固定板62的螺纹孔，将叉式末端执行器51固定。

本申请装置的原理：

当机械手4搬运晶圆至双工位2时，机械手4启动并伸长带动连接板52和两个叉式末端执行器51同步动作，两个叉式末端执行器51托起晶圆，机械手4收缩后旋转，使两个叉式末端执行器51对向双工位2；机械手4启动并伸长，两个叉式末端执行器51托着晶圆穿入壳体1到达双工位2的上方；起升结构3的顶针3111升起将晶圆抬升脱离相应的叉式末端执行器51，机械手4收缩使两个叉式末端执行器51从壳体1退出，起升结构3的顶针3111下降，晶圆随顶针3111下降而慢慢下降，起升结构3的顶针3111缩回工位2的台面之下后，使晶圆放置在工位2的台面。

当机械手4从双工位2取出晶圆时，起升结构3的顶针升起将晶圆抬升脱离相应的工位2的台面，机械手4启动并伸长带动连接板52和两个叉式末端执行器51同步动作，两个叉式末端执行器51穿入壳体1，两个叉式末端执行器51从下方托起晶圆，机械手4收缩后使两个叉式末端执行器51托着晶圆从壳体1退出，起升结构3的顶针3111下降，起升结构3的顶针3111缩回工位2的台面之下，机械手4再控制两个叉式末端执行器51托着晶圆搬运到下一工位。

机械手4的第一大臂42及第一小臂43为一组，第二大臂44和第二小臂45为一组，两组交替动作来完成晶圆的搬运和取出，两组配合增加可搬运晶圆的数量，减少了工位2等待的时间，提高了机械手4搬运的效率。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种具有起升结构的双工位，用于晶圆的搬运，其特征在于，包括：壳体(1)、工位(2)、起升结构(3)、机械手(4)及末端执行器组件(5)；所述工位(2)为两个，两个所述工位(2)沿水平方向并排固设在所述壳体(1)内；所述末端执行器组件(5)包括：两个叉式末端执行器(51)和连接板(52)；两个所述叉式末端执行器(51)水平固定在所述连接板(52)上，两个所述叉式末端执行器(51)伸出所述连接板(52)且分别对应两个所述工位(2)；所述机械手(4)固设在所述壳体(1)水平方向的一侧，所述机械手(4)与所述连接板(52)转动连接，所述机械手(4)通过所述连接板(52)控制两个所述叉式末端执行器(51)搬运所述晶圆；所述起升结构(3)设置在所述壳体(1)上，所述起升结构(3)与所述工位(2)相离；所述壳体(1)的侧壁具有让位，当两个所述叉式末端执行器(51)穿过所述壳体(1)将所述晶圆送至对应的所述工位(2)的上方后，所述起升结构(3)将所述晶圆抬升；当两个所述叉式末端执行器(51)退出所述壳体(1)后，所述起升结构(3)将所述晶圆放置在对应的所述工位(2)。

2.根据权利要求1所述的一种具有起升结构的双工位，其特征在于，所述起升结构(3)包括：顶针部件(31)和驱动部件(32)；所述顶针部件(31)位于所述壳体(1)内，所述驱动部件(32)从所述壳体(1)下方穿入后与所述顶针部件(31)连接，所述驱动部件(32)能够带动所述顶针部件(31)升降；所述驱动部件(32)包括：安装壳体(321)、伺服电机(322)、联轴器(323)、螺母(324)、丝杠(325)及推杆组件(326)；所述安装壳体(321)为竖直两端开口的中空腔体，所述安装壳体(321)竖直固设在所述壳体(1)的下方；所述伺服电机(322)竖直固设在所述安装壳体(321)的下端，所述联轴器(323)、所述丝杠(325)及所述螺母(324)均设在所述安装壳体(321)内，所述伺服电机(322)通过所述联轴器(323)带动所述丝杠(325)同步转动，所述丝杠(325)竖直设置在所述安装壳体(321)的轴线位置，所述丝杠(325)与所述螺母(324)螺旋传动；所述螺母(324)与所述推杆组件(326)连接，所述推杆组件(326)从所述壳体(1)的下方穿入其内后与所述顶针部件(31)相连，所述螺母(324)带动所述推杆组件(326)竖向移动，所述推杆组件(326)带动所述顶针部件(31)竖向移动。

3.根据权利要求2所述的一种具有起升结构的双工位，其特征在于，所述推杆组件(326)包括：推杆座(3261)和推杆(3262)；所述推杆座(3261)为下端开口的中空腔体，所述推杆座(3261)的下端与所述螺母(324)固定连接，所述丝杠(325)伸入所述推杆座(3261)的腔体中，所述推杆座(3261)随所述螺母(324)竖向移动；所述推杆(3262)与所述丝杠(325)同轴设置，所述推杆(3262)的一端与所述推杆座(3261)的上端固定连接、另一端穿过所述壳体(1)后与所述顶针部件(31)固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种具有起升结构的双工位，其特征在于，所述驱动部件(32)还包括导向组件(327)；所述导向组件(327)设置在所述推杆座(3261)与所述安装壳体(321)的内壁之间，所述导向组件(327)对所述推杆组件(326)进行竖向的导向和径向的限位。

5.根据权利要求4所述的一种具有起升结构的双工位，其特征在于，所述导向组件(327)包括：滑块(3271)和导轨(3272)；所述导轨(3272)固设在所述安装壳体(321)的内壁上，所述导轨(3272)的长度方向沿竖直设置；所述滑块(3271)设置在所述导轨(3272)上并沿所述导轨(3272)滑动，所述滑块(3271)与所述推杆座(3261)固定连接。

6.根据权利要求4所述的一种具有起升结构的双工位，其特征在于，所述顶针部件(31)包括：顶针组件(311)和安装环(312)；所述顶针组件(311)为三组，三组所述顶针组件(311)设置在所述安装环(312)上，三组所述顶针组件(311)沿所述安装环(312)的同一圆周方向间隔设置；所述安装环(312)与所述推杆组件(326)固定连接，三组所述顶针组件(311)与所述推杆组件(326)相离；所述推杆组件(326)带动所述安装环(312)竖向移动，所述安装环(312)带动三组所述顶针组件(311)竖向移动，使三组所述顶针组件(311)能够抬升和放下所述晶圆。

7.根据权利要求6所述的一种具有起升结构的双工位，其特征在于，所述顶针组件(311)包括：顶针(3111)、顶针安装座(3112)及连接座(113)；所述连接座(113)竖直设置在所述安装环(312)上，所述连接座(113)与所述安装环(312)可拆卸连接；所述连接座(113)为竖直方向的两端开口的中空腔体，所述顶针安装座(3112)的一端位于所述连接座(113)的腔体内、另一端从所述连接座(113)的上端口穿出；所述顶针(3111)为细长杆状，所述顶针(3111)竖直设置在所述顶针安装座(3112)上，所述顶针(3111)与所述顶针安装座(3112)可拆卸连接。

8.根据权利要求1所述的一种具有起升结构的双工位，其特征在于，所述机械手(4)包括：本体(41)、第一大臂(42)及第一小臂(43)；所述本体(41)与所述壳体(1)并排设置且固定连接；所述第一大臂(42)的一端转动连接所述本体(41)、另一端与所述第一小臂(43)的端部转动连接；所述本体(41)能够驱动所述第一大臂(42)转动，所述第一小臂(43)能够绕所述第一大臂(42)转动；所述第一小臂(43)与所述连接板(52)固定连接。

9.根据权利要求8所述的一种具有起升结构的双工位，其特征在于，所述机械手(4)还包括：第二大臂(44)和第二小臂(45)；所述第二大臂(44)的一端转动连接所述本体(41)、另一端与所述第二小臂(45)的端部转动连接；所述第二大臂(44)和所述第一大臂(42)共同连接于所述本体(41)的同一位置；所述本体(41)能够驱动所述第二大臂(44)转动，所述第二小臂(45)能够绕所述第二大臂(44)转动；所述第一大臂(42)、所述第二大臂(44)、所述第一小臂(43)及所述第二小臂(45)在竖直方向错开布置，由下至上依次为：所述第一大臂(42)、所述第二大臂(44)、所述第一小臂(43)及所述第二小臂(45)；所述末端执行器组件(5)为两组，一组连接所述第一小臂(43)、另一组连接所述第二小臂(45)，两组所述末端执行器组件(5)在竖直方向错开布置。

10.根据权利要求1所述的一种具有起升结构的双工位，其特征在于，所述叉式末端执行器(51)通过安装组件(6)与所述连接板(52)固定连接；所述安装组件(6)包括：安装座(61)、固定板(62)及固定螺钉(63)；所述安装座(61)的一端通过螺钉可拆卸连接在所述连接板(52)上、另一端与所述叉式末端执行器(51)连接，所述叉式末端执行器(51)设有通孔，所述安装座(61)设有通孔，所述固定板(62)设有螺纹孔，所述叉式末端执行器(51)的通孔、所述安装座(61)的通孔及所述固定板(62)的螺纹孔相对应，所述安装座(61)与所述固定板(62)夹住所述叉式末端执行器(51)，将所述固定螺钉(63)依次穿过所述安装座(61)和所述叉式末端执行器(51)的通孔后拧入所述固定板(62)的螺纹孔，将所述叉式末端执行器(51)固定。