CN220568832U - 一种带导流槽的探针卡浮动环组件 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种带导流槽的探针卡浮动环组件,包括底座和浮动环,浮动环置于底座内,可相对底座移动;所述浮动环底部向外延伸出一圈环形面,环形面上设有多个导流槽,导流槽均匀分布在环形面的外圈上。本实用新型利用气压的变化来控制浮动环的移动,浮动环始终与晶圆保持一定的距离,从而增加探针的利用率;在环形面上设置均匀分布的导流槽,使得浮动环受力平衡,避免因气流过大而出现浮动环振动的问题,保证探针卡正常工作。
Description
技术领域
本实用新型涉及探针卡技术领域,特别涉及一种带导流槽的探针卡浮动环组件。
背景技术
在高压测试环境中,探针在测试过程中易出现发红、烧针、融针情况,此时需要对测试区域直吹氮气制冷,提高探针卡的使用寿命。这类探针卡一侧设置通气设备,另一侧在探针外围设置聚气环,通气设备可以直接通入氮气,在聚气环内形成氮气环境,使得探针在测试过程中降温。
现有探针卡上的聚气环为固定环,探针高于固定环一定高度,下压测试晶圆时,固定环也不会触碰损坏晶圆。探针卡上的探针在使用过程中会有磨损,当磨损达到一定程度时,探针与固定环之间的高度差不够,固定环在测试过程中容易撞到晶圆,这时就需要频繁更换探针,在高压大电流的测试环境下更容易缩短针的使用寿命。
实用新型内容
为了解决上述问题,本实用新型提供了一种带导流槽的探针卡浮动环组件,可以增加探针的利用率,延长探针卡的使用寿命。
为此,本实用新型的技术方案是:一种带导流槽的探针卡浮动环组件,包括底座和浮动环,浮动环置于底座内,可相对底座移动;所述浮动环底部向外延伸出一圈环形面,环形面上设有多个导流槽,导流槽均匀分布在环形面的外圈上。
在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案:所述底座为环形结构,底座的圆周面向下延伸出多个限位块;所述浮动环的外圆周处设有多个凸块,凸块与限位块配合工作,浮动环可相对底座移动。
在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案:所述限位块上设有限位孔,凸块上设有轴向贯穿的活动槽,限位件穿过限位孔插入活动槽内。
在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案:所述限位件为限位插销或限位螺栓。
在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案:所述导流槽的槽底为弧形,两侧槽边与槽底切线方向以钝角相连。
在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案:所述导流槽沿中心线左右对称。
在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案:所述底座中间设有空心的定位柱,浮动环活动套装在定位柱上。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
1、利用气压的变化来控制浮动环的移动,无论探针是否磨损变短,浮动环始终与晶圆保持一定的距离,从而增加探针的利用率,延长探针卡的使用寿命;
2、浮动环下表面延伸出一环形面,从而增大了浮动环与气压的接触面积,增大浮动环受到的浮力,保证浮动环可以顺利浮起;
3、在环形面上设置均匀分布的导流槽,从而使得气流从环形面吹过时,被各个导流槽分割成多个气流圆周阵列,从而使得浮动环受力平衡,避免因气流过大而出现浮动环振动的问题,保证探针卡正常工作。
附图说明
以下结合附图和本实用新型的实施方式来作进一步详细说明
图1为本实用新型的结构示意图;
图2为本实用新型的结构仰视图;
图3为本实用新型的零件爆炸图;
图4为本实用新型的初始状态结构剖视图;
图5为本实用新型的使用状态结构剖视图。
图中标记为:底座1、定位柱11、限位块12、限位孔13、卡块14、浮动环2、凸块21、活动槽22、环形面23、导流槽24、限位插销3。
具体实施方式
在本实用新型的描述中,需要说明的是,对于方位词,如有术语“中心”,“横向(X)”、“纵向(Y)”、“竖向(Z)”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示方位和位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于叙述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定方位构造和操作,不能理解为限制本实用新型的具体保护范围。
此外,如有术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或隐含指明技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”特征可以明示或者隐含包括一个或者多个该特征,在本实用新型描述中,“数个”、“若干”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。
参见附图。本实施例所述带导流槽的探针卡浮动环组件,包括底座1和浮动环2,所述底座1为环形结构,底座1中间设有空心的定位柱11,底座1的圆周面向下延伸出多个限位块12,限位块12上设有限位孔13,可插入限位插销3或限位螺栓,和限位螺栓配合时,限位孔内设有螺纹结构。所述限位块12下方设有向内弯折的卡块14。
所述浮动环2置于底座1内,活动套装在定位柱11上,并可相对底座移动;所述浮动环2上端的外圆周处设有多个凸块21,凸块21上设有轴向贯穿的活动槽22,活动槽22与底座限位块上的限位孔13位置相对,限位插销3从限位孔13插入,末端置于活动槽22内,可防止浮动环2相对底座1发生转动,使得浮动环2仅相对底座1上下移动。同时,浮动环的凸块21位于限位块下方的卡块14上,卡块14可以防止浮动环2从底座1上脱落。
在气流过大时,浮动环下端面受力不均匀,容易出现振动,影响探针正常工作。因此,在浮动环2底部向外延伸出一圈环形面23,环形面23上设有多个导流槽24,导流槽24均匀分布在环形面23的外圈上;所述导流槽24沿中心线左右对称,槽底为弧形,两侧槽边与槽底切线方向以钝角相连,且导流槽与环形面的端面通过圆弧过渡连接。当气流从环形面吹过时,气流向外流动,并被各个导流槽分割成多个气流圆周阵列,从而使得浮动环受力平衡,避免因气流过大而出现浮动环振动的问题,保证探针卡正常工作。
使用时,底座1固定安装在探针卡上,浮动环2朝向待测晶圆,探针置于浮动环内部,且浮动环内充满氮气,晶圆从探针卡下方靠近,晶圆与浮动环下方环形面的间距缩短,在气压的作用下,浮动环会上移,避免触碰到晶圆,探针与晶圆连接,且浮动环始终与晶圆保持一定高度差。氮气持续不断的充入,然后氮气沿着环形面从导流槽流出,使得浮动环受力平衡,保持浮起状态。
当探针卡使用一段时间后,探针由于针损耗变短,但是浮动环在气压的作用下,可以始终和晶圆保持一定的距离,避免浮动环损坏晶圆。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例,凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (7)
1.一种带导流槽的探针卡浮动环组件,包括底座和浮动环,浮动环置于底座内,可相对底座移动;其特征在于:所述浮动环底部向外延伸出一圈环形面,环形面上设有多个导流槽,导流槽均匀分布在环形面的外圈上。
2.如权利要求1所述的一种带导流槽的探针卡浮动环组件,其特征在于:所述底座为环形结构,底座的圆周面向下延伸出多个限位块;所述浮动环的外圆周处设有多个凸块,凸块与限位块配合工作,浮动环可相对底座移动。
3.如权利要求2所述的一种带导流槽的探针卡浮动环组件,其特征在于:所述限位块上设有限位孔,凸块上设有轴向贯穿的活动槽,限位件穿过限位孔插入活动槽内。
4.如权利要求3所述的一种带导流槽的探针卡浮动环组件,其特征在于:所述限位件为限位插销或限位螺栓。
5.如权利要求1所述的一种带导流槽的探针卡浮动环组件,其特征在于:所述导流槽的槽底为弧形,两侧槽边与槽底切线方向以钝角相连。
6.如权利要求5所述的一种带导流槽的探针卡浮动环组件,其特征在于:所述导流槽沿中心线左右对称。
7.如权利要求1所述的一种带导流槽的探针卡浮动环组件,其特征在于:所述底座中间设有空心的定位柱,浮动环活动套装在定位柱上。
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