CN220553420U - 一种料架中转站 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种料架中转站，关于硅片生产技术领域，包括中转站框架和中转站主体，所述中转站主体滑动连接在中转站框架的内部，用于中转花篮，所述料架中转站还包括灰尘吸附组件，所述灰尘吸附组件滑动连接在中转站主体的一侧，所述灰尘吸附组件远离中转站主体的一端设置有负压组件，灰尘吸附组件包括吸尘架、集尘盒和过滤层，所述吸尘架的一侧壁上开设有与集尘盒相匹配的第一安装槽，所述集尘盒上开设有与过滤层相匹配的第二安装槽，集尘盒的一侧壁上固定连接有把手，所述集尘盒上设置有多个肋条。与现有技术相比，根据本实用新型的一种料架中转站便于对料架中转站进行清理，还可以在中转时能够对硅片上的灰尘进行吸附清理。
Description
技术领域
本实用新型是关于硅片生产技术领域，特别是关于一种料架中转站。
背景技术
在硅片生产的过程中，一般需要用到料架中转站，用于给双层料架中转，一般是将位于双层料架下端的花篮移动至花篮的上端，从而达到中转目的。
花篮上承载有硅片，硅片上会有灰尘，在进行中转的时，花篮会发生晃动，晃动的过程中极有可能会将硅片上的灰尘抖落，留存在料架中转站上，料架中转站上的灰尘可能会附着在下一个花篮上的硅片上，导致因中转影响硅片质量的情况。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种料架中转站，其能够便于对料架中转站进行清理，还可以在中转时能够对硅片上的灰尘进行吸附清理。
为实现上述目的，本实用新型提供了一种料架中转站，包括中转站框架和中转站主体，所述中转站主体滑动连接在中转站框架的内部，用于中转花篮，所述料架中转站还包括灰尘吸附组件，所述灰尘吸附组件滑动连接在中转站主体的一侧，所述灰尘吸附组件远离中转站主体的一端设置有负压组件。
在一个或多个实施方式中，所述灰尘吸附组件包括吸尘架、集尘盒和过滤层，所述吸尘架的一侧壁上开设有与集尘盒相匹配的第一安装槽，所述集尘盒上开设有与过滤层相匹配的第二安装槽。
在一个或多个实施方式中，所述集尘盒的一侧壁上固定连接有把手。
在一个或多个实施方式中，所述集尘盒上设置有多个肋条，多个所述肋条之间形成通孔。
在一个或多个实施方式中，所述肋条上设置有凸条。
在一个或多个实施方式中，所述集尘盒的底壁上还开设有下沉槽。
在一个或多个实施方式中，所述灰尘吸附组件上固定连接有滑块，所述料架中转站上安装有一对与滑块相匹配的滑道。
在一个或多个实施方式中，所述滑道上开设有与滑块相匹配的第一滑槽，所述第一滑槽的一侧壁上开设有第二滑槽，所述滑块上开设有与第二滑槽相匹配的螺纹孔，穿过所述第二滑槽螺纹连接有与螺纹孔相匹配的螺栓。
与现有技术相比，根据本实用新型的一种料架中转站便于对料架中转站进行清理，还可以在中转时能够对硅片上的灰尘进行吸附清理。
附图说明
图1是根据本实用新型一实施方式的一种料架中转站的结构示意图。
图2是根据本实用新型一实施方式的一种料架中转站的爆炸图。
图3是图2中A处结构示意图。
图4是根据本实用新型一实施方式的一种料架中转站的局部半剖图。
图5是根据本实用新型一实施方式的肋条的结构示意图。
主要附图标记说明：
1、中转站框架；2、中转站主体；201、滑道；2011、第一滑槽；2012、第二滑槽；3、灰尘吸附组件；301、吸尘架；3011、第一安装槽；302、集尘盒；3021、肋条；3022、第二安装槽；3023、下沉槽；303、过滤层；3031、连接绳；304、把手；305、滑块；3051、螺纹孔；4、凸条；5、螺栓。
具体实施方式
下面结合附图，对本实用新型的具体实施方式进行详细描述，但应当理解本实用新型的保护范围并不受具体实施方式的限制。
除非另有其它明确表示，否则在整个说明书和权利要求书中，术语“包括”或其变换如“包含”或“包括有”等等将被理解为包括所陈述的元件或组成部分，而并未排除其它元件或其它组成部分。
参图1～图5所示，根据本实用新型一实施方式的一种料架中转站，包括中转站框架1和中转站主体2，中转站主体2滑动连接在中转站框架1的内部，用于中转花篮。
参图1所示，中转站主体2能够在中转站框架1的内部上下移动和左右移动，左右移动能够改变当前中转站主体2的位置，从而能够对不同位置的双层料架机械中转，上下移动能够将双层料架下端的花篮移动到中转站主体2的上层，在中转站完成花篮的整理，将花篮整理到同一层，方便后续工艺的进料。为现有技术中的常规设置。
参图1～图5所示，料架中转站还包括灰尘吸附组件3，灰尘吸附组件3能够对双层料架和中转站主体2上的灰尘进行吸附，减少灰尘对硅片造成影响的情况，从而能够增加硅片的质量。
具体的，灰尘吸附组件3滑动连接在中转站主体2的一侧，灰尘吸附组件3滑动连接在中转站主体2远离双层料架的一侧，灰尘吸附组件3上下滑动，能够对中转站主体2不同的位置进行清理灰尘。灰尘吸附组件3远离中转站主体2的一端设置有负压组件。负压组件通过吸附的方式对中转站主体2上的灰尘进行清理。其中，负压组件具体可以为气泵、吸尘器等。
参图1～图3所示，灰尘吸附组件3上固定连接有滑块305，中转站主体2上固定连接有一对与滑块305相匹配的滑道201，滑块305与滑道201为滑动连接。
具体的，滑道201上开设有与滑块305相匹配的第一滑槽2011，滑块305滑动连接在第一滑槽2011中，第一滑槽2011的一侧壁上开设有第二滑槽2012，滑块305上开设有与第二滑槽2012相匹配的螺纹孔3051，穿过第二滑槽2012螺纹连接有与螺纹孔3051相匹配的螺栓5。即螺栓5穿过第二滑槽2012与滑块305螺纹连接，通过螺栓5拧紧或拧松能够选择灰尘吸附组件3是否在中转站主体2上进行滑动。
优选的，滑道201滑动连接在中转站框架1上，能够与中转站主体2同时左右移动，但不与中转站主体2上下移动，此时，将灰尘吸附组件3固定在中转站主体2的中上部，中转站主体2在进行中转时，中转站主体2在抬升花篮的过程中，灰尘吸附组件3能够对整个花篮上的硅片进行吸附，将硅片上的灰尘进行吸附，能够对花篮上的硅片进行清理。当需要对中转站主体2进行清理时，可以直接将灰尘吸附组件3取下后，对中转站主体2进行吸附灰尘处理。
参图2～图3所示，灰尘吸附组件3包括吸尘架301、集尘盒302和过滤层303，吸尘架301的一侧壁上开设有与集尘盒302相匹配的第一安装槽3011，集尘盒302上开设有与过滤层303相匹配的第二安装槽3022。集尘盒302和吸尘架301为插接，过滤层303和集尘盒302为插接，集尘盒302和第一安装槽3011的内壁为过盈配合。
具体的，集尘盒302的底壁上还开设有下沉槽3023，过滤层303设置在集尘盒302远离双层料架的一端，能够对吸附的灰尘进行过滤，过滤后的灰尘会落在下沉槽3023上。集尘盒302的一侧壁上固定连接有把手304，通过把手304能够便于将集尘盒302从第一安装槽3011中拉出，从而便于对集尘盒302内的灰尘进行清理。
由于过滤层303和集尘盒302为插接，当取出集尘盒302时，过滤层303也随着集尘盒302去除，此时，可以将过滤层303拉出，对过滤层303进行更换或者清理。
参图3所示，过滤层303上固定连接有连接绳3031，通过连接绳3031能够便于将过滤层303从第二安装槽3022中取出，从而能够对过滤层303进行清理。
参图3所示，集尘盒302上设置有多个肋条3021，多个肋条3021之间形成通孔，形成的通孔用于负压组件进气。肋条3021的内壁上固定连接有多个凸条4，凸条4使过滤层303和集尘盒302为过盈配合，在拉出过滤层303时，凸条4对过滤层303形成阻力，能够对过滤层303上的灰尘进行刮除，刮除的灰尘最终落在下沉槽3023中。
优选的，可以在把手304上设置可观察的透明窗，透过透明窗能够观察下沉槽3023和过滤层303，从而便于对下沉槽3023和过滤层303进行清理。
初始状态下，参图1所示，中转站主体2可以带着滑道201在中转站框架1上横向滑动，灰尘吸附组件3远离二层料架的一端设置有负压组件，用于吸附灰尘。
需要对料架中转站进行清理时，首先，将螺栓5完全拧下，然后将灰尘吸附组件3取下，对需要进行清理的地方进行吸尘清理，清理完成之后将灰尘吸附组件3安装回原来的位置即可。一般情况下，灰尘吸附组件3位于中转站框架1料架中转站的中部，在进行中转时，能够对花篮上的灰尘起到吸附作用，将花篮中的硅片上的灰尘进行吸附，即在中转的过程中能够对硅片进行清理。
前述对本实用新型的具体示例性实施方案的描述是为了说明和例证的目的。这些描述并非想将本实用新型限定为所公开的精确形式，并且很显然，根据上述教导，可以进行很多改变和变化。对示例性实施例进行选择和描述的目的在于解释本实用新型的特定原理及其实际应用，从而使得本领域的技术人员能够实现并利用本实用新型的各种不同的示例性实施方案以及各种不同的选择和改变。本实用新型的范围意在由权利要求书及其等同形式所限定。
Claims (8)
1.一种料架中转站，包括中转站框架和中转站主体，所述中转站主体滑动连接在中转站框架的内部，用于中转花篮，其特征在于，所述料架中转站还包括：
灰尘吸附组件，所述灰尘吸附组件滑动连接在中转站主体的一侧，所述灰尘吸附组件远离中转站主体的一端设置有负压组件。
2.如权利要求1所述的一种料架中转站，其特征在于，所述灰尘吸附组件包括吸尘架、集尘盒和过滤层，所述吸尘架的一侧壁上开设有与集尘盒相匹配的第一安装槽，所述集尘盒上开设有与过滤层相匹配的第二安装槽。
3.如权利要求2所述的一种料架中转站，其特征在于，所述集尘盒的一侧壁上固定连接有把手。
4.如权利要求3所述的一种料架中转站，其特征在于，所述集尘盒上设置有多个肋条，多个所述肋条之间形成通孔。
5.如权利要求4所述的一种料架中转站，其特征在于，所述肋条上设置有凸条。
6.如权利要求2或5所述的一种料架中转站，其特征在于，所述集尘盒的底壁上还开设有下沉槽。
7.如权利要求1所述的一种料架中转站，其特征在于，所述灰尘吸附组件上固定连接有滑块，所述料架中转站上安装有一对与滑块相匹配的滑道。
8.如权利要求7所述的一种料架中转站，其特征在于，所述滑道上开设有与滑块相匹配的第一滑槽，所述第一滑槽的一侧壁上开设有第二滑槽，所述滑块上开设有与第二滑槽相匹配的螺纹孔，穿过所述第二滑槽螺纹连接有与螺纹孔相匹配的螺栓。
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