CN220552422U - 一种薄膜压电执行器变形量测试装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种薄膜压电执行器变形量测试装置，属于压电执行器工作性能测试技术领域。包括固定平台，固定平台包括第一固定台、第二固定台和固定底台，第一固定台通过固定底台与第二固定台连接，第二固定台内侧设置有柔性薄膜压电执行器，柔性薄膜压电执行器上方设置有执行器固定装置，第二固定台外侧设置有x轴可调节旋钮、y轴可调节旋钮和z轴可调节旋钮。本实用新型采用上述的一种薄膜压电执行器变形量测试装置，测试精度高、操作简便、测试速度快，提高了整体装置的实用性和工作效率。并且可由xyz三轴可调装置进行调节，使执行器固定位置更加精确便捷。同时以对不同厚度的薄膜型执行器实现测试，提高了整体装置的灵活性。

Description

一种薄膜压电执行器变形量测试装置

技术领域

本实用新型涉及压电执行器工作性能测试技术领域，尤其是涉及一种薄膜压电执行器变形量测试装置。

背景技术

薄膜压电执行器作为一种重要的微纳电机构件，其在精密仪器、生物医疗、航空航天等领域有着广泛的应用。由于薄膜压电执行器的工作原理是通过对薄膜施加电场来引起变形，因此对其变形量的测试是非常重要的。

目前常见的测试方法有力学法、电容法和光学法等。其中，光学法由于具有非接触、高精度、不易受干扰等优点而被广泛使用。但是，现有的光学法测试装置存在着测试精度低、操作复杂、测试速度慢等问题。传统的薄膜压电执行器变形量测试装置通常采用光学显微镜或扫描电子显微镜等设备进行测量，这种方法需要昂贵的设备和复杂的操作，不适合大规模生产和实验室研究。所以在实际应用中，需要一种更加高效、智能的薄膜压电执行器变形量测试装置对柔性薄膜压电执行器进行位移测试，以保证其质量和可靠性。

在很多精密仪器、生物医疗、航空航天等领域，采用压电传感器进行物理量测量已经成为标配。例如，在机械工程、航空航天和医疗等领域，压电传感器的灵敏度对整个器件的性能具有非常重要的影响。压电传感器常被用于测量机械、气体或液体的压力、流量以及重力等物理量，感受微弱信号就需要传感器要由较高的灵敏度；在健康检测领域可以感应到人体产生的微弱机械信号，并利用压电效应将其转化成电压信号，所以对传感器的灵敏度要求极高。

目前常用的柔性薄膜压电传感器灵敏度测试方法主要是采用机械式压力计或者石英晶体谐振器等设备对其进行测试。但这些测试方法存在着一定的缺陷，如精度不高、操作复杂等问题。因此，需要提供一种新型的柔性薄膜压电传感器灵敏度测量系统，以解决现有测试方法的缺陷。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种薄膜压电执行器变形量测试装置，解决了试精度低、操作复杂、测试速度慢的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种薄膜压电执行器变形量测试装置，包括固定平台，所述固定平台包括第一固定台、第二固定台和固定底台，所述第一固定台通过所述固定底台与所述第二固定台连接，所述第二固定台内侧设置有柔性薄膜压电执行器，所述柔性薄膜压电执行器上方设置有执行器固定装置，所述第二固定台外侧设置有x轴可调节旋钮、y轴可调节旋钮和z轴可调节旋钮。

优选的，所述第一固定台顶部中央处开设有固定槽，所述固定槽外表面开设有两个通孔。

优选的，所述固定槽为凹型结构。

优选的，所述执行器固定装置外侧设置有水平旋转调节旋钮和竖直旋转调节旋钮。

优选的，所述第一固定台的高度大于所述第二固定台的高度，所述第二固定台的高度大于所述固定底台的高度。

优选的，所述执行器固定装置为双直角堆叠结构。

优选的，所述固定槽的底部与所述执行器固定装置的底部处于同一水平高度。

因此，本实用新型采用上述结构的一种薄膜压电执行器变形量测试装置，具备以下有益效果：

(1)本实用新型测试精度高、操作简便、测试速度快，提高了整体装置的实用性和工作效率。

(2)本实用新型的薄膜压电执行器测量装置可由xyz三轴可调装置进行调节，使执行器固定位置更加精确便捷。

(3)本实用新型可以对不同厚度的薄膜型执行器实现测试，提高了整体装置的灵活性。

下面通过附图和实施例，对本实用新型的技术方案做进一步的详细描述。

附图说明

图1为本实用新型一种薄膜压电执行器变形量测试装置的结构示意图；

图2为本实用新型一种薄膜压电执行器变形量测试装置的固定方式示意图；

图3为本实用新型薄膜压电执行器变形量测试装置的固定方式侧视图；

图4为本实用新型薄膜压电执行器变形量测试装置的固定方式俯视图；

附图标记

1、固定平台，2、x轴可调节旋钮，3、y轴可调节旋钮，4、z轴可调节旋钮，5、柔性薄膜压电执行器，6、执行器固定装置，7、水平旋转调节旋钮，8、竖直旋转调节旋钮，101、第一固定台，102、固定槽，103、通孔，104、第二固定台，105、固定底台。

具体实施方式

以下通过附图和实施例对本实用新型的技术方案作进一步说明。

除非另外定义，本实用新型使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本实用新型中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。

实施例

如图1-4所示，本实用新型提供了一种薄膜压电执行器变形量测试装置，包括固定平台1，固定平台1包括第一固定台101、第二固定台104和固定底台105，第一固定台101通过固定底台105与第二固定台104连接，第二固定台104内侧设置有柔性薄膜压电执行器5，柔性薄膜压电执行器5上方设置有执行器固定装置6，第二固定台104外侧设置有x轴可调节旋钮2、y轴可调节旋钮3和z轴可调节旋钮4。第一固定台101顶部中央处开设有固定槽102，固定槽102外表面开设有两个通孔103。固定槽102为凹型结构。执行器固定装置6外侧设置有水平旋转调节旋钮7和竖直旋转调节旋钮8。第一固定台101的高度大于第二固定台104的高度，第二固定台104的高度大于固定底台105的高度。执行器固定装置6为双直角堆叠结构。固定槽102的底部与执行器固定装置6的底部处于同一水平高度。

工作原理：固定平台1用于固定激光测振仪，x轴可调节旋钮2用来调节执行器固定装置6的前后位置，y轴可调节旋钮3用来调节执行器固定装置6的左右位置，z轴可调节旋钮4用来调节执行器固定装置6的上下位置；柔性薄膜压电执行器5固定在执行器固定装置6上；水平旋转调节旋钮7和竖直旋转调节旋钮8固定在执行器固定装置6上，使执行器固定装置6实现旋转位置的可调节。

在测试时，能精准的实现对不同厚度执行器位移的测量，同时，由于采用了非接触式测试方法，因此不会对待测薄膜压电执行器造成损伤。原理为对薄膜压电执行器施加电场，使其发生变形，此时反射回来的平行光会受到干涉，形成一系列明暗条纹。通过对这些条纹的分析，可以得到待测薄膜压电执行器的变形量。

因此，本实用新型采用上述的一种薄膜压电执行器变形量测试装置，测试精度高、操作简便、测试速度快，提高了整体装置的实用性和工作效率。并且可由xyz三轴可调装置进行调节，使执行器固定位置更加精确便捷。同时以对不同厚度的薄膜型执行器实现测试，提高了整体装置的灵活性。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非对其进行限制，尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而这些修改或者等同替换亦不能使修改后的技术方案脱离本实用新型技术方案的精神和范围。

Claims (7)

1.一种薄膜压电执行器变形量测试装置，包括固定平台，其特征在于：所述固定平台包括第一固定台、第二固定台和固定底台，所述第一固定台通过所述固定底台与所述第二固定台连接，所述第二固定台内侧设置有柔性薄膜压电执行器，所述柔性薄膜压电执行器上方设置有执行器固定装置，所述第二固定台外侧设置有x轴可调节旋钮、y轴可调节旋钮和z轴可调节旋钮。

2.根据权利要求1所述的一种薄膜压电执行器变形量测试装置，其特征在于：所述第一固定台顶部中央处开设有固定槽，所述固定槽外表面开设有两个通孔。

3.根据权利要求2所述的一种薄膜压电执行器变形量测试装置，其特征在于：所述固定槽为凹型结构。

4.根据权利要求3所述的一种薄膜压电执行器变形量测试装置，其特征在于：所述执行器固定装置外侧设置有水平旋转调节旋钮和竖直旋转调节旋钮。

5.根据权利要求4所述的一种薄膜压电执行器变形量测试装置，其特征在于：所述第一固定台的高度大于所述第二固定台的高度，所述第二固定台的高度大于所述固定底台的高度。

6.根据权利要求5所述的一种薄膜压电执行器变形量测试装置，其特征在于：所述执行器固定装置为双直角堆叠结构。

7.根据权利要求6所述的一种薄膜压电执行器变形量测试装置，其特征在于：所述固定槽的底部与所述执行器固定装置的底部处于同一水平高度。