CN220543255U - 调节装置及光刻镜头 - Google Patents

Abstract

本申请涉及光刻镜头调节装置技术领域，尤其涉及一种调节装置及光刻镜头。一种调节装置，包括：安装件、连接件以及转接件。安装件用于安装光纤。连接件用于与外部结构相连。转接件用于将安装件与连接件连接。其中，安装件与连接件位于转接件的两侧，安装件可相对转接件向第一方向移动，转接件可相对连接件向第二方向移动，第一方向与第二方向交叉，第一方向与第二方向均垂直于光束的传播方向。将光纤安装于安装件，通过使安装件相对转接件向第一方向移动，转接件相对连接件向第二方向移动，来使光纤位置发生改变，进而调节来自光纤的光束的照射位置，从而校准光刻镜头的照射区域位置，以保证光刻效果符合预期要求。

Description

调节装置及光刻镜头

技术领域

本申请涉及光刻镜头调节装置技术领域，尤其涉及一种调节装置及光刻镜头。

背景技术

在进行光刻时，由光刻镜头提供光源来实现光刻。在光刻镜头中，通过光纤引入光源，再由匀光棒对来自光纤的光束进行匀光，然后再从光刻镜头射出向外照射。

来自光纤的光束进入匀光棒时会在匀光棒的入射端形成光斑，光束向光刻镜头外照射会形成照射区域。来自光纤的光束在匀光棒入射端形成光斑的位置和照射角度会影响光束向光刻镜头外照射形成的照射区域的位置以及光束均匀性。因此在使用光刻镜头进行光刻前，需要检测并校准光刻镜头的照射区域位置，以保证光刻效果符合预期要求。

通过调节来自光纤的光束的照射位置，可调节来自光纤的光束在匀光棒入射端形成光斑的位置，进而校准光刻镜头的照射区域位置。

可见，如何调节来自光纤光束的照射位置是亟待解决的技术问题。

实用新型内容

本申请提供的一种调节装置及光刻镜头，旨在解决现有技术中如何调节来自光纤光束的照射位置的技术问题。

本申请提供的一种调节装置，包括：

用于安装光纤的安装件；

用于与外部结构相连的连接件；以及

用于将所述安装件与所述连接件连接的转接件；

其中，所述安装件与所述连接件位于所述转接件的两侧，所述安装件可相对所述转接件向第一方向移动，所述转接件可相对所述连接件向第二方向移动，所述第一方向与所述第二方向交叉，所述第一方向与所述第二方向均垂直于光束的传播方向。

更进一步地，所述安装件朝所述第一方向开设有第一螺纹孔和第二螺纹孔；

所述第一螺纹孔设置有第一调节螺丝，所述第二螺纹孔设置有第二调节螺丝；

所述转接件的两侧分别设置有第一抵接面和第二抵接面，所述第一抵接面和所述第二抵接面位于所述第一螺纹孔与所述第二螺纹孔之间，所述第一抵接面与第二抵接面之间的距离小于所述第一螺纹孔与所述第二螺纹孔之间的距离；

其中，在使安装件在所述第一方向移动过程中，拧动第一调节螺丝和/或第二调节螺丝，第一调节螺丝抵接所述第一抵接面和/或第二调节螺丝抵接所述第二抵接面，以使所述安装件相对所述转接件向所述第一方向移动。

更进一步地，所述安装件与所述转接件中的一个设置有第一导向凸起，所述安装件与所述转接件中的另一个设置有第一导向槽，所述第一导向凸起与所述第一导向槽相适配；

所述安装件相对所述转接件向所述第一方向移动时，所述第一导向凸起在所述第一导向槽的内壁的限位下滑动。

更进一步地，所述安装件设置有若干第一腰型孔，所述转接件设置有第一螺丝孔，所述第一螺丝孔适配有第一安装螺丝；

其中，所述第一腰型孔的长度方向沿所述第一方向；

所述安装件与所述转接件相连时，所述第一安装螺丝穿过所述第一腰型孔后拧入所述第一螺丝孔，由所述第一安装螺丝的螺丝头使所述安装件抵持于所述转接件。

更进一步地，所述转接件朝所述第二方向开设有第三螺纹孔和第四螺纹孔；

所述第三螺纹孔设置有第三调节螺丝，所述第四螺纹孔设置有第四调节螺丝；

所述连接件的两侧分别设置有第三抵接面和第四抵接面，所述第三抵接面和所述第四抵接面位于所述第三螺纹孔与所述第四螺纹孔之间，所述第三抵接面与第四抵接面之间的距离小于所述第三螺纹孔与所述第四螺纹孔之间的距离；

其中，在使转接件在所述第二方向移动过程中，拧动第三调节螺丝和/或第四调节螺丝，第三调节螺丝抵接所述第三抵接面和/或第四调节螺丝抵接所述第四抵接面，以使所述转接件相对所述连接件向所述第二方向移动。

更进一步地，所述转接件与所述连接件中的一个设置有第二导向凸起，所述转接件与所述连接件中的另一个设置有第二导向槽，所述第二导向凸起与所述第二导向槽相适配；

所述转接件相对所述连接件向所述第二方向移动时，所述第二导向凸起在所述第二导向槽的内壁的限位下滑动。

更进一步地，所述转接件设置有若干第二腰型孔，所述连接件设置有第二螺丝孔，所述第二螺丝孔适配有第二安装螺丝；

其中，所述第二腰型孔的长度方向沿所述第二方向；

所述转接件与所述连接件相连时，所述第二安装螺丝穿过所述第二腰型孔后拧入所述第二螺丝孔，由所述第二安装螺丝的螺丝头使所述转接件抵持于所述连接件。

另一方面，本申请还提出一种光刻镜头，包括上述调节装置；

匀光组件，所述匀光组件与所述调节装置可拆卸相连；

透镜组件，所述透镜组件与所述匀光组件可拆卸相连；以及

出光组件，所述出光组件与所述透镜组件可拆卸相连；

其中，光纤发射的光束依次经过所述调节装置、所述匀光组件、所述透镜组件、所述出光组件。

更进一步地，所述匀光组件与所述透镜组件相连的一端设置有第一法兰，所述透镜组件与所述匀光组件相连的一端设置有第二法兰，所述第一法兰与所述第二法兰由若干第一连接螺丝连接。

更进一步地，所述透镜组件与所述出光组件相连的一端设置有第三法兰，所述第三法兰通过若干第二连接螺丝与所述出光组件相连。

本申请所达到的有益效果是：

本申请提出的一种调节装置，包括：安装件、连接件以及转接件。安装件用于安装光纤。连接件用于与外部结构相连。转接件用于将安装件与连接件连接。其中，安装件与连接件位于转接件的两侧，安装件可相对转接件向第一方向移动，转接件可相对连接件向第二方向移动，第一方向与第二方向交叉，第一方向与第二方向均垂直于光束的传播方向。将光纤安装于安装件，通过使安装件相对转接件向第一方向移动，转接件相对连接件向第二方向移动，来使光纤位置发生改变，进而调节来自光纤的光束的照射位置，从而校准光刻镜头的照射区域位置，以保证光刻效果符合预期要求。

附图说明

图1是本实用新型的实施例中调节装置的立体结构示意图；

图2是本实用新型的实施例中调节装置的爆炸结构示意图；

图3是本实用新型的实施例中光刻镜头的立体结构示意图。

主要元件符号说明：

10、光刻镜头；20、调节装置；21、安装件；211、第一螺纹孔；212、第二螺纹孔；213、第一导向凸起；214、第一腰型孔；22、转接件；221、第一抵接面；222、第二抵接面；223、第一导向槽；224、第一螺丝孔；225、第三螺纹孔；226、第四螺纹孔；227、第二导向凸起；228、第二腰型孔；23、连接件；231、第三抵接面；232、第四抵接面；233、第二导向槽；234、第二螺丝孔；24、第一调节螺丝；25、第二调节螺丝；26、第三调节螺丝；27、第四调节螺丝；28、第一安装螺丝；29、第二安装螺丝；30、匀光组件；31、第一法兰；40、透镜组件；41、第二法兰；42、第三法兰；50、出光组件；60、第一连接螺丝；70、第二连接螺丝；X、第一方向；Y、第二方向。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。此外，应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“左”、“右”、“水平”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下文的公开提供了许多不同的实施例或例子用来实现本实用新型的不同结构。为了简化本实用新型的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本实用新型。此外，本实用新型可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施例和/或设置之间的关系。此外，本实用新型提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其它工艺的应用和/或其它材料的使用。

实施例一

请参阅图1至图2，在本申请的一些实施例中，本申请提出的一种调节装置20，包括：安装件21、连接件23以及转接件22。

安装件21用于安装光纤。连接件23用于与外部结构相连。转接件22用于将安装件21与连接件23连接。

其中，安装件21与连接件23位于转接件22的两侧，安装件21可相对转接件22向第一方向X移动，转接件22可相对连接件23向第二方向Y移动，第一方向X与第二方向Y交叉，第一方向X与第二方向Y均垂直于光束的传播方向。

将光纤安装于安装件21，通过使安装件21相对转接件22向第一方向X移动，转接件22相对连接件23向第二方向Y移动，来使光纤位置发生改变，进而调节来自光纤的光束的照射位置，从而校准光刻镜头10的照射区域位置，以保证光刻效果符合预期要求。

在本申请的一些实施例中，将光纤按要求通过安装部件固定安装于安装件21。安装件21、转接件22以及连接件23依次沿光束的传播方向排布，安装件21可拆卸地与转接件22的一面连接且彼此的安装面相互贴合，连接件23可拆卸地与转接件22的另一面连接且彼此的安装面相互贴合。安装件21开设有第一通孔，转接件22开设有第二通孔，连接件23开设有第三通孔，第一通孔、第二通孔、第三通孔相互连通，第一通孔、第二通孔、第三通孔沿安装件21、转接件22以及连接件23的排布方向布置。当光纤安装于安装件21时，光纤的出光端朝向第一通孔且来自光纤的光束能全部投入第一通孔，并且能全部依次穿过第一通孔、第二通孔、第三通孔，进而向外照射。

在对光纤光束的照射位置进行调节时，可单独使安装件21相对转接件22向第一方向X移动，也可单独使转接件22相对连接件23向第二方向Y移动，还可使安装件21相对转接件22向第一方向X移动与转接件22相对连接件23向第二方向Y移动同时进行。由于第一方向X与第二方向Y交叉，因此当安装件21和转接件22移动时，可使光纤的位置在平面内移动。而由于光线是沿直线传播的，因此当光纤的位置发生改变时，即实现调节光纤光束的照射位置的效果，从而校准光刻镜头10的照射区域位置，以保证光刻效果符合预期要求。

请参阅图1，在本申请的一些实施例中，第一方向X与第二方向Y可相互垂直，以简化光纤光束照射位置的计算过程，提高光纤光束照射位置的调节效率。第一方向X与第二方向Y均可以是双向的，即安装件21可以沿第一方向X往复移动，转接件22可以沿第二方向Y往复移动。

需要指出的是，由于光纤安装于安装件21，当安装件21沿第一方向X移动时，即带动光纤的位置沿第一方向X发生改变。由于安装件21是与转接件22相连的，当转接件22沿第二方向Y移动时，即带动安装件21沿第二方向Y移动，进而带动光纤的位置沿第二方向Y发生改变。如此，通过第一安装件21沿第一方向X移动、第二安装件21沿第二方向Y移动以及第一方向X与第二方向Y相互交叉来使光纤的位置在平面内能发生改变，进而校准光刻镜头10的照射区域位置，以保证光刻效果符合预期要求。

请参阅图1至图2，在本申请的一些实施例中，安装件21朝第一方向X开设有第一螺纹孔211和第二螺纹孔212。第一螺纹孔211设置有第一调节螺丝24，第二螺纹孔212设置有第二调节螺丝25。转接件22的两侧分别设置有第一抵接面221和第二抵接面222，第一抵接面221和第二抵接面222位于第一螺纹孔211与第二螺纹孔212之间，第一抵接面221与第二抵接面222之间的距离小于第一螺纹孔211与第二螺纹孔212之间的距离。其中，在使安装件21在第一方向X移动过程中，拧动第一调节螺丝24和/或第二调节螺丝25，第一调节螺丝24抵接第一抵接面221和/或第二调节螺丝25抵接第二抵接面222，以使安装件21相对转接件22向第一方向X移动。

在使安装件21沿第一方向X的一侧移动的过程中，拧动第一调节螺丝24使第一调节螺丝24向第一螺纹孔211外拧出，此时第一调节螺丝24的端部向第一螺纹孔211外侧方向缩回；同时拧动第二调节螺丝25，使第二调节螺丝25向第二螺纹孔212内拧入，此时第二调节螺丝25的端部向第二螺纹孔212内侧方向伸出，第二调节螺丝25的端部抵压第二抵接面222；如此，使安装件21沿第一方向X的一侧相对转接件22移动。在拧动第一调节螺丝24和第二调节螺丝25的过程中，第一调节螺丝24的缩回速度大于等于第二调节螺丝25的伸出速度，以免第二调节螺丝25对第二抵接面222的抵压里过大而产生卡阻。

同理的，在使安装件21沿第一方向X的另一侧移动的过程中，拧动第二调节螺丝25使第二调节螺丝25向第二螺纹孔212外拧出，此时第二调节螺丝25的端部向第二螺纹孔212外侧方向缩回；同时拧动第一调节螺丝24，使第一调节螺丝24向第一螺纹孔211内拧入，此时第一调节螺丝24的端部向第一螺纹孔211内侧方向伸出，第一调节螺丝24的端部抵压第一抵接面221；如此，使安装件21沿第一方向X的另一侧相对转接件22移动。在拧动第一调节螺丝24和第二调节螺丝25的过程中，第二调节螺丝25的缩回速度大于等于第一调节螺丝24的伸出速度，以免第一调节螺丝24对第一抵接面221的抵压里过大而产生卡阻。

请参阅图1至图2，在本申请的一些实施例中，安装件21与转接件22中的一个设置有第一导向凸起213，安装件21与转接件22中的另一个设置有第一导向槽223，第一导向凸起213与第一导向槽223相适配。安装件21相对转接件22向第一方向X移动时，第一导向凸起213在第一导向槽223的内壁的限位下滑动。

在安装件21沿第一方向X相对转接件22移动的过程中，通过第一导向槽223对第一导向凸起213的导向使安装件21的移动更加平稳，移动方向更加确定，以此提高安装件21移动的位置精度，进而提高光刻镜头10的照射区域的位置精度，以保证光刻效果符合预期要求。

在本申请的一些实施例中，安装件21设置有若干第一腰型孔214，转接件22设置有第一螺丝孔224，第一螺丝孔224适配有第一安装螺丝28。其中，第一腰型孔214的长度方向沿第一方向X。安装件21与转接件22相连时，第一安装螺丝28穿过第一腰型孔214后拧入第一螺丝孔224，由第一安装螺丝28的螺丝头使安装件21抵持于转接件22。

通过第一安装螺丝28将安装件21锁紧于转接件22，当需要使安装件21相对转接件22移动时，拧松第一安装螺丝28，以减小安装件21与转接件22之间的抵接压力，从而减小安装件21与转接件22之间的摩擦力，在拧动第一调节螺丝24和/或第二调节螺丝25的过程中，即可使安装件21相对转接件22移动。当调节完成后，拧紧第一安装螺丝28，以使安装件21与转接件22再次安装紧固。第一腰型孔214的长度方向沿第一方向X，即可使安装件21具有足够的活动空间，进而使安装件21的移动能顺利进行。

请参阅图1至图2，在本申请的一些实施例中，转接件22朝第二方向Y开设有第三螺纹孔225和第四螺纹孔226。第三螺纹孔225设置有第三调节螺丝26，第四螺纹孔226设置有第四调节螺丝27。连接件23的两侧分别设置有第三抵接面231和第四抵接面232，第三抵接面231和第四抵接面232位于第三螺纹孔225与第四螺纹孔226之间，第三抵接面231与第四抵接面232之间的距离小于第三螺纹孔225与第四螺纹孔226之间的距离。其中，在使转接件22在第二方向Y移动过程中，拧动第三调节螺丝26和/或第四调节螺丝27，第三调节螺丝26抵接第三抵接面231和/或第四调节螺丝27抵接第四抵接面232，以使转接件22相对连接件23向第二方向Y移动。

在使转接件22沿第二方向Y的一侧移动的过程中，拧动第三调节螺丝26使第三调节螺丝26向第三螺纹孔225外拧出，此时第三调节螺丝26的端部向第三螺纹孔225外侧方向缩回；同时拧动第四调节螺丝27，使第四调节螺丝27向第四螺纹孔226内拧入，此时第四调节螺丝27的端部向第四螺纹孔226内侧方向伸出，第四调节螺丝27的端部抵压第四抵接面232；如此，使安装件21沿第二方向Y的一侧相对转接件22移动。在拧动第三调节螺丝26和第四调节螺丝27的过程中，第三调节螺丝26的缩回速度大于等于第四调节螺丝27的伸出速度，以免第四调节螺丝27对第四抵接面232的抵压里过大而产生卡阻。

同理的，在使转接件22沿第二方向Y的另一侧移动的过程中，拧动第四调节螺丝27使第四调节螺丝27向第四螺纹孔226外拧出，此时第四调节螺丝27的端部向第四螺纹孔226外侧方向缩回；同时拧动第三调节螺丝26，使第三调节螺丝26向第三螺纹孔225内拧入，此时第三调节螺丝26的端部向第三螺纹孔225内侧方向伸出，第三调节螺丝26的端部抵压第三抵接面231；如此，使安装件21沿第二方向Y的另一侧相对转接件22移动。在拧动第三调节螺丝26和第四调节螺丝27的过程中，第四调节螺丝27的缩回速度大于等于第三调节螺丝26的伸出速度，以免第三调节螺丝26对第三抵接面231的抵压里过大而产生卡阻。

请参阅图1至图2，在本申请的一些实施例中，转接件22与连接件23中的一个设置有第二导向凸起227，转接件22与连接件23中的另一个设置有第二导向槽233，第二导向凸起227与第二导向槽233相适配。转接件22相对连接件23向第二方向Y移动时，第二导向凸起227在第二导向槽233的内壁的限位下滑动。

在转接件22沿第二方向Y相对连接件23移动的过程中，通过第二导向槽233对第二导向凸起227的导向使转接件22的移动更加平稳，移动方向更加确定，以此提高转接件22移动的位置精度，进而提高光刻镜头10的照射区域的位置精度，以保证光刻效果符合预期要求。

请参阅图1至图2，在本申请的一些实施例中，转接件22设置有若干第二腰型孔228，连接件23设置有第二螺丝孔234，第二螺丝孔234适配有第二安装螺丝29。其中，第二腰型孔228的长度方向沿第二方向Y。转接件22与连接件23相连时，第二安装螺丝29穿过第二腰型孔228后拧入第二螺丝孔234，由第二安装螺丝29的螺丝头使转接件22抵持于连接件23。

通过第二安装螺丝29将转接件22锁紧于连接件23，当需要使转接件22相对连接件23移动时，拧松第二安装螺丝29，以减小转接件22与连接件23之间的抵接压力，从而减小转接件22与连接件23之间的摩擦力，在拧动第三调节螺丝26和/或第四调节螺丝27的过程中，即可使转接件22相对连接件23移动。当调节完成后，拧紧第二安装螺丝29，以使转接件22与连接件23再次安装紧固。第二腰型孔228的长度方向沿第二方向Y，即可使转接件22具有足够的活动空间，进而使转接件22的移动能顺利进行。

实施例二

请参阅图3，在本申请的一些实施例中，本申请提出的一种光刻镜头10包括本申请提出的调节装置20、匀光组件30、透镜组件40以及出光组件50。匀光组件30与调节装置20可拆卸相连。透镜组件40与匀光组件30可拆卸相连。出光组件50与透镜组件40可拆卸相连。其中，光纤发射的光束依次经过调节装置20、匀光组件30、透镜组件40、出光组件50。

请参阅图1至图3，将光纤安装于调节装置20中的安装件21，通过调节装置20中的连接件23使调节装置20安装于匀光组件30。来自光纤的光束射入匀光组件30内的匀光棒，并在匀光棒的入射端形成光斑，光束经匀光棒匀化后再依次经过透镜组件40和出光组件50，最终向光刻镜头10外射出形成照射区域。

通过调节装置20调节光纤光束的照射位置的效果，从而校准光刻镜头10的照射区域位置，以保证光刻效果符合预期要求。通过匀光组件30使照射区域内的光线分布更加均匀。通过透镜组件40使照射区域的光密度以及照射区域的大小符合预期要求。光线最终通过出光组件50向光刻镜头10外射出形成照射区域。如此，使光刻镜头10出射的光束在待光刻件上形成光线分布均匀的照射区域，且照射区域的大小及位置符合预期要求。

请参阅图3，在本申请的一些实施例中，匀光组件30与透镜组件40相连的一端设置有第一法兰31，透镜组件40与匀光组件30相连的一端设置有第二法兰41，第一法兰31与第二法兰41由若干第一连接螺丝60连接。

在调节照射区域内光线的均匀度时可松动第一连接螺丝60，减小第一法兰31与第二法兰41之间的抵压力，并使匀光组件30相对透镜组件40微微翘动，并在第一法兰31与第二法兰41之间的空隙内塞入相应规格的塞尺，然后检测照射区域内光线的均匀度。若照射区域内的光线均匀度符合预期要求，则记录塞尺的规格，在第一法兰31与第二法兰41之间垫如与记录的塞尺规格相应厚度的垫片，最后拧紧第一连接螺丝60，使匀光组件30与透镜组件40连接紧固。

在检测照射区域内光线的均匀度时，可拆除第一连接螺丝60，使匀光组件30连同调节装置20一起相对透镜组件40组件依次转动90°、180°、270°，并每转动一次，均检测此转动角度对应的照射区域内光线的均匀度，若每次检测的均匀度均符合预期要求，则照射区域内光线的均匀度调节完成。拧紧第一连接螺丝60，使匀光组件30与透镜组件40连接紧固。

在本申请的一些实施例中，透镜组件40与出光组件50相连的一端设置有第三法兰42，第三法兰42通过若干第二连接螺丝70与出光组件50相连。

在调节照射区域内光线的均匀度时可松动第二连接螺丝70，减小第三法兰42与出光组件50之间的抵压力，并使透镜组件40相对出光组件50微微翘动，并在第三法兰42与出光组件50之间的空隙内塞入相应规格的塞尺，然后检测照射区域内光线的均匀度。若照射区域内的光线均匀度符合预期要求，则记录塞尺的规格，在第三法兰42与出光组件50之间垫如与记录的塞尺规格相应厚度的垫片，最后拧紧第二连接螺丝70，使透镜组件40与出光组件50连接紧固。

在检测照射区域内光线的均匀度时，可拆除第二连接螺丝70，使透镜组件40连同匀光组件30和调节装置20一起相对出光组件50依次转动90°、180°、270°，并每转动一次，均检测此转动角度对应的照射区域内光线的均匀度，若每次检测的均匀度均符合预期要求，则照射区域内光线的均匀度调节完成。调节完成后，拧紧第二连接螺丝70，使透镜组件40与出光组件50连接紧固。

通过调节组件调节照射区域的位置，通过对匀光组件30与透镜组件40的连接处进行微调，以及对透镜组件40与出光组件50的连接处进行微调，调节照射区域内光线的均匀度。如此，校准光刻镜头10的照射区域位置以及调节照射区域内光线的均匀度，以保证光刻效果符合预期要求。

在本说明书的描述中，参考术语“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合所述实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

此外，以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种调节装置，其特征在于，包括：

用于安装光纤的安装件；

用于与外部结构相连的连接件；以及

用于将所述安装件与所述连接件连接的转接件；

其中，所述安装件与所述连接件位于所述转接件的两侧，所述安装件可相对所述转接件向第一方向移动，所述转接件可相对所述连接件向第二方向移动，所述第一方向与所述第二方向交叉，所述第一方向与所述第二方向均垂直于光束的传播方向。

2.根据权利要求1所述的调节装置，其特征在于，所述安装件朝所述第一方向开设有第一螺纹孔和第二螺纹孔；

所述第一螺纹孔设置有第一调节螺丝，所述第二螺纹孔设置有第二调节螺丝；

所述转接件的两侧分别设置有第一抵接面和第二抵接面，所述第一抵接面和所述第二抵接面位于所述第一螺纹孔与所述第二螺纹孔之间，所述第一抵接面与第二抵接面之间的距离小于所述第一螺纹孔与所述第二螺纹孔之间的距离；

其中，在使安装件在所述第一方向移动过程中，拧动第一调节螺丝和/或第二调节螺丝，第一调节螺丝抵接所述第一抵接面和/或第二调节螺丝抵接所述第二抵接面，以使所述安装件相对所述转接件向所述第一方向移动。

3.根据权利要求2所述的调节装置，其特征在于，所述安装件与所述转接件中的一个设置有第一导向凸起，所述安装件与所述转接件中的另一个设置有第一导向槽，所述第一导向凸起与所述第一导向槽相适配；

所述安装件相对所述转接件向所述第一方向移动时，所述第一导向凸起在所述第一导向槽的内壁的限位下滑动。

4.根据权利要求2所述的调节装置，其特征在于，所述安装件设置有若干第一腰型孔，所述转接件设置有第一螺丝孔，所述第一螺丝孔适配有第一安装螺丝；

其中，所述第一腰型孔的长度方向沿所述第一方向；

所述安装件与所述转接件相连时，所述第一安装螺丝穿过所述第一腰型孔后拧入所述第一螺丝孔，由所述第一安装螺丝的螺丝头使所述安装件抵持于所述转接件。

5.根据权利要求1所述的调节装置，其特征在于，所述转接件朝所述第二方向开设有第三螺纹孔和第四螺纹孔；

所述第三螺纹孔设置有第三调节螺丝，所述第四螺纹孔设置有第四调节螺丝；

所述连接件的两侧分别设置有第三抵接面和第四抵接面，所述第三抵接面和所述第四抵接面位于所述第三螺纹孔与所述第四螺纹孔之间，所述第三抵接面与第四抵接面之间的距离小于所述第三螺纹孔与所述第四螺纹孔之间的距离；

其中，在使转接件在所述第二方向移动过程中，拧动第三调节螺丝和/或第四调节螺丝，第三调节螺丝抵接所述第三抵接面和/或第四调节螺丝抵接所述第四抵接面，以使所述转接件相对所述连接件向所述第二方向移动。

6.根据权利要求5所述的调节装置，其特征在于，所述转接件与所述连接件中的一个设置有第二导向凸起，所述转接件与所述连接件中的另一个设置有第二导向槽，所述第二导向凸起与所述第二导向槽相适配；

所述转接件相对所述连接件向所述第二方向移动时，所述第二导向凸起在所述第二导向槽的内壁的限位下滑动。

7.根据权利要求5所述的调节装置，其特征在于，所述转接件设置有若干第二腰型孔，所述连接件设置有第二螺丝孔，所述第二螺丝孔适配有第二安装螺丝；

其中，所述第二腰型孔的长度方向沿所述第二方向；

所述转接件与所述连接件相连时，所述第二安装螺丝穿过所述第二腰型孔后拧入所述第二螺丝孔，由所述第二安装螺丝的螺丝头使所述转接件抵持于所述连接件。

8.一种光刻镜头，其特征在于，包括权利要求1-7中任意一项所述的调节装置；

匀光组件，所述匀光组件与所述调节装置可拆卸相连；

透镜组件，所述透镜组件与所述匀光组件可拆卸相连；以及

出光组件，所述出光组件与所述透镜组件可拆卸相连；

其中，光纤发射的光束依次经过所述调节装置、所述匀光组件、所述透镜组件、所述出光组件。

9.根据权利要求8所述的光刻镜头，其特征在于，所述匀光组件与所述透镜组件相连的一端设置有第一法兰，所述透镜组件与所述匀光组件相连的一端设置有第二法兰，所述第一法兰与所述第二法兰由若干第一连接螺丝连接。

10.根据权利要求8所述的光刻镜头，其特征在于，所述透镜组件与所述出光组件相连的一端设置有第三法兰，所述第三法兰通过若干第二连接螺丝与所述出光组件相连。