CN220540021U - 一种可移动式晶圆传输机械接口装载装置固定结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种可移动式晶圆传输机械接口装载装置固定结构，包括背板、用于支撑晶圆传输标准机械接口装载装置的支撑板，所述支撑板与所述背板垂直固定连接，所述背板上设置有传输晶圆传输标准机械接口装载装置的传输通孔；所述背板的底部设置有与设备前端模块进行限位的限位结构；所述的固定结构底部设置有便于其移动的万向轮。本实用新型的有益效果为：本实用新型所述一种可移动式晶圆传输机械接口装载装置固定结构可与设备前端模块连接固定，实现晶圆传输标准机械接口装载装置的单人快速安装，且无需对原有设备进行改造，因其整体可移动，可随意在不同设备间切换使用。
Description
技术领域
本实用新型属于半导体技术领域，具体涉及一种可移动式晶圆传输机械接口装载装置固定结构。
背景技术
随着半导体制造技术的日益发展，企业为了提高生产效率，需要对不同生产及检测设备进行改造，使其可以安装适配独立式晶圆传输标准机械接口装载装置。而在半导体制程中，晶圆传输标准机械接口装载装置通畅被安装在设备前端模块(EFEM)，用来作为晶圆进出设备前端模块的窗口。晶圆从装载装置中被取出，通过机械手臂传输到不同工艺反应室，最后再由机械手臂取回送至装载装置内，可见晶圆装载装置从头至尾都起着关键性作用。
晶圆传输标准机械接口装载装置一般体积较大，重量较重，且无适配的支撑平台，通常需几名员工同时安装，费时费力，降低了生产效率。
实用新型内容
本申请的主要目的在于提供一种可移动式晶圆传输标准机械接口装载装置固定结构，该结构可安装在设备前端模块上，自带支撑平台及底部可移动滚轮，可实现单人快速安装，提高生产效率。
为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
一种可移动式晶圆传输机械接口装载装置固定结构，包括背板、用于支撑晶圆传输标准机械接口装载装置的支撑板，所述支撑板与所述背板垂直固定连接，所述背板上设置有传输晶圆传输标准机械接口装载装置的传输通孔；
所述背板的底部设置有与设备前端模块进行限位的限位结构；
所述的固定结构底部设置有便于其移动的万向轮。
在使用本申请所述一种可移动式晶圆传输机械接口装载装置固定结构时，通过底部的万向轮将其移动至设备前端模块，利用限位结构对其位置进行固定，晶圆传输标准机械接口装载装置放置于支撑板上，设备前端模块中的机械手臂可穿过传输通孔在装载装置上进行取片，然后传输至设备内部进行检测。
上述一种可移动式晶圆传输机械接口装载装置固定结构，作为一种优选的实施方案，所述背板上开设有便于数据线传过的穿线孔。
上述一种可移动式晶圆传输机械接口装载装置固定结构，作为一种优选的实施方案，所述传输通孔位于所述支撑板的上方，优选地，所述传输通孔的底边与所述支撑板的顶面位于同一水平面上。
设计传输通孔的底边与所述支撑板的顶面位于同一水平面上，便于晶圆传输标准机械接口装载装置的传输。
上述一种移动式晶圆传输机械接口装载装置固定结构，作为一种优选的实施方案，所述限位结构为限位盲孔，所述限位盲孔的形状为弧形，所述限位盲孔与设备前端模块凸起的销钉相适配。
设备前端模块凸起的销钉插入限位盲孔中(一般情况下标准设备有凸起销钉，其他没有的可以另外安装销钉)，销钉在限位盲孔中具有一定的活动空间，便于对所述固定结构的位置进行调节。
优选地，还包括底部罩壳，所述底部罩壳与背板的底部垂直固定连接，所述底部罩壳的底面设置有万向轮。
底部罩壳的设置使所述的固定结构更稳固，同时便于万向轮的安装。
上述一种移动式晶圆传输机械接口装载装置固定结构，作为一种优选的实施方案，所述支撑板的底面设置有加强筋，优选地，所述加强筋的形状为直角三角形。
直接三角形形状的加强筋的两条直角边分别与背板和支撑板固定连接，起到支撑加强支撑板的作用。
上述一种移动式晶圆传输机械接口装载装置固定结构，作为一种优选的实施方案，所述背板上设置有加强筋，所述加强筋沿所述背板的长度方向设置，所述加强筋位于固定支撑板面的相对面上。
本实用新型的有益效果为：本实用新型所述一种可移动式晶圆传输机械接口装载装置固定结构可与设备前端模块(晶圆量测设备)连接固定，实现晶圆传输标准机械接口装载装置的单人快速安装，且无需对原有设备进行改造，因其整体可移动，可随意在不同设备间切换使用。
附图说明
图1为本实用新型所述可移动式晶圆传输机械接口装载装置固定结构的结构示意图；
图2为本实用新型所述可移动式晶圆传输机械接口装载装置固定结构的后视图；
图3为本实用新型所述可移动式晶圆传输机械接口装载装置固定结构的仰视图；
图中：1、背板；2、支撑板；3、传输通孔；4、限位结构；5、万向轮；6、穿线孔；7、底部罩壳；8、加强筋。
具体实施方式
为了使本技术领域的人员更好地理解本申请方案，下面将结合案例对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。
在本申请中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“中”、“竖直”、“水平”、“横向”、“纵向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系。这些术语主要是为了更好地描述本申请及其实施例，并非用于限定所指示的装置、元件或组成部分必须具有特定方位，或以特定方位进行构造和操作。
并且，上述部分术语除了可以用于表示方位或位置关系以外，还可能用于表示其他含义，例如术语“上”在某些情况下也可能用于表示某种依附关系或连接关系。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解这些术语在本申请中的具体含义。
一种可移动式晶圆传输机械接口装载装置固定结构，包括背板1、用于支撑晶圆传输标准机械接口装载装置的支撑板2，支撑板2与所述背板1垂直固定连接，在背板1上设置有传输晶圆传输标准机械接口装载装置的传输通孔3；且在背板1上开设有便于数据线传过的穿线孔6。
为便于晶圆传输机械接口装载装置的传输，传输通孔3设置于所述支撑板2的上方，且传输通孔3的底边与所述支撑板2的顶面位于同一水平面上。
为使所述的固定结构位置相对固定，在背板1的底部设置有与设备前端模块进行限位的限位结构4。本实施例所采用的限位结构4为限位盲孔，作为一种优选的实施方案，限位盲孔的形状为弧形，限位盲孔与设备前端模块的凸起的销钉相适配。销钉在限位盲孔内有一定的活动区间，便于校准所述的固定结构与设备前端模块之间的位置。
为使所述的固定结构更稳固，其还包括底部罩壳7，所述底部罩壳7与背板1的底部垂直固定连接，在底部罩壳7的底面设置有万向轮5。底部罩壳7的形状不做具体限制，底部罩壳7的作用是固定万向轮5，提高所述的固定结构的稳定性。
为使整个装置更牢固，在支撑板2的底面设置有加强筋8，且加强筋8的形状为直角三角形，这样加强筋8的两条直角边分别与支撑板2和背板1固定连接。在背板1上也设置有加强筋8，背板1上的加强筋8沿背板1的长度方向设置，且其位于固定支撑板2的相对面上。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型方法的前提下，还可以做出若干改进和补充，这些改进和补充也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (7)
1.一种可移动式晶圆传输机械接口装载装置固定结构，其特征在于，包括背板、用于支撑晶圆传输标准机械接口装载装置的支撑板，所述支撑板与所述背板垂直固定连接，所述背板上设置有传输晶圆传输标准机械接口装载装置的传输通孔；
所述背板的底部设置有与设备前端模块进行限位的限位结构；
所述的固定结构底部设置有便于其移动的万向轮。
2.根据权利要求1所述一种可移动式晶圆传输机械接口装载装置固定结构，其特征在于，所述背板上开设有便于数据线传过的穿线孔。
3.根据权利要求1所述一种可移动式晶圆传输机械接口装载装置固定结构，其特征在于，所述传输通孔位于所述支撑板的上方，优选地，所述传输通孔的底边与所述支撑板的顶面位于同一水平面上。
4.根据权利要求1所述一种可移动式晶圆传输机械接口装载装置固定结构，其特征在于，所述限位结构为限位盲孔，所述限位盲孔的形状为弧形，所述限位盲孔与设备前端模块的凸起的销钉相适配。
5.根据权利要求1所述一种可移动式晶圆传输机械接口装载装置固定结构，其特征在于，还包括底部罩壳，所述底部罩壳与背板的底部垂直固定连接，所述底部罩壳的底面设置有万向轮。
6.根据权利要求1所述一种可移动式晶圆传输机械接口装载装置固定结构，其特征在于，所述支撑板的底面设置有加强筋，优选地，所述加强筋的形状为直角三角形。
7.根据权利要求1所述一种可移动式晶圆传输机械接口装载装置固定结构，其特征在于，所述背板上设置有加强筋，所述加强筋沿所述背板的长度方向设置，所述加强筋位于固定支撑板的相对面上。
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