CN220531210U - 一种化学气相沉积炉用尾气过滤装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种化学气相沉积炉用尾气过滤装置，包括液环泵、储油箱和喷淋塔，所述液环泵的出油口通过管道与所述储油箱相连接，所述储油箱的出油口与所述液环泵的进油口相连接，所述液环泵与所述储油箱构成一个循环系统，所述储油箱的排气口通过管道与所述喷淋塔相连接。本实用新型简单合理，通过液环泵与储油箱形成一个循环系统，将液环泵的循环戒指由水改为了油，节约了大量水资源，由于装置中没有水分，尾气中的酸性气体会直接在储油箱中分离，通过排气口进入喷淋塔中吸收中和，避免了使用水做循环介质产生的酸腐蚀，减少对化学气相沉积设备的损伤。
Description
技术领域
本实用新型涉及气相沉积技术领域，尤其涉及一种化学气相沉积炉用尾气过滤装置。
背景技术
化学气相沉积法是采用气体物质，在真空、高温下发生化学反应，沉积到固体衬体上生成产品的方法，其在过程中会产生尾气，为由于部分化学成分的气体未被完全沉积，部分化学气体会混合在尾气内，因此需要对尾气进行过滤处理。
现有技术利用水环泵作为真空装置前级泵，采用水吸收掉生产尾气中的酸性气体，但是需要消耗大量水资源，同时尾气中酸性气体溶于水会产生酸腐蚀，对设备造成损伤。
实用新型内容
为了克服现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种化学气相沉积炉用尾气过滤装置，以解决上述背景技术中的问题。
本实用新型的目的采用以下技术方案实现：
一种化学气相沉积炉用尾气过滤装置，包括液环泵、储油箱和喷淋塔，所述液环泵的出油口通过管道与所述储油箱相连接，所述储油箱的出油口与所述液环泵的进油口相连接，所述液环泵与所述储油箱构成一个循环系统，所述储油箱的排气口通过管道与所述喷淋塔相连接。
优选地，所述储油箱内设置有油气分离装置。
优选地，所述喷淋塔的出气口连接设有引风机。
优选地，所述喷淋塔中加入碱性物质。
相比现有技术，本实用新型的有益效果在于：
1、本实用新型简单合理，通过液环泵与储油箱形成一个循环系统，将液环泵的循环介质由水改为了油，节约了大量水资源，由于装置中没有水分，尾气中的酸性气体会直接在储油箱中分离，通过排气口进入喷淋塔中吸收中和，避免了使用水做循环介质产生的酸腐蚀，减少对化学气相沉积设备的损伤。
2、由于油的饱和蒸气压远低于水的饱和蒸气压，使用油作为循环介质时，可以有效提升液环泵的抽真空效果。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图中：1、液环泵；2、储油箱；3、喷淋塔；4、引风机。
具体实施方式
下面，结合附图以及具体实施方式，对本实用新型做进一步描述：
在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在限制本实用新型。
如图1所示一种化学气相沉积炉用尾气过滤装置，包括液环泵1、储油箱2和喷淋塔3，所述液环泵1的出油口通过管道与所述储油箱2相连接，所述储油箱2的出油口与所述液环泵1的进油口相连接，所述液环泵1与所述储油箱2构成一个循环系统，所述储油箱2的排气口通过管道与所述喷淋塔3相连接。
具体地，所述储油箱2内设置有油气分离装置，通过油气分离装置，将溶于油的尾气分离出来，导入喷淋塔3中净化后排出。
具体地，所述喷淋塔3的出气口连接设有引风机4，通过引风机4将储油箱2中油气分离后的尾气导入喷淋塔3中，再将喷淋塔3中和净化后的尾气排出。
具体地，所述喷淋塔3中加入碱性物质，使得喷淋塔3内的水呈碱性，用于中和尾气的酸性气体。
在本实施例中，碱性物质为苏打。
本实用新型的工作原理：使用时，现在出油箱2内加入变压器油，因为油的饱和蒸气压远低于水的饱和蒸气压，使用油作为循环介质时，可以有效提升液环泵1的抽真空效果，在喷淋塔3内注入苏打，液环泵1吸收生产时产生的尾气，通过管道排入储油箱2内，储油箱2中的油气分离装置对吸收了尾气的变压器油进行过滤分离，经过过滤后的变压器油从储油箱2的出油口排入液环泵1中循环使用，分离出去的尾气通过储油箱2排气口排入喷淋塔3中，尾气中的酸性气体通过喷淋塔3的碱液中和吸收，中和酸性气体后的尾气通过引风机4排出，本实用新型通过液环泵1与储油箱2形成一个循环系统，将液环泵1的循环介质由水改为了油，节约了大量水资源，由于装置中没有水分，尾气中的酸性气体会直接在储油箱2中分离，通过排气口进入喷淋塔3中吸收中和，避免了使用水做循环介质产生的酸腐蚀，减少对化学气相沉积设备的损伤。
对本领域的技术人员来说，可根据以上描述的技术方案以及构思，做出其它各种相应的改变以及形变，而所有的这些改变以及形变都应该属于本实用新型权利要求的保护范围之内。
Claims (4)
1.一种化学气相沉积炉用尾气过滤装置，包括液环泵、储油箱和喷淋塔，其特征在于，所述液环泵的出油口通过管道与所述储油箱相连接，所述储油箱的出油口与所述液环泵的进油口相连接，所述液环泵与所述储油箱构成一个循环系统，所述储油箱的排气口通过管道与所述喷淋塔相连接。
2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉用尾气过滤装置，其特征在于，所述储油箱内设置有油气分离装置。
3.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉用尾气过滤装置，其特征在于，所述喷淋塔的出气口连接设有引风机。
4.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉用尾气过滤装置，其特征在于，所述喷淋塔中加入碱性物质。
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| CN202322086487.7U CN220531210U (zh) | 2023-08-04 | 2023-08-04 | 一种化学气相沉积炉用尾气过滤装置 |
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| CN (1) | CN220531210U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN117987802A (zh) * | 2024-03-18 | 2024-05-07 | 湖南联合半导体科技有限公司 | 一种化学气相沉积设备及其真空与尾气处理系统 |
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2023
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