CN220525079U - 一种电子皂膜流量计的校准装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种电子皂膜流量计的校准装置，涉及流量计校准技术领域。该校准装置包括气体发生器、减压阀、稳压阀、流量调节阀、换向器以及标准器，气体发生器与减压阀、稳压阀、流量调节阀以及换向器依次串联连通，换向器用于切换与待校准的电子皂膜流量计连通或者与标准器连通。本方案提供的校准装置通过比较同一流量点下电子皂膜流量计的测量值和标准器的测量值，即可完成对电子皂膜流量计的校准。
Description
技术领域
本实用新型涉及流量计校准技术领域，具体涉及一种电子皂膜流量计的校准装置。
背景技术
近年来，半导体制造业、精细化工、纳米技术、生物医药等领域的迅速崛起，使得气体流量计量朝着小、微方向发展，小流量、微小流量的需求日益凸显。目前，用于微小流量计量的计量器具主要有皂膜流量计、活塞流量计等。皂膜流量计成本低，使用便捷，在工业生产、理化分析和科学实验等各个领域有着广泛的应用。传统的皂膜流量计主要受皂膜管上下刻度线读数示值误差、大气压和环境温度读数误差、测量时间误差的影响。随着电子工业和传感器技术的发展，电子皂膜流量计采用先进高精度的温度和压力测量电子元器件，并运用红外传感器和单片机晶振，能够实现温度、压力、时间参数的高精度自动采集，克服了传统皂膜流量计示值误差影响因素。在工作计量器具或检定装置中，已基本全面取代传统皂膜流量计。电子皂膜流量计的测量准确度非常重要，因此需要研制一套电子皂膜流量计的校准装置。
实用新型内容
本实用新型的目的在于，针对上述现有技术的不足，提供一种电子皂膜流量计的校准装置，以解决电子皂膜流量计的校准问题。
为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案如下：
本实用新型提供了一种电子皂膜流量计的校准装置，该校准装置包括气体发生器、减压阀、稳压阀、流量调节阀、换向器以及标准器，气体发生器与减压阀、稳压阀、流量调节阀以及换向器依次串联连通，换向器用于切换与待校准的电子皂膜流量计连通或者与标准器连通。
可选地，气体发生器用于产生校准用介质气体，如氮气或者空气等。
可选地，标准器采用SL-800型干式流量校准器，标准器的内部自带温度传感器和压力传感器。
可选地，稳压阀用于使气体压力稳定保持在0.2MPa，并且气体压力波动小于100Pa。
可选地，流量调节阀用于调节管路气体流量，并保持管路气体流量稳定。
可选地，换向器和待校准的电子皂膜流量计之间的管路上装有温度计和压力计，用于测量待校准的电子皂膜流量计上游的气体温度和压力。
本实用新型的有益效果包括：
本实用新型提供的电子皂膜流量计的校准装置包括气体发生器、减压阀、稳压阀、流量调节阀、换向器以及标准器，气体发生器与减压阀、稳压阀、流量调节阀以及换向器依次串联连通，换向器用于切换与待校准的电子皂膜流量计连通或者与标准器连通。本方案提供的校准装置通过比较同一流量点下电子皂膜流量计的测量值和标准器的测量值，即可完成对电子皂膜流量计的校准。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1示出了本实用新型一实施例提供的电子皂膜流量计的校准装置的结构示意图；
图2示出了本实用新型一实施例提供的标准器的结构示意图。
附图标记：101-气体发生器；102-减压阀；103-稳压阀；104-流量调节阀；105-换向器；106-标准器；107-待校准的电子皂膜流量计；108-温度计；109-压力计；201-底座；202-气缸；203-活塞；204-光电发射器；205-温度和压力传感器。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
随着电子工业和传感器技术的发展，电子皂膜流量计采用先进高精度的温度和压力测量电子元器件，并运用红外传感器和单片机晶振，能够实现温度、压力、时间参数的高精度自动采集，克服了传统皂膜流量计示值误差影响因素。在工作计量器具或检定装置中，已基本全面取代传统皂膜流量计。电子皂膜流量计的测量准确度非常重要，因此需要研制一套电子皂膜流量计的校准装置。
电子皂膜流量计的工作原理是由气源流出的气体，通过流量调节阀，调到所需流量后，由皂膜管下端的进气口进入皂膜管，挤压胶球产生皂膜，由于进气的压力，推动皂膜沿着皂膜管匀速上升，当皂膜升到皂膜管的下限传感器时，自动开始计时，当皂膜升到皂膜管的上限传感器时，自动停止计时，由测得的时间和皂膜管两个传感器之间的容积即可计算出流过流量计的瞬时流量，显示仪表直接显示出瞬时流量。
图1示出了本实用新型一实施例提供的电子皂膜流量计的校准装置的结构示意图，如图1所示，本实用新型提供的电子皂膜流量计的校准装置包括气体发生器101、减压阀102、稳压阀103、流量调节阀104、换向器105以及标准器106，气体发生器101与减压阀102、稳压阀103、流量调节阀104以及换向器105依次串联连通，换向器105用于切换与待校准的电子皂膜流量计107连通或者与标准器106连通。
气体发生器101用于产生校准用介质气体，如采用氮气发生器或空气发生器。可选地，标准器106采用SL-800型干式流量校准器，标准器106的内部自带温度传感器和压力传感器。如图2所示，这款干式流量校准器由底座201、气缸202、活塞203、光电发射器204、温度和压力传感器205、旁路和流量计算单元组成，其流量范围为(5～50000)mL/min，不确定度为0.2％(k＝2)。该干式流量校准器中的圆筒形气缸推动内部的活塞上升，由于气缸活塞的几何尺寸是固定的，只要精确地测量出活塞通过气缸的时间就可以计算出准确的体积流量，其内部自带温度和压力传感器可实现精确的自动补偿从而获得气体的质量流量。它采用无汞密封，安全环保。
可选地，稳压阀103用于使气体压力稳定保持在0.2MPa，并且气体压力波动小于100Pa。
可选地，流量调节阀104用于调节管路气体流量，并保持管路气体流量稳定。
可选地，换向器105和待校准的电子皂膜流量计107之间的管路上装有温度计108和压力计109，用于测量待校准的电子皂膜流量计107上游的气体温度和压力。
本方案提供的校准装置通过比较同一流量点下电子皂膜流量计的测量值和标准器的测量值，即可完成对电子皂膜流量计的校准。
以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种电子皂膜流量计的校准装置，其特征在于，所述校准装置包括气体发生器、减压阀、稳压阀、流量调节阀、换向器以及标准器，所述气体发生器与所述减压阀、所述稳压阀、所述流量调节阀以及所述换向器依次串联连通，所述换向器用于切换与待校准的电子皂膜流量计连通或者与所述标准器连通。
2.根据权利要求1所述的电子皂膜流量计的校准装置，其特征在于，所述气体发生器用于产生校准用介质气体。
3.根据权利要求1所述的电子皂膜流量计的校准装置，其特征在于，所述标准器采用SL-800型干式流量校准器，所述标准器的内部自带温度传感器和压力传感器。
4.根据权利要求1所述的电子皂膜流量计的校准装置，其特征在于，所述稳压阀用于使气体压力稳定保持在0.2MPa，并且气体压力波动小于100Pa。
5.根据权利要求1所述的电子皂膜流量计的校准装置，其特征在于，所述流量调节阀用于调节管路气体流量，并保持管路气体流量稳定。
6.根据权利要求1所述的电子皂膜流量计的校准装置，其特征在于，所述换向器和待校准的电子皂膜流量计之间的管路上装有温度计和压力计，用于测量待校准的电子皂膜流量计上游的气体温度和压力。
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