CN220503192U - 一种新型载板及镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种新型载板及镀膜设备，其中新型载板包括载板本体，所述载板本体形成有若干呈阵列排布的承载位，所述载板本体在高度方向上的至少一侧表面设有隔膜结构，所述隔膜结构包括若干隔膜，若干所述隔膜层叠设置且可相互分离。本实用新型通过设置多层可分离的隔膜，使得载板无需进行清洗，只需在经过预设的镀膜次数后，撕下其上的隔膜即可，从而减少工时，降低成本。

Description

一种新型载板及镀膜设备

技术领域

本实用新型涉及载板领域，具体而言，涉及一种新型载板及镀膜设备。

背景技术

现有的镀膜设备在对硅片表面沉积膜层时，也会在载板的表面同步沉积膜层，随着镀膜次数的累积，载板上的膜层逐渐变厚，膜层累积的过程中会造成载板应力集中，容易导致载板开裂，或在镀膜过程中发生剥落，对腔室造成污染，进而影响硅片镀膜工艺的良率。故通常在载板经过若干次镀膜后，需要对载板进行清洗，去除载板表面上膜层，但现有载板清洗工序耗时长，成本高。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种新型载板及镀膜设备，通过设置多层可分离的隔膜，使得载板无需进行清洗，只需在经过预设的镀膜次数后，撕下其上的隔膜即可，从而减少工时，降低成本。

一种新型载板，包括载板本体，所述载板本体形成有若干呈阵列排布的承载位，所述载板本体在高度方向上的至少一侧表面设有隔膜结构，所述隔膜结构包括若干隔膜，若干所述隔膜层叠设置且可相互分离。

在上述技术方案中，载板本体上设有若干承载位，能够承载待镀膜的硅片，载板本体的表面设有隔膜结构，隔膜结构包括层叠设置的若干隔膜，且隔膜之间可相互分离，当对硅片进行镀膜时，工艺气体可沉积于表面的隔膜上，形成膜层，当累积一定镀膜次数后，撕下最上面的隔膜，暴露出下方光洁的另一层隔膜，以供下次镀膜使用，使得载板无需进行清洗，只需在经过预设的镀膜次数后，撕下其上的隔膜即可，从而减少工时，降低成本。

进一步的，所述载板本体包括外框、若干沿第一方向延伸的横向支撑条、以及若干沿第二方向延伸的纵向支撑条。

在上述技术方案中，载板本体通过外框、横向支撑条、以及纵向支撑条配合形成承载位，以承载待镀膜的硅片，整体结构简单稳固。

进一步的，所述外框、横向支撑条、以及纵向支撑条在高度方向上的表面齐平，所述隔膜结构贴设于所述外框、横向支撑条、以及纵向支撑条在高度方向上的至少一侧表面。

在上述技术方案中，外框、横向支撑条、以及纵向支撑条在高度方向上的表面齐平，使得隔膜结构能够平整地贴附于外框、横向支撑条、以及纵向支撑条在高度方向上的至少一侧表面，从而覆盖载板本体未放置硅片的区域，避免膜层沉积于载板本体上。

进一步的，所述外框、横向支撑条、以及纵向支撑条靠近所述承载位的一侧或两侧向承载位延伸形成承载部。

在上述技术方案中，承载部能够承托硅片，同时外框、横向支撑条和纵向支撑条配合对硅片形成限位，以保证硅片在镀膜时的稳定。

进一步的，所述外框、横向支撑条、以及纵向支撑条靠近所述承载位的角部设有避空槽。

在上述技术方案中，避空槽能够对硅片的角部避空，一方面便于硅片的取放，另一方面能够避免硅片角部发生碰撞，起到保护硅片的作用。

进一步的，所述隔膜包括离型基体层和粘胶层，所述粘胶层设于所述离型基体层的其中一侧表面。

在上述技术方案中，隔膜能够通过粘胶层与另一隔膜或载板本体粘接，离型基体层能够在进行沉积工艺时形成膜层。

进一步的，所述隔膜还包括耐高温层，所述耐高温层设于所述离型基体层远离所述粘胶层的一侧表面。

在上述技术方案中，耐高温层能够保证隔膜的耐高温性能，使隔膜能够适用于镀膜时的高温环境。

进一步的，所述耐高温层的材质为铁氟龙或陶瓷薄膜或氧化铝。

在上述技术方案中，铁氟龙、陶瓷薄膜、氧化铝材料具有良好的耐高温性能，能够保证隔膜的耐高温性。

进一步的，所述载板本体的表面为粗糙表面。

在上述技术方案中，将载板本体的表面设置为粗糙表面，能够方便将贴附在载板本体上的隔膜撕下。

一种镀膜设备，包括上述的新型载板。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：载板本体上设有若干承载位，能够承载待镀膜的硅片，载板本体的表面设有隔膜结构，隔膜结构包括层叠设置的若干隔膜，且隔膜之间可相互分离，当对硅片进行镀膜时，工艺气体可沉积于表面的隔膜上，形成膜层，当累积一定镀膜次数后，撕下最上面的隔膜，暴露出下方光洁的另一层隔膜，以供下次镀膜使用，使得载板无需进行清洗，只需在经过预设的镀膜次数后，撕下其上的隔膜即可，从而减少工时，降低成本。

本实用新型还提供了一种镀膜设备，包括上述的新型载板，因而所述镀膜设备也具有新型载板的有益效果。

附图说明

图1为本实用新型的新型载板的结构示意图。

图2为本实用新型的新型载板的承载位的局部结构示意图。

图3为本实用新型的新型载板的载板本体和隔膜结构的结构示意图。

附图标号说明：

载板本体1、承载位11、承载部111、避空槽112、外框12、横向支撑条13、纵向支撑条14、隔膜结构2、隔膜21、离型基体层211、粘胶层212、耐高温层213、第一方向X、第二方向Y。

具体实施方式

为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的较佳实施方式。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施方式。

请参考图1至图3，一较佳实施例中，本实用新型的新型载板主要包括载板本体1和隔膜结构2，其中，载板本体1形成有若干呈阵列排布的承载位11，承载位11用于放置待镀膜的硅片。载板本体1在高度方向上的至少一侧表面设有隔膜结构2，隔膜结构2包括若干隔膜21，若干隔膜21层叠设置且可相互分离。

在本实施例中，隔膜结构2设于载板本体1的上端面，即承载位11开口朝向的一侧表面，以避免载板本体1的上端面在镀膜过程中沉积形成膜层。在其他可能的实施例中，载板本体1在高度方向上的两侧表面，即上端面和下端面可分别设置隔膜结构2，从而对载板本体1形成更加全面的保护。

通过在载板本体1的表面设置隔膜结构2，隔膜结构2包括层叠设置的若干隔膜21，且隔膜21之间可相互分离，当对硅片进行镀膜时，工艺气体可沉积于表面的隔膜21上，形成膜层，当累积一定镀膜次数后，撕下最上面的隔膜21，暴露出下方光洁的另一层隔膜21，供下次镀膜使用，使得载板无需进行清洗，只需在经过预设的镀膜次数后，撕下其上的隔膜21即可，从而减少工时，降低成本。

载板本体1包括外框12、若干横向支撑条13、以及若干纵向支撑条14，若干横向支撑条13沿第一方向X延伸，若干纵向支撑条14沿第二方向Y延伸，其中，第一方向X与第二方向Y垂直。在本实施例中，若干横向支撑条13沿第二方向Y等距离排列，若干纵向支撑条14沿第一方向X等距离排列，从而在外框12内部形成若干形状尺寸相同的承载位11，以承载待镀膜的硅片，整体结构简单稳固。

外框12、横向支撑条13、以及纵向支撑条14在高度方向上的表面齐平，隔膜结构2贴设于外框12、横向支撑条13、以及纵向支撑条14在高度方向上的至少一侧表面。外框12、横向支撑条13、以及纵向支撑条14在高度方向上的表面齐平，即三者的表面位于同一平面，使得隔膜结构2能够平整地贴附于外框12、横向支撑条13、以及纵向支撑条14上，从而覆盖载板本体1未放置硅片的区域，避免膜层沉积于载板本体1上。需要说明的是，每个隔膜21优选为一体成型，其形状与载板本体1的形状相匹配，能够同时贴附在外框12、横向支撑条13、以及纵向支撑条14上。

需要说明的是，为了方便将隔膜结构2粘贴于载板本体1上，可将隔膜结构2制成与载板本体1相适配的形状，即先将隔膜结构2制作成为与载板本体1尺寸相同的矩形，然后将隔膜结构2整体粘贴在载板本体1上，此时隔膜结构2同时覆盖载板本体1的表面及承载位11，再采用裁切机构冲压裁切隔膜结构2，将隔膜结构2覆盖承载位11的部分裁去，从而得到只覆盖载板本体1表面并露出承载位11的隔膜结构1，采用该加工方式可提高隔膜结构2的粘贴效率及准确度。

请参考图2，外框12、横向支撑条13、以及纵向支撑条14靠近承载位11的一侧或两侧向承载位11延伸形成承载部111。示例性的，外框12、横向支撑条13、以及纵向支撑条14的下端向承载位11内部延伸形成大体呈矩形的承载部111，承载部111的内侧形成通孔，承载部111能够承载待镀膜的硅片的边缘，同时外框12、横向支撑条13和纵向支撑条14配合对硅片形成限位，以保证硅片在镀膜时的稳定。

外框12、横向支撑条13、以及纵向支撑条14靠近承载位11的角部设有避空槽112。示例性的，避空槽112形成为一侧开口的圆形，开口与承载位11连通，通过避空槽112能够对硅片的角部避空，一方面便于硅片的取放，另一方面能够避免硅片角部发生碰撞，起到保护硅片的作用。

请参考图3，隔膜21包括离型基体层211和粘胶层212，粘胶层212设于离型基体层211的其中一侧表面。具体的，离型基体层211可采用现有的离型膜材质，例如PET，隔膜21能够通过粘胶层212与另一隔膜21或载板本体1粘接，离型基体层211能够在进行沉积工艺时形成膜层。

在本实施例中，隔膜21还包括耐高温层213，耐高温层213设于离型基体层211远离粘胶层212的一侧表面。耐高温层213能够保证隔膜21的耐高温性能，使隔膜21能够适用于镀膜时的高温环境。具体实施时，耐高温层213的材质可采用铁氟龙或陶瓷薄膜或氧化铝，但不限于此，铁氟龙、陶瓷薄膜、氧化铝材料具有良好的耐高温性能，能够保证隔膜21的耐高温性。

载板本体1的表面为粗糙表面，将载板本体1的表面设置为粗糙表面，能够方便将贴附在载板本体1上的隔膜21撕下。

本实用新型还提供一种镀膜设备，包括上述的新型载板。在该实施例中，镀膜设备包括上述的新型载板，因而所述镀膜设备也具有新型载板的有益效果，在此不作赘述。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语诸如 “上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上， 除非另有明确具体的限定。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种新型载板，其特征在于，包括载板本体，所述载板本体形成有若干呈阵列排布的承载位，所述载板本体在高度方向上的至少一侧表面设有隔膜结构，所述隔膜结构包括若干隔膜，若干所述隔膜层叠设置且可相互分离。

2.根据权利要求1所述的新型载板，其特征在于，所述载板本体包括外框、若干沿第一方向延伸的横向支撑条、以及若干沿第二方向延伸的纵向支撑条。

3.根据权利要求2所述的新型载板，其特征在于，所述外框、横向支撑条、以及纵向支撑条在高度方向上的表面齐平，所述隔膜结构贴设于所述外框、横向支撑条、以及纵向支撑条在高度方向上的至少一侧表面。

4.根据权利要求2所述的新型载板，其特征在于，所述外框、横向支撑条、以及纵向支撑条靠近所述承载位的一侧或两侧向承载位延伸形成承载部。

5.根据权利要求2所述的新型载板，其特征在于，所述外框、横向支撑条、以及纵向支撑条靠近所述承载位的角部设有避空槽。

6.根据权利要求1所述的新型载板，其特征在于，所述隔膜包括离型基体层和粘胶层，所述粘胶层设于所述离型基体层的其中一侧表面。

7.根据权利要求6所述的新型载板，其特征在于，所述隔膜还包括耐高温层，所述耐高温层设于所述离型基体层远离所述粘胶层的一侧表面。

8.根据权利要求7所述的新型载板，其特征在于，所述耐高温层的材质为铁氟龙或陶瓷薄膜或氧化铝。

9.根据权利要求1所述的新型载板，其特征在于，所述载板本体的表面为粗糙表面。

10.一种镀膜设备，其特征在于，包括权利要求1至9中任一项所述的新型载板。