CN220503184U - 一种便于清理的真空镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种便于清理的真空镀膜设备，涉及真空镀膜设备技术领域，为解决现有技术中目前具有自清洁功能的真空镀膜设备是采用刷子对真空镀膜设备的内壁进行清洁，利用离心力将刷子与真空镀膜设备的内壁接触，但是这样刷子与内壁的附着力低，清理效果不够好的问题。所述真空镀膜机本体的内部分别设置有用于清理工作的刮板和刷子，所述刷子固定在所述刮板的一侧，所述真空镀膜机本体的内部设置有用于调节所述刮板横向位置的伸缩机构，所述伸缩机构与所述刮板之间通过伸缩杆连接，所述伸缩杆与伸缩机构滑动连接，所述真空镀膜机本体上设置有供气机构，所述供气机构包括气泵和中转。

Description

一种便于清理的真空镀膜设备

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，具体为一种便于清理的真空镀膜设备。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种，由于真空镀膜机在进行镀膜的时候，必须通过加热装置将其内部的温度加热至很高的温度后，才能够开始镀膜工作，当完成镀膜后，待其内部温度降下来后进行取料；

例如申请公开号为CN218812063U，一种便于清洁的真空镀膜机，包括底座和转盘，所述转盘的上表面固定连接有立杆，所述立杆外表面的一侧固定连接有支撑柱，所述支撑柱的一端套接有套筒；所述支撑柱的外表面套接有弹簧，所述套筒的一端固定连接有刮板，所述刮板的一侧固定连接有耐高温刷；

上述申请的真空镀膜机，通过套筒、弹簧、刮板和耐高温刷的设置，使用过程中当镀膜完成，将成品取出后可启动电机，带动活动杆高速旋转，使转盘转动后带动立杆同时转动，利用立杆高速转动使套筒受到离心力作用，并在支撑柱上向外伸出此时弹簧被挤压变形，使刮板向外移动使耐高温刷接触镀膜机体内壁，利用耐高温刷将内壁的残留物刷掉，具有自动清理的作用，当电机转速变慢后或镀膜时，使支撑柱的离心力变小，利用弹簧的弹性顶动套筒，使套筒在支撑柱上复位，使得耐高温刷离开镀膜机体内壁，利用离心力将刷子与真空镀膜设备的内壁接触，但是这样刷子与内壁的附着力低，清理效果不够好，因此市场急需研制一种便于清理的真空镀膜设备来帮助人们解决现有的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种便于清理的真空镀膜设备，以解决上述背景技术中提出的目前具有自清洁功能的真空镀膜设备是采用刷子对真空镀膜设备的内壁进行清洁，利用离心力将刷子与真空镀膜设备的内壁接触，但是这样刷子与内壁的附着力低，清理效果不够好的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种便于清理的真空镀膜设备，包括用于真空镀膜的真空镀膜机本体和用于密封所述真空镀膜机本体的筒罩，所述真空镀膜机本体的内部分别设置有用于清理工作的刮板和刷子，所述刷子固定在所述刮板的一侧，所述真空镀膜机本体的内部设置有用于调节所述刮板横向位置的伸缩机构，所述伸缩机构与所述刮板之间通过伸缩杆连接，所述伸缩杆与伸缩机构滑动连接。

通过上述技术方案，利用伸缩机构主动对伸缩杆进行伸缩调节，而伸缩杆与刮板连接，从而当需要清理真空镀膜设备的内壁时，伸缩机构通过伸缩杆将刮板和刷子与真空镀膜机本体的内壁接触，并且压力可以保持恒定，从而提高刷子与内壁的附着力，提高清理的效果。

本实用新型在一较佳示例中可以进一步配置为：所述真空镀膜机本体上设置有供气机构，所述供气机构包括气泵和中转箱，所述中转箱的一侧设置有用于与所述气泵连通的连接管。

通过上述技术方案，供气工作主要由气泵提供，气泵利用连接管与中转箱连通，可以保持供气工作稳定运行。

本实用新型在一较佳示例中可以进一步配置为：所述真空镀膜机本体内设置有输气机构，所述真空镀膜机本体包括中空管和分流箱，所述中转箱和分流箱均与中空管连通，所述分流箱的一侧设置有与所述伸缩机构连通的输气管。

通过上述技术方案，通过中转箱向中空管输送高压气流，中空管再通过分流箱向输气管输送气流，最后通过输气管向伸缩机构输送气流。

本实用新型在一较佳示例中可以进一步配置为：所述伸缩机构内滑动连接有活塞，所述活塞与所述伸缩杆连接，所述伸缩机构内设置有用于驱使所述活塞回位的回位弹簧。

通过上述技术方案，活塞受到高压气流会压缩回位弹簧，并顶着伸缩杆向伸缩机构的外侧移动，而回位弹簧在断流后可将活塞回位。

本实用新型在一较佳示例中可以进一步配置为：所述真空镀膜机本体上设置有用于驱使所述中空管转动的驱动机构，所述驱动机构包括电机和减速器。

通过上述技术方案，电机通过减速器减速后驱使中空管转动。

本实用新型在一较佳示例中可以进一步配置为：所述真空镀膜机本体上设置有用于固定所述电机的支座，所述中空管的外侧设置有用于悬挂物品的挂架，所述中空管的外侧分别设置有用于保护物品的第一挡物板和第二挡物板

通过上述技术方案，中空管转动时，可带动挂架、第一挡物板和第二挡物板旋转。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.该实用新型利用伸缩机构主动对伸缩杆进行伸缩调节，而伸缩杆与刮板连接，从而当需要清理真空镀膜设备的内壁时，伸缩机构通过伸缩杆将刮板和刷子与真空镀膜机本体的内壁接触，并且压力可以保持恒定，从而提高刷子与内壁的附着力，提高清理的效果。

2.该实用新型通过中转箱的设置，可在中空管旋转的过程中，气泵依旧可以向中空管的内部输送气流，从而使得刮板和刷子可以一直与真空镀膜机本体的内壁强力接触，使得对真空镀膜机本体内壁的清理工作更加稳定。

附图说明

图1为本实用新型的一种便于清理的真空镀膜设备的内部结构示意图；

图2为本实用新型的图中A处的放大示意图；

图3为本实用新型的图中B处的放大示意图；

图4为本实用新型的图中C处的放大示意图。

图中：1、真空镀膜机本体；2、筒罩；3、刮板；4、刷子；5、中空管；6、挂架；7、第一挡物板；8、第二挡物板；9、支座；10、电机；11、减速器；12、气泵；13、中转箱；14、连接管；15、分流箱；16、输气管；17、伸缩机构；18、活塞；19、伸缩杆；20、回位弹簧。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

在本申请的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”、“顶/底端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“套设/接”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

请参阅图1和图4，本实用新型提供的一种实施例：一种便于清理的真空镀膜设备，包括用于真空镀膜的真空镀膜机本体1和用于密封真空镀膜机本体1的筒罩2，真空镀膜机本体1的内部分别设置有用于清理工作的刮板3和刷子4，刷子4固定在刮板3的一侧，真空镀膜机本体1的内部设置有用于调节刮板3横向位置的伸缩机构17，伸缩机构17与刮板3之间通过伸缩杆19连接，伸缩杆19与伸缩机构17滑动连接，筒罩2与真空镀膜机本体1转动连接，真空镀膜机本体1与筒罩2之间可完全贴合密封，刷子4和刮板3均设置有两个，伸缩机构17设置有四个，每两个伸缩机构17为一组，用于连接支撑一个刮板3。

请参阅图1和图2，真空镀膜机本体1上设置有供气机构，供气机构包括气泵12和中转箱13，中转箱13的一侧设置有用于与气泵12连通的连接管14，气泵12与真空镀膜机本体1通过螺栓固定连接，中转箱13与连接管14焊接连接，气泵12与连接管14通过法兰固定连接，中转箱13与真空镀膜机本体1通过螺栓固定连接。

请参阅图3，真空镀膜机本体1内设置有输气机构，真空镀膜机本体1包括中空管5和分流箱15，中转箱13和分流箱15均与中空管5连通，分流箱15的一侧设置有与伸缩机构17连通的输气管16，分流箱15与中空管5固定连接，中空管5与中转箱13转动连接，输气管16与分流箱15通过螺栓固定连接。

请参阅图4，伸缩机构17内滑动连接有活塞18，活塞18与伸缩杆19连接，伸缩机构17内设置有用于驱使活塞18回位的回位弹簧20，活塞18与伸缩杆19通过紧固螺丝固定连接，伸缩机构17和活塞18均通过紧固螺丝与回位弹簧20固定连接。

请参阅图1，真空镀膜机本体1上设置有用于驱使中空管5转动的驱动机构，驱动机构包括电机10和减速器11，电机10和中空管5均通过联轴器与减速器11固定连接。

请参阅图1，真空镀膜机本体1上设置有用于固定电机10的支座9，中空管5的外侧设置有用于悬挂物品的挂架6，中空管5的外侧分别设置有用于保护物品的第一挡物板7和第二挡物板8，电机10和减速器11均通过螺栓与支座9固定连接，支座9与真空镀膜机本体1通过螺栓固定连接，挂架6、第一挡物板7和第二挡物板8均通过螺栓与中空管5固定连接。

工作原理：使用时，当需要清理真空镀膜设备的内部时，启动电机10，电机10通过减速器11驱使中空管5转动，中空管5通过分流箱15、输气管16、伸缩机构17和伸缩杆19带动刮板3以及刷子4转动，同时利用气泵12通过连接管14向中转箱13输送高压气流，高压气流通过中转箱13向中空管5向分流箱15输送气流，分流箱15将气流通过输气管16输送至伸缩机构17的内部，利用高压气流对活塞18进行挤压，使得活塞18顶着伸缩杆19向外侧移动，同时对回位弹簧20进行挤压压缩，使得刮板3和刷子4向真空镀膜机本体1的内壁靠近，使得刷子4紧紧的贴合在真空镀膜机本体1的内壁上，从而对真空镀膜机本体1的内壁进行刮刷，实现清理的工作。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (6)

1.一种便于清理的真空镀膜设备，包括用于真空镀膜的真空镀膜机本体(1)和用于密封所述真空镀膜机本体(1)的筒罩(2)，其特征在于：所述真空镀膜机本体(1)的内部分别设置有用于清理工作的刮板(3)和刷子(4)，所述刷子(4)固定在所述刮板(3)的一侧，所述真空镀膜机本体(1)的内部设置有用于调节所述刮板(3)横向位置的伸缩机构(17)，所述伸缩机构(17)与所述刮板(3)之间通过伸缩杆(19)连接，所述伸缩杆(19)与伸缩机构(17)滑动连接。

2.根据权利要求1所述的一种便于清理的真空镀膜设备，其特征在于：所述真空镀膜机本体(1)上设置有供气机构，所述供气机构包括气泵(12)和中转箱(13)，所述中转箱(13)的一侧设置有用于与所述气泵(12)连通的连接管(14)。

3.根据权利要求2所述的一种便于清理的真空镀膜设备，其特征在于：所述真空镀膜机本体(1)内设置有输气机构，所述真空镀膜机本体(1)包括中空管(5)和分流箱(15)，所述中转箱(13)和分流箱(15)均与中空管(5)连通，所述分流箱(15)的一侧设置有与所述伸缩机构(17)连通的输气管(16)。

4.根据权利要求1所述的一种便于清理的真空镀膜设备，其特征在于：所述伸缩机构(17)内滑动连接有活塞(18)，所述活塞(18)与所述伸缩杆(19)连接，所述伸缩机构(17)内设置有用于驱使所述活塞(18)回位的回位弹簧(20)。

5.根据权利要求3所述的一种便于清理的真空镀膜设备，其特征在于：所述真空镀膜机本体(1)上设置有用于驱使所述中空管(5)转动的驱动机构，所述驱动机构包括电机(10)和减速器(11)。

6.根据权利要求5所述的一种便于清理的真空镀膜设备，其特征在于：所述真空镀膜机本体(1)上设置有用于固定所述电机(10)的支座(9)，所述中空管(5)的外侧设置有用于悬挂物品的挂架(6)，所述中空管(5)的外侧分别设置有用于保护物品的第一挡物板(7)和第二挡物板(8)。