CN220463933U - 一种硅片抓手 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种硅片抓手，包括；安装盘、吸盘，所述安装盘上设有多个安装板，所述安装板沿安装盘的轴线周向设置，所述安装板对应连接有吸盘；所述安装板通过连接板与安装盘可以拆卸连接，所述安装盘上开有与连接板相匹配的安装槽，所述连接板安装于安装槽内侧，所述连接板上开有连接孔，所述安装底端开有与连接孔相对应的连接螺纹孔，所述连接孔内设有连接螺栓，所述连接螺栓贯穿连接孔与连接板螺纹连接。本实用新型有益效果：可以一次可以转移多个硅片，提高了工作效率，且可以根据生产节拍和转移工位的大小，选择在安装盘上安装合适数量的吸盘，扩宽了抓手的适用范围。

Description

一种硅片抓手

技术领域

本实用新型属于硅片加工技术领域，尤其是涉及一种硅片抓手。

背景技术

在硅片加工过程中，经常需要使用机械臂配合硅片抓手抓取转移工位上的硅片，并将硅片转移到下一个加工工序，当的硅片抓手只有一个抓取位，限制的机械臂抓取硅片的工作效率，且不同转移工位的大小及作业空间存在一定差异，如果每个抓手固设多个抓取位的话，有容易导致抓手作业空间不足的问题，且现有抓手抓取过程中，缺少缓冲结构，机械臂的控制精度不足时容易磕伤硅片。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型旨在提出一种硅片抓手，以期解决上述部分技术问题中的至少之一。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种硅片抓手，包括；安装盘、吸盘，所述安装盘上设有多个安装板，所述安装板沿安装盘的轴线周向设置，所述安装板对应连接有吸盘；

所述安装板通过连接板与安装盘可以拆卸连接，所述安装盘上开有与连接板相匹配的安装槽，所述连接板安装于安装槽内侧，所述连接板上开有连接孔，所述安装底端开有与连接孔相对应的连接螺纹孔，所述连接孔内设有连接螺栓，所述连接螺栓贯穿连接孔与连接板螺纹连接。

进一步的，所述吸盘通过缓冲组件与安装板配合安装，所述缓冲组件包括导向杆、压缩弹簧，所述导向杆与吸盘固定连接，所述安装板上设有与导向杆相匹配的直线轴承，所述导向杆安装于直线轴承内侧，所述导向杆远离吸盘的一端设有限位块，所述限位块的直径大于直线轴承的内径；

所述压缩弹簧安装于安装板和磁盘之间。

进一步的，所述吸盘内设有负压腔，所述吸盘远离导向杆的端面上开有与负压腔连通的吸紧孔；

所述吸盘临近导向杆的端面上设有与负压腔连通的连接管，所述连接管连接负压装置。

进一步的，所述吸盘包括吸紧板、与吸紧板连接的连接块，所述吸紧板临近连接块的端面上设有负压槽，所述吸紧板与连接块之间形成负压腔；

所述负压槽内开有内螺纹，所述连接块临近吸紧板的一端固设有环形凸台，所述环形凸台外侧开有与内螺纹相匹配的外螺纹，所述环形凸台与吸紧板螺纹连接；

所述连接管固设于连接块远离吸紧板的端面上。

进一步的，所述吸紧板与连接块之间设有密封垫。

进一步的，所述吸紧板远离连接块端面上开有环形密封槽一、环形密封槽二，所述环形密封槽二的直径小于环形密封槽一，所述环形密封槽一内设有密封圈一，所述密封槽二内设有密封圈二；

所述吸紧板位于环形密封槽一内侧对应的位置上开有与负压腔连通的吸紧孔；

所述吸紧板位于环形密封槽一和环形密封槽二之间对应的位置上开有与负压腔连通的吸紧孔。

进一步的，所述安装盘远离吸盘的端面上固设有六棱柱。

相对于现有技术，本实用新型所述的一种硅片抓手具有以下有益效果：

(1)本实用新型所述的一种硅片抓手，可以一次可以转移多个硅片，提高了工作效率，且可以根据生产节拍和转移工位的大小，选择在安装盘上安装合适数量的吸盘，扩宽了抓手的适用范围。

附图说明

构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型实施例所述的抓手立体结构示意图；

图2为本实用新型实施例所述的安装盘立体结构示意图；

图3为本实用新型实施例所述的吸盘与缓冲组件安装立体结构示意图；

图4为本实用新型实施例所述的吸盘与缓冲组件安装剖面结构示意图；

图5为本实用新型实施例所述的吸盘立体结构示意图。

附图标记说明：

1、安装盘；2、安装板；3、导向杆；4、直线轴承；5、连接管；6、吸紧板；7、连接块；8、密封圈一；9、密封圈二；10、密封垫；11、压缩弹簧；12、连接板；101、安装槽；102、连接螺纹孔；103、六棱柱；601、环形密封槽一；602、环形密封槽二；603、吸紧孔；604、负压槽；1201、连接孔。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。

如图1至图5所示，一种硅片抓手，包括；安装盘1、吸盘，安装盘1上设有6个安装板2，安装板2沿安装盘1的轴线周向设置，安装板2对应连接有吸盘；安装板2通过连接板12与安装盘1可以拆卸连接，安装盘1上开有与连接板12相匹配的安装槽101，连接板12安装于安装槽101内侧，连接板12上开有连接孔1201，安装底端开有与连接孔1201相对应的连接螺纹孔102，连接孔1201内设有连接螺栓，连接螺栓贯穿连接孔1201与连接板12螺纹连接。安装槽101对连接板12起到了定位作用，便于安装连接板12。

吸盘通过缓冲组件与安装板2配合安装，缓冲组件包括导向杆3、压缩弹簧11，导向杆3与吸盘固定连接，导向杆3的数量为6个，安装板2上设有与导向杆3相匹配的直线轴承4，导向杆3安装于直线轴承4内侧，导向杆3远离吸盘的一端设有限位块，限位块的直径大于直线轴承4的内径；压缩弹簧11安装于安装板2和磁盘之间。直线轴承4在吸盘移动过程中起到了导向作用，使吸盘的移动过程更加稳定。当装置下压吸紧硅片时，压缩弹簧11会进一步的压缩，起到了缓冲作用防止磕伤硅片。

吸盘内设有负压腔，吸盘远离导向杆3的端面上开有与负压腔连通的吸紧孔603；吸盘临近导向杆3的端面上设有与负压腔连通的连接管5，连接管5连接负压装置。

吸盘包括吸紧板6、与吸紧板6连接的连接块7，吸紧板6临近连接块7的端面上设有负压槽604，吸紧板6与连接块7之间形成负压腔；负压槽604内开有内螺纹，连接块7临近吸紧板6的一端固设有环形凸台，环形凸台外侧开有与内螺纹相匹配的外螺纹，环形凸台与吸紧板6螺纹连接；连接管5固设于连接块7远离吸紧板6的端面上。

吸紧板6与连接块7之间设有密封垫10，密封提高了吸紧板6与连接块7之间的密封性。

吸紧板6远离连接块7端面上开有环形密封槽一601、环形密封槽二602，环形密封槽二602的直径小于环形密封槽一601，环形密封槽一601内设有密封圈一8，密封圈一8的横截面为圆形，且横截面的直径大于环形密封槽一601的深度，密封槽二内设有密封圈二9，密封圈二9的横截面为圆形，且横截面的直径大于环形密封槽二602的深度；吸紧板6位于环形密封槽一601内侧对应的位置上开有与负压腔连通的吸紧孔603；吸紧板6位于环形密封槽一601和环形密封槽二602之间对应的位置上开有与负压腔连通的吸紧孔603。密封圈一8、密封圈二9提高了吸紧板6与硅片之间的密封性，且两个密封圈的结构即使其中一个密封圈发生损坏使，另外一个密封圈依然能起到了吸紧作用。密封圈一8、密封圈二9均为橡胶材质的结构件，橡胶材质的结构件具有一定的弹性，且表面硬度低，能起到防止磕伤硅片的作用。

安装盘1远离吸盘的端面上固设有六棱柱103，六棱柱103便于装置和机械臂连接。

工作过程：

本方案实施时，机械臂带动装置移动，使其中一个吸盘对齐转移工位上的第一个硅片下压，下压过程中压缩弹簧11发生进一步压缩，起到了缓冲作用，防止磕伤硅片，启动负压装置使负压腔内处于负压状态，当盖吸盘吸紧第一个硅片后，机械臂带动装置向上移动，转移工位出现下一个硅片，机械臂转动安装盘1，将另外一个吸盘对齐转移工位上的下一个硅片下压，从都上述过程，当全部吸盘都吸紧一个硅片，将硅片转移至下一个工序，机械臂可以一次可以转移多个硅片，提高了工作效率。且可以根据生产节拍和转移工位的大小，选择在安装盘1上安装合适数量的吸盘，扩宽了装置的适用范围。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用各实施例技术方案的范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求和说明书的范围当中。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种硅片抓手，其特征在于，包括；安装盘(1)、吸盘，所述安装盘(1)上设有多个安装板(2)，所述安装板(2)沿安装盘(1)的轴线周向设置，所述安装板(2)对应连接有吸盘；

所述安装板(2)通过连接板(12)与安装盘(1)可以拆卸连接，所述安装盘(1)上开有与连接板(12)相匹配的安装槽(101)，所述连接板(12)安装于安装槽(101)内侧，所述连接板(12)上开有连接孔(1201)，所述安装底端开有与连接孔(1201)相对应的连接螺纹孔(102)，所述连接孔(1201)内设有连接螺栓，所述连接螺栓贯穿连接孔(1201)与连接板(12)螺纹连接。

2.根据权利要求1所述的一种硅片抓手，其特征在于：所述吸盘通过缓冲组件与安装板(2)配合安装，所述缓冲组件包括导向杆(3)、压缩弹簧(11)，所述导向杆(3)与吸盘固定连接，所述安装板(2)上设有与导向杆(3)相匹配的直线轴承(4)，所述导向杆(3)安装于直线轴承(4)内侧，所述导向杆(3)远离吸盘的一端设有限位块，所述限位块的直径大于直线轴承(4)的内径；

所述压缩弹簧(11)安装于安装板(2)和磁盘之间。

3.根据权利要求2所述的一种硅片抓手，其特征在于：所述吸盘内设有负压腔，所述吸盘远离导向杆(3)的端面上开有与负压腔连通的吸紧孔(603)；

所述吸盘临近导向杆(3)的端面上设有与负压腔连通的连接管(5)，所述连接管(5)连接负压装置。

4.根据权利要求3所述的一种硅片抓手，其特征在于：所述吸盘包括吸紧板(6)、与吸紧板(6)连接的连接块(7)，所述吸紧板(6)临近连接块(7)的端面上设有负压槽(604)，所述吸紧板(6)与连接块(7)之间形成负压腔；

所述负压槽(604)内开有内螺纹，所述连接块(7)临近吸紧板(6)的一端固设有环形凸台，所述环形凸台外侧开有与内螺纹相匹配的外螺纹，所述环形凸台与吸紧板(6)螺纹连接；

所述连接管(5)固设于连接块(7)远离吸紧板(6)的端面上。

5.根据权利要求4所述的一种硅片抓手，其特征在于：所述吸紧板(6)与连接块(7)之间设有密封垫(10)。

6.根据权利要求4所述的一种硅片抓手，其特征在于：所述吸紧板(6)远离连接块(7)端面上开有环形密封槽一(601)、环形密封槽二(602)，所述环形密封槽二(602)的直径小于环形密封槽一(601)，所述环形密封槽一(601)内设有密封圈一(8)，所述密封槽二内设有密封圈二(9)；

所述吸紧板(6)位于环形密封槽一(601)内侧对应的位置上开有与负压腔连通的吸紧孔(603)；

所述吸紧板(6)位于环形密封槽一(601)和环形密封槽二(602)之间对应的位置上开有与负压腔连通的吸紧孔(603)。

7.根据权利要求1所述的一种硅片抓手，其特征在于：所述安装盘(1)远离吸盘的端面上固设有六棱柱(103)。