CN220456385U - 一种柔性夹持结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于晶圆夹持技术领域，具体涉及一种柔性夹持结构，包括底座，所述底座上方设置有柔性夹持机构，所述柔性夹持机构后侧设置有柔性移动按压机构。通过设置的柔性移动按压机构与柔性夹持机构，有效的将晶圆进行柔性夹持，通过设置的横向移动组件带动升降组件与柔性按压组件进行左右柔性移动，并通过蜗杆与蜗轮配合带动柔性按压组件中的柔性硅胶压块对晶圆进行夹持，同时根据晶圆大小可放置在半圆型柔性夹持板上方或柔性橡胶支块上方进行夹持，大型晶圆可放置在半圆型柔性夹持板上方通过电动气缸推动合并，小型晶圆可放置在柔性橡胶支块上方并通过间歇组件进行移动，可实现多方位、多品种柔性夹持，提高了夹持的适应性。

Description

一种柔性夹持结构

技术领域

本实用新型属于晶圆夹持技术领域，具体涉及一种柔性夹持结构。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品，晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅。柔性夹持的夹爪由若干排列设置的电机构成，每一电机均构成独立的关节结构，通过对不同电机的控制使夹爪处于不同的弯曲位置。

经检索，中国专利申请号为CN202021902363.1的中国实用新型专利申请文件公开了，一种激光切割用晶圆片柔性夹持结构，包括夹具、夹具连接块、弹簧柱和六角螺栓，所述夹具通过夹具连接块下方连接有安装座，且安装座内部安装有滑块，所述安装座右侧通过衔接片连接有衔接杆，且衔接杆一端连接有支撑块，所述支撑块下方焊接有底座，且滑块下通过夹具连接块连接有滑动导轨，所述滑动导轨内部有钢珠，且钢珠内部设置有下保持器和上保持器，所述滑动导轨上表面安装有定位螺栓，且滑块左右侧安装有端盖，所述夹具内部焊接有弹簧柱。

针对上述中的相关技术，该夹持结构，由于晶圆定位需要往复调整，弹簧柱会造成磨损，影响夹持晶圆质量，在检测过程中，晶圆定位不准确，需要往复的校准，在夹持中，滑动导轨内钢珠容易粉碎，稳定性不佳，影响夹持结果，所以亟需设计一种柔性夹持结构来处理这些问题。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型公开了一种柔性夹持结构。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：

一种柔性夹持结构，包括底座，所述底座上方设置有柔性夹持机构，所述柔性夹持机构后侧设置有柔性移动按压机构。

所述柔性夹持机构包括固定设置在所述底座上方前后侧的工字型导轨，所述工字型导轨上方活动设置有第一柔性承载台，所述第一柔性承载台前侧设置有承载台移动组件，所述第一柔性承载台上方相对面设置有半圆固定板，所述半圆固定板一侧固定设置有电动气缸，所述电动气缸动力伸缩端连接有半圆型柔性夹持板，所述底座下方设置有间歇组件，所述间歇组件上方设置有第二柔性承载台，所述第二柔性承载台上方设置有柔性橡胶支块。

优选地，所述柔性移动按压机构包括固定设置在所述底座上方一侧的横向移动组件，所述横向移动组件上方设置有半圆型支撑架，所述半圆型支撑架一侧设置有升降组件，所述半圆型支撑架内侧设置有柔性按压组件。

优选地，所述承载台移动组件包括固定设置在所述第一柔性承载台前侧的齿条，所述齿条一侧啮合连接有齿轮，所述齿轮固定设置在正反转电机的动力输出端。

优选地，所述半圆型柔性夹持板底部设置为柔性橡胶垫，所述第二柔性承载台上方设置有缓冲弹簧垫。

优选地，所述升降组件包括设置在所述半圆型支撑架一侧的蜗杆，所述蜗杆一端固定设置在变频电机的动力输出端，所述蜗杆一侧啮合连接有蜗轮，所述蜗轮固定连接在旋转轴外表面。

优选地，所述柔性按压组件包括设置在所述半圆型支撑架内侧的第一支撑板，所述第一支撑板一侧设置在第二支撑板一端，所述第二支撑板另一端设置有柔性压块连接台，所述柔性压块连接台下方固定设置有柔性硅胶压块。

有益效果在于：

本实用新型公开了一种柔性夹持结构，通过设置的柔性移动按压机构与柔性夹持机构，有效的将晶圆进行柔性夹持，通过设置的横向移动组件带动升降组件与柔性按压组件进行左右柔性移动，并通过蜗杆与蜗轮配合带动柔性按压组件中的柔性硅胶压块对晶圆进行夹持，同时根据晶圆大小可放置在半圆型柔性夹持板上方或柔性橡胶支块上方进行夹持，大型晶圆可放置在半圆型柔性夹持板上方通过电动气缸推动合并，小型晶圆可放置在柔性橡胶支块上方并通过间歇组件进行移动，可实现多方位、多品种柔性夹持，提高了夹持的适应性，避免了更多夹具的生产，节约了夹具的生产成本，能够更好的保证晶圆的生产。

附图说明

图1是本实用新型的轴等侧结构示意图；

图2是本实用新型的正视结构示意图；

图3是本实用新型的俯视结构示意图；

图4是本实用新型的第一结构示意图；

图5是本实用新型的第二结构示意图；

图6是本实用新型的第三结构示意图；

图7是图6中A处的结构示意图。

图中：1、底座；

2、柔性移动按压机构；201、支撑架；202、滚珠丝杠；203、第一电机；204、滚珠丝杠螺母台；205、半圆型支撑架；206、升降组件；2061、变频电机；2062、蜗杆；2063、蜗轮；2064、旋转轴；207、柔性按压组件；2071、第一支撑板；2072、第二支撑板；2073、柔性压块连接台；2074、柔性硅胶压块；

3、柔性夹持机构；301、工字型导轨；302、第一柔性承载台；303、承载台移动组件；3031、齿条；3032、齿轮；3033、正反转电机；304、半圆固定板；305、电动气缸；306、半圆型柔性夹持板；307、第二柔性承载台；308、柔性橡胶支块；309、间歇组件；3091、励磁电机；3092、槽杆；3093、槽轮；3094、旋转支撑轴。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

参照图1-7，本实用新型提供的一种实施例：一种柔性夹持结构，包括底座1，底座1上方设置有柔性夹持机构3，柔性夹持机构3后侧设置有柔性移动按压机构2。

本实施例中：柔性移动按压机构2包括固定设置在底座1上方一侧的横向移动组件，横向移动组件上方设置有半圆型支撑架205，半圆型支撑架205一侧设置有升降组件206，半圆型支撑架205内侧设置有柔性按压组件207。升降组件206包括设置在半圆型支撑架205一侧的蜗杆2062，蜗杆2062一端固定设置在变频电机2061的动力输出端，蜗杆2062一侧啮合连接有蜗轮2063，蜗轮2063固定连接在旋转轴2064外表面。柔性按压组件207包括设置在半圆型支撑架205内侧的第一支撑板2071，第一支撑板2071一侧设置在第二支撑板2072一端，第二支撑板2072另一端设置有柔性压块连接台2073，柔性压块连接台2073下方固定设置有柔性硅胶压块2074。横向移动组件包括固定设置在底座1上方前后侧的支撑架201，支撑架201内旋转设置有滚珠丝杠202，滚珠丝杠202外表面通过螺纹活动连接有滚珠丝杠螺母台204，滚珠丝杠202一端通过联轴器固定连接在第一电机203的动力输出端。蜗杆2062与蜗轮2063配合用于带动柔性按压组件207进行升降，柔性硅胶压块2074用于对晶圆进行柔性夹持，滚珠丝杠202与滚珠丝杠螺母台204配合用于半圆型支撑架205横向移动。

本实施例中：柔性夹持机构3包括固定设置在底座1上方前后侧的工字型导轨301，工字型导轨301上方活动设置有第一柔性承载台302，第一柔性承载台302前侧设置有承载台移动组件303，第一柔性承载台302上方相对面设置有半圆固定板304，半圆固定板304一侧固定设置有电动气缸305，电动气缸305动力伸缩端连接有半圆型柔性夹持板306，底座1下方设置有间歇组件309，间歇组件309上方设置有第二柔性承载台307，第二柔性承载台307上方设置有柔性橡胶支块308。承载台移动组件303包括固定设置在第一柔性承载台302前侧的齿条3031，齿条3031一侧啮合连接有齿轮3032，齿轮3032固定设置在正反转电机3033的动力输出端。半圆型柔性夹持板306底部设置为柔性橡胶垫，第二柔性承载台307上方设置有缓冲弹簧垫。间歇组件309包括固定设置在第二柔性承载台307下方的旋转支撑轴3094，旋转支撑轴3094一端外表面固定设置有槽轮3093，槽轮3093一侧活动设置有槽杆3092，槽杆3092一端通过连接轴连接在励磁电机3091的动力端。柔性橡胶支块308用于承载晶圆芯片，齿条3031与齿轮3032配合用于带动第一柔性承载台302相对与相向移动。

工作原理：在使用时，首先根据晶圆的大小选择柔性橡胶支块308或半圆型柔性夹持板306，如果小型晶圆则放在柔性橡胶支块308上方，并且晶圆的外围处于悬空状态；启动励磁电机3091带动槽杆3092带动槽轮3093旋转，同时带动第二柔性承载台307上方的半圆型柔性夹持板306进行一定角度的旋转，此刻，启动横向移动组件带动升降组件206与柔性按压组件207移动晶圆上方停止，启动蜗杆2062与蜗轮2063带动柔性硅胶压块2074下移并压制在晶圆上方，防止晶圆翘起；当晶圆较大时，启动两组正反转电机3033，其中，一组正反转电机3033正转旋转，带动齿轮3032顺时针旋转，同时带动齿条3031向右移动，另一组正反转电机3033反转旋转，带动齿轮3032逆时针旋转，同时带动齿条3031向左移动，通过齿轮3032与齿条3031相对移动并带动第一柔性承载台302相对移动，使得半圆型柔性夹持板306逐步合并，并通过电动气缸305对晶圆进行柔性夹持，由于第一柔性承载台302内侧设置为通槽并在内侧相对面设置有半圆槽，不会对旋转支撑轴3094与第二柔性承载台307造成损坏，半圆型柔性夹持板306内侧能够对晶圆进行夹持，并且柔性硅胶压块2074能够防止晶圆的硬性接触，半圆型柔性夹持板306底部设置为柔性橡胶垫，第二柔性承载台307上方设置有缓冲弹簧垫可以对晶圆进行保护，此结构可实现多方位、多品种柔性夹持，提高了夹持的适应性，避免了更多夹具的生产，节约了夹具的生产成本，能够更好的保证晶圆的生产。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种柔性夹持结构，其特征在于：包括底座(1)，所述底座(1)上方设置有柔性夹持机构(3)，所述柔性夹持机构(3)后侧设置有柔性移动按压机构(2)；

所述柔性夹持机构(3)包括固定设置在所述底座(1)上方前后侧的工字型导轨(301)，所述工字型导轨(301)上方活动设置有第一柔性承载台(302)，所述第一柔性承载台(302)前侧设置有承载台移动组件(303)，所述第一柔性承载台(302)上方相对面设置有半圆固定板(304)，所述半圆固定板(304)一侧固定设置有电动气缸(305)，所述电动气缸(305)动力伸缩端连接有半圆型柔性夹持板(306)，所述底座(1)下方设置有间歇组件(309)，所述间歇组件(309)上方设置有第二柔性承载台(307)，所述第二柔性承载台(307)上方设置有柔性橡胶支块(308)。

2.根据权利要求1所述的一种柔性夹持结构，其特征在于：所述柔性移动按压机构(2)包括固定设置在所述底座(1)上方一侧的横向移动组件，所述横向移动组件上方设置有半圆型支撑架(205)，所述半圆型支撑架(205)一侧设置有升降组件(206)，所述半圆型支撑架(205)内侧设置有柔性按压组件(207)。

3.根据权利要求1所述的一种柔性夹持结构，其特征在于：所述承载台移动组件(303)包括固定设置在所述第一柔性承载台(302)前侧的齿条(3031)，所述齿条(3031)一侧啮合连接有齿轮(3032)，所述齿轮(3032)固定设置在正反转电机(3033)的动力输出端。

4.根据权利要求1所述的一种柔性夹持结构，其特征在于：所述半圆型柔性夹持板(306)底部设置为柔性橡胶垫，所述第二柔性承载台(307)上方设置有缓冲弹簧垫。

5.根据权利要求2所述的一种柔性夹持结构，其特征在于：所述升降组件(206)包括设置在所述半圆型支撑架(205)一侧的蜗杆(2062)，所述蜗杆(2062)一端固定设置在变频电机(2061)的动力输出端，所述蜗杆(2062)一侧啮合连接有蜗轮(2063)，所述蜗轮(2063)固定连接在旋转轴(2064)外表面。

6.根据权利要求2所述的一种柔性夹持结构，其特征在于：所述柔性按压组件(207)包括设置在所述半圆型支撑架(205)内侧的第一支撑板(2071)，所述第一支撑板(2071)一侧设置在第二支撑板(2072)一端，所述第二支撑板(2072)另一端设置有柔性压块连接台(2073)，所述柔性压块连接台(2073)下方固定设置有柔性硅胶压块(2074)。