CN220455597U - 一种性能稳定性高的光纤扫描器 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种性能稳定性高的光纤扫描器，包括扫描致动器和光纤，所述的扫描致动器包括沿自后向前方向依次连接的压电陶瓷块快轴驱动部和压电片慢轴驱动部，压电陶瓷块快轴驱动部包括左右对称设置的第一压电块致动部和第二压电块致动部，扫描致动器通过支撑件与基体固定连接，所述的支撑件设置于扫描致动器在工作频率下沿左右方向振动时的振动节点处。本实用新型在更改夹持条件的情况下，光纤扫描器工作所需模态的特征频率不会产生改变，提高了光纤扫描器的通用性，降低了安装精度、安装条件一致性的要求，降低了安装难度；同时，不会通过支撑件传递振动，解决了传递振动、产生噪音的技术问题。

Description

一种性能稳定性高的光纤扫描器

技术领域

本实用新型涉及光纤扫描显示技术领域，尤其涉及一种性能稳定性高的光纤扫描器。

背景技术

由压电致动器驱动光纤悬臂进行扫描的微型光纤扫描器件在激光雷达、激光投影、微型内窥镜等技术领域具有重要的应用前景，其利用机械共振原理使光纤悬臂实现较大的扫描范围。

光纤扫描器的扫描方式可以分为螺旋扫描类、栅格扫描类和李萨如扫描类。使用螺旋扫描和李萨如扫描的微型压电扫描器件通常具有对称结构，体积小且扫描速度快，但螺旋扫描密度不均匀，且两轴共振频率相同，因此存在机械耦合，会恶化扫描轨迹，难以通过后期处理完全消除；使用栅格扫描需要两轴扫描频率相差较大，一轴扫描频率快，实现行扫描，另一轴扫描频率慢，实现帧扫描，快轴利用光纤共振实现放大。

传统光纤扫描器的扫描致动器(如压电致动器)，一般具有固定端和自由端，固定端固定安装于基座，光纤以悬臂支撑的方式固定安装于自由端。发明人在研究中发现，同一个扫描器通过不同的固定方式安装于同样的基座，或以相同的固定方式安装于不同的基座，都会导致扫描器工作所需模态的特征频率发生改变，表现为图像发生畸变，不能准确、正常的显示图像，也就是不能准确、正常的进行精确的二维扫描，扫描轨迹发生变化。

同时扫描致动器工作过程中会通过基座传递振动，并产生噪音，当光纤扫描器用于AR眼镜等供用户佩戴的产品时，会产生不良的体验。

实用新型内容

本实用新型实施例提供一种性能稳定性高的光纤扫描器，用以至少解决固定方式会对扫描器工作所需模态的特征频率产生影响的技术问题。

为了实现上述实用新型目的，本实用新型实施例提供一种性能稳定性高的光纤扫描器，包括扫描致动器和光纤，扫描致动器的前端为第一自由端、后端为第二自由端，光纤以悬臂支撑的方式固定设置于扫描致动器的第一自由端，光纤超出第一自由端的部分构成光纤悬臂，

所述的扫描致动器包括沿自后向前方向依次连接的压电陶瓷块快轴驱动部和压电片慢轴驱动部，所述的压电陶瓷块快轴驱动部包括左右对称设置的第一压电块致动部和第二压电块致动部，第一压电块致动部和第二压电块致动部均各自在驱动信号的驱动下沿前后方向伸缩，且第一压电块致动部和第二压电块致动部同步反向伸缩，慢轴驱动部的后端同时连接第一压电块致动部和第二压电块致动部，

从而，由第一压电块致动部和第二压电块致动部的同步反向伸缩实现驱动扫描致动器的第一自由端沿水平方向左右振动，同时，慢轴驱动部在其驱动信号的驱动下，其前端相对于其后端沿垂直方向振动，从而实现扫描致动器的第一自由端沿垂直方向振动，

其中，左右振动为用于实现行扫描的高频振动，沿垂直方向的振动为用于实现帧扫描的低频振动，

以高频振动的频率为工作频率，扫描致动器通过支撑件与基体固定连接，所述的支撑件设置于扫描致动器在工作频率下沿左右方向振动时的振动节点处。

通过实验对比，采用本实用新型的光纤扫描器，在更改夹持条件(如夹持力、夹持件材质、基座材质等)的情况下，光纤扫描器工作所需模态的特征频率不会产生改变，均能一致准确的进行图像显示，扫描轨迹都不会发生变化。提高了光纤扫描器的通用性，降低了安装精度、安装条件一致性的要求，降低了安装难度。同时，由于支撑件设置于振动节点处，由于振动节点的位移极小，不会通过支撑件传递振动，解决了传递振动、产生噪音的技术问题。

所述的基体为用于封装光纤扫描器的壳体或用于安装光纤扫描器的基座。

所述的慢轴驱动部可以为压电陶瓷致动器、磁致伸缩致动器、微机电致动器中的任意一种，对此不做要求。

扫描致动器在左右方向和垂直方向的振幅均由成像规格要求而限定，扫描致动器沿垂直方向的低频振动的振动一般为扫描致动器的一阶振动，因而在垂直方向振幅固定的前提下，扫描致动器自支撑件至扫描致动器的第一自由端构成的梁(也可称为前端悬臂)的长度通常是固定的，该长度是由垂直方向的振幅来确定的。故，为了减小扫描致动器的整体长度，需要使得扫描致动器自支撑件至扫描致动器第二自由端构成的尾部悬臂的长度尽量小，故优选的，所述的支撑件位于扫描致动器在工作频率下的最靠近第二自由端的振动节点处。

同时由于压电陶瓷块快轴驱动部的单位前后长度的质量明显大于压电片慢轴驱动部的单位前后长度的质量，这就使得扫描致动器在工作频率下的最靠近第二自由端的振动节点的位置更靠近第二自由端，同样具有减小尾部悬臂的长度的效果。如前所述，由于前端悬臂的长度固定，这就使得扫描致动器的整体长度得以减小，利于光纤扫描器小型化设计。

进一步的，为了使得描致动器在工作频率下的最靠近第二自由端的振动节点更靠近扫描致动器的第二自由端，另一种可以考虑的实施方式为：所述的扫描致动器的第二自由端(后端)固定设置有配重块。配重块的增设可使得扫描致动器在工作频率下的最靠近第二自由端的振动节点后移，从而达到减小尾部悬臂的长度的目的。

进一步优选的，通过调整所述配重块的尺寸、形状和重量，可以使得扫描致动器在工作频率下沿垂直方向振动时的振动节点位于支撑件与扫描致动器的连接处，或使得扫描致动器在工作频率下沿垂直方向振动时的振动节点接近支撑件与扫描致动器的连接处。一般来说，对扫描致动器沿左右方向的高频振动的轨迹的校正信号包括驱动扫描致动器沿垂直方向的高频振动信号，该信号的驱动频率与工作频率相同，因而当支撑件与扫描致动器的连接处同样是接近或重合于扫描致动器在工作频率下沿垂直方向振动时的振动节点时，就可以使得校正信号的驱动和扫描致动器对校正信号的响应同样不受夹持条件的影响，或受影响较小；也不会通过支撑件传递振动，或传递较小的振动。

更为优选的，通过调整所述配重块的尺寸、形状和重量，在以上基础上，还可以使得支撑件与扫描致动器的连接处重合或接近于扫描致动器在实现帧扫描的低频驱动频率下沿垂直方向振动时的振动节点。即，扫描致动器在高频行扫描频率下的水平弯曲模态的节点与扫描致动器在低频帧扫描频率下的垂直弯曲模态的节点在于支撑件的连接处相互重合或接近。如此能最大限度的降低支撑件对扫描致动器工作所需模态的特征频率造成影响。

进一步优选的，所述的支撑件仅提供对扫描致动器的支撑但不限制扫描致动器振动，支撑件不影响机械波在扫描致动器的正常传递。从而可以降低支撑件对扫描致动器工作状态的影响。具体的，支撑件可以是采用具有一定弹性形变能力的材料，或者是尽量减小支撑件与扫描致动器的接触面积。例如，所述支撑件可以是设置于扫描致动器在工作频率下沿左右方向振动时的振动节点处的支撑杆，支撑杆沿垂直方向延伸，且设置于扫描致动器左右方向的中心位置，此处为扫描致动器在工作频率下沿左右方向振动时形变量最小的位置之一。又例如，所述的支撑件为设置于扫描致动器在工作频率下沿左右方向振动时的振动节点处的支撑薄板，以尽量减小支撑件与扫描致动器的接触面积。

所述的第一压电块致动部和第二压电块致动部可以为两个独立的压电块致动器。例如，所述的压电块致动器包括压电陶瓷块本体和设置压电陶瓷块本体表面的电极层，电极层可以设置于压电陶瓷块本体的上表面和下表面，电极层也可以设置于压电陶瓷块本体的左表面和右表面；又例如，第一压电块致动部和第二压电块致动部均由多个压电片堆叠而成。所述的第一压电块致动部和第二压电块致动部也可以是在一个压电陶瓷块基体上通过在上表面和下表面的左侧和右侧设置对应的电极层，从而在一个压电陶瓷块基体上构造出两个独立伸缩的致动部。对此不做限制。

对于在一个压电陶瓷块基体上构造两个独立伸缩的致动部的实施方式：所述的压电陶瓷块快轴驱动部包括压电陶瓷块基体，压电陶瓷块基体的上表面的左侧和右侧分别设置第一上电极和第二上电极，压电陶瓷块基体的下表面的左侧和右侧分别设置与第一上电极相对设置的第一下电极和与第二上电极相对设置的第二下电极，压电陶瓷块位于第一上电极和第一下电极之间的部分和位于第二上电极和第二下电极之间的部分均沿垂直方向极化。

本实用新型实施例中的一个或者多个技术方案，至少具有如下技术效果或者优点：

采用本实用新型的光纤扫描器，在更改夹持条件(如夹持力、夹持位置等)的情况下，光纤扫描器工作所需模态的特征频率不会产生改变，均能一致准确的进行图像显示，扫描轨迹都不会发生变化。提高了光纤扫描器的通用性，降低了安装精度、安装条件一致性的要求，降低了安装难度。同时，由于支撑件设置于振动节点处，由于振动节点的位移极小，不会通过支撑件传递振动，解决了传递振动、产生噪音的技术问题。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的一种实施例的结构示意图；

图3为本实用新型的另一种实施例的结构示意图；

图4为本实用新型的压电陶瓷块快轴驱动部的一种实施例结构示意图；

图5为本实用新型的压电陶瓷块快轴驱动部的另一种实施例结构示意图；

图6为本实用新型的压电陶瓷块快轴驱动部的第三种实施例结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1、图2所示，实用新型实施例提供一种性能稳定性高的光纤扫描器，包括扫描致动器100和光纤200，扫描致动器100的前端为第一自由端101、后端为第二自由端102，光纤200以悬臂支撑的方式固定设置于扫描致动器100的第一自由端101，光纤200超出第一自由端101的部分构成光纤悬臂201，

所述的扫描致动器包括沿自后向前方向依次连接的压电陶瓷块快轴驱动部110和压电片慢轴驱动部120，所述的压电陶瓷块快轴驱动部110包括左右对称设置的第一压电块致动部111和第二压电块致动部112，第一压电块致动部111和第二压电块致动部112均各自在驱动信号的驱动下沿前后方向伸缩，且第一压电块致动部111和第二压电块致动部112同步反向伸缩，慢轴驱动部120的后端同时连接第一压电块致动部111和第二压电块致动部112，

从而，由第一压电块致动部111和第二压电块致动部112的同步反向伸缩实现驱动扫描致动器的第一自由端沿水平方向左右振动，同时，慢轴驱动部120在其驱动信号的驱动下，其前端相对于其后端沿垂直方向振动，从而实现扫描致动器的第一自由端沿垂直方向振动，

其中，左右振动为用于实现行扫描的高频振动，沿垂直方向的振动为用于实现帧扫描的低频振动，

以高频振动的频率为工作频率，扫描致动器100通过支撑件300与基体400固定连接，所述的支撑件300设置于扫描致动器100在工作频率下沿左右方向振动时的振动节点处。

通过实验对比，采用本实用新型的光纤扫描器，在更改夹持条件(如夹持力、夹持件材质、基座材质等)的情况下，光纤扫描器工作所需模态的特征频率不会产生改变，均能一致准确的进行图像显示，扫描轨迹都不会发生变化。提高了光纤扫描器的通用性，降低了安装精度、安装条件一致性的要求，降低了安装难度。同时，由于支撑件300设置于振动节点处，由于振动节点的位移极小，不会通过支撑件300传递振动，解决了传递振动、产生噪音的技术问题。

所述的基体400为用于封装光纤扫描器的壳体或用于安装光纤扫描器的基座。

所述的慢轴驱动部120可以为压电陶瓷致动器、磁致伸缩致动器、微机电致动器中的任意一种，对此不做要求。

扫描致动器100在左右方向和垂直方向的振幅均由成像规格要求而限定，扫描致动器100沿垂直方向的低频振动的振动一般为扫描致动器100的一阶振动，因而在垂直方向振幅固定的前提下，扫描致动器100自支撑件300至扫描致动器100的第一自由端101构成的梁(也可称为前端悬臂)的长度通常是固定的，该长度是由垂直方向的振幅来确定的。故，为了减小扫描致动器100的整体长度，需要使得扫描致动器100自支撑件300至扫描致动器100第二自由端102构成的尾部悬臂的长度尽量小，故优选的，所述的支撑件300位于扫描致动器100在工作频率下的最靠近第二自由端102的振动节点处。

同时由于压电陶瓷块快轴驱动部110的单位前后长度的质量明显大于压电片慢轴驱动部120的单位前后长度的质量，这就使得扫描致动器100在工作频率下的最靠近第二自由端102的振动节点的位置更靠近第二自由端102，同样具有减小尾部悬臂的长度的效果。如前所述，由于前端悬臂的长度固定，这就使得扫描致动器100的整体长度得以减小，利于光纤扫描器小型化设计。

进一步的，为了使得描致动器在工作频率下的最靠近第二自由端102的振动节点更靠近扫描致动器100的第二自由端102，另一种可以考虑的实施方式为：如图5所示，所述的扫描致动器100的第二自由端102(后端)固定设置有配重块130。配重块130的增设可使得扫描致动器100在工作频率下的最靠近第二自由端102的振动节点后移，从而达到减小尾部悬臂的长度的目的。

进一步优选的，通过调整所述配重块130的尺寸、形状和重量，可以使得扫描致动器100在工作频率下沿垂直方向振动时的振动节点位于支撑件300与扫描致动器100的连接处，或使得扫描致动器在工作频率下沿垂直方向振动时的振动节点接近支撑件与扫描致动器的连接处。一般来说，对扫描致动器沿左右方向的高频振动的轨迹的校正信号包括驱动扫描致动器沿垂直方向的高频振动信号，该信号的驱动频率与工作频率相同，因而当支撑件与扫描致动器的连接处同样是接近或重合于扫描致动器在工作频率下沿垂直方向振动时的振动节点时，就可以使得校正信号的驱动和扫描致动器对校正信号的响应同样不受夹持条件的影响，或受影响较小；也不会通过支撑件300传递振动，或传递较小的振动。

更为优选的，通过调整所述配重块130的尺寸、形状和重量，在以上基础上，还可以使得支撑件300与扫描致动器100的连接处重合或接近于扫描致动器100在实现帧扫描的低频驱动频率下沿垂直方向振动时的振动节点。即，扫描致动器100在高频行扫描频率下的水平弯曲模态的节点与扫描致动器100在低频帧扫描频率下的垂直弯曲模态的节点在于支撑件300的连接处相互重合或接近。如此能最大限度的降低支撑件300对扫描致动器100工作所需模态的特征频率造成影响。

进一步优选的，所述的支撑件300仅提供对扫描致动器100的支撑但不限制扫描致动器100振动，支撑件300不影响机械波在扫描致动器100的正常传递。从而可以降低支撑件300对扫描致动器100工作状态的影响。具体的，支撑件300可以是采用具有一定弹性形变能力的材料，或者是尽量减小支撑件300与扫描致动器100的接触面积。例如，所述支撑件可以是设置于扫描致动器在工作频率下沿左右方向振动时的振动节点处的支撑杆，支撑杆沿垂直方向延伸，且设置于扫描致动器左右方向的中心位置，此处为扫描致动器在工作频率下沿左右方向振动时形变量最小的位置之一。又例如，所述的支撑件为设置于扫描致动器在工作频率下沿左右方向振动时的振动节点处的支撑薄板，以尽量减小支撑件与扫描致动器的接触面积。

所述的第一压电块致动部111和第二压电块致动部112可以为两个独立的压电块致动器。例如，所述的压电块致动器包括压电陶瓷块本体401和设置压电陶瓷块本体表面的电极层402，电极层402可以设置于压电陶瓷块本体的上表面和下表面，电极层402也可以设置于压电陶瓷块本体的左表面和右表面；又例如，第一压电块致动部111和第二压电块致动部112均由多个压电片堆叠而成。

所述的第一压电块致动部111和第二压电块致动部112也可以是在一个压电陶瓷块基体上通过在上表面和下表面的左侧和右侧设置对应的电极层，从而在一个压电陶瓷块基体上构造出两个独立伸缩的致动部。对此不做限制。

对于在一个压电陶瓷块基体上构造两个独立伸缩的致动部的实施方式：所述的压电陶瓷块快轴驱动部包括压电陶瓷块基体403，压电陶瓷块基体403的上表面的左侧和右侧分别设置第一上电极404和第二上电极405，压电陶瓷块基体的下表面的左侧和右侧分别设置与第一上电极404相对设置的第一下电极406和与第二上电极405相对设置的第二下电极407，压电陶瓷块基体403位于第一上电极404和第一下电极406之间的部分和位于第二上电极405和第二下电极407之间的部分均沿垂直方向极化。

扫描致动器100的振型是指在某时刻系统各部分由于不同振动或位移状态体现出来的宏观结构形态，振型上不同位置的位移方向和大小连续变化，其中位移始终为0或最小的一些空间结构位置成为“不动点”或者“节点”，节点反应了该频率下，对系统振动影响的主要模态。模态代表某阶共振形式。数学模型上，模态指系统特征方程的特征值，振型则是特征向量。

以悬臂梁的横向弯曲振动为例，悬臂梁的横向弯曲振动的各阶共振模态中，与横轴的交点则意味着该点位移始终为0，即不动点、节点，一阶振型有一个节点，相应的，2阶振型有2个节点，3阶振型有3个节点，依次类推。

具体的，所述的工作频率在光纤悬臂201沿左右方向振动时的某阶固有频率附近，工作频率也在扫描致动器100沿左右方向振动时的某阶固有频率附近(由于光纤的质量较小，因而可以将由光纤与扫描致动器构成的系统的振动特性等效为扫描致动器的振动特性)。

扫描致动器100、光纤悬臂201、以及由扫描致动器100和光纤200构成的扫描器系统均基于一个或多个属性而具有固有频率，一般性地，固有频率是器件内在的频率特性，一些示例中，固有频率和谐振频率(或共振频率)是等同的。所述的一个或多个属性包括但不限于：材料、杨氏模量、截面二次距、密度、截面积、长度和/或模式常数等。

器件的固有频率并不仅仅只有一个频率点，而是具有一系列按照一定规律分布的多个频率点，即，存在多个阶次(Order)。

上述工作频率在光纤悬臂201沿左右方向振动时的某阶固有频率附近、工作频率也在扫描致动器100沿左右方向振动时的某阶固有频率附近，是指工作频率与光纤悬臂201沿左右方向振动时的某阶固有频率之间存在差值，如：几十～几千Hz的差值，实际操作过程中，该差值以实现既能够获得大的共振摆幅，同时能降低非线性振动的目标来确定。同时工作频率与扫描致动器100沿左右方向振动时的某阶固有频率之间存在差值，如：几十～几千Hz的差值，实际操作过程中，该差值以实现既能够获得大的共振摆幅，同时能降低非线性振动的目标来确定。理想情况下，工作频率、光纤悬臂201的固有频率、以及扫描致动器100的固有频率均相等时，工作状态下光纤悬臂201可以获得更大的摆幅，以增大画面尺寸或视场。但是发明人发现在相同的共振频率点处(如工作频率与扫描致动器100沿左右方向振动时的某阶固有频率相同，和/或工作频率与光纤悬臂201沿左右方向振动时的某阶固有频率相同)，工作的光纤扫描器会成为一种复杂的非线性振动系统，扫描致动器100和/或光纤悬臂201的响应都是非线性的。非线性振动将造成光纤悬臂振动失稳，易受干扰、难受控，甚至也可能出现扫描轨迹偏离理想的栅格式轨迹，在进行图像显示时，这样异常的轨迹将严重影响图像的显示效果。因而，最优的工作情况是工作频率在光纤悬臂201沿左右方向振动时的某阶固有频率附近，工作频率也在扫描致动器100沿左右方向振动时的某阶固有频率附近，这样既能够获得大的共振摆幅，同时能降低非线性振动。

优选的，所述的工作频率在光纤悬臂201沿左右方向振动时的一阶固有频率附近或在光纤悬臂201沿左右方向振动时的更高阶次的固有频率附近，同时，所述的工作频率也在扫描致动器100沿左右方向振动时的二阶固有频率附近或在扫描致动器100沿左右方向振动时的更高阶次的固有频率附近。

本实用新型实施例中的一个或者多个技术方案，至少具有如下技术效果或者优点：

应该注意的是上述实施例对本实用新型进行说明而不是对本实用新型进行限制，并且本领域技术人员在不脱离所附权利要求的范围的情况下可设计出替换实施例。在权利要求中，不应将位于括号之间的任何参考符号构造成对权利要求的限制。单词“包含”或“包括”不排除存在未列在权利要求中的元件或步骤。位于元件之前的单词“一”或“一个”不排除存在多个这样的元件。单词第一、第二、以及第三等的使用不表示任何顺序，可将这些单词解释为名称。

本说明书中公开的所有特征，除了互相排斥的特征，均可以以任何方式组合。

本说明书(包括任何附加权利要求、摘要和附图)中公开的任一特征，除非特别叙述，均可被其他等效或具有类似目的替代特征加以替换。即，除非特别叙述，每个特征只是一系列等效或类似特征中的一个例子而已。

本实用新型并不局限于前述的具体实施方式。本实用新型扩展到任何在本说明书中披露的新特征或任何新的组合，以及披露的任一新的方法或过程的步骤或任何新的组合。

Claims (8)

1.一种性能稳定性高的光纤扫描器，其特征在于，包括扫描致动器和光纤，扫描致动器的前端为第一自由端、后端为第二自由端，光纤以悬臂支撑的方式固定设置于扫描致动器的第一自由端，光纤超出第一自由端的部分构成光纤悬臂，

所述的扫描致动器包括沿自后向前方向依次连接的压电陶瓷块快轴驱动部和压电片慢轴驱动部，所述的压电陶瓷块快轴驱动部包括左右对称设置的第一压电块致动部和第二压电块致动部，第一压电块致动部和第二压电块致动部均各自在驱动信号的驱动下沿前后方向伸缩，慢轴驱动部的后端同时连接第一压电块致动部和第二压电块致动部，

由第一压电块致动部和第二压电块致动部的同步反向伸缩驱动扫描致动器的第一自由端沿水平方向左右振动，同时，慢轴驱动部的前端相对于其后端沿垂直方向振动，其中，左右振动为用于实现行扫描的高频振动，沿垂直方向的振动为用于实现帧扫描的低频振动，

以高频振动的频率为工作频率，扫描致动器通过支撑件与基体固定连接，所述的支撑件设置于扫描致动器在工作频率下沿左右方向振动时的振动节点处。

2.如权利要求1所述的一种性能稳定性高的光纤扫描器，其特征在于，所述的基体为用于封装光纤扫描器的壳体或用于安装光纤扫描器的基座。

3.如权利要求1所述的一种性能稳定性高的光纤扫描器，其特征在于，所述的慢轴驱动部为压电陶瓷致动器、磁致伸缩致动器和微机电致动器中的任意一种。

4.如权利要求1所述的一种性能稳定性高的光纤扫描器，其特征在于，所述的支撑件位于扫描致动器在工作频率下的最靠近第二自由端的振动节点处。

5.如权利要求1或4所述的一种性能稳定性高的光纤扫描器，其特征在于，所述的扫描致动器的第二自由端固定设置有配重块。

6.如权利要求5所述的一种性能稳定性高的光纤扫描器，其特征在于，通过调整所述配重块的尺寸、形状和重量，可以使得扫描致动器在工作频率下沿垂直方向振动时的振动节点位于支撑件与扫描致动器的连接处，或使得扫描致动器在工作频率下沿垂直方向振动时的振动节点接近支撑件与扫描致动器的连接处。

7.如权利要求1所述的一种性能稳定性高的光纤扫描器，其特征在于，所述的第一压电块致动部和第二压电块致动部为两个独立的压电块致动器，所述的压电块致动器包括压电陶瓷块本体和设置压电陶瓷块本体表面的电极层，电极层设置于压电陶瓷块本体的上表面和下表面，或电极层设置于压电陶瓷块本体的左表面和右表面。

8.如权利要求1所述的一种性能稳定性高的光纤扫描器，其特征在于，所述的压电陶瓷块快轴驱动部包括压电陶瓷块基体，压电陶瓷块基体的上表面的左侧和右侧分别设置第一上电极和第二上电极，压电陶瓷块基体的下表面的左侧和右侧分别设置与第一上电极相对设置的第一下电极和与第二上电极相对设置的第二下电极，压电陶瓷块位于第一上电极和第一下电极之间的部分和位于第二上电极和第二下电极之间的部分均沿垂直方向极化。