CN220449807U - 一种带尾气冷却机构的多晶硅还原炉 - Google Patents

一种带尾气冷却机构的多晶硅还原炉 Download PDF

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Abstract

本实用新型公开了一种带尾气冷却机构的多晶硅还原炉,包括炉体,所述炉体的内壁开设有空腔,所述空腔的内顶壁固定连接有蛇形管,所述蛇形管外表面的一侧固定连接有第一电磁阀。该带尾气冷却机构的多品晶硅还原炉,通过蛇形管、水箱、连接管和水泵的设置,蛇形管将炉体缠绕,扩大了热交换的效率,延长冷却时间,尾气通过蛇形管排放进水箱的内部,对水箱内部的水进行加热,进一步对尾气进行冷却的同时对尾气进行净化,连接管通过水泵将加热后的低温水输送到蛇形管的内部,最后在炉体的内部循环一圈回流至水箱的内部,对蛇形管进行清洗,避免尾气残渣堵塞管道,同时对炉体进行降温,增加了装置的实用性,整体冷却效果更好。

Description

一种带尾气冷却机构的多晶硅还原炉
技术领域
本实用新型涉及晶硅还原炉技术领域,特别涉及一种带尾气冷却机构的多晶硅还原炉。
背景技术
多晶硅还原炉是多晶硅生产中产出最终产品的核心设备,也是决定系统产能、能耗的关键环节,因此,多晶硅还原炉的设计和制造,直接影响到产品的质量、产量和生产成本。
经检索,中国专利公开(公告)号CN215161050U公开了一种多晶硅还原炉的尾气出口,伸出的冷却夹套管以及顶部半圆孔的设置提高了冷却水的出口与改变了出口方向,强制影响了尾气出口管处夹套内冷却水流场的分布。
上述专利虽然使多晶硅还原炉的尾气排放更加顺畅,但是现有的多数多晶硅还原炉尾气简单过滤后直接排入大气中,不仅会污染大气环境,多晶硅还原炉尾气中的热量不能加以利用,造成资源的浪费严重,因此需要设计一种带尾气冷却机构的多晶硅还原炉来解决上述问题。
实用新型内容
本实用新型的主要目的在于提供一种带尾气冷却机构的多晶硅还原炉,可以有效解决背景技术中的问题。
为实现上述目的,本实用新型采取的技术方案为:
一种带尾气冷却机构的多晶硅还原炉,包括炉体,所述炉体的内壁开设有空腔,所述空腔的内顶壁固定连接有蛇形管,所述蛇形管外表面的一侧固定连接有第一电磁阀,所述蛇形管的一端固定连接有水箱;所述蛇形管的外表面靠近水箱的一侧固定连接有单向阀,所述水箱外表面的底部固定连接有连接管,所述连接管的外表面固定连接有水泵,所述连接管的一端螺纹连接有过滤堵头,所述连接管的另一端与蛇形管呈固定连接,所述连接管外表面的另一侧固定连接有第二电磁阀。
为了使得达到便于连接装置的效果,作为本实用新型一种带尾气冷却机构的多晶硅还原炉,所述炉体的下表面活动连接有基座,所述基座的下表面固定连接有底板。
为了使得达到便于吸附尾气的效果,作为本实用新型一种带尾气冷却机构的多晶硅还原炉,所述水箱内侧面的顶部开设有卡槽,所述卡槽的内部卡接有橡胶板,所述橡胶板的内侧面固定连接有吸附板。
为了使得达到加强顶盖密封性的效果,作为本实用新型一种带尾气冷却机构的多晶硅还原炉,所述水箱的上表面活动连接有顶盖,所述顶盖的下表面固定连接有密封圈。
为了使得达到便于排气的效果,作为本实用新型一种带尾气冷却机构的多晶硅还原炉,所述顶盖的上表面固定连接有排气管,所述排气管的外表面固定连接有排气阀。
为了使得达到便于导流的效果,作为本实用新型一种带尾气冷却机构的多晶硅还原炉,所述水箱的内底壁固定连接有导流板。
为了使得达到便于更换水箱内部水的效果,作为本实用新型一种带尾气冷却机构的多晶硅还原炉,所述水箱外表面的底部固定连接有排水管,所述排水管的外表面固定连接有排水阀。
为了使得达到便于固定连接管的效果,作为本实用新型一种带尾气冷却机构的多晶硅还原炉,所述炉体的外表面靠近连接管的一侧固定连接有管夹。
与现有技术相比,本实用新型具有如下有益效果:
1.本实用新型中,通过蛇形管、水箱、连接管和水泵的设置,蛇形管将炉体缠绕,扩大了热交换的效率,延长冷却时间,尾气通过蛇形管排放进水箱的内部,对水箱内部的水进行加热,进一步对尾气进行冷却的同时对尾气进行净化,不会污染环境的同时提升了资源的利用率,连接管通过水泵将加热后的低温水输送到蛇形管的内部,最后在炉体的内部循环一圈回流至水箱的内部,对蛇形管进行清洗,避免尾气残渣堵塞管道,同时对炉体进行降温,增加了装置的实用性,整体冷却效果更好。
2.本实用新型中,通过橡胶板、卡槽、吸附板、顶盖和密封圈的设置,橡胶板卡接在卡槽的内部,便于对吸附板进行安装,方便安装拆卸,便于长时间使用后清理更换,多个吸附板对尾气进行吸附过滤,提高了排出的尾气的纯净度,避免环境的污染,顶盖通过密封圈卡接在水箱的上表面,便于打开顶盖对水箱内部组件进行更换维护,增加使用的便利性,密封圈在顶盖闭合时,将顶盖与水箱内侧面的连接处进行密封,加大密封效果。
附图说明
图1为本实用新型实施例1的主视结构示意图;
图2为本实用新型实施例1的剖视平面结构示意图;
图3为本实用新型实施例1的蛇形管结构示意图;
图4为本实用新型实施例1的水箱内部结构示意图;
图5为本实用新型实施例2管夹结构示意图。
图中:1、炉体;2、空腔;3、蛇形管;4、第一电磁阀;5、水箱;6、单向阀;7、连接管;8、水泵;9、过滤堵头;10、第二电磁阀;11、基座;12、底板;13、卡槽;14、橡胶板;15、吸附板;16、顶盖;17、密封圈;18、排气管;19、排气阀;20、导流板;21、排水管;22、排水阀;23、管夹。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
实施例1
如图1-4所示,一种带尾气冷却机构的多晶硅还原炉,包括炉体1,炉体1的内壁开设有空腔2,空腔2的内顶壁固定连接有蛇形管3,蛇形管3外表面的一侧固定连接有第一电磁阀4,蛇形管3的一端固定连接有水箱5;
在本实施例中,蛇形管3的外表面靠近水箱5的一侧固定连接有单向阀6,水箱5外表面的底部固定连接有连接管7,连接管7的外表面固定连接有水泵8,连接管7的一端螺纹连接有过滤堵头9,连接管7的另一端与蛇形管3呈固定连接,连接管7外表面的另一侧固定连接有第二电磁阀10。
具体使用时,通过空腔2、蛇形管3、第一电磁阀4、水箱5、单向阀6、连接管7、水泵8和第二电磁阀10的设置,蛇形管3固定在炉体1内壁的空腔2的内部,将炉体1缠绕,扩大了热交换的效率,延长冷却时间,尾气通过蛇形管3排放进水箱5的内部,单向阀6使尾气只能单向通过,避免水箱5内部的水通过蛇形管3发生回流的现象,利用尾气的热量对水箱5内部的水进行加热,进一步对尾气进行冷却的同时对尾气进行净化,同时能够对尾气中的热量进行利用,不会污染环境的同时提升了资源的利用率,加热后通过第一电磁阀4将蛇形管3顶部管口闭合,通过第二电磁阀10将连接管7顶部管口打开,连接管7通过水泵8将加热后的低温水输送到蛇形管3的内部,最后在炉体1的内部循环一圈回流至水箱5的内部,对蛇形管3进行清洗,避免尾气残渣堵塞管道,同时对炉体1进行降温,采用低温水对还原炉冷却,避免温度过低导致还原炉性能下降,延长还原炉的使用寿命,增加了装置的实用性,整体冷却效果更好,提高了冷却的效率,过滤堵头9螺纹连接在连接管7的一端,避免水箱5内部残渣造成管道堵塞。
在本实施例中,炉体1的下表面活动连接有基座11,基座11的下表面固定连接有底板12。
具体使用时,通过基座11和底板12的设置,基座11用于支撑炉体1,底板12将基座11和水箱5连接成一个整体。
在本实施例中,水箱5内侧面的顶部开设有卡槽13,卡槽13的内部卡接有橡胶板14,橡胶板14的内侧面固定连接有吸附板15。
具体使用时,通过卡槽13和吸附板15的设置,橡胶板14具有柔韧性和填充性,将其卡接在卡槽13的内部,便于对吸附板15进行安装,方便安装拆卸,便于长时间使用后清理更换,多个吸附板15对尾气进行吸附过滤,提高了排出的尾气的纯净度,避免环境的污染。
在本实施例中,水箱5的上表面活动连接有顶盖16,顶盖16的下表面固定连接有密封圈17。
具体使用时,通过密封圈17的设置,顶盖16通过密封圈17卡接在水箱5的上表面,开合方便,便于打开顶盖16对水箱5内部组件进行更换维护,增加使用的便利性,密封圈17在顶盖16闭合时,将顶盖16与水箱5内侧面的连接处进行密封,加大密封效果。
在本实施例中,顶盖16的上表面固定连接有排气管18,排气管18的外表面固定连接有排气阀19。
具体使用时,通过排气管18的设置,当水箱5内部水加热时,通过排气阀19将排气管18管口闭合,避免热量流失,需要排气时,通过排气阀19将排气管18管口打开,从而将尾气进行排放,净化后的尾气不会污染环境。
在本实施例中,水箱5的内底壁固定连接有导流板20。
具体使用时,通过导流板20的设置,导流板20为倾斜状结构,使得水箱5内部的水输送更加方便,排水更彻底,减少内部残留。
在本实施例中,水箱5外表面的底部固定连接有排水管21,排水管21的外表面固定连接有排水阀22。
具体使用时,通过排水管21的设置,通过排水阀22控制排水管21管口的开合,从而将水箱5内部的水进行排放,便于对水箱5内部水进行更换,避免长时间使用管道堵塞。
工作原理:在使用中,尾气通过蛇形管3排放进水箱5的内部,单向阀6避免发生回流的现象,利用尾气的热量对水箱5内部的水进行加热,对尾气进行冷却的同时对尾气进行净化,第一电磁阀4将蛇形管3顶部管口闭合,通过第二电磁阀10将连接管7顶部管口打开,连接管7通过水泵8将加热后的低温水输送到蛇形管3的内部,最后在炉体1的内部循环一圈回流至水箱5的内部,对蛇形管3进行清洗,同时对炉体1进行降温,冷却后通过排气阀19将排气管18管口打开,将尾气进行排放,多个吸附板15对尾气进行吸附过滤,避免环境的污染,打开顶盖16便于对水箱5内部组件进行更换维护,通过排水阀22控制排水管21管口的开合,便于对水箱5内部水进行更换。
实施例2
如图1-5所示,本实施例区别实施例1的区别特征是:炉体1的外表面靠近连接管7的一侧固定连接有管夹23。
具体使用时,通过管夹23的设置,多个管夹23固定在炉体1的外表面,用于支撑固定连接管7,加大对连接管7的支撑效果,使用稳定性得到加强。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (8)

1.一种带尾气冷却机构的多晶硅还原炉,包括炉体(1),其特征在于:所述炉体(1)的内壁开设有空腔(2),所述空腔(2)的内顶壁固定连接有蛇形管(3),所述蛇形管(3)外表面的一侧固定连接有第一电磁阀(4),所述蛇形管(3)的一端固定连接有水箱(5);
所述蛇形管(3)的外表面靠近水箱(5)的一侧固定连接有单向阀(6),所述水箱(5)外表面的底部固定连接有连接管(7),所述连接管(7)的外表面固定连接有水泵(8),所述连接管(7)的一端螺纹连接有过滤堵头(9),所述连接管(7)的另一端与蛇形管(3)呈固定连接,所述连接管(7)外表面的另一侧固定连接有第二电磁阀(10)。
2.根据权利要求1所述的一种带尾气冷却机构的多晶硅还原炉,其特征在于:所述炉体(1)的下表面活动连接有基座(11),所述基座(11)的下表面固定连接有底板(12)。
3.根据权利要求1所述的一种带尾气冷却机构的多晶硅还原炉,其特征在于:所述水箱(5)内侧面的顶部开设有卡槽(13),所述卡槽(13)的内部卡接有橡胶板(14),所述橡胶板(14)的内侧面固定连接有吸附板(15)。
4.根据权利要求1所述的一种带尾气冷却机构的多晶硅还原炉,其特征在于:所述水箱(5)的上表面活动连接有顶盖(16),所述顶盖(16)的下表面固定连接有密封圈(17)。
5.根据权利要求4所述的一种带尾气冷却机构的多晶硅还原炉,其特征在于:所述顶盖(16)的上表面固定连接有排气管(18),所述排气管(18)的外表面固定连接有排气阀(19)。
6.根据权利要求1所述的一种带尾气冷却机构的多晶硅还原炉,其特征在于:所述水箱(5)的内底壁固定连接有导流板(20)。
7.根据权利要求1所述的一种带尾气冷却机构的多晶硅还原炉,其特征在于:所述水箱(5)外表面的底部固定连接有排水管(21),所述排水管(21)的外表面固定连接有排水阀(22)。
8.根据权利要求1所述的一种带尾气冷却机构的多晶硅还原炉,其特征在于:所述炉体(1)的外表面靠近连接管(7)的一侧固定连接有管夹(23)。
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