CN220418108U - 一种引线外接纯镍导线的扩散炉 - Google Patents
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- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 27
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 title claims abstract description 20
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 38
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 21
- 238000004321 preservation Methods 0.000 claims abstract description 21
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 10
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims abstract description 10
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims abstract description 4
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 7
- 230000005611 electricity Effects 0.000 claims description 6
- HEPLMSKRHVKCAQ-UHFFFAOYSA-N lead nickel Chemical compound [Ni].[Pb] HEPLMSKRHVKCAQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims description 4
- 239000003292 glue Substances 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005275 alloying Methods 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
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- Resistance Heating (AREA)
Abstract
实用新型公开了一种引线外接纯镍导线的扩散炉，包括外壳体、设置在所述外壳体中的由保温纤维制成的保温管、设置在所述保温管内的若干个发热丝组、与对应的所述发热丝组电连接的若干引线和设置在所述保温管外的与所述引线电连接的接线板，还包括由纯镍材料制成的导线，所述导线设置在所述保温管外，所述导线电连接在所述引线与接线板之间，所述导线使引线埋在所述保温管内的长度减少。本申请通过设置在引线与接线板之间并外接在保温管外的导线，能够缩短引线在保温管内的长度，避免高温对埋在保温管内的引线的影响，提高发热丝的引线的使用寿命，排除传统引线埋在保温管内的各种风险。
Description
技术领域
本实用新型涉及光伏半导体制造设备的技术领域，可应用在半导体及光伏扩散炉或各种加热装置以及扩散炉，具体是一种引线外接纯镍导线的扩散炉。
背景技术
扩散炉用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。扩散工艺的主要用途是在高温条件下对半导体晶圆进行掺杂，即将元素磷、硼扩散入硅片，从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布，以便建立起不同的电特性区域。
传统的扩散炉炉体的接线方式是，把发热电阻丝的引线通过加长并缠绕双股的方式直接引出到炉体外进行接线，目的是为了增加引线的线体强度，降低引线的电阻从而降低发热，减少引线被烧断的风险。
但是按照传统的方法进行引线的接线，需要将引线埋在炉体的纤维内部，如果炉体内部分区控制的发热电阻丝分的区域太多，引线在炉体内就会有各种问题，例如：1、两根引线之间相互接触，2、引线与发热电阻丝接触，3、引线靠近发热电阻丝容易烧断等。
发明内容
有鉴于此，本实用新型目的是为了提供一种引线外接纯镍导线的扩散炉。
为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种引线外接纯镍导线的扩散炉，包括外壳体、设置在所述外壳体中的由保温纤维制成的保温管、设置在所述保温管内的若干个发热丝组、与对应的所述发热丝组电连接的若干引线和设置在所述保温管外的与所述引线电连接的接线板，还包括由纯镍材料制成的导线，所述导线设置在所述保温管外，所述导线电连接在所述引线与接线板之间，所述导线使引线埋在所述保温管内的长度减少。
优选地，所述引线相对与其对应的所述发热丝组的端部垂直成型，并沿其垂直方向伸出所述保温管。
优选地，在所述导线与引线之间设置有由纯镍材料制成的弹簧结构，所述弹簧结构分别缠绕在所述引线和导线的端部外，使所述引线和导线的端部缠绕后压接固定。
优选地，所述导线外还套装有耐高温的保护套。
进一步地，在所述保护套与保温管之间通过耐高温的胶水使所述导线粘接固定。
优选地，所述接线板由纯镍材料制成，所述导线汇合在所述接线板上。
本实用新型技术效果主要体现在以下方面：通过设置在引线与接线板之间并外接在保温管外的导线，能够缩短引线在保温管内的长度，避免高温对埋在保温管内的引线的影响，提高发热丝的引线的使用寿命，排除传统引线埋在保温管内的各种风险。
附图说明
图1为本实用新型整体简易示意图；
图2为本实用新型整体端面示意图；
图3为本实用新型整体截面示意图；
图4为本实用新型图3的A部放大示意图；
图5为本实用新型发热丝组以及引线外接导线的结构示意图。
1-保温管； 2-发热丝组；3-引线；4-接线板；5-导线；6-弹簧结构；7-保护套。
实施方式
以下结合附图，对本实用新型的具体实施方式作进一步详述，以使本实用新型技术方案更易于理解和掌握。
实施例
根据图1-5所示，一种引线外接纯镍导线的扩散炉，包括外壳体、设置在所述外壳体中的由保温纤维制成的保温管1、设置在所述保温管1内的若干个发热丝组2、与对应的所述发热丝组2电连接的若干引线3和设置在所述保温管1外的与所述引线3电连接的接线板4，传统的所述引线3通过加长并缠绕双股的方式直接引出到炉体外进行接线，目的是为了增加所述引线3的线体强度，降低所述引线3的电阻从而降低发热，减少所述引线3被烧断的风险；但是按照传统的方法进行所述引线3的接线，需要将所述引线3埋在炉体的所述保温管1内，如果炉体内部分区控制的发热丝组2分的区域太多，所述引线3在炉体内就会有各种问题，例如：1、两根所述引线3之间相互接触，2、所述引线3与发热丝组2接触，3、所述引线3靠近发热丝组2容易烧断等。
本申请中，在炉体的所述发热丝组2的布置方式不变的情况下，扩散炉还包括由纯镍材料制成的导线5，纯镍丝具有高温下强度较好、塑性好、导热性差、电阻率高的特点，所述导线5设置在所述保温管1外，所述导线5电连接在所述引线3与接线板4之间，所述导线5通过外接走线的方式，使所述引线3埋在所述保温管1内的长度减少，避免传统埋在所述保温管1内的引线3所产生的各种问题。
具体地，所述引线3还可以相对与其对应的所述发热丝组2的端部垂直成型，并沿其垂直方向伸出所述保温管1，即从所述发热丝组2的端部成型的引线3可直接垂直于所述发热丝组2以最短的距离伸出所述保温管1外。
而在所述导线5与引线3之间设置有由纯镍材料制成的弹簧结构6，所述弹簧结构6分别缠绕在所述引线3和导线5的端部外，使所述引线3和导线5的端部缠绕后压接固定，即使得所述引线3与导线5外接在一起。
所述弹簧结构6一方面是为了将所述导线5与引线3连接固定在一起，另一方面还可以通过所述弹簧结构6的弹性加强所述导线5与引线3的连接处强度。
一般地，所述导线5外还套装有耐高温的保护套7，使所述导线5不容易烧断或损坏；在所述保护套7与保温管1之间通过耐高温的胶水使所述导线5粘接固定；或者也可以使用其他的固定方式使所述保护套7连同导线5固定在所述保温管1外。
同样的，所述接线板4由纯镍材料制成，各条所述导线5汇合在所述接线板4上，能够保证接线的稳定性。
Claims (6)
1.一种引线外接纯镍导线的扩散炉，包括外壳体、设置在所述外壳体中的由保温纤维制成的保温管、设置在所述保温管内的若干个发热丝组、与对应的所述发热丝组电连接的若干引线和设置在所述保温管外的与所述引线电连接的接线板，其特征在于：还包括由纯镍材料制成的导线，所述导线设置在所述保温管外，所述导线电连接在所述引线与接线板之间，所述导线使引线埋在所述保温管内的长度减少。
2.根据权利要求1所述的一种引线外接纯镍导线的扩散炉，其特征在于：所述引线相对与其对应的所述发热丝组的端部垂直成型，并沿其垂直方向伸出所述保温管。
3.根据权利要求1所述的一种引线外接纯镍导线的扩散炉，其特征在于：在所述导线与引线之间设置有由纯镍材料制成的弹簧结构，所述弹簧结构分别缠绕在所述引线和导线的端部外，使所述引线和导线的端部缠绕后压接固定。
4.根据权利要求1所述的一种引线外接纯镍导线的扩散炉，其特征在于：所述导线外还套装有耐高温的保护套。
5.根据权利要求4所述的一种引线外接纯镍导线的扩散炉，其特征在于：在所述保护套与保温管之间通过耐高温的胶水使所述导线粘接固定。
6.根据权利要求1所述的一种引线外接纯镍导线的扩散炉，其特征在于:所述接线板由纯镍材料制成，所述导线汇合在所述接线板上。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202322069525.8U CN220418108U (zh) | 2023-08-03 | 2023-08-03 | 一种引线外接纯镍导线的扩散炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202322069525.8U CN220418108U (zh) | 2023-08-03 | 2023-08-03 | 一种引线外接纯镍导线的扩散炉 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN220418108U true CN220418108U (zh) | 2024-01-30 |
Family
ID=89642402
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202322069525.8U Active CN220418108U (zh) | 2023-08-03 | 2023-08-03 | 一种引线外接纯镍导线的扩散炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN220418108U (zh) |
-
2023
- 2023-08-03 CN CN202322069525.8U patent/CN220418108U/zh active Active
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |