CN220417992U - 一种载具及烘干炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于载具技术领域，具体涉及一种载具及烘干炉，本载具包括：若干传输组件；其中各所述传输组件依次排列，且各所述传输组件的两侧与对应的链条连接；所述传输组件上开设有若干承载位，以用于承载工件；本实用新型通过设置各传输组件依次排列，通过链条连接进而构成可以传送工件的载具，传输组件用来支撑工件，载具设置在烘干炉内，传输装置带动载具运动，进而使工件穿过烘干炉的腔体内，烘干炉对工件进行烘干，成本低、安装方便、运行稳定，同时能够满足大产能的需求。

Description

一种载具及烘干炉

技术领域

本实用新型属于载具技术领域，具体涉及一种载具及烘干炉。

背景技术

在现有的硅片烘干炉中，硅片通常是通过网链传输，由于网链是多个金属扣拼接而成，当需要增大产能，则网链的面积增大。

然而，在烘干炉内，需要多设置支撑结构以对网链的中间结构进行支撑，增加了生产成本和维护成本。

因此，亟需开发一种新的载具及烘干炉，以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种载具及烘干炉。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种载具，其包括：若干传输组件；其中各所述传输组件依次排列，且各所述传输组件的两侧与对应的链条连接；所述传输组件上开设有若干承载位，以用于承载工件。

进一步，所述传输组件包括：底板和若干夹持板；所述底板的两端与对应的链条连接，各所述夹持板依次排列在底板上；所述夹持板的上部开设有凹口，以形成所述承载位。

进一步，所述凹口两侧分别设置有相应限位部，且两个所述限位部呈对称设置，以用于将工件限位在所述凹口内。

进一步，所述限位部由夹持板顶部向上凸起形成。

进一步，所述底板上设置有支撑板，所述支撑板纵向设置；各所述夹持板与支撑板固定，且所述支撑板的高度低于凹口的最低端。

进一步，所述夹持板上开设有至少两个安装孔，以用于固定所述夹持板与支撑板。

进一步，所述支撑板上开设有若干缝槽，以用于插入对应的所述夹持板。

进一步，所述底板分为第一板部和两第二板部；两所述第二板部分别固定于第一板部两侧；所述第一板部用于安装各夹持板；两所述第二板部与对应的链条连接。

进一步，两所述第二板部的高度低于第一板部的高度；两所述第二板部上分别设有连接孔，所述连接孔内穿入相应连接件与链条连接，且所述连接件与第二板部之间设置有间隙。

另一方面，本实用新型提供一种烘干炉，其包括：烘干炉本体和如上述的载具；所述载具适于承载工件送入烘干炉本体内。

本实用新型的有益效果是，本实用新型通过设置各传输组件依次排列，通过链条连接进而构成可以传送工件的载具，传输组件用来支撑工件，载具设置在烘干炉内，传输装置带动载具运动，进而使工件穿过烘干炉的腔体内，烘干炉对工件进行烘干，成本低、安装方便、运行稳定，同时能够满足大产能的需求。

本实用新型的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本实用新型而了解。

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型的载具的结构图；

图2是本实用新型的传输组件的结构图；

图3是本实用新型的夹持板的结构图。

图中：

1、传输组件；11、底板；111、第一板部；112、第二板部；12、夹持板；121、凹口；122、限位部；123、安装孔；13、支撑板；14、连接件；

2、链条；

3、工件。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例1，在本实施例中，如图1至图3所示，本实施例提供了一种载具，其包括：若干传输组件1；其中各所述传输组件1依次等距排列，且各所述传输组件1的两侧与对应的链条2连接；所述传输组件1上开设有若干承载位，以用于承载工件3。

在本实施例中，本实施例通过设置各传输组件1依次排列，通过链条2连接进而构成可以传送工件3的载具，传输组件1用来支撑工件3，工件3可以为硅片，载具设置在烘干炉内，传输装置带动载具运动，进而使工件3穿过烘干炉的腔体内，烘干炉对工件3进行烘干，成本低、安装方便、运行稳定，同时能够满足大产能的需求。

在本实施例中，传输组件1包括：底板11和若干夹持板12；底板11的两端与对应的链条2连接，各夹持板12依次固定排列在底板11上；夹持板12的上部开设有凹口121，以形成所述承载位。

在本实施例中，各夹持板12与底板11一体成型，或各夹持板12与底板11通过键槽配合安装。

在本实施例中，底板11、各夹持板12均为板状结构，同时凹口121的尺寸根据工件3尺寸设置，能够实现适配不同尺寸的工件3。

在本实施例中，凹口121两侧分别设置有相应限位部122，且两个所述限位部122呈对称设置，以用于将工件3限位在所述凹口121内。

在本实施例中，所述限位部122由夹持板12顶部向上凸起形成。

在本实施例中，设置限位部122能够防止工件3在传输过程中偏移出凹口121，起到限位的作用。

在本实施例中，底板11上设置有支撑板13，支撑板13纵向设置；各夹持板12与支撑板13固定，且支撑板13的高度低于凹口121的最低端。

在本实施例中，作为夹持板12与支撑板13的一种可选实施方式，所述夹持板12上开设有至少两个安装孔123，以用于固定所述夹持板12与支撑板13。

在本实施例中，安装孔123内可以采用插入式或者是螺钉锁紧的方式固定夹持板12与支撑板13。

在本实施例中，作为夹持板12与支撑板13的另一种可选实施方式，所述支撑板13上开设有若干缝槽，以用于插入对应的夹持板12。

在本实施例中，底板11和支撑板13可以是一体设置，也可以是分开设置的，然后通过固定件固定连接。

在本实施例中，底板11分为第一板部111和两第二板部112；两第二板部112分别位于第一板部111两侧；第一板部111用于安装各夹持板12；两第二板部112与对应的链条2连接。

在本实施例中，两第二板部112的高度低于第一板部111的高度；两第二板部112上分别设有连接孔，连接孔内穿入相应连接件14与链条2连接，且连接件14与第二板部112之间设置有间隙。

在本实施例中，连接件14可以采用螺钉，实现连接底板11与链条2，同时由于连接件14与第二板部112之间有间隙，作用在于底板11两侧链条2能够同步传输。

实施例2，在实施例1的基础上，本实施例提供一种烘干炉，其包括：烘干炉本体和如实施例1所提供的载具；所述载具适于承载工件3送入烘干炉本体内。

综上所述，本实用新型通过设置各传输组件依次排列，通过链条连接进而构成可以传送工件的载具，传输组件用来支撑工件，工件可以为硅片，载具设置在烘干炉内，传输装置带动载具运动，进而使工件穿过烘干炉的腔体内，烘干炉对工件进行烘干，成本低、安装方便、运行稳定，同时能够满足大产能的需求。

本申请中选用的各个器件(未说明具体结构的部件)均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。并且，本申请所涉及的软件程序均为现有技术，本申请不涉及对软件程序作出任何改进。

在本实用新型实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (9)

1.一种载具，其特征在于，包括：若干传输组件；其中各所述传输组件依次排列，且各所述传输组件的两侧与对应的链条连接；所述传输组件上开设有若干承载位，以用于承载工件；所述传输组件包括：底板和若干夹持板；所述底板的两端与对应的链条连接，各所述夹持板依次排列在底板上；所述夹持板的上部开设有凹口，以形成所述承载位。

2.如权利要求 1 所述的载具，其特征在于，所述凹口两侧分别设置有相应限位部，且两个所述限位部呈对称设置，以用于将工件限位在所述凹口内。

3.如权利要求 2 所述的载具，其特征在于，所述限位部由夹持板顶部向上凸起形成。

4.如权利要求 1 所述的载具，其特征在于，所述底板上设置有支撑板，所述支撑板纵向设置；各所述夹持板与支撑板固定，且所述支撑板的高度低于凹口的最低端。

5.如权利要求 4 所述的载具，其特征在于，所述夹持板上开设有至少两个安装孔，以用于固定所述夹持板与支撑板。

6.如权利要求 4 所述的载具，其特征在于，所述支撑板上开设有若干缝槽，以用于插入对应的所述夹持板。

7.如权利要求 1 所述的载具，其特征在于，所述底板分为第一板部和两第二板部；两所述第二板部分别固定于第一板部两侧；所述第一板部用于安装各夹持板；两所述第二板部与对应的链条连接。

8.如权利要求 7 所述的载具，其特征在于，两所述第二板部的高度低于第一板部的高度；两所述第二板部上分别设有连接孔，所述连接孔内穿入相应连接件与链条连接，且所述连接件与第二板部之间设置有间隙。

9.一种烘干炉，其特征在于，包括：烘干炉本体和如权利要求 1-8 任一项所述的载具；所述载具适于承载工件送入烘干炉本体内。