CN220416820U - 一种远程等离子体设备的辅助安装工具 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种远程等离子体设备的辅助安装工具，由第一支架单元与第二支架单元组合而成，设置行走轮及升降组件，既方便移动升降远程等离子体设备，节约人力，减少底部密封圈损耗，降低生产成本；还通过拆分两支架单元进行辅助安装工具的移除，无需移动远程等离子体设备造成对准失效，节约时间，提高安装效率。承重底板上对应设置贯通槽，指示设备的底部螺丝孔位置，配合辅助螺丝精准对孔，降低对准难度，提高对准及安装效率；承重底板梯形设置，便于装卸设备，节约人力。副支撑柱与第一副支撑柱相对滑动以进行调节尺寸，设置锁紧销与锁紧孔以进行机械锁定，使辅助安装工具适用不同型号的远程等离子体设备，提高适用范围及稳定性。

Description

一种远程等离子体设备的辅助安装工具

技术领域

本实用新型涉及半导体辅助工具领域，特别是涉及一种远程等离子体设备的辅助安装工具。

背景技术

目前RPS(RemotePlasmaSource，远程等离子体)设备没有辅助安装工具，基本靠手动调整RPS设备的位置来进行安装。RPS设备需安装至上腔室上，以给反应腔室提供等离子体气源，因为其重量重且没有便携移动的部分，导致其安装非常费力；而且人工挪动RPS设备会使RPS的o-ring(O型密封圈，安装在RPS和RPS cube连接处，主要起密封作用)增加摩擦减少使用寿命，造成o-ring损耗大，增加生产成本。

另外RPS设备底下的四个螺丝孔也难以对准，靠手动调整RPS的位置来达到螺丝孔位的对准，很难顺利一次安装完成，这就导致RPS设备安装难度大和安装时间长，从而需要耗费过多的时间和人力。因此发明一种远程等离子体设备的辅助安装工具实属必要。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种远程等离子体设备的辅助安装工具，用于解决现有技术中远程等离子体设备对准安装的难度大、耗时长等问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种远程等离子体设备的辅助安装工具有以下有益效果：由第一支架单元与第二支架单元组合而成，支架单元中设置有行走轮及升降组件，方便移动升降远程等离子体设备，节约人力，减少设备底部密封圈的损耗；还能够在设备完成对准操作后，通过拆分两支架单元进行辅助安装工具的移除而无需移动远程等离子体设备，无需重复进行设备底部螺丝孔的对准操作，节约安装时间，提高安装效率。同时承重底板上对应于远程等离子体设备的底部螺丝孔设置有贯通槽，能够明确指示所述底部螺丝孔的位置，配合辅助螺丝进行精准对孔，降低所述底部螺丝孔的对准难度，且不易受外力影响对准效果，提高对准及安装效率。

副支撑柱与第一副支撑柱能够相对滑动以调节固定支架的尺寸，从而使辅助安装工具能够适用于不同的远程等离子体设备，提高适用范围；副支撑柱与第一副支撑柱上设置锁紧销与锁紧孔便于进行机械锁定，提高稳定性；承重底板梯形设置，便于装卸设备，节约人力。

附图说明

图1显示为本实用新型实施例中远程等离子体设备的辅助安装工具的结构示意图。

图2显示为本实用新型实施例中远程等离子体设备的辅助安装工具的俯视结构示意图。

图3显示为本实用新型实施例中远程等离子体设备的辅助安装工具的侧视结构示意图。

图4显示为图3中D-D视向的结构示意图。

图5显示为本实用新型实施例中辅助螺丝的结构示意图。

图6显示为本实用新型实施例中承重插销的结构示意图。

图7显示为本实用新型实施例中副支撑柱上夹具盖板掀起时的结构示意图。

图8显示为本实用新型实施例中带锁紧销的第一副支撑柱的结构示意图。

标号说明

110，支撑柱；111，开口中空结构；112，贯穿孔；120，副支撑柱；121，夹具盖板；122，锁紧孔；130，承重底板；131，卡块；132，贯穿槽；140，行走轮；141，弹性结构；150，蜗杆；160，手摇杆；170，丝杆；210，第一副支撑柱；211，锁紧杆；300，承重插销；310，插环；400，辅助螺丝。

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。

请参阅图1。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想，遂图式中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。

如图1，本实用新型提供一种远程等离子体设备的辅助安装工具，所述远程等离子体设备的辅助安装工具至少包括：

第一支架单元，包括第一支架组件及第一升降组件，其中，

第一支架组件，包括支撑柱110、副支撑柱120、承重底板130及行走轮140，支撑柱110内沿竖直方向设置有开口中空结构111，底部设置有行走轮140，承重底板130沿第一方向的两端设置有卡块131，并通过卡块131与开口中空结构111的嵌合活动连接于两相对竖直设置的支撑柱110之间，承重底板130沿第二方向相对于远程等离子体设备的底部螺丝孔间隔设置有贯穿槽132，副支撑柱120沿第二方向固定于支撑柱110上且与承重底板130同侧，所述第一方向和所述第二方向相交，均垂直于所述竖直方向；

第一升降组件，包括升降结构与动力结构，所述升降结构穿过卡块131活动连接于所述开口中空结构111中，两相对支撑柱110内的所述升降结构与同一所述动力结构连接，并在所述动力结构作用下同步带动承重底板130进行升降运动；

第二支架单元，与所述第一支架单元对称设置，包括支撑柱110、第一副支撑柱210、承重底板130及行走轮140形成的第二支架组件与第二升降组件，通过第一副支撑柱210与副支撑柱120配对相互嵌套，所述第二支架单元与所述第一支架单元组合为固定支架。

具体的，所述远程等离子体设备的辅助安装工具有对称设置第一支架单元与第二支架单元组成，两支架单元具有相同的结构，因此后续以所述第一支架单元为例进行详细说明，所述第二支架单元参照设置。所述第一支架单元包括第一支架组件与第一升降组件，其中所述第一支架组件包括支撑柱110、副支撑柱120、承重底板130及行走轮140，构成辅助安装工具的可移动支架，所述第一升降组件用于使承重底板130进行升降以升降远程等离子体设备。

详细地，支撑柱110内沿竖直方向上设置有开口中空结构111，其中，开口中空结构111具有一定的长度，从而满足后续承重底板130能够沿其进行上下升降运动。两支撑柱110以其开口中空结构111相对地进行竖直设置，其底部均安装行走轮140，以便于进行自由移动，节约人力，减少设备底部密封圈的磨损。承重底板130沿第一方向两端对应设置有卡块131，通过卡块131与开口中空结构111的嵌合，承重底板130活动连接于两相对的支撑柱110之间。优选地，卡块131与承重底板130为一体结构，从而保证提供足够的承重强度，避免出现断裂。承重底板130沿第二方向对于远程等离子体设备的底部螺丝孔设置有贯穿槽132，如此通过承重底板130便能够明确指示所述底部螺丝孔的位置，便于进行所述底部螺丝孔的对准安装。副支撑柱120沿所述第二方向固定于支撑柱110上以对支撑柱110进行辅助支撑，与承重底板130位于支撑柱110的同一侧。其中，所述第一方向与所述第二方向相交，均垂直于所述竖直方向。

所述升降结构穿过卡块131活动连接于开口中空结构111中，以能够在所述动力结构的作用下带动承重底板130一起进行升降操作。为了使承重底板130两端的升降能够同步，两相对支撑柱110内的所述升降结构与同一所述动力结构连接，从而实现只设置一个动力源便能实现承重底板130的整体升降。所述第一升降组件包括但不限于手摇丝杆升降机构、电动丝杆升降机构，具体根据实际需求进行选择，此处不做限制。

同样的，所述第二支架单元包括第二支架组件和第二升降组件，所述第二支架组件包括支撑柱110、第一副支撑柱210、承重底板130及行走轮140，支撑柱110、承重底板130及行走轮140与所述第一支架单元对应结构相同，此处不再说明。第一副支撑柱210与副支撑柱120配对设置，其中外径大的一方其内部中空设置，能够让外径相对小的一方嵌套进入其内，进而使所述第一支架单元与所述第二支架单元组合为固定支架，以形成远程等离子体设备的辅助安装工具。具体第一副支撑柱210与副支撑柱120哪个外径设置更大一点，根据实际情况设置，此处不做限制。

第一副支撑柱210与副支撑柱120之间的嵌套形式可以为外径小的一方直接插入外径大的一方内部，也可以为外径大的一方设置为可以打开的夹具形式，嵌套时夹具打开以于其内放置外径小的一方，完成嵌套关闭夹具进行固定。在一示例中，副支撑柱120的外径大于第一副支撑柱210的外径，副支撑柱120为夹具形式，与第一副支撑柱210连接端设置有夹具盖板121，抬起夹具盖板121以将第一副支撑柱210放置进入副支撑柱120内，合上夹具盖板121完成两者之间的嵌套，如图2、图7。当然也可以采用其他形式，此处不做限制。

由于所述远程等离子体设备的辅助安装工具由两个支架单元组合而成，既方便移动升降远程等离子体设备，节约人力，减少设备底部密封圈的损耗；还能够在设备完成对准操作后，直接拆分两支架单元进行辅助安装工具的移除，而无需移动远程等离子体设备造成对准失效，节约安装时间，提高安装效率。同时承重底板130上对应于所述底部螺丝孔设置有贯通槽132，能够明确指示所述底部螺丝孔的位置，从而降低对准难度，进一步提高安装效率。

作为示例，还设置有设定长度的辅助螺丝400，辅助螺丝400安装于远程等离子体设备的所述底部螺丝孔中以进行辅助对孔操作。将远程等离子体设备放置在辅助安装工具上后，通过所述第一升降组件与所述第二升降组件将设备升起并于所述底部螺丝孔中安装设定长度的辅助螺丝400，如图5中的双头反向螺纹的螺丝；待辅助安装工具移动至安装位置附近后降下远程等离子体设备，通过穿出贯通槽132的辅助螺丝400插入远程等离子体设备需对准固定的对接螺丝孔中，实现精准对孔，大大降低对准难度，且无需担心对准后会出现偏移情况；移除辅助安装工具后将辅助螺丝400拧下，安装上固定螺丝即可，提高安装效率。辅助螺丝400的具体长度根据承重底板130与所述对接螺丝孔之间的距离而设定，此处不做限制。

作为示例，行走轮140与支撑柱110底部通过弹性结构141连接，且支撑柱110与行走轮140上对应设置有贯穿孔112以配合插销(未示出)将行走轮140收缩进支撑柱110内，如图4。支撑柱110底部中空，按压支撑柱110以使行走轮140收缩进支撑柱110内，配合将所述插销插入贯穿孔112内固定行走轮140，从而在远程等离子体设备完成对准操作后固定辅助安装工具，避免移动造成对准失效而浪费安装时间，同时也方便辅助安装工具使用完毕后进行存放。

作为示例，第一副支撑柱210与副支撑柱110之间能够相对滑动，以进行所述固定支架尺寸的调节。从而能够根据不同远程等离子体设备的尺寸，相对滑动第一副支撑柱210与副支撑柱110以调整所述固定支架的尺寸大小，提高辅助安装工具的适用范围。一般情况下，可在40-60cm的长度范围内进行调节，当然根据实际需要也可进行其他尺寸范围的调整，此处不做限制。

作为示例，第一副支撑柱210与副支撑柱120上对应设置有锁紧孔122与锁紧销。于外径较小的一方如第一副支撑柱210上固定安装所述锁紧销，于外径较大一方如副支撑柱120上间隔设置多个锁紧孔122，需要移动时拉动所述锁紧销的锁紧杆211以使锁紧结构如钢珠收缩，而在第一副支撑柱210与副支撑柱120安装完成或滑动调整尺寸完成后松开锁紧杆211以使锁紧结构如钢珠弹起与锁紧孔锁定，提高辅助安装工具的稳定性，如图1及图8。

作为示例，所述升降结构包括丝杆170与升降螺母(未示出)，丝杆170沿竖直方向穿过卡块131活动连接于开口中空结构111中，所述升降螺母穿过丝杆170且固定于卡块131的内部，所述动力结构包括涡轮(未示出)、蜗杆150与动力件，所述涡轮位于开口中空结构111中并与丝杆170顶部连接，蜗杆150连接两相对支撑柱110内的所述涡轮且穿过一支撑柱110侧壁后与所述动力件连接。这里采用的是丝杆升降机构，动力件带动蜗杆150转动，经所述蜗轮传动后丝杆170同步转动。由于所述升降螺母固定于卡块131中无法随丝杆170一起转动，便带动承重底板130一起沿丝杆170进行升降运动。

在一示例中，所述动力件为手摇杆160，手摇杆160与蜗杆150可拆卸固定连接。如此需要进行升降操作时安装手摇杆160，无需进行升降操作时去除，便于存放且不会由于误碰而自行带动承重底板130升降，提高辅助安装工具使用寿命。优选地，将手摇杆160背向支撑柱110方向推动如一厘米能够使所述涡轮与丝杆170、蜗杆150与所述涡轮连接以进行升降运动，将手摇杆160朝向支撑柱110方向推动如一厘米能够使所述涡轮与丝杆170或蜗杆150与所述涡轮断开连接则进行高度自锁。当然，所述动力件并不局限于手摇杆160，其固定位置也可以位于两支撑柱110之间，具体根据实际情况进行设置。

作为示例，沿所述第二方向上，承重底板130第一方向尺寸随着远离卡块131而逐渐减小，呈现梯形形状，如图2。如此便于承重底板130能够从两侧插入远程等离子体设备的底部以将设备抬起，而无需完全依靠人力抬动，便于装卸设备，节约人力。

作为示例，还设置有承重插销300，且所述第二支架单元与所述第一支架单元的承重底板130底部均对应设置有插环310，如图3。将远程等离子体设备放置于承重底板130上后，将承重插销300插入插环310中，保证承重底板130的承重能力，保护远程等离子体设备。如图1-图2，承重插销300的数量为2个，然而并不局限于此，根据实际需求可以为1个、3个等，此处不做限制。

作为示例，每根支撑柱110上副支撑柱120或第一副支撑柱210的数量为N，其中，N≥1。如图1，每根支撑柱110上有2根副支撑柱120或第一副支撑柱210来进行辅助支撑，然而并不局限于此，根据实际情况，每根支撑柱110上也可以设置1根、3根或更多根副支撑柱120或第一副支撑柱210来进行辅助支撑，此处不做限制。

综上所述，本实用新型提供一种远程等离子体设备的辅助安装工具，由第一支架单元与第二支架单元组合而成，支架单元中设置有行走轮及升降组件，方便移动升降远程等离子体设备，节约人力，减少设备底部密封圈的损耗；还能够在设备完成对准操作后，通过拆分两支架单元进行辅助安装工具的移除而无需移动远程等离子体设备，无需重复进行设备底部螺丝孔的对准操作，节约安装时间，提高安装效率。同时承重底板上对应于远程等离子体设备的底部螺丝孔设置有贯通槽，能够明确指示所述底部螺丝孔的位置，配合辅助螺丝进行精准对孔，降低所述底部螺丝孔的对准难度，且不易受外力影响对准效果，提高对准及安装效率。

副支撑柱与第一副支撑柱能够相对滑动以调节固定支架的尺寸，从而使辅助安装工具能够适用于不同的远程等离子体设备，提高适用范围；副支撑柱与第一副支撑柱上设置锁紧销与锁紧孔便于进行机械锁定，提高稳定性；承重底板梯形设置，便于装卸设备，节约人力。所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。

上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。

Claims (10)

1.一种远程等离子体设备的辅助安装工具，其特征在于，所述辅助安装工具至少包括：

第一支架单元，包括第一支架组件及第一升降组件，其中，

第一支架组件，包括支撑柱、副支撑柱、承重底板及行走轮，所述支撑柱内沿竖直方向设置有开口中空结构，底部设置有所述行走轮，所述承重底板沿第一方向的两端设置有卡块，并通过所述卡块与所述开口中空结构的嵌合活动连接于两相对竖直设置的所述支撑柱之间，所述承重底板沿第二方向相对于远程等离子体设备的底部螺丝孔设置有贯穿槽，所述副支撑柱沿所述第二方向固定于所述支撑柱上且与所述承重底板同侧，所述第一方向和所述第二方向相交，均垂直于所述竖直方向；

第一升降组件，包括升降结构与动力结构，所述升降结构穿过所述卡块活动连接于所述开口中空结构中，两相对所述支撑柱内的所述升降结构与同一所述动力结构连接，并在所述动力结构作用下同步带动所述承重底板进行升降运动；

第二支架单元，与所述第一支架单元对称设置，包括支撑柱、第一副支撑柱、承重底板及行走轮形成的第二支架组件与第二升降组件，通过所述第一副支撑柱与所述副支撑柱配对相互嵌套，所述第二支架单元与所述第一支架单元组合为固定支架。

2.根据权利要求1所述的远程等离子体设备的辅助安装工具，其特征在于：还设置有设定长度的辅助螺丝，所述辅助螺丝安装于远程等离子体设备的所述底部螺丝孔中以进行辅助对孔操作。

3.根据权利要求1所述的远程等离子体设备的辅助安装工具，其特征在于：所述行走轮与所述支撑柱底部通过弹性结构连接，且所述支撑柱与所述行走轮上对应设置有贯穿孔以配合插销将所述行走轮收缩进所述支撑柱内。

4.根据权利要求1所述的远程等离子体设备的辅助安装工具，其特征在于：所述第一副支撑柱与所述副支撑柱之间能够相对滑动，以进行所述固定支架尺寸的调节。

5.根据权利要求4所述的远程等离子体设备的辅助安装工具，其特征在于：所述副支撑柱的外径大于所述第一副支撑柱的外径，所述副支撑柱为夹具形式且靠近所述第一副支撑柱端设置有夹具盖板，抬起所述夹具盖板以将所述第一副支撑柱放置进入所述副支撑柱。

6.根据权利要求1、4-5任一所述的远程等离子体设备的辅助安装工具，其特征在于：所述第一副支撑柱与所述副支撑柱上对应设置有锁紧孔与锁紧销。

7.根据权利要求1所述的远程等离子体设备的辅助安装工具，其特征在于：所述升降结构包括丝杆与升降螺母，所述丝杆沿竖直方向穿过所述卡块活动连接于所述开口中空结构中，所述升降螺母穿过所述丝杆且固定于所述卡块的内部，所述动力结构包括涡轮、蜗杆与动力件，所述涡轮位于所述开口中空结构中并与所述丝杆顶部连接，所述蜗杆连接两相对所述支撑柱内的所述涡轮且穿过一所述支撑柱侧壁后与所述动力件连接。

8.根据权利要求7所述的远程等离子体设备的辅助安装工具，其特征在于：所述动力件为手摇杆，所述手摇杆与所述蜗杆可拆卸固定连接。

9.根据权利要求1所述的远程等离子体设备的辅助安装工具，其特征在于：沿所述第二方向上，所述承重底板第一方向尺寸随着远离所述卡块而逐渐减小，呈现梯形形状。

10.根据权利要求1所述的远程等离子体设备的辅助安装工具，其特征在于：还设置有承重插销，且所述第二支架单元与所述第一支架单元的所述承重底板底部均对应设置有插环。