CN220379866U - 一种碳化硅洁净室进风装置及碳化硅洁净室新风系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种碳化硅洁净室进风装置及碳化硅洁净室新风系统，涉及碳化硅生产技术领域。该碳化硅洁净室进风装置包括混风主体、匀流板及散流件，混风主体设置有具有开口端的混风腔；匀流板设置于混风腔内并遮挡开口端，匀流板上贯穿设置有多个匀流孔；混风主体上设置有空调接管及空压机接管，空调接管与混风腔连通，散流件容置于混风腔内，且散流件上设置有多个与空压机接管连通的出风嘴，空调接管与散流件均处于匀流板背离开口端的一侧。本实用新型提供的碳化硅洁净室进风装置能够将压缩气体与空调新风均匀混合后导入洁净室，从而保证碳化硅洁净室内不同区域的空气湿度均匀。

Description

一种碳化硅洁净室进风装置及碳化硅洁净室新风系统

技术领域

本实用新型涉及碳化硅生产技术领域，具体而言，涉及一种碳化硅洁净室进风装置及碳化硅洁净室新风系统。

背景技术

用于碳化硅生产的洁净室对通入气体的湿度与洁净度有较高要求，其湿度要求通常超出空调机组的调节范围，因此市面上通常将压缩空气与空调新风混合后导入洁净室，通过压缩空气进一步调节空调新风的湿度，从而达到洁净室的湿度要求。

实现的具体方式为将空气压缩机的输出端接入空调器的出风口，由于压缩气体压力很高，直接导入空调器的出风口的压缩气体过度集中，难以与空调新风混合均匀，导致送入洁净室不同区域的空气湿度不均匀。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种碳化硅洁净室进风装置，其能够将空气压缩机输出的压缩气体与空调机组输出的空调新风均匀混合后导入洁净室，从而保证洁净室不同区域的空气湿度均匀。

本实用新型的另一目的在于提供一种碳化硅洁净室新风系统，其能够将空气压缩机输出的压缩气体与空调机组输出的空调新风均匀混合后导入洁净室，从而保证洁净室不同区域的空气湿度均匀。

本实用新型的实施例提供一种技术方案：

一种碳化硅洁净室进风装置，包括混风主体、匀流板及散流件，所述混风主体设置有混风腔，所述混风腔具有用于向碳化硅洁净室送风的开口端；所述匀流板设置于所述混风腔内并遮挡所述开口端，所述匀流板上贯穿设置有多个匀流孔；所述混风主体上设置有空调接管及空压机接管，所述空调接管与所述混风腔连通，用于将空调新风输入所述混风腔，所述散流件容置于所述混风腔内，且所述散流件上设置有多个与所述空压机接管连通的出风嘴，所述空压机接管用于将压缩空气通过多个所述出风嘴输入所述混风腔，所述空调接管与所述散流件均处于所述匀流板背离所述开口端的一侧。

进一步地，所述空调接管设置于所述混风主体上与所述匀流板相对的一侧侧壁上。

进一步地，所述散流件处于所述空调接管与所述匀流板之间。

进一步地，多个所述出风嘴均朝向所述匀流板。

进一步地，所述散流件包括连接管、汇流管及多个分流管，所述连接管的一端与所述空压机接管连通，所述连接管远离所述空压机接管的一端与所述汇流管连通，多个所述分流管均与所述汇流管连通，多个所述分流管上均设置有所述出风嘴。

进一步地，多个所述分流管沿所述汇流管的长度方向依次间隔排布，且多个所述分流管相互平行。

进一步地，所述碳化硅洁净室进风装置还包括压缩空气过滤盒，所述压缩空气过滤盒设置于所述混风主体的外表面，所述空压机接管通过所述压缩空气过滤盒与所述散流件连通，所述压缩空气过滤盒用于对所述空压机接管引入的压缩空气进行过滤后导入所述散流件。

进一步地，所述碳化硅洁净室进风装置还包括空调新风过滤盒，所述空调新风过滤盒设置于所述混风主体的外表面，所述空调接管通过所述空调新风过滤盒与所述混风腔连通，所述空调新风过滤盒用于将所述空调接管引入的空调新风过滤后导入所述混风腔。

进一步地，所述碳化硅洁净室进风装置还包括出风过滤件，所述出风过滤件设置于所述开口端，用于对穿过所述匀流孔的混合气体过滤后排入碳化硅洁净室。

本实用新型的实施例还提供一种碳化硅洁净室新风系统，包括空调机组、空气压缩机及所述的碳化硅洁净室进风装置，所述碳化硅洁净室进风装置包括混风主体、匀流板及散流件，所述混风主体设置有混风腔，所述混风腔具有用于向碳化硅洁净室送风的开口端；所述匀流板设置于所述混风腔内并遮挡所述开口端，所述匀流板上贯穿设置有多个匀流孔；所述混风主体上设置有空调接管及空压机接管，所述空调接管与所述混风腔连通，用于将空调新风输入所述混风腔，所述散流件容置于所述混风腔内，且所述散流件上设置有多个与所述空压机接管连通的出风嘴，所述空压机接管用于将压缩空气通过多个所述出风嘴输入所述混风腔，所述空调接管与所述散流件均处于所述匀流板背离所述开口端的一侧。所述空调机组与所述空调接管连通，以通过所述空调接管向所述混风腔输送新风；所述空气压缩机与所述空压机接管连通，以通过所述空压机接管及所述散流件向所述混风腔输送压缩空气。

相比现有技术，本实用新型提供的碳化硅洁净室进风装置，其散流件能够将空压机接管引入的压缩空气均匀分散的输入混风腔内与空调新风进行混合，并且，匀流板能够对混风腔内的混合气体进行均匀分流，进一步提升压缩空气与空调新风混合的均匀性，从而保证输入碳化硅洁净室的新风湿度均匀。因此，本实用新型提供的碳化硅洁净室进风装置的有益效果包括：能够将压缩气体与空调新风均匀混合后导入洁净室，从而保证碳化硅洁净室内不同区域的空气湿度均匀。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍。应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定。对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本实用新型的实施例提供的碳化硅洁净室进风装置的结构示意图。

图标：100-碳化硅洁净室进风装置；110-混风主体；111-混风腔；112-开口端；113-空调接管；114-空压机接管；120-匀流板；121-匀流孔；130-散流件；131-出风嘴；132-连接管；133-汇流管；134-分流管；140-压缩空气过滤盒；150-空调新风过滤盒；160-出风过滤件。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，或者是本领域技术人员惯常理解的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，“设置”、“连接”等术语应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介间接连接，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面结合附图，对本实用新型的具体实施方式进行详细说明。

实施例

请参阅图1，图1所示为本实施例提供的碳化硅洁净室进风装置100的结构示意图。

本实施例提供的碳化硅洁净室进风装置100，能够将空调新风与压缩气体进行充分混合后导入碳化硅洁净室，从而保证碳化硅洁净室内各区域的空气湿度均匀，提升碳化硅晶体的生产质量。

该碳化硅洁净室进风装置100混风主体110、匀流板120及散流件130，混风主体110设置有混风腔111，混风腔111具有用于向碳化硅洁净室送风的开口端112；匀流板120设置于混风腔111内并遮挡开口端112，匀流板120上贯穿设置有多个匀流孔121；混风主体110上设置有空调接管113及空压机接管114，空调接管113与混风腔111连通，用于将空调新风输入混风腔111，散流件130容置于混风腔111内，且散流件130上设置有多个与空压机接管114连通的出风嘴131，空压机接管114用于将压缩空气通过多个出风嘴131输入混风腔111，空调接管113与散流件130均处于匀流板120背离开口端112的一侧。

在实际应用中，空调接管113与碳化硅洁净室配置的空调机组的新风管路连接，以将空调新风引入混风腔111，空调机组可以是MAU或AHU等。空压机接管114与碳化硅洁净室配置的空气压缩机的输出端连接，以将压缩空气引入散流件130，并通过散流件130上设置的多个出风嘴131送入混风腔111与空调新风混合。

空压机接管114引入的压缩空气能够通过散流件130上设置的多个出风嘴131均匀分散的流入混风腔111，避免高压状态的压缩空气过于集中的与空调新风混合导致混合不均匀，实现压缩空气与空调新风的初步均匀混合。压缩空气与空调新风形成的混合气体由混风腔111的开口端112吹入碳化硅洁净室之前，需要穿过匀流板120上的多个匀流孔121，在此过程中，混合气体被均匀分流，能够进一步提升压缩空气与空调新风混合的均匀性。

可见，本实施例提供的碳化硅洁净室进风装置100，能够将压缩空气与空调新风充分的均匀混合，保证二者组成的混合气体湿度均匀，从而保证碳化硅洁净室不同区域内空气湿度的均匀性。

本实施例中，空调接管113设置于混风主体110上与匀流板120相对的一侧侧壁上，即在空调新风由空调接管113进入混风腔111时，空调新风的流向正对匀流板120，能够提升进风效率，避免气流在混风腔111内过长时间停留。

可以理解的是，压缩空气的压力较大，如果出风嘴131的朝向与空调接管113的出风方向之间存在较大夹角，将导致空调新风乱流，影响碳化硅洁净室的进风效率，甚至可能造成空调机组新风倒灌。因此，本实施例中，散流件130处于空调接管113与匀流板120之间，并且散流件130上设置的多个出风嘴131均朝向匀流板120，换言之，压缩空气与空调新风之间的流向夹角几乎为零。

本实施例中，散流件130包括连接管132、汇流管133及多个分流管134，连接管132的一端与空压机接管114连通，连接管132远离空压机接管114的一端与汇流管133连通，多个分流管134均与汇流管133连通，多个分流管134上均设置有出风嘴131。

在实际应用中，空压机接管114将空气压缩机输出的压缩空气引入连接管132内，连接管132再将压缩空气引入汇流管133，进入汇流管133的压缩空气沿汇流管133依次流入多个分流管134，最后由各个分流管134上设置的多个出风嘴131流出并进入混风腔111。

相当于，多个分流管134对压缩空气的气流起到初步分流的作用，而任意分流管134上设置的多个出风嘴131对气流起到再次分流的作用，使得分流后的压缩空气均匀流入混风腔111中的不同区域，进而实现与空调新风的均匀混合。

为了进一步提升散流件130对压缩空气的均匀分流效果，本实施中，多个分流管134均在水平方向上延伸，并且与匀流板120平行。并且多个分流管134各自的一端与汇流管133连接，多个分流管134沿汇流管133的长度方向依次间隔排布，且多个分流管134相互平行。

考虑更靠近连接管132与汇流管133连接位置的分流管134的进气压力更大，会导致流入多个分流管134的气流量不均匀，从而导致流入混风腔111不同区域的压缩空气的量有区别，影响与空调新风混合的均匀性。为了解决此问题，本实施例中，任意相邻的两个分流管134，更靠近连接管132与汇流管133连接位置的分流管134的内管径更小，更远离连接管132与汇流管133连接位置的分流管134的内管径更大，从而保证进入不同分流管134的压缩空气的流量相同。

由于碳化硅洁净室对于新风的清洁度也有极高的要求，现有技术中直接将压缩空气通入空调出风口的方式常导致空气中的杂质进入洁净室，造成空气污染。为了提升新风的清洁度，本实施例提供的碳化硅洁净室进风装置100还包括压缩空气过滤盒140，压缩空气过滤盒140设置于混风主体110的外表面，空压机接管114通过压缩空气过滤盒140与散流件130连通，压缩空气过滤盒140用于对空压机接管114引入的压缩空气进行过滤后导入散流件130。

并且，为了进一步提升清洁度，避免空调机组新风管路故障导致空调新风清洁度下降导洁净室新风污染，本实施例提供的碳化硅洁净室进风装置100还包括空调新风过滤盒150，空调新风过滤盒150设置于混风主体110的外表面，空调接管113通过空调新风过滤盒150与混风腔111连通，空调新风过滤盒150用于将空调接管113引入的空调新风过滤后导入混风腔111。

另外，本实施例中，碳化硅洁净室进风装置100还包括出风过滤件160，出风过滤件160设置于开口端112，用于对穿过匀流孔121的混合气体过滤后排入碳化硅洁净室。

可见，在实际应用中，压缩空气过滤盒140对压缩空气进行初步过滤后导入混风腔111，空调新风过滤盒150对空调新风进行初步过滤后导入混风腔111，在混风腔111内压缩空气与空调新风充分混合后由开口端112进入碳化硅洁净室时，再次被开口端112设置的出风过滤件160过滤，从而为碳化硅洁净室提供湿度、清洁度均满足工艺需求的新风，提升碳化硅晶体的生产品质。

综上，本实施例提供的碳化硅洁净室进风装置100，能够将空气压缩机输出的压缩气体与空调机组输出的空调新风均匀混合后导入洁净室，从而保证洁净室不同区域的空气湿度均匀。并且，还能够保证混合气体的清洁度，满足碳化硅洁净室的清洁度需求。

本实施例还提供一种碳化硅洁净室新风系统，包括空调机组、空气压缩机及前述的碳化硅洁净室进风装置100，空调机组与空调接管113连通，以通过空调接管113向混风腔111输送新风；空气压缩机与空压机接管114连通，以通过空压机接管114及散流件130向混风腔111输送压缩空气。

可以理解的是，在实际应用中，混风腔111的开口端112直接连通碳化硅洁净室，能够将湿度与清洁度均满足工艺需求的新风输入碳化硅洁净室。因此，本实施例提供的碳化硅洁净室新风系统，能够为碳化硅洁净室提供湿度与清洁度均达标的新风，从而提升碳化硅晶体的生产质量。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种碳化硅洁净室进风装置，其特征在于，包括混风主体(110)、匀流板(120)及散流件(130)，所述混风主体(110)设置有混风腔(111)，所述混风腔(111)具有用于向碳化硅洁净室送风的开口端(112)；所述匀流板(120)设置于所述混风腔(111)内并遮挡所述开口端(112)，所述匀流板(120)上贯穿设置有多个匀流孔(121)；所述混风主体(110)上设置有空调接管(113)及空压机接管(114)，所述空调接管(113)与所述混风腔(111)连通，用于将空调新风输入所述混风腔，所述散流件(130)容置于所述混风腔(111)内，且所述散流件(130)上设置有多个与所述空压机接管(114)连通的出风嘴(131)，所述空压机接管(114)用于将压缩空气通过多个所述出风嘴(131)输入所述混风腔，所述空调接管(113)与所述散流件(130)均处于所述匀流板(120)背离所述开口端(112)的一侧。

2.根据权利要求1所述的碳化硅洁净室进风装置，其特征在于，所述空调接管(113)设置于所述混风主体(110)上与所述匀流板(120)相对的一侧侧壁上。

3.根据权利要求2所述的碳化硅洁净室进风装置，其特征在于，所述散流件(130)处于所述空调接管(113)与所述匀流板(120)之间。

4.根据权利要求3所述的碳化硅洁净室进风装置，其特征在于，多个所述出风嘴(131)均朝向所述匀流板(120)。

5.根据权利要求1所述的碳化硅洁净室进风装置，其特征在于，所述散流件(130)包括连接管(132)、汇流管(133)及多个分流管(134)，所述连接管(132)的一端与所述空压机接管(114)连通，所述连接管(132)远离所述空压机接管(114)的一端与所述汇流管(133)连通，多个所述分流管(134)均与所述汇流管(133)连通，多个所述分流管(134)上均设置有所述出风嘴(131)。

6.根据权利要求5所述的碳化硅洁净室进风装置，其特征在于，多个所述分流管(134)沿所述汇流管(133)的长度方向依次间隔排布，且多个所述分流管(134)相互平行。

7.根据权利要求1所述的碳化硅洁净室进风装置，其特征在于，所述碳化硅洁净室进风装置(100)还包括压缩空气过滤盒(140)，所述压缩空气过滤盒(140)设置于所述混风主体(110)的外表面，所述空压机接管(114)通过所述压缩空气过滤盒(140)与所述散流件(130)连通，所述压缩空气过滤盒(140)用于对所述空压机接管(114)引入的压缩空气进行过滤后导入所述散流件(130)。

8.根据权利要求1所述的碳化硅洁净室进风装置，其特征在于，所述碳化硅洁净室进风装置(100)还包括空调新风过滤盒(150)，所述空调新风过滤盒(150)设置于所述混风主体(110)的外表面，所述空调接管(113)通过所述空调新风过滤盒(150)与所述混风腔(111)连通，所述空调新风过滤盒(150)用于将所述空调接管(113)引入的空调新风过滤后导入所述混风腔(111)。

9.根据权利要求1所述的碳化硅洁净室进风装置，其特征在于，所述碳化硅洁净室进风装置(100)还包括出风过滤件(160)，所述出风过滤件(160)设置于所述开口端(112)，用于对穿过所述匀流孔(121)的混合气体过滤后排入碳化硅洁净室。

10.一种碳化硅洁净室新风系统，其特征在于，包括空调机组、空气压缩机及如权利要求1-9任一项所述的碳化硅洁净室进风装置(100)，所述空调机组与所述空调接管(113)连通，以通过所述空调接管(113)向所述混风腔(111)输送新风；所述空气压缩机与所述空压机接管(114)连通，以通过所述空压机接管(114)及所述散流件(130)向所述混风腔(111)输送压缩空气。