CN220376764U - 一种半导体制冷片靶材冷却装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种半导体制冷片靶材冷却装置，包括底座、挡板、半导体制冷器、固定板、夹板、滑槽、限位板、锁止卡块以及调节座，底座上端面安装有挡板，挡板外侧面设置有调节座，调节座内部设置有锁止卡块，底座内部设置有半导体制冷器，底座上方设置有固定板，固定板相对内侧设置有夹板，固定板内部开设有滑槽，固定板下端面粘接有限位板，该设计解决了原有半导体制冷片靶材冷却装置中靶材不便于快速安装拆卸的问题，本实用新型结构合理，通过弹性移动的夹板配合上夹块对靶材进行夹持，并通过把手带动固定板上下滑动，使靶材下端面与半导体制冷器相抵接，对靶材的安装固定简单方便，实用性强。
Description
技术领域
本实用新型是一种半导体制冷片靶材冷却装置，属于靶材技术领域。
背景技术
溅射是物理气相沉积的一种。一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料，且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点，而上世纪70年代发展起来的溅射法更是实现了高速、低温、低损伤。因为是在低气压下进行高速溅射，必须有效地提高气体的离化率。溅射通过在靶阴极表面引入磁场，利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率。
中国专利号CN109825811A公开了一种半导体制冷片靶材冷却装置，通过紧固螺母以及夹紧片对靶材进行固定，并通过安装空间内设置的水冷铜板以及半导体制冷片对靶材进行冷却，冷却效果好，但该设计每次安装拆卸靶材都需要对紧固螺母进行旋动，方可取下夹紧片，安装拆卸不够灵活方便，现在急需一种半导体制冷片靶材冷却装置来解决上述出现的问题。
实用新型内容
针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种半导体制冷片靶材冷却装置，以解决上述背景技术中提出的问题，本实用新型结构合理，通过弹性移动的夹板配合上夹块对靶材进行夹持，并通过把手带动固定板上下滑动，使靶材下端面与半导体制冷器相抵接，对靶材的安装固定简单方便，实用性强。
为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种半导体制冷片靶材冷却装置，包括底座、挡板、半导体制冷器、固定板、夹板、滑槽、限位板、锁止卡块以及调节座，所述底座上端面安装有挡板，所述挡板外侧面设置有调节座，所述调节座内部设置有锁止卡块，所述底座内部设置有半导体制冷器，所述底座上方设置有固定板，所述固定板相对内侧设置有夹板，所述固定板内部开设有滑槽，所述固定板下端面粘接有限位板。
进一步地，所述夹板相对内侧粘接有滑板，所述滑板以及夹板呈L形，所述滑板沿滑槽内壁紧密滑动，所述夹板上端面粘接有软垫，所述软垫采用耐磨橡胶制成。
进一步地，所述滑板下端面以及滑槽底部均等规格设置有弹簧座，所述弹簧座内部设置有挤压弹簧。
进一步地，所述固定板与挡板呈圆弧形，所述固定板外侧面粘接有把手，所述固定板内侧设置有上夹块。
进一步地，所述挡板内部开设有限位槽，所述限位板沿限位槽内壁紧密滑动。
进一步地，所述限位板相对外侧开设有锁止卡槽，所述锁止卡块贯穿穿过挡板后与锁止卡槽相互卡装。
进一步地，所述调节座内部设置有连接杆，所述连接杆与锁止卡块相连接，所述连接杆环形侧面套装有复位弹簧。
进一步地，所述半导体制冷器上端面设置有抵接块，所述抵接块上端面与外界靶材下端面相抵接。
本实用新型的有益效果：本实用新型的一种半导体制冷片靶材冷却装置，因本实用新型添加了夹板、固定板、锁止卡块以及连接杆，通过夹板以及上夹块对靶材进行初步固定，并通过把手带动固定板移动，使得靶材与抵接块紧密抵接，从而便于与半导体制冷器进行热交换，当需要取出靶材时，可以通过拉动连接杆带动锁止卡块与锁止卡槽脱离，从而解除对固定板的锁定，方便使用人员取出靶材，对靶材的固定效果好，安装拆卸方便，实用性强。
附图说明
通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
图1为本实用新型一种半导体制冷片靶材冷却装置的结构示意图；
图2为本实用新型一种半导体制冷片靶材冷却装置中固定板以及限位板的结构示意图
图3为本实用新型一种半导体制冷片靶材冷却装置的局部正视剖面图；
图中：1-底座、2-挡板、3-半导体制冷器、31-抵接块、4-固定板、41-把手、42-上夹块、5-夹板、51-滑板、52-软垫、6-滑槽、61-挤压弹簧、62-弹簧座、7-限位板、71-限位槽、8-锁止卡块、81-锁止卡槽、9-调节座、91-连接杆、92-复位弹簧。
具体实施方式
为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
请参阅图1-图3，本实用新型提供一种技术方案：一种半导体制冷片靶材冷却装置，包括底座1、挡板2、半导体制冷器3、固定板4、夹板5、滑槽6、限位板7、锁止卡块8以及调节座9，底座1上端面安装有挡板2，挡板2外侧面设置有调节座9，调节座9内部设置有锁止卡块8，底座1内部设置有半导体制冷器3，底座1上方设置有固定板4，固定板4相对内侧设置有夹板5，固定板4内部开设有滑槽6，固定板4下端面粘接有限位板7，该设计解决了原有半导体制冷片靶材冷却装置中靶材不便于快速安装拆卸的问题。
作为本实用新型的第一个实施例：夹板5相对内侧粘接有滑板51，滑板51以及夹板5呈L形，滑板51可以相对固定夹板5与固定板4之间的位置，从而防止夹板5脱离固定板4，滑板51沿滑槽6内壁紧密滑动，该设计使得夹板5的移动更为稳定，夹板5上端面粘接有软垫52，软垫52采用耐磨橡胶制成，软垫52使得夹板5与靶材表面之间软接触，从而避免夹板5损伤靶材表面，滑板51下端面以及滑槽6底部均等规格设置有弹簧座62，弹簧座62可以固定挤压弹簧61的位置，从而避免挤压弹簧61释放弹性势能过程中发生偏移，弹簧座62内部设置有挤压弹簧61，挤压弹簧61可以帮助夹板5复位，固定板4与挡板2呈圆弧形，该设计使得固定板4与挡板2更贴合靶材侧面，固定板4外侧面粘接有把手41，把手41便于使用人员拉动固定板4，固定板4内侧设置有上夹块42，上夹块42配合夹板5可以对靶材形成夹持固定，挡板2内部开设有限位槽71，限位板7沿限位槽71内壁紧密滑动，限位板7以及限位槽71使得固定板4的移动更为稳定，限位板7相对外侧开设有锁止卡槽81，锁止卡块8贯穿穿过挡板2后与锁止卡槽81相互卡装，锁止卡块8与锁止卡槽81可以固定限位板7的位置，连接杆91与锁止卡块8相连接，连接杆91可以带动锁止卡块8共同移动，连接杆91环形侧面套装有复位弹簧92，复位弹簧92可以带动锁止卡块8复位。
作为本实用新型的第二个实施例：使用人员通过把手41向上拉动固定板4，随后将待固定靶材下端面与夹板5接触。并向下压动夹板5，压动过程中夹板5带动滑板51沿滑槽6内壁紧密滑动，并通过弹簧座62压缩挤压弹簧61，随后向内推动靶材，使靶材侧面与固定板4内壁相抵接，挤压弹簧61释放弹性势能带动夹板5向上移动，并配合上夹块42对靶材一端进行夹持固定，随后向下移动固定板4，使得固定板4上端与挡板2上端相齐平，锁止卡块8与锁止卡槽81相互卡装，通过限位板7固定固定板4的位置，此时靶材下端面与抵接块31上端面紧密抵接，半导体制冷器3将溅射镀膜装置镀膜时产生的热量进行吸收冷却，当需要取下靶材时，向外拉动连接杆91，连接杆91带动锁止卡块8共同移动并解除锁止卡块8与锁止卡槽81的相互卡装状态，使得固定板4可以重新被拉动，从而方便使用人员取出靶材。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点，对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
Claims (8)
1.一种半导体制冷片靶材冷却装置，包括底座、挡板、半导体制冷器、固定板、夹板、滑槽、限位板、锁止卡块以及调节座，其特征在于：所述底座上端面安装有挡板，所述挡板外侧面设置有调节座，所述调节座内部设置有锁止卡块，所述底座内部设置有半导体制冷器，所述底座上方设置有固定板，所述固定板相对内侧设置有夹板，所述固定板内部开设有滑槽，所述固定板下端面粘接有限位板。
2.根据权利要求1所述的一种半导体制冷片靶材冷却装置，其特征在于：所述夹板相对内侧粘接有滑板，所述滑板以及夹板呈L形，所述滑板沿滑槽内壁紧密滑动，所述夹板上端面粘接有软垫，所述软垫采用耐磨橡胶制成。
3.根据权利要求2所述的一种半导体制冷片靶材冷却装置，其特征在于：所述滑板下端面以及滑槽底部均等规格设置有弹簧座，所述弹簧座内部设置有挤压弹簧。
4.根据权利要求1所述的一种半导体制冷片靶材冷却装置，其特征在于：所述固定板与挡板呈圆弧形，所述固定板外侧面粘接有把手，所述固定板内侧设置有上夹块。
5.根据权利要求1所述的一种半导体制冷片靶材冷却装置，其特征在于：所述挡板内部开设有限位槽，所述限位板沿限位槽内壁紧密滑动。
6.根据权利要求1所述的一种半导体制冷片靶材冷却装置，其特征在于：所述限位板相对外侧开设有锁止卡槽，所述锁止卡块贯穿穿过挡板后与锁止卡槽相互卡装。
7.根据权利要求1所述的一种半导体制冷片靶材冷却装置，其特征在于：所述调节座内部设置有连接杆，所述连接杆与锁止卡块相连接，所述连接杆环形侧面套装有复位弹簧。
8.根据权利要求1所述的一种半导体制冷片靶材冷却装置，其特征在于：所述半导体制冷器上端面设置有抵接块，所述抵接块上端面与外界靶材下端面相抵接。
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