CN220364634U - 一种单晶炉设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于单晶炉制造设备技术领域，尤其是涉及一种单晶炉设备。一种单晶炉设备，包括具有多个上下叠置的分炉的单晶炉，每上下相邻的两个分炉通过设置在其外壁上的对中校准组件对中。由于采用对中校准组件上下相对设置在多个分炉外壁上，相对于现有技术而言，其可以用于检测合炉前腔体是否已经对正，达到提高设备安全性及自动化程度的效果。

Description

一种单晶炉设备

技术领域

本实用新型属于单晶炉制造设备技术领域，尤其是涉及一种单晶炉设备。

背景技术

单晶炉合炉动作包括主炉室与下炉室、炉盖与主炉室、副室与炉盖三处的对接，主要是靠各相关结构件自身的强度及驱动组件的精度保证对中的准确度，并没有专门的用于检测腔体对中的系统；随着单晶炉行业的发展，腔体的规格越来越大，负载重量越来越大，合炉对中时的误差范围也随之加大，仅靠机构自身的精度，较难实现腔体合炉时的对中；在实际操作中，若未实现对中就执行合炉工步，可能会造成较大的设备损坏，甚至危及人员安全。

因此，亟需一种单晶炉设备来校准合炉过程时各分炉是否对中。

发明内容

(一)要解决的技术问题

鉴于现有技术的上述缺点、不足，本发明提供一种单晶炉设备，其解决单晶炉未校准对中就执行合炉工步的技术问题。

(二)技术方案

为了达到上述目的，本发明采用的主要技术方案包括：

本发明实施例提供一种单晶炉设备，包括具有多个上下叠置的分炉的单晶炉，每上下相邻的两个分炉通过设置在其外壁上的对中校准组件对中。

可选地，分炉包括由上至下连接的副炉室、炉盖、主炉室和下炉室，下炉室的上沿、炉盖的下沿、炉盖的上沿分别设置导向销安装座，导向销安装座上可拆卸固定有导向销，主炉室的下沿、主炉室的上沿、副炉室的下沿分别设置导向销孔座；下炉室的上沿与主炉室的下沿、炉盖的下沿与主炉室的上沿、炉盖的上沿与副炉室的下沿均通过相对应的导向销和导向销孔座连接。

可选地，对中校准组件安装在对应的导向销安装座和导向销孔座上或安装在对应的导向销安装座和导向销孔座左右两侧中任意一侧边缘。

可选地，对中校准组件包括漫反射传感器、漫反射板和漫反射安装座，漫反射传感器和漫反射板分别通过一漫反射安装座可拆卸的安装在导向销安装座和导向销孔座上，漫反射传感器和漫反射板位置能够互调。

可选地，对中校准组件包括漫反射传感器、漫反射板和漫反射安装座，漫反射传感器和漫反射板分别通过一漫反射安装座可拆卸的安装在导向销安装座和导向销孔座左右两侧中任意一侧边缘处，漫反射传感器和漫反射板位置能够互调。

可选地，漫反射传感器和漫反射板之间有间隙。

可选地，对中校准组件包括一组对射式传感器和对射式传感器安装座，一组对射式传感器包括对射式发射器和对射式接收器，对射式发射器和对射式接收器分别通过一对射式传感器安装座可拆卸的安装在导向销安装座和导向销孔座上，对射式发射器和对射式接收器位置能够互调。

可选地，对中校准组件包括一组对射式传感器和对射式传感器安装座，一组对射式传感器包括对射式发射器和对射式接收器，对射式发射器和对射式接收器分别通过一对射式传感器安装座可拆卸的安装在导向销安装座和导向销孔座左右两侧中任意一侧边缘处，对射式发射器和对射式接收器位置能够互调。

可选地，对射式发射器和对射式接收器之间有间隙。

(三)有益效果

本发明的有益效果是：本发明的一种单晶炉设备，由于采用对中校准组件上下相对设置在多个分炉外壁上，相对于现有技术而言，其可以用于检测合炉前腔体是否已经对正，达到提高设备安全性及自动化程度的效果。

将对中校准组件安装在导向销安装座和导向销孔座上或安装在对应的导向销安装座和导向销孔座左右两侧中任意一侧边缘，实现定位更准确，对中判定结果更精准。

附图说明

图1为本实用新型的主视结构示意图；

图2为本实用新型的背视结构示意图；

图3为图1的漫反射“A”处放大结构示意图；

图4为图1的漫反射“B”处放大结构示意图；

图5为图2的漫反射“C”处放大结构示意图；

图6为图1的对射式“A”处放大结构示意图；

图7为图1的对射式“B”处放大结构示意图；

图8为图2的对射式“C”处放大结构示意图。

附图标记说明

1：下炉室；2：主炉室；3：炉盖；4：副炉室；5：对中校准组件；6：导向销；7：漫反射板；8：漫反射安装座；9：漫反射传感器；10：对射式发射器；11：对射式接收器；12：对射式传感器安装座。

具体实施方式

为了更好的解释本发明，以便于理解，下面结合附图，通过具体实施方式，对本发明作详细描述。其中，本文所提及的“前”、“后”、“上”、“下”、“左”、“右”、“内”和“外”等方位名词以图1的定向为参照。

参照图1-2所示，本实用新型实施例提出的一种单晶炉设备，通过对中校准组件对应安装在分炉侧壁上，实现检测合炉前腔体是否已经对正，达到了提高设备的安全性及自动化程度的效果。

如图1-2所示，一种带有合炉对中单晶炉设备，包括具有多个上下叠置的分炉的单晶炉，每上下相邻的两个分炉通过设置在其外壁上的对中校准组件5对中。

如图1-2所示，分炉包括由上至下连接的副炉室4、炉盖3、主炉室2和下炉室1，下炉室1的上沿、炉盖3的下沿、炉盖3的上沿分别设置导向销安装座，导向销安装座上可拆卸固定有导向销6，主炉室2的下沿、主炉室2的上沿、副炉室4的下沿分别设置导向销孔座；下炉室1的上沿与主炉室2的下沿、炉盖3的下沿与主炉室2的上沿、炉盖3的上沿与副炉室4的下沿均通过相对应的导向销6和导向销孔座连接。

本实施例选取的对中组件5是红外漫反射传感器。

如图3-4所示，对中校准组件5安装在对应的导向销安装座和导向销孔座上或安装在对应的导向销安装座和导向销孔座左右两侧中任意一侧边缘。导向销和导向销孔大小相适配，对中过程中，先找到对应的导向销和导向销孔，然后依靠对中校准组件5对中，完成对中校准后，上方的分炉缓慢垂直下落，导向销插入导向销孔内。如有偏差，导向销难以插入导向销孔内。导向销起到引导、导向的作用，因此在导向销孔座附近定位相对来说更准确，对中判定结果更精准。

如图3-4所示，对中校准组件5包括漫反射传感器9、漫反射板7和漫反射安装座8，漫反射传感器9和漫反射板7分别通过一漫反射安装座8可拆卸的安装在导向销安装座和导向销孔座上，漫反射传感器9和漫反射板7位置能够互调。漫反射传感器9可以通过漫反射安装座8安装在导向销安装座上，此时，漫反射板7通过漫反射安装座8安装在导向销孔座上；漫反射传感器9也可以通过漫反射安装座8安装在导向销孔座上，此时，漫反射板7通过漫反射安装座8安装在导向销安装座上。不刻意要求漫反射传感器9和漫反射板7的上下顺序，只要漫反射传感器9和漫反射板7上下位置相互对应即可完成对中效果。

如图5所示，对中校准组件5包括漫反射传感器9、漫反射板7和漫反射安装座8，漫反射传感器9和漫反射板7分别通过一漫反射安装座8可拆卸的安装在导向销安装座和导向销孔座左右两侧中任意一侧边缘处，漫反射传感器9和漫反射板7位置能够互调。漫反射传感器9可以通过漫反射安装座8可安装在导向销安装座左右任意一侧，此时，漫反射板7通过漫反射安装座8安装在导向销孔座旁且与漫反射传感器9相对应一侧；漫反射传感器9也可以通过漫反射安装座8可安装在导向销孔座左右任意一侧，此时，漫反射板7通过漫反射安装座8安装在导向销安装座旁且与漫反射传感器9相对应一侧。不刻意要求漫反射传感器9和漫反射板7的上下顺序，只要漫反射传感器9和漫反射板7上下位置相互对应即可完成对中效果。

如图3-5所示，漫反射传感器9和漫反射板7之间有间隙。

对中过程时，下方的分炉固定不动，垂悬上方的分炉调整合适的方向，漫反射传感器9是一种集发射器和接收器于一体的传感器，在其前方装一块反射板,利用反射原理完成控制作用，当正好对中时，发射器发出的光恰好被反射板反射到接收器上实现对中，传感器作出感应。上方分炉缓缓下落，完成对中过程。

实施例二

本实施例和实施例一的区别在于，本实施例对中组件选取的是一组对射式传感器，具体为激光对射式传感器。一组激光对射式传感器分为对射式发射器10和对射式接收器11。当对射式发射器10发射激光后，上下分炉位置恰好对中时，对射式接收器11接收到对射式发射器10发射激光信号，传感器做出响应，上方的分炉可以缓慢下落，完成对中。

如图6所示，对中校准组件5包括一组对射式传感器和对射式传感器安装座12，一组对射式传感器包括对射式发射器10和对射式接收器11，对射式发射器10和对射式接收器11分别通过一对射式传感器安装座12可拆卸的安装在导向销安装座和导向销孔座上，对射式发射器10和对射式接收器11位置能够互调。对射式发射器10可以通过对射式传感器安装座12安装在导向销安装座上，此时，对射式接收器11通过对射式传感器安装座12安装在导向销孔座上；对射式接收器11也可以通过对射式传感器安装座12安装在导向销孔座上，此时，对射式发射器10通过对射式传感器安装座12安装在导向销安装座上。不刻意要求对射式发射器10和对射式接收器11的上下顺序，只要对射式发射器10和对射式接收器11上下位置相互对应即可完成对中效果。

如图6所示，对中校准组件5包括一组对射式传感器和对射式传感器安装座12，一组对射式传感器包括对射式发射器10和对射式接收器11，对射式发射器10和对射式接收器11分别通过一对射式传感器安装座12可拆卸的安装在导向销安装座和导向销孔座左右两侧中任意一侧边缘处，对射式发射器10和对射式接收器11位置能够互调。对射式发射器10可以通过对射式传感器安装座12安装在导向销安装座左右任意一侧，此时，对射式接收器11通过对射式传感器安装座12安装在导向销孔座旁且与对射式发射器10相对应一侧；对射式发射器10也可以通过对射式传感器安装座12安装在导向销孔座左右任意一侧，此时，对射式接收器11通过对射式传感器安装座12安装在导向销安装座旁且与漫对射式发射器10相对应一侧。不刻意要求对射式发射器10和对射式接收器11的上下顺序，只要对射式发射器10和对射式接收器11上下位置相互对应即可完成对中效果。

如图6所示，对射式发射器10和对射式接收器11之间有间隙。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连；可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”，可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”，可以是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”，可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度低于第二特征。

在本说明书的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“实施例”、“示例”、“具体示例”或“一些示例”等的描述，是指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在本发明的范围内可以对上述实施例进行改动、修改、替换和变型。

Claims (7)

1.一种单晶炉设备，包括具有多个上下叠置的分炉的单晶炉，其特征在于，每上下相邻的两个分炉通过设置在其外壁上的对中校准组件(5)对中；

所述分炉包括由上至下连接的副炉室(4)、炉盖(3)、主炉室(2)和下炉室(1)，所述下炉室(1)的上沿、所述炉盖(3)的下沿、所述炉盖(3)的上沿分别设置导向销安装座，导向销安装座上可拆卸固定有导向销(6)，所述主炉室(2)的下沿、所述主炉室(2)的上沿、所述副炉室(4)的下沿分别设置导向销孔座；所述下炉室(1)的上沿与所述主炉室(2)的下沿、所述炉盖(3)的下沿与所述主炉室(2)的上沿、所述炉盖(3)的上沿与所述副炉室(4)的下沿均通过相对应的导向销(6)和导向销孔座连接；

所述对中校准组件(5)安装在对应的导向销安装座和导向销孔座上或安装在对应的导向销安装座和导向销孔座左右两侧中任意一侧边缘。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉设备，其特征在于，所述对中校准组件(5)包括漫反射传感器(9)、漫反射板(7)和漫反射安装座(8)，所述漫反射传感器(9)和所述漫反射板(7)分别通过一所述漫反射安装座(8)可拆卸的安装在导向销安装座和导向销孔座上，所述漫反射传感器(9)和所述漫反射板(7)位置能够互调。

3.根据权利要求1所述的一种单晶炉设备，其特征在于，所述对中校准组件(5)包括漫反射传感器(9)、漫反射板(7)和漫反射安装座(8)，所述漫反射传感器(9)和所述漫反射板(7)分别通过一所述漫反射安装座(8)可拆卸的安装在导向销安装座和导向销孔座左右两侧中任意一侧边缘处，所述漫反射传感器(9)和所述漫反射板(7)位置能够互调。

4.根据权利要求2或3任一项所述的一种单晶炉设备，其特征在于，所述漫反射传感器(9)和所述漫反射板(7)之间有间隙。

5.根据权利要求1所述的一种单晶炉设备，其特征在于，所述对中校准组件(5)包括一组对射式传感器和对射式传感器安装座(12)，所述一组对射式传感器包括对射式发射器(10)和对射式接收器(11)，所述对射式发射器(10)和所述对射式接收器(11)分别通过一所述对射式传感器安装座(12)可拆卸的安装在导向销安装座和导向销孔座上，所述对射式发射器(10)和所述对射式接收器(11)位置能够互调。

6.根据权利要求1所述的一种单晶炉设备，其特征在于，所述对中校准组件(5)包括一组对射式传感器和对射式传感器安装座(12)，所述一组对射式传感器包括对射式发射器(10)和对射式接收器(11)，所述对射式发射器(10)和所述对射式接收器(11)分别通过一所述对射式传感器安装座(12)可拆卸的安装在导向销安装座和导向销孔座左右两侧中任意一侧边缘处，所述对射式发射器(10)和所述对射式接收器(11)位置能够互调。

7.根据权利要求5或6任一项所述的一种单晶炉设备，其特征在于，所述对射式发射器(10)和所述对射式接收器(11)之间有间隙。