CN220358054U - 一种晶圆清洗设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种晶圆清洗设备，包括清洗箱、支脚、支撑件和置物框，所述清洗箱顶部的背部固定有支撑件，所述支撑件的顶部固定有第一旋转驱动件，所述第一旋转驱动件的输出端连接有丝杠，所述丝杠的底部通过轴承座固定到清洗箱中，所述丝杠上活动设置有升降件，所述升降件顶部的中心位置固定有伸缩驱动件，本实用新型通过启动第一旋转驱动件，第一旋转驱动件就会使丝杠进行转动，丝杠就会使升降件进行移动，然后通过启动伸缩驱动件，伸缩驱动件就会使连接盘进行移动，连接盘就会使吸盘移动，进而吸盘与晶圆接触，进而吸附晶圆，然后通过连接盘和吸盘的作用，将晶圆取出，方便工作人员拿取晶圆。
Description
技术领域
本实用新型涉及清洗设备技术领域，具体为一种晶圆清洗设备。
背景技术
在制造工艺过程中，CMP(化学机械抛光)设备主要用于对晶圆在膜沉积工艺后的微观粗糙表面进行全局平坦化处理，以便进行后续的半导体工艺过程，经过CMP设备处理后的晶圆需要进行清洗，现有对晶圆清洗时，一般将晶圆直接放到机器中，通过水的流动将晶圆上的杂质进行清洗，在清洗完毕后，需要专用工具将晶圆夹持出，而晶圆一般为薄片，导致不方便将晶圆取出。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种晶圆清洗设备以解决上述背景技术中提出的现有对晶圆清洗时，一般将晶圆直接放到机器中，通过水的流动将晶圆上的杂质进行清洗，在清洗完毕后，需要专用工具将晶圆夹持出，而晶圆一般为薄片，导致不方便将晶圆取出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆清洗设备，包括清洗箱、支脚、支撑件和置物框，所述清洗箱顶部的背部固定有支撑件，所述支撑件的顶部固定有第一旋转驱动件，所述第一旋转驱动件的输出端连接有丝杠，所述丝杠的底部通过轴承座固定到清洗箱中，所述丝杠上活动设置有升降件，所述升降件顶部的中心位置固定有伸缩驱动件，所述伸缩驱动件的输出端连接有连接盘，所述连接盘上连接有若干组吸盘，所述连接盘上连接有滑杆，所述滑杆穿过升降件并延伸出去。
优选的，所述清洗箱底部的两侧固定有支脚，所述清洗箱内部的两侧固定有超声波产生器，超声波发生器可以产生超声波的作用。
优选的，所述清洗箱内部的底部固定有防护件，所述防护件的顶部固定有环槽，所述环槽上滑动设置有环轨，所述环轨的顶部连接有旋转盘。
优选的，所述防护件内部固定有第二旋转驱动件，所述第二旋转驱动件的输出端穿过防护件并连接到旋转盘的底部，第二旋转驱动件使旋转盘进行转动。
优选的，所述清洗箱内部的两侧固定有分流器，所述分流器上设置有若干个喷头。
优选的，所述清洗箱的背部固定有过滤器，所述过滤器内部的底部固定有PP滤芯，所述PP滤芯的顶部固定有活性炭滤芯，所述清洗箱背部的一侧固定有泵体，所述泵体的一端通过管道与清洗箱相互连接，所述泵体的另一端通过管道与过滤器的底部相互连接，所述过滤器顶部的左侧连接有第二连接管，所述第二连接管的底部连接有第一连接管，所述第一连接管的一端穿过清洗箱并与分流器相互连接，过滤器起到了过滤的作用。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该晶圆清洗设备结构合理，具有以下优点：
(1)通过设置有第一旋转驱动件、丝杠、支撑件、伸缩驱动件、升降件、连接盘和吸盘实现了装置方便取出晶圆的作用，因此，使用时，通过启动第一旋转驱动件，第一旋转驱动件就会使丝杠进行转动，丝杠就会使升降件进行移动，然后通过启动伸缩驱动件，伸缩驱动件就会使连接盘进行移动，连接盘就会使吸盘移动，进而吸盘与晶圆接触，进而吸附晶圆，然后通过连接盘和吸盘的作用，将晶圆取出，方便工作人员拿取晶圆。
(2)通过设置有活性炭滤芯、PP滤芯、过滤器、第二连接管和泵体实现装置可以对水进行循环利用，且还会对水中的杂质进行过滤，因此，使用时，通过启动泵体，泵体将水抽入到过滤器中，水经过PP滤芯和活性炭滤芯进行粗过滤和细过滤，然后水进入到分流器中，然后水从喷头喷出，从而实现了水的循环利用，且同时还会对水中的杂质进行过滤。
(3)通过设置有置物框、旋转盘、第二旋转驱动件、防护件和超声波产生器实现了装置清洗效果好的作用，因此，使用时，通过启动第二旋转驱动件，第二旋转驱动件使旋转盘进行转动，且旋转盘使置物框进行转动，进而水不断冲刷置物框中的晶圆，且通过超声波产生器的配合，利用超声波的空化作用，使污物层被分散、乳化、剥离而达到清洗目的，使清洗效果更好。
附图说明
图1为本实用新型的正视内部结构示意图；
图2为本实用新型的侧视结构示意图；
图3为本实用新型的图1中A处放大结构示意图；
图4为本实用新型的图1中B处放大结构示意图。
图中：1、清洗箱；2、支脚；3、第一旋转驱动件；4、丝杠；5、支撑件；6、伸缩驱动件；7、升降件；8、置物框；9、第一连接管；10、分流器；11、喷头；12、旋转盘；13、第二旋转驱动件；14、防护件；15、超声波产生器；16、活性炭滤芯；17、PP滤芯；18、过滤器；19、第二连接管；20、泵体；21、连接盘；22、吸盘；23、滑杆；24、环轨；25、环槽。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-4，本实用新型提供的一种实施例：一种晶圆清洗设备，包括清洗箱1、支脚2、支撑件5和置物框8，所述清洗箱1顶部的背部固定有支撑件5，所述支撑件5的顶部固定有第一旋转驱动件3，所述第一旋转驱动件3的输出端连接有丝杠4，所述丝杠4的底部通过轴承座固定到清洗箱1中，所述丝杠4上活动设置有升降件7，通过启动第一旋转驱动件3，第一旋转驱动件3就会使丝杠4进行转动，丝杠4就会使升降件7进行移动，所述升降件7顶部的中心位置固定有伸缩驱动件6，所述伸缩驱动件6的输出端连接有连接盘21，所述连接盘21上连接有若干组吸盘22，所述连接盘21上连接有滑杆23，所述滑杆23穿过升降件7并延伸出去，通过启动伸缩驱动件6，伸缩驱动件6就会使连接盘21进行移动，连接盘21就会使吸盘22移动，进而吸盘22与晶圆接触，进而吸附晶圆，然后通过连接盘21和吸盘22的作用，将晶圆取出，方便工作人员拿取晶圆；
所述清洗箱1底部的两侧固定有支脚2，所述清洗箱1内部的两侧固定有超声波产生器15，所述清洗箱1内部的底部固定有防护件14，所述防护件14的顶部固定有环槽25，所述环槽25上滑动设置有环轨24，所述环轨24的顶部连接有旋转盘12；
所述防护件14内部固定有第二旋转驱动件13，所述第二旋转驱动件13的输出端穿过防护件14并连接到旋转盘12的底部，通过启动第二旋转驱动件13，第二旋转驱动件13使旋转盘12进行转动，且旋转盘12使置物框8进行转动，进而水不断冲刷置物框8中的晶圆，且通过超声波产生器15的配合，利用超声波的空化作用，使污物层被分散、乳化、剥离而达到清洗目的，使清洗效果更好；
所述清洗箱1内部的两侧固定有分流器10，所述分流器10上设置有若干个喷头11；
所述清洗箱1的背部固定有过滤器18，所述过滤器18内部的底部固定有PP滤芯17，所述PP滤芯17的顶部固定有活性炭滤芯16，所述清洗箱1背部的一侧固定有泵体20，所述泵体20的一端通过管道与清洗箱1相互连接，所述泵体20的另一端通过管道与过滤器18的底部相互连接，所述过滤器18顶部的左侧连接有第二连接管19，所述第二连接管19的底部连接有第一连接管9，所述第一连接管9的一端穿过清洗箱1并与分流器10相互连接；
通过启动泵体20，泵体20将水抽入到过滤器18中，水经过PP滤芯17和活性炭滤芯16进行粗过滤和细过滤，然后水进入到分流器10中，然后水从喷头11喷出，从而实现了水的循环利用，且同时还会对水中的杂质进行过滤；
本申请实施例在使用时，通过将晶圆放到置物框8中，然后通过启动第二旋转驱动件13，第二旋转驱动件13使旋转盘12进行转动，且旋转盘12使置物框8进行转动，进而水不断冲刷置物框8中的晶圆，且通过超声波产生器15的配合，利用超声波的空化作用，使污物层被分散、乳化、剥离而达到清洗目的，然后通过启动泵体20，泵体20将水抽入到过滤器18中，水经过PP滤芯17和活性炭滤芯16进行粗过滤和细过滤，然后水进入到分流器10中，然后水从喷头11喷出，从而实现了水的循环利用，且同时还会对水中的杂质进行过滤，当清洗完毕后，通过启动第一旋转驱动件3，第一旋转驱动件3就会使丝杠4进行转动，丝杠4就会使升降件7进行移动，然后通过启动伸缩驱动件6，伸缩驱动件6就会使连接盘21进行移动，连接盘21就会使吸盘22移动，进而吸盘22与晶圆接触，进而吸附晶圆，然后通过连接盘21和吸盘22的作用，将晶圆取出，方便工作人员拿取晶圆。
显然，上述所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本实用新型保护的范围。
需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、工作、器件、组件和/或它们的组合。
需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施方式能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。
以上仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种晶圆清洗设备，其特征在于：包括清洗箱(1)、支脚(2)、支撑件(5)和置物框(8)，所述清洗箱(1)顶部的背部固定有支撑件(5)，所述支撑件(5)的顶部固定有第一旋转驱动件(3)，所述第一旋转驱动件(3)的输出端连接有丝杠(4)，所述丝杠(4)的底部通过轴承座固定到清洗箱(1)中，所述丝杠(4)上活动设置有升降件(7)，所述升降件(7)顶部的中心位置固定有伸缩驱动件(6)，所述伸缩驱动件(6)的输出端连接有连接盘(21)，所述连接盘(21)上连接有若干组吸盘(22)，所述连接盘(21)上连接有滑杆(23)，所述滑杆(23)穿过升降件(7)并延伸出去。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗设备，其特征在于：所述清洗箱(1)底部的两侧固定有支脚(2)，所述清洗箱(1)内部的两侧固定有超声波产生器(15)。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗设备，其特征在于：所述清洗箱(1)内部的底部固定有防护件(14)，所述防护件(14)的顶部固定有环槽(25)，所述环槽(25)上滑动设置有环轨(24)，所述环轨(24)的顶部连接有旋转盘(12)。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆清洗设备，其特征在于：所述防护件(14)内部固定有第二旋转驱动件(13)，所述第二旋转驱动件(13)的输出端穿过防护件(14)并连接到旋转盘(12)的底部。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗设备，其特征在于：所述清洗箱(1)内部的两侧固定有分流器(10)，所述分流器(10)上设置有若干个喷头(11)。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗设备，其特征在于：所述清洗箱(1)的背部固定有过滤器(18)，所述过滤器(18)内部的底部固定有PP滤芯(17)，所述PP滤芯(17)的顶部固定有活性炭滤芯(16)，所述清洗箱(1)背部的一侧固定有泵体(20)，所述泵体(20)的一端通过管道与清洗箱(1)相互连接，所述泵体(20)的另一端通过管道与过滤器(18)的底部相互连接，所述过滤器(18)顶部的左侧连接有第二连接管(19)，所述第二连接管(19)的底部连接有第一连接管(9)，所述第一连接管(9)的一端穿过清洗箱(1)并与分流器(10)相互连接。
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