CN220329545U - 一种方便半导体机台保养清洁的腔体盖板连接件 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半导体机台保养技术领域，具体为一种方便半导体机台保养清洁腔体盖板连接件，本实用新型通过在第二螺纹管与六角螺帽之间设置有前卡环和后卡环，其中第二螺纹管顶部于第一通孔内墙壁上开设有连接凹槽，前卡环与连接凹槽相嵌合连接，前卡环为漏斗状，后卡环底部边缘设置有连接卡圈，连接卡圈与前卡环顶部相嵌合连接，前卡环和后卡环边缘与六角螺帽内表面紧密贴合，在使用对接头进行安装时，只需将对接头查插入连接管内的第四通孔内，由前卡环和后卡环将对接头进行固定，这样拆卸安装便捷，操作简单，操作时只需手持接头对准连接管插上快速接头即可。

Description

一种方便半导体机台保养清洁的腔体盖板连接件

技术领域

本实用新型涉及半导体机台保养技术领域，具体为一种方便半导体机台保养清洁的腔体盖板连接件。

背景技术

因超声波清洗装置尺寸限制，以往保养清洗机台腔体盖板时需要将盖板上水管用扳手将接头拧开水管取下，清洗完后再将接头缠上生料带拧上后接上水管，最后将水管下的快速接头接接上。这样容易效率低，稳定性不确定，拆卸繁琐，容易导致上面接头漏液，接头滑牙。多次清洗容松动易造成盖板接口滑牙损坏。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种方便半导体机台保养清洁的腔体盖板连接件，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种方便半导体机台保养清洁的腔体盖板连接件，包括第一螺纹管、六角连接块、六角螺帽、连接板和连接管，所述第一螺纹管顶端连接有六角连接块，所述六角连接块顶部连接有第二螺纹管，所述第二螺纹管内部开设有第一通孔，且第一通孔贯穿六角连接块和第一螺纹管，所述第二螺纹管顶部套接有前卡环，所述第二螺纹管内开设有第二通孔，所述前卡环顶部连接有后卡环，所述后卡环内开设有第三通孔，所述第二螺纹管外部螺纹连接有六角螺帽，所述六角螺帽顶部中间设置有连接板，所述连接板顶部连接有连接管，所述连接管内部开设有第四通孔。

优选的，所述第二螺纹管顶部于第一通孔内墙壁上开设有连接凹槽，所述前卡环与连接凹槽相嵌合连接。

优选的，所述前卡环为漏斗状，所述后卡环底部边缘设置有连接卡圈，所述连接卡圈与前卡环顶部相嵌合连接。

优选的，所述前卡环和后卡环边缘与六角螺帽内表面紧密贴合。

优选的，所述第一通孔、第二通孔、第三通孔和第四通孔之间相互连通。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型通过在第二螺纹管与六角螺帽之间设置有前卡环和后卡环，其中第二螺纹管顶部于第一通孔内墙壁上开设有连接凹槽，前卡环与连接凹槽相嵌合连接，前卡环为漏斗状，后卡环底部边缘设置有连接卡圈，连接卡圈与前卡环顶部相嵌合连接，前卡环和后卡环边缘与六角螺帽内表面紧密贴合，在使用对接头进行安装时，只需将对接头查插入连接管内的第四通孔内，由前卡环和后卡环将对接头进行固定，这样拆卸安装便捷，操作简单，操作时只需手持接头对准连接管插上快速接头即可。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的爆炸结构示意图。

图中：1、第一螺纹管；2、六角连接块；3、六角螺帽；4、连接板；5、连接管；6、第二螺纹管；7、第一通孔；8、连接凹槽；9、前卡环；10、第二通孔；11、后卡环；12、连接卡圈；13、第三通孔；14、第四通孔。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“竖直”、“上”、“下”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

请参阅图1-2，本实用新型提供一种技术方案：一种方便半导体机台保养清洁的腔体盖板连接件，包括第一螺纹管1、六角连接块2、六角螺帽3、连接板4和连接管5，第一螺纹管1顶端连接有六角连接块2，六角连接块2顶部连接有第二螺纹管6，第二螺纹管6内部开设有第一通孔7，且第一通孔7贯穿六角连接块2和第一螺纹管1，第二螺纹管6顶部套接有前卡环9，第二螺纹管6内开设有第二通孔10，前卡环9顶部连接有后卡环11，后卡环11内开设有第三通孔13，第二螺纹管6外部螺纹连接有六角螺帽3，六角螺帽3顶部中间设置有连接板4，连接板4顶部连接有连接管5，连接管5内部开设有第四通孔14。

进一步的，第二螺纹管6顶部于第一通孔7内墙壁上开设有连接凹槽8，前卡环9与连接凹槽8相嵌合连接。

进一步的，前卡环9为漏斗状，后卡环11底部边缘设置有连接卡圈12，连接卡圈12与前卡环9顶部相嵌合连接。

进一步的，前卡环9和后卡环11边缘与六角螺帽3内表面紧密贴合。

进一步的，第一通孔7、第二通孔10、第三通孔13和第四通孔14之间相互连通。

本实用新型通过在第二螺纹管6与六角螺帽3之间设置有前卡环9和后卡环11，其中第二螺纹管6顶部于第一通孔7内墙壁上开设有连接凹槽8，前卡环9与连接凹槽8相嵌合连接，前卡环9为漏斗状，后卡环11底部边缘设置有连接卡圈12，连接卡圈12与前卡环9顶部相嵌合连接，前卡环9和后卡环11边缘与六角螺帽3内表面紧密贴合，在使用对接头进行安装时，只需将对接头查插入连接管5内的第四通孔14内，由前卡环9和后卡环11将对接头5进行固定，这样拆卸安装便捷，操作简单，操作时只需手持接头对准连接管5插上快速接头即可。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围有所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种方便半导体机台保养清洁的腔体盖板连接件，包括第一螺纹管(1)、六角连接块(2)、六角螺帽(3)、连接板(4)和连接管(5)，其特征在于：所述第一螺纹管(1)顶端连接有六角连接块(2)，所述六角连接块(2)顶部连接有第二螺纹管(6)，所述第二螺纹管(6)内部开设有第一通孔(7)，且第一通孔(7)贯穿六角连接块(2)和第一螺纹管(1)，所述第二螺纹管(6)顶部套接有前卡环(9)，所述第二螺纹管(6)内开设有第二通孔(10)，所述前卡环(9)顶部连接有后卡环(11)，所述后卡环(11)内开设有第三通孔(13)，所述第二螺纹管(6)外部螺纹连接有六角螺帽(3)，所述六角螺帽(3)顶部中间设置有连接板(4)，所述连接板(4)顶部连接有连接管(5)，所述连接管(5)内部开设有第四通孔(14)。

2.根据权利要求1所述的一种方便半导体机台保养清洁的腔体盖板连接件，其特征在于：所述第二螺纹管(6)顶部于第一通孔(7)内墙壁上开设有连接凹槽(8)，所述前卡环(9)与连接凹槽(8)相嵌合连接。

3.根据权利要求1所述的一种方便半导体机台保养清洁的腔体盖板连接件，其特征在于：所述前卡环(9)为漏斗状，所述后卡环(11)底部边缘设置有连接卡圈(12)，所述连接卡圈(12)与前卡环(9)顶部相嵌合连接。

4.根据权利要求1所述的一种方便半导体机台保养清洁的腔体盖板连接件，其特征在于：所述前卡环(9)和后卡环(11)边缘与六角螺帽(3)内表面紧密贴合。

5.根据权利要求1所述的一种方便半导体机台保养清洁的腔体盖板连接件，其特征在于：所述第一通孔(7)、第二通孔(10)、第三通孔(13)和第四通孔(14)之间相互连通。