CN220323620U - 一种棱镜耦合仪载片夹具 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及棱镜耦合仪的载片夹具设备技术领域，尤其涉及一种棱镜耦合仪载片夹具。夹具夹住晶圆对其进行棱镜耦合检测时，不易出现晶圆掉落，不易出现晶圆被压碎，包括棱镜耦合仪载片夹具本体，所述的棱镜耦合仪载片夹具本体包括支架、设置在支架上端的上夹和设置在支架下端的下夹，上夹包括一个检测端和固定在检测端上的棱镜，下夹包括一个能上下伸缩的顶针，并且所述顶针向上伸长到设定长度后其顶针的顶端面能顶在棱镜的下表面上。

Description

一种棱镜耦合仪载片夹具

技术领域

本实用新型涉及棱镜耦合仪的载片夹具设备技术领域，尤其涉及一种棱镜耦合仪载片夹具。

背景技术

棱镜耦合仪载片夹具是对晶圆进行棱镜耦合检测时使用的夹具。用现有的棱镜耦合仪载片夹具夹住晶圆对其进行棱镜耦合检测时，由于顶针顶端的水平面积比较小，容易因顶针压力增加过快或晶圆放置位置偏差，导致晶圆未能完全贴合在棱镜的下底面上，易出现晶圆掉落、晶圆被压碎、棱镜磨损严重和操作容错率低，从而导致测试结果出现偏差，测试成功率低。

因此，设计一种在用棱镜耦合仪载片夹具夹住晶圆对其进行棱镜耦合检测时测试结果不易出现偏差，测试成功率高的夹具显得非常必要。

实用新型内容

本实用新型是为了解决现有棱镜耦合仪载片夹具存在的上述不足，提供一种棱镜耦合仪载片夹具，在用棱镜耦合仪载片夹具夹住晶圆对其进行棱镜耦合检测时，顶针压力可慢慢增加，晶圆放置位置偏差小，晶圆能完全贴合在棱镜的下底面上，不易出现晶圆掉落，不易出现晶圆被压碎，棱镜磨损小，操作容错率高，测试结果不易出现偏差，测试成功率高，使用方便简单，可靠性高。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种棱镜耦合仪载片夹具，包括棱镜耦合仪载片夹具本体，所述的棱镜耦合仪载片夹具本体包括支架、设置在支架上端的上夹和设置在支架下端的下夹，上夹包括一个检测端和固定在检测端上的棱镜，下夹包括一个能上下伸缩的顶针，并且所述顶针向上伸长到设定长度后其顶针的顶端面能顶在棱镜的下底面上；棱镜耦合仪载片夹具还包括载片放置模块，所述的载片放置模块包括矩形块和平板，在矩形块的上表面中部设有竖直通孔，在矩形块的上表面左右两端分别竖直设有一个竖直滑孔，在每个竖直滑孔内分别上下滑动设置有一根滑动杆，两根滑动杆的上端分别固定连接在所述平板的下表面的左右两端；在每根滑动杆的下端连接有拉手，在位于平板的下表面与矩形块的上表面之间的每根滑动杆上分别活动套设有挤压弹簧，每根弹簧的两端分别挤压连接在平板的下表面上和矩形块的上表面上；

在平板的中部设有板通孔；板通孔的口径大于棱镜的长度，板通孔的口径也大于顶针的直径；

矩形块的竖直通孔套紧固定连接在顶针的外侧壁上；并且板通孔的孔心线与顶针的中心线均落在同一条竖直线上，平板位于顶针顶端的上方，棱镜的下表面到平板的上表面之间的高度差小于或等于被夹的载片厚度；

顶针的顶端面、平板的上表面和棱镜的下底面均为与水平面相平行的平面。

本专利中被夹的载片为晶圆。

在使用时，先用手把拉手往下拉，让平板往下移动到棱镜下表面的下方，然后把晶圆放置在平板的上表面上，让晶圆的中部位于板通孔处，然后慢慢减小手的拉力让平板慢慢往上移动，从而让晶圆的上表面中部压在棱镜的下底面上；然后让顶针慢慢向上移动，让顶针的顶端就顶在晶圆的下表面中部，从而就让晶圆的上表面中部完全贴合在棱镜的下底面上；

在用棱镜耦合仪载片夹具夹住晶圆对其进行棱镜耦合检测时，顶针压力可慢慢增加，晶圆放置位置偏差小，晶圆能完全贴合在棱镜的下底面上，不易出现晶圆掉落，不易出现晶圆被压碎，棱镜磨损小，操作容错率高，测试结果不易出现偏差，测试成功率高，使用方便简单，可靠性高。

作为优选，在平板的后端水平朝外设有延长杆，在平板的左端或右端也水平向外设有延长杆，在每根延长杆的上表面上分别设有限位块，并且每个限位块到板通孔之间的间距可调节。

作为优选，一个气缸的缸座固定在支架的下端，气缸的伸缩杆竖直向上布置，顶针的下端固定连接在气缸的伸缩杆上。

作为优选，在上夹的检测端的下表面上设有缺口，棱镜耦合仪载片夹具本体的棱镜固定设置在缺口内，并且棱镜的下底面要低于上夹的下表面；棱镜的下底面与水平面平行，顶针的上顶面和平板的上表面也分别与水平面平行。

作为优选，在板通孔的前侧方、左侧方、后侧方和右侧方的平板上都分别设有板孔。

作为优选，棱镜的下表面位于板通孔内。

作为优选，在平板的后端水平朝外设有延长杆，在平板的左端或右端也水平向外设有延长杆，在每根延长杆的上表面上分别设有限位块，并且每个限位块到板通孔之间的间距可调节。

作为优选，在每根延长杆上沿着延长杆的上表面中心线分别设有长圆孔，在每个长圆孔上分别设有锁紧螺栓，每根延长杆上的限位块分别通过对应的锁紧螺栓紧固连接在对应的延长杆上。

作为优选，延长杆的上表面与平板的上表面在同一水平面上。

本实用新型能够达到如下效果：

本实用新型在用棱镜耦合仪载片夹具夹住晶圆对其进行棱镜耦合检测时，顶针压力可慢慢增加，晶圆放置位置偏差小，晶圆能完全贴合在棱镜的下底面上，不易出现晶圆掉落，不易出现晶圆被压碎，棱镜磨损小，操作容错率高，测试结果不易出现偏差，测试成功率高，使用方便简单，可靠性高。

附图说明

图1为本实用新型实施例1还没使用时的一种连接结构示意图。

图2为本实用新型实施例1在使用时，拉手往下拉，平板往下移动到棱镜下表面的下方，还没把晶圆放置在平板的上表面上时的一种使用状态连接结构示意图。

图3为本实用新型实施例1在使用时，拉手往下拉，平板往下移动到棱镜下表面的下方，已经把晶圆放置在平板的上表面上时的一种使用状态连接结构示意图。

图4为本实用新型实施例1在使用时，晶圆放置在平板的上表面上，手放开拉手后，在弹簧的挤压作用下，平板身高，晶圆的上表面中部压在棱镜的下底面上时的一种使用状态连接结构示意图。

图5为本实用新型实施例1在使用时，顶针网上伸长后，顶针的顶端面顶在晶圆是下表面中部，让晶圆的上表面中部完全贴合压在棱镜的下底面上时的一种使用状态连接结构示意图。

图6为本实用新型实施例1平板的一种俯视连接结构示意图。

图7为本实用新型实施例2在使用时，拉手往下拉，平板往下移动到棱镜下表面的下方，已经把晶圆放置在平板的上表面上，并且晶圆的右端面挤在限位块上时的一种使用状态连接结构示意图。

图8为本实用新型实施例2平板、延长杆和限位块相互之间的一种俯视连接结构示意图。

图9为本实用新型实施例2把晶圆放置在平板的上表面上时的一种俯视使用状态连接结构示意图。

图10为现有的棱镜耦合仪载片夹具的一种连接结构示意图。

图11为本实用新型的一种使用状态仰视连接结构示意图。

具体实施方式

下面通过实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步具体的说明。

实施例1：一种棱镜耦合仪载片夹具。参见图1-6所示，一种棱镜耦合仪载片夹具，包括棱镜耦合仪载片夹具本体，所述的棱镜耦合仪载片夹具本体包括支架1、设置在支架上端的上夹2和设置在支架下端的下夹14，上夹包括一个检测端3和固定在检测端上的棱镜4，下夹包括一个能上下伸缩的顶针13，并且所述顶针向上伸长到设定长度后其顶针的顶端面能顶在棱镜的下底面上；棱镜耦合仪载片夹具还包括载片放置模块，所述的载片放置模块包括矩形块11和平板7，在矩形块的上表面中部设有竖直通孔17，在矩形块的上表面左右两端分别竖直设有一个竖直滑孔10，在每个竖直滑孔内分别上下滑动设置有一根滑动杆9，两根滑动杆的上端分别固定连接在所述平板的下表面的左右两端；在每根滑动杆的下端连接有拉手12，在位于平板的下表面与矩形块的上表面之间的每根滑动杆上分别活动套设有挤压弹簧8，每根弹簧的两端分别挤压连接在平板的下表面上和矩形块的上表面上；

在平板的中部设有板通孔5；板通孔的口径大于棱镜的长度，板通孔的口径也大于顶针的直径；

矩形块的竖直通孔套紧固定连接在顶针的外侧壁上；并且板通孔的孔心线与顶针的中心线均落在同一条竖直线上，平板位于顶针顶端的上方，棱镜的下表面到平板的上表面之间的高度差小于或等于被夹的载片厚度；本实施例棱镜的下表面位于板通孔内。

顶针的顶端面、平板的上表面和棱镜的下底面均为与水平面相平行的平面。

一个气缸16的缸座固定在支架的下端，气缸的伸缩杆15竖直向上布置，顶针的下端固定连接在气缸的伸缩杆上。

在上夹的检测端3的下表面上设有缺口23，棱镜耦合仪载片夹具本体的棱镜固定设置在缺口内，并且棱镜的下底面要低于上夹的下表面；棱镜的下底面与水平面平行，顶针的上顶面和平板的上表面也分别与水平面平行。

在板通孔的前侧方、左侧方、后侧方和右侧方的平板上都分别设有板孔6。

在使用时，先用手把拉手往下拉，让平板往下移动到棱镜下表面的下方，然后把晶圆18放置在平板的上表面上，让晶圆的中部位于板通孔处，然后慢慢减小手的拉力让平板慢慢往上移动，从而让晶圆的上表面中部压在棱镜的下底面上；然后让顶针慢慢向上移动，让顶针的顶端就顶在晶圆的下表面中部，从而就让晶圆的上表面中部完全贴合在棱镜的下底面上；

图11为本实用新型的一种使用状态仰视连接结构示意图。

图10为现在的棱镜耦合仪载片夹具，现在的棱镜耦合仪载片夹具包括支架和分别固定在支架1上的上夹2和下夹14，其下夹包括一个由气缸16的伸缩杆15带动上下伸缩的顶针13，其上夹包括一个检测端和固定在检测端3上的棱镜4。

本专利与现在的棱镜耦合仪载片夹具相比，本专利在用棱镜耦合仪载片夹具夹住晶圆对其进行棱镜耦合检测时，顶针压力可慢慢增加，晶圆放置位置偏差小，晶圆能完全贴合在棱镜的下底面上，不易出现晶圆掉落，不易出现晶圆被压碎，棱镜磨损小，操作容错率高，测试结果不易出现偏差，测试成功率高，使用方便简单，可靠性高。

实施例2：一种棱镜耦合仪载片夹具。参见图7-9所示，实施例2与实施例1不同如下：

在平板的后端水平朝外设有延长杆，在平板的左端或右端也水平向外设有延长杆22，本实施例只在平板的右端也水平向外设有延长杆22和在平板的后端水平朝外设有延长杆。

在每根延长杆的上表面上分别设有限位块19，并且每个限位块到板通孔之间的间距可调节。

在每根延长杆上沿着延长杆的上表面中心线分别设有长圆孔21，在每个长圆孔上分别设有锁紧螺栓20，每根延长杆上的限位块分别通过对应的锁紧螺栓紧固连接在对应的延长杆上。

延长杆的上表面与平板的上表面在同一水平面上。

矩形块的竖直通孔套紧连接在顶针的外侧壁上，并借助螺丝等紧固件将矩形块固定在顶针的外侧壁上；这样方便对矩形块在顶针上的位置高度进行调节。

在放置晶圆时，把晶圆放置在平板的上表面上，并让晶圆的右端面挤在平板右方的限位块上，让晶圆的后端面挤在平板后方的限位块上，这样能够保证放置在平板上的晶圆放的位置准确可靠。还能够根据晶圆直径大小条件限位块的远近，使用简单方便，可靠性好。

Claims (8)

1.一种棱镜耦合仪载片夹具，包括棱镜耦合仪载片夹具本体，所述的棱镜耦合仪载片夹具本体包括支架、设置在支架上端的上夹和设置在支架下端的下夹，上夹包括一个检测端和固定在检测端上的棱镜，下夹包括一个能上下伸缩的顶针，并且所述顶针向上伸长到设定长度后其顶针的顶端面能顶在棱镜的下表面上；其特征在于，棱镜耦合仪载片夹具还包括载片放置模块，所述的载片放置模块包括矩形块和平板，在矩形块的上表面中部设有竖直通孔，在矩形块的上表面左右两端分别竖直设有一个竖直滑孔，在每个竖直滑孔内分别上下滑动设置有一根滑动杆，两根滑动杆的上端分别固定连接在所述平板的下表面的左右两端；在每根滑动杆的下端连接有拉手，在位于平板的下表面与矩形块的上表面之间的每根滑动杆上分别活动套设有挤压弹簧，每根弹簧的两端分别挤压连接在平板的下表面上和矩形块的上表面上；

在平板的中部设有板通孔；板通孔的口径大于棱镜的长度，板通孔的口径也大于顶针的直径；

矩形块的竖直通孔套紧固定连接在顶针的外侧壁上；并且板通孔的孔心线与顶针的中心线均落在同一条竖直线上，平板位于顶针顶端的上方，棱镜的下表面到平板的上表面之间的高度差小于或等于被夹的载片厚度；

顶针的顶端面、平板的上表面和棱镜的下表面均为与水平面相平行的平面。

2.根据权利要求1所述的一种棱镜耦合仪载片夹具，其特征在于，一个气缸的缸座固定在支架的下端，气缸的伸缩杆竖直向上布置，顶针的下端固定连接在气缸的伸缩杆上。

3.根据权利要求1所述的一种棱镜耦合仪载片夹具，其特征在于，在上夹的检测端的下表面上设有缺口，棱镜耦合仪载片夹具本体的棱镜固定设置在缺口内，并且棱镜的下表面要低于上夹的下表面；棱镜的下表面与水平面平行，顶针的上顶面和平板的上表面也分别与水平面平行。

4.根据权利要求1所述的一种棱镜耦合仪载片夹具，其特征在于，在板通孔的前侧方、左侧方、后侧方和右侧方的平板上都分别设有板孔。

5.根据权利要求1所述的一种棱镜耦合仪载片夹具，其特征在于，棱镜的下表面位于板通孔内。

6.根据权利要求1所述的一种棱镜耦合仪载片夹具，其特征在于，在平板的后端水平朝外设有延长杆，在平板的左端或右端也水平向外设有延长杆，在每根延长杆的上表面上分别设有限位块，并且每个限位块到板通孔之间的间距可调节。

7.根据权利要求6所述的一种棱镜耦合仪载片夹具，其特征在于，在每根延长杆上沿着延长杆的上表面中心线分别设有长圆孔，在每个长圆孔上分别设有锁紧螺栓，每根延长杆上的限位块分别通过对应的锁紧螺栓紧固连接在对应的延长杆上。

8.根据权利要求6或7所述的一种棱镜耦合仪载片夹具，其特征在于，延长杆的上表面与平板的上表面在同一水平面上。