CN220300842U - 一种冷却收尘装置及气相沉积炉系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及化学气相沉积技术领域，特别是一种冷却收尘装置及气相沉积炉系统，包括气相沉淀炉。本实用新型的优点在于：通过设置粉尘处理罐，而粉尘处理罐的内壁设置有过滤网，过滤对混在空气中的灰尘进行过滤，电机带动毛刷进行转动，将过滤网一侧的若干灰尘进行清扫，保持过滤网的过滤效果，同时提高空气的清洁度，扫落的灰尘受到重力作用，自动落入至集尘盒的内部，通过设置过滤罐，过滤罐的内部设置有滤芯，进而便于对空气进行再次过滤，从而提高空气的清洁度，防止灰尘进入至真空系统的内部，同时降低灰尘在若干热交换网板的沾附量，当冷却水从冷却水管进行流动时，便于对空气进行冷却，从而有效解决现有技术中所存在的问题。

Description

一种冷却收尘装置及气相沉积炉系统

技术领域

本实用新型涉及化学气相沉积技术领域，特别是一种冷却收尘装置及气相沉积炉系统。

背景技术

制备氮化硼制品的工艺需要使用到气相沉积炉，以NH3、BCl3为原料气体，在高温情况下，热解生成氮化硼材料。整个合成系统包含了：供气系统、反应系统、水冷系统、真空系统和收尘系统等。制备过程NH3、BCl3采用了一定配比，热解生成的部分氮化硼和副产物NH4Cl被真空系统抽走，进入真空系统，造成真空系统的损坏，在中国专利CN215887220U中公开的一种冷却收尘装置及气相沉积炉系统，该冷却收尘装置及气相沉积炉系统使用时，将封闭腔体的侧壁底端的进气口与气相沉淀炉的排气口导通连接，将封闭腔体的侧壁顶端开设的出气口与真空系统的入口导通连接；真空系统启动，将气相沉淀炉排出的高温气体泵出，高温气体与带有水冷的水冷挡板接触，打散，再与封闭腔体的水冷夹层相互接触，快速将气体温度冷却下来，通过折行挡板，形成的粉末沉降下来而不会带到真空系统，保护了真空系统，但是该冷却收尘装置及气相沉积炉系统在使用时，灰尘容易在折行挡板，由于封闭腔体竖直放置，口气流动与灰尘下落的方向相反，进而使一部分灰尘会沉积在折行挡板上，在后期造成堵塞，对空气的冷却造成一定影响，因此需要对此进行一定改进。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的缺点，提供一种冷却收尘装置及气相沉积炉系统，有效解决了现有技术的不足。

为了实现上述目的，本实用新型一方面的实施例提供了一种冷却收尘装置，其特征在于：包括气相沉淀炉，所述气相沉淀炉的一侧依次设置有第一控制阀、粉尘处理罐、冷却罐、过滤罐，所述第一控制阀、粉尘处理罐、冷却罐和过滤罐通过管道依次相连通，所述粉尘处理罐外壁的底端固定连接有集尘盒，所述粉尘处理罐内壁的中部依次固定连接有支撑架和过滤网，所述支撑架的中部固定连接有电机，所述电机的输出端固定连接有毛刷，所述冷却罐的内部固定连接有冷却水管，所述冷却水管的外壁固定连接有若干热交换网板，所述过滤罐的内部设置有滤芯。

一种冷却收尘气相沉积炉系统，其特征在于，包括气相沉淀炉、灰尘处理系统和真空系统，灰尘处理系统包括粉尘处理罐、冷却罐和过滤罐，所述真空系统包括真空泵组，所述真空泵组通过管道与过滤罐的一端相连通。

由上述任一方案优选的是，所述粉尘处理罐的两端均通过法兰和管道分别与第一控制阀和冷却罐相连通，通过使用该方案便于使粉尘处理罐通过螺栓、法兰和管道直接与第一控制阀和冷却罐进行连接，进而便于对空气进行过滤，之后使空气直接向冷却罐的内部进行流通。

由上述任一方案优选的是，所述集尘盒的顶端通过螺栓与粉尘处理罐的底端固定连接，通过使用该方案便于提高集尘盒与粉尘处理罐之间的密封性，避免出现漏气现象，同时便于后期通过拆卸螺栓，对集尘盒内部的粉尘进行清理。

由上述任一方案优选的是，所述过滤网将粉尘处理罐完全覆盖，所述过滤网与支撑架相贴合，通过使用该方案便于对过滤网的一侧进行支撑，对过滤网进行限位，同时为电机提供安装位置，便于电机带动毛刷进行转动，将过滤网一侧的若干灰尘进行清扫，保持过滤网的过滤效果。

由上述任一方案优选的是，所述支撑架与粉尘处理罐的内壁固定连接，所述支撑架的外形为十字，通过使用该方案便于使支撑架能够与粉尘处理罐进行固定连接，同时粉尘处理罐可以采用分体式设计，这样便于后期进行拆卸，对过滤网进行更换。

由上述任一方案优选的是，所述气相沉淀炉远离第一控制阀的一侧设置有稀有气体储罐，所述稀有气体储罐与气相沉淀炉之间设置有第二控制阀。

本实用新型具有以下优点：

1、该一种冷却收尘装置及气相沉积炉系统，通过设置粉尘处理罐，而粉尘处理罐的内壁设置有过滤网，进而过滤网便于对混在空气中的灰尘进行过滤，通过电机通电运行，进而带动毛刷进行转动，转动的毛刷将过滤网一侧的若干灰尘进行清扫，保持过滤网的过滤效果，同时提高空气的清洁度，扫落的灰尘受到重力作用，自动落入至集尘盒的内部，通过设置过滤罐，过滤罐的内部设置有滤芯，进而便于对空气进行再次过滤，从而提高空气的清洁度，防止灰尘进入至真空系统的内部，同时降低灰尘在若干热交换网板的沾附量，当冷却水从冷却水管进行流动时，便于对空气进行冷却，从而有效解决现有技术中所存在的问题。

2、该一种冷却收尘装置及气相沉积炉系统，通过设置粉尘处理罐，且粉尘处理罐水平放置，进而空气流动方向与灰尘的下方方向相互处置，进而便于使少量的灰尘落在冷却罐的内部，降低灰尘在若干热交换网板的沾附量，便于对流动的空气进行冷却，通过设置第一控制阀和第二控制阀，进而便于对气相沉积炉的气体排出进行控制，使气相沉积炉的内部保持相应的压力和温度，便于对位于气相沉积炉内部的零件进行处理。

附图说明

图1为本实用新型的第一视角结构示意图；

图2为本实用新型的剖切结构示意图；

图3为本实用新型的冷却管内部剖切结构示意图；

图4为本实用新型的冷却水管结构示意图；

图5为本实用新型的粉尘处理罐内部剖切结构示意图；

图6为本实用新型的过滤网结构示意图；

图7为本实用新型的系统原理示意图。

图中：1-气相沉淀炉，2-第一控制阀，3-粉尘处理罐，4-冷却罐，5-过滤罐，6-真空泵组，7-冷却水管，8-集尘盒，9-稀有气体储罐，10-第二控制阀，11-滤芯，12-电机，13-热交换网板，14-支撑架，15-过滤网，16-毛刷。

实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步的描述，但本实用新型的保护范围不局限于以下所述。

如图1至图7所示，一种冷却收尘装置，它包括气相沉淀炉1，气相沉淀炉1的一侧依次设置有第一控制阀2、粉尘处理罐3、冷却罐4、过滤罐5，第一控制阀2、粉尘处理罐3、冷却罐4和过滤罐5通过管道依次相连通，粉尘处理罐3外壁的底端固定连接有集尘盒8，粉尘处理罐3内壁的中部依次固定连接有支撑架14和过滤网15，支撑架14的中部固定连接有电机12，电机12的输出端固定连接有毛刷16，冷却罐4的内部固定连接有冷却水管7，冷却水管7的外壁固定连接有若干热交换网板13，过滤罐5的内部设置有滤芯11。

一种冷却收尘气相沉积炉系统，其特征在于，包括气相沉淀炉1、灰尘处理系统和真空系统，灰尘处理系统包括粉尘处理罐3、冷却罐4和过滤罐5，真空系统包括真空泵组6，真空泵组6通过管道与过滤罐5的一端相连通。

粉尘处理罐3的两端均通过法兰和管道分别与第一控制阀2和冷却罐4相连通，作为本实用新型的一种可选技术方案，这样便于使粉尘处理罐3通过螺栓、法兰和管道直接与第一控制阀2和冷却罐4进行连接，进而便于对空气进行过滤，之后使空气直接向冷却罐4的内部进行流通。

集尘盒8的顶端通过螺栓与粉尘处理罐3的底端固定连接，作为本实用新型的一种可选技术方案，这样便于提高集尘盒8与粉尘处理罐3之间的密封性，避免出现漏气现象，同时便于后期通过拆卸螺栓，对集尘盒8内部的粉尘进行清理。

过滤网15将粉尘处理罐3完全覆盖，过滤网15与支撑架14相贴合，作为本实用新型的一种可选技术方案，这样便于对过滤网15的一侧进行支撑，对过滤网15进行限位，同时为电机12提供安装位置，便于电机12带动毛刷16进行转动，将过滤网15一侧的若干灰尘进行清扫，保持过滤网15的过滤效果。

支撑架14与粉尘处理罐3的内壁固定连接，支撑架14的外形为十字，作为本实用新型的一种可选技术方案，这样便于使支撑架14能够与粉尘处理罐3进行固定连接，同时粉尘处理罐3可以采用分体式设计，这样便于后期进行拆卸，对过滤网15进行更换。

气相沉淀炉1远离第一控制阀2的一侧设置有稀有气体储罐9，稀有气体储罐9与气相沉淀炉1之间设置有第二控制阀10。

该一种冷却收尘装置及气相沉积炉系统，使用时需要以下步骤：

1）使用时，第二控制阀10开启，使稀有气体储罐9内部的气体进入至气相沉淀炉1的内部，便于气相沉淀炉1的内部进行零件的处理；

2）对灰尘进行处理时，第一控制阀2开启，同时真空泵组6运行，使气相沉淀炉1内部的混有灰尘的空气进入至粉尘处理罐3的内部；

3）过滤网15对混在空气中的灰尘进行过滤，电机12通电运行，进而带动毛刷16进行转动，转动的毛刷16将过滤网15一侧的若干灰尘进行清扫，扫落的灰尘受到重力作用，自动落入至集尘盒8的内部；

4）空气进入至冷却罐4的内部，降低灰尘在若干热交换网板13的沾附量，当冷却水从冷却水管7进行流动时，便于对空气进行冷却；

5）滤芯11对空气进行再次过滤，提高空气的清洁度，避免灰尘进入至真空泵组6的内部。

综上所述，使用者使用时，通过设置粉尘处理罐3，而粉尘处理罐3的内壁设置有过滤网15，进而过滤网15便于对混在空气中的灰尘进行过滤，通过电机12通电运行，进而带动毛刷16进行转动，转动的毛刷16将过滤网15一侧的若干灰尘进行清扫，保持过滤网15的过滤效果，同时提高空气的清洁度，扫落的灰尘受到重力作用，自动落入至集尘盒8的内部，通过设置过滤罐5，过滤罐5的内部设置有滤芯11，进而便于对空气进行再次过滤，从而提高空气的清洁度，防止灰尘进入至真空系统的内部，同时降低灰尘在若干热交换网板13的沾附量，当冷却水从冷却水管7进行流动时，便于对空气进行冷却，从而有效解决现有技术中所存在的问题，再通过设置粉尘处理罐3，且粉尘处理罐3水平放置，进而空气流动方向与灰尘的下方方向相互处置，进而便于使少量的灰尘落在冷却罐4的内部，降低灰尘在若干热交换网板13的沾附量，便于对流动的空气进行冷却，通过设置第一控制阀2和第二控制阀10，进而便于对气相沉积炉1的气体排出进行控制，使气相沉积炉1的内部保持相应的压力和温度，便于对位于气相沉积炉1内部的零件进行处理。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种冷却收尘装置，其特征在于：包括气相沉淀炉（1），所述气相沉淀炉（1）的一侧依次设置有第一控制阀（2）、粉尘处理罐（3）、冷却罐（4）、过滤罐（5），所述第一控制阀（2）、粉尘处理罐（3）、冷却罐（4）和过滤罐（5）通过管道依次相连通，所述粉尘处理罐（3）外壁的底端固定连接有集尘盒（8），所述粉尘处理罐（3）内壁的中部依次固定连接有支撑架（14）和过滤网（15），所述支撑架（14）的中部固定连接有电机（12），所述电机（12）的输出端固定连接有毛刷（16），所述冷却罐（4）的内部固定连接有冷却水管（7），所述冷却水管（7）的外壁固定连接有若干热交换网板（13），所述过滤罐（5）的内部设置有滤芯（11）。

2.根据权利要求1所述的一种冷却收尘装置，其特征在于：所述粉尘处理罐（3）的两端均通过法兰和管道分别与第一控制阀（2）和冷却罐（4）相连通。

3.根据权利要求2所述的一种冷却收尘装置，其特征在于：所述集尘盒（8）的顶端通过螺栓与粉尘处理罐（3）的底端固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种冷却收尘装置，其特征在于：所述过滤网（15）将粉尘处理罐（3）完全覆盖，所述过滤网（15）与支撑架（14）相贴合。

5.根据权利要求4所述的一种冷却收尘装置，其特征在于：所述支撑架（14）与粉尘处理罐（3）的内壁固定连接，所述支撑架（14）的外形为十字。

6.一种冷却收尘气相沉积炉系统，应用于权利要求1至权利要求5任意一项所述的一种冷却收尘装置，其特征在于，包括气相沉淀炉（1）、灰尘处理系统和真空系统，灰尘处理系统包括粉尘处理罐（3）、冷却罐（4）和过滤罐（5），所述真空系统包括真空泵组（6），所述真空泵组（6）通过管道与过滤罐（5）的一端相连通。

7.根据权利要求6所述的一种冷却收尘气相沉积炉系统，其特征在于：所述气相沉淀炉（1）远离第一控制阀（2）的一侧设置有稀有气体储罐（9），所述稀有气体储罐（9）与气相沉淀炉（1）之间设置有第二控制阀（10）。