CN220290786U - 一种晶圆清洗腔夹持组件 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及夹持组件的技术领域，特别是涉及一种晶圆清洗腔夹持组件，其既避免了人工手动固定晶圆，又提高了晶圆夹持固定的稳定性，提高了装置整体的使用效果；包括清洗机主体和两组弧形夹持块，清洗机主体内部设置有清洗腔，两组弧形夹持块均为清洗机主体的清洗腔内，还包括动力机构、传动机构和两组第一固定块，动力机构安装在清洗机主体的后端，动力机构用于驱动传动机构，传动机构安装在第一固定块上，传动机构用于带动弧形夹持块左右移动，并且两组第一固定块对称安装在清洗机主体清洗腔后端的左右两侧。

Description

一种晶圆清洗腔夹持组件

技术领域

本实用新型涉及夹持组件的技术领域，特别是涉及一种晶圆清洗腔夹持组件。

背景技术

晶圆清洗腔夹持组件是安装清洗机内部夹持晶圆，以便后续晶圆进行清洗的辅助机构，经检索公告号为CN214203657U的专利文件中，提供了一种半导体晶圆清洗用夹持装置，包括底座，所述底座的顶端对称设置有立板一和立板二，所述立板一的上部内侧设置有槽口，所述槽口内转动设置有转块，所述转块的内部设置有内腔，所述内腔内设置有压缩弹簧，所述压缩弹簧的另一端设置有连接杆，所述连接杆的另一端设置有夹持半圆盘一，所述立板二的上部内侧与所述转块相对称的位置设置有固定杆，所述固定杆的端部设置有与所述夹持半圆盘一相匹配的夹持半圆盘二，所述夹持半圆盘一与所述夹持半圆盘二的内部均设置有夹持卡槽，所述夹持卡槽内均设置有转动辊，所述夹持半圆盘一与所述夹持半圆盘二的内壁均设置有若干刷毛，所述转块远离所述连接杆的一端设置有插口，所述立板一上设置有与所述插口相对应的插孔，所述插口内设置有插杆，所述插杆贯穿插孔并延伸至所述立板一的外侧但其使用过程中发现，上述装置需要工作人员手动调节夹持半圆盘一的位置进行晶圆的安装固定，费时费力，同时插杆在弹簧的反作用力下容易从插口内脱落，导致夹持半圆盘一的固定不稳定，导致装置整体的使用效果较差，固提供一种晶圆清洗腔夹持组件解决上述问题。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种既避免了人工手动固定晶圆，又提高了晶圆夹持固定的稳定性，提高其整体使用效果的晶圆清洗腔夹持组件。

本实用新型的一种晶圆清洗腔夹持组件，包括清洗机主体和两组弧形夹持块，清洗机主体内部设置有清洗腔，两组弧形夹持块均为清洗机主体的清洗腔内，还包括动力机构、传动机构和两组第一固定块，动力机构安装在清洗机主体的后端，动力机构用于驱动传动机构，传动机构安装在第一固定块上，传动机构用于带动弧形夹持块左右移动，并且两组第一固定块对称安装在清洗机主体清洗腔后端的左右两侧；通过动力机构驱动传动机构，使得传动机构带动两组弧形夹持块向内侧移动，并且通过两组弧形夹持块的配合使用实现对晶圆的夹持固定，既避免了人工手动固定晶圆，又提高了晶圆夹持固定的稳定性，提高了装置整体的使用效果。

优选的，动力机构包括电机、第一齿轮、第二齿轮、转动轴和两组第二固定块，电机固定在清洗机主体的后端中部，电机的输出端与第一齿轮连接，并且第一齿轮与第二齿轮啮合传动连接，第二齿轮固定在转动轴的中部，并且转动轴与两组第二固定块转动连接，转动轴可驱动传动机构，并且两组第二固定块分别对称固定在清洗机主体后端的左右两侧；通过电机带动第一齿轮转动，第一齿轮与第二齿轮啮合传动连接，从而使得转动轴转动，并通过转动轴驱动传动机构，使得传动机构带动弧形夹持块移动，为弧形夹持块的移动提供动力。

优选的，传动机构包括多组链轮、两组链条、两组螺套、两组螺杆、两组连接块和两组滑动杆，多组链轮分别固定在转动轴的左右两端以及两组螺套上，同侧的两组链轮之间通过链条传动连接，并且螺套与第一固定块转动连接，螺杆与螺套螺装连接，连接块固定在螺杆的外侧端，并且滑动杆固定在连接块内侧端的前侧，滑动杆与第一固定块滑动连接，并且螺杆和滑动杆的内侧端均与弧形夹持块连接；通过转动轴带动链轮转动，同侧的两组链轮之间通过链条传动连接，从而使得两组螺套同时转动，并使得螺杆在连接块和滑动杆的配合使用下，带动弧形夹持块向内侧移动，通过两组弧形夹持块的配合完成晶圆的加持固定，为弧形夹持块的移动传递动力。

优选的，还包括两组直角加强块，两组直角加强块分别对称固定在第一固定块的外侧端，并且两组直角加强块分别与两组螺套转动连接；通设置直角加强块，确保螺套转动时的稳定性，提高装置的结构强度。

优选的，还包括两组橡胶垫，两组橡胶垫分别固定在两组弧形夹持块的内侧壁上；通过设置橡胶垫，增加弧形夹持块与晶圆之间的摩擦力，进一步提高弧形夹持块对晶圆夹持固定时的稳定性。

优选的，电机为消音电机；通过设置消音电机，减小噪音污染，提高装置的使用稳定性。

优选的，第一齿轮与第二齿轮之间涂有润滑油；通过涂抹润滑油，减小第一齿轮与第二齿轮之间的摩擦损耗，提高装置的使用寿命。

与现有技术相比本实用新型的有益效果为：通过动力机构驱动传动机构，使得传动机构带动两组弧形夹持块向内侧移动，并且通过两组弧形夹持块的配合使用实现对晶圆的夹持固定，既避免了人工手动固定晶圆，又提高了晶圆夹持固定的稳定性，提高了装置整体的使用效果。

附图说明

图1是本实用新型的第一轴测及其剖视结构示意图；

图2是本实用新型的第二轴测及其剖视结构示意图；

图3是本实用新型的俯视及其剖视结构示意图；

图4是本实用新型图3中A处的放大结构示意图；

图5是本实用新型图3中B处的放大结构示意图；

附图中标记：1、清洗机主体；2、弧形夹持块；3、第一固定块；4、电机；5、第一齿轮；6、第二齿轮；7、转动轴；8、第二固定块；9、链轮；10、链条；11、螺套；12、螺杆；13、连接块；14、滑动杆；15、直角加强块；16、橡胶垫。

具体实施方式

为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容更加透彻全面。

实施例1

如图2、图3和图4所示，包括清洗机主体1和两组弧形夹持块2，清洗机主体1内部设置有清洗腔，两组弧形夹持块2均为清洗机主体1的清洗腔内，还包括动力机构、传动机构和两组第一固定块3，动力机构包括电机4、第一齿轮5、第二齿轮6、转动轴7和两组第二固定块8，电机4固定在清洗机主体1的后端中部，电机4的输出端与第一齿轮5连接，并且第一齿轮5与第二齿轮6啮合传动连接，第二齿轮6固定在转动轴7的中部，并且转动轴7与两组第二固定块8转动连接，转动轴7可驱动传动机构，并且两组第二固定块8分别对称固定在清洗机主体1后端的左右两侧，传动机构安装在第一固定块3上，传动机构用于带动弧形夹持块2左右移动，并且两组第一固定块3对称安装在清洗机主体1清洗腔后端的左右两侧；通过电机4带动第一齿轮5转动，第一齿轮5与第二齿轮6啮合传动连接，从而使得转动轴7转动，并通过转动轴7驱动传动机构，使得传动机构带动两组弧形夹持块2向内侧移动，并且通过两组弧形夹持块2的配合使用实现对晶圆的夹持固定，既避免了人工手动固定晶圆，又提高了晶圆夹持固定的稳定性，提高了装置整体的使用效果。

实施例2

如图1、图3和图5所示，包括清洗机主体1和两组弧形夹持块2，清洗机主体1内部设置有清洗腔，两组弧形夹持块2均为清洗机主体1的清洗腔内，还包括动力机构、传动机构和两组第一固定块3，动力机构安装在清洗机主体1的后端，动力机构用于驱动传动机构，传动机构包括多组链轮9、两组链条10、两组螺套11、两组螺杆12、两组连接块13和两组滑动杆14，多组链轮9分别固定在转动轴7的左右两端以及两组螺套11上，同侧的两组链轮9之间通过链条10传动连接，并且螺套11与第一固定块3转动连接，螺杆12与螺套11螺装连接，连接块13固定在螺杆12的外侧端，并且滑动杆14固定在连接块13内侧端的前侧，滑动杆14与第一固定块3滑动连接，并且螺杆12和滑动杆14的内侧端均与弧形夹持块2连接，两组第一固定块3对称安装在清洗机主体1清洗腔后端的左右两侧；通过动力机构驱动链轮9转动，同侧的两组链轮9之间通过链条10传动连接，从而使得两组螺套11同时转动，并使得螺杆12在连接块13和滑动杆14的配合使用下，带动弧形夹持块2向内侧移动，并且通过两组弧形夹持块2的配合使用实现对晶圆的夹持固定，既避免了人工手动固定晶圆，又提高了晶圆夹持固定的稳定性，提高了装置整体的使用效果。

如图1至图5所示，本实用新型的一种晶圆清洗腔夹持组件，其在工作时，首先通过电机4带动第一齿轮5转动，第一齿轮5与第二齿轮6啮合传动连接，从而使得转动轴7转动，之后使通过转动轴7带动链轮9转动，同侧的两组链轮9之间通过链条10传动连接，从而使得两组螺套11同时转动，并使得螺杆12在连接块13和滑动杆14的配合使用下，带动弧形夹持块2向内侧移动，此时通过两组弧形夹持块2的配合使用，实现对晶圆的夹持固定，既避免了人工手动固定晶圆，又提高了晶圆夹持固定的稳定性，提高了装置整体的使用效果，然后通设置直角加强块15，确保螺套11转动时的稳定性，提高装置的结构强度，同时通过设置橡胶垫16，增加弧形夹持块2与晶圆之间的摩擦力，进一步提高弧形夹持块2对晶圆夹持固定时的稳定性。

本实用新型的一种晶圆清洗腔夹持组件的清洗机主体1、弧形夹持块2和电机4为市面上采购，并且为现有技术，本行业内技术人员只需按照其附带的使用说明书进行安装和操作即可，而无需本领域的技术人员付出创造性劳动。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (7)

1.一种晶圆清洗腔夹持组件，包括清洗机主体(1)和两组弧形夹持块(2)，清洗机主体(1)内部设置有清洗腔，两组弧形夹持块(2)均为清洗机主体(1)的清洗腔内，其特征在于，还包括动力机构、传动机构和两组第一固定块(3)，动力机构安装在清洗机主体(1)的后端，动力机构用于驱动传动机构，传动机构安装在第一固定块(3)上，传动机构用于带动弧形夹持块(2)左右移动，并且两组第一固定块(3)对称安装在清洗机主体(1)清洗腔后端的左右两侧。

2.如权利要求1所述的一种晶圆清洗腔夹持组件，其特征在于，动力机构包括电机(4)、第一齿轮(5)、第二齿轮(6)、转动轴(7)和两组第二固定块(8)，电机(4)固定在清洗机主体(1)的后端中部，电机(4)的输出端与第一齿轮(5)连接，并且第一齿轮(5)与第二齿轮(6)啮合传动连接，第二齿轮(6)固定在转动轴(7)的中部，并且转动轴(7)与两组第二固定块(8)转动连接，转动轴(7)可驱动传动机构，并且两组第二固定块(8)分别对称固定在清洗机主体(1)后端的左右两侧。

3.如权利要求1所述的一种晶圆清洗腔夹持组件，其特征在于，传动机构包括多组链轮(9)、两组链条(10)、两组螺套(11)、两组螺杆(12)、两组连接块(13)和两组滑动杆(14)，多组链轮(9)分别固定在转动轴(7)的左右两端以及两组螺套(11)上，同侧的两组链轮(9)之间通过链条(10)传动连接，并且螺套(11)与第一固定块(3)转动连接，螺杆(12)与螺套(11)螺装连接，连接块(13)固定在螺杆(12)的外侧端，并且滑动杆(14)固定在连接块(13)内侧端的前侧，滑动杆(14)与第一固定块(3)滑动连接，并且螺杆(12)和滑动杆(14)的内侧端均与弧形夹持块(2)连接。

4.如权利要求3所述的一种晶圆清洗腔夹持组件，其特征在于，还包括两组直角加强块(15)，两组直角加强块(15)分别对称固定在第一固定块(3)的外侧端，并且两组直角加强块(15)分别与两组螺套(11)转动连接。

5.如权利要求1所述的一种晶圆清洗腔夹持组件，其特征在于，还包括两组橡胶垫(16)，两组橡胶垫(16)分别固定在两组弧形夹持块(2)的内侧壁上。

6.如权利要求2所述的一种晶圆清洗腔夹持组件，其特征在于，电机(4)为消音电机。

7.如权利要求2所述的一种晶圆清洗腔夹持组件，其特征在于，第一齿轮(5)与第二齿轮(6)之间涂有润滑油。