CN220286667U - 一种卡套波纹管 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种卡套波纹管，包括：第一接头、密封压管、第二接头、波纹管体、内壁光滑的PFA管体。其中，PFA管体套接于波纹管体内，两密封压管分别套设于PFA管体两端的内壁，PFA管体的两端外还分别套设有第二接头，用于分别向对应的密封压管压紧以固定PFA管体的两端，各密封压管远离波纹管体的一端分别连接一个呈管状的第一接头。本实用新型的外部为波纹管体，保护内部的PFA管体，提高产品抗破坏性，耐久性好，内嵌的PFA管体的内壁光滑，绝对粗糙度低，流阻特性好，进而使得卡套波纹管的内部洁净度较高，适用于超高纯度场景。

Description

一种卡套波纹管

技术领域

本实用新型涉及介质管路设备领域，特别是一种卡套波纹管。

背景技术

目前，当今世界真空、半导体行业正处于快速发展时期，对真空半导体设备及其配件要求越来越高，其中介质管路多应用于高真空、超高纯度、低渗透率的场景，并可以在设备有限空间内合理的弯折布局。

但是常规波纹管作为连接管使用，内壁洁净度相对较低，内部流体阻力大，而不采用波纹管，则存在使用强度低、抗破坏性差、耐久性低的问题。

实用新型内容

本实用新型针对上述现有技术存在的问题，提供了一种卡套波纹管，解决了传统波纹管内部洁净度低、流阻特性差的问题。

本实用新型公开了一种卡套波纹管，包括：第一接头、密封压管、第二接头、波纹管体、内壁光滑的PFA管体；其中，PFA管体套接于波纹管体内，两密封压管分别套设于PFA管体两端的内壁，PFA管体的两端外还分别套设有第二接头，用于分别向对应的密封压管压紧以固定PFA管体的两端，各密封压管远离波纹管体的一端分别连接一个呈管状的第一接头。

进一步地，PFA管体包括位于两端且超过波纹管体的超出管体，以及位于两个超出管体之间的主管体。

进一步地，PFA管体的管壁厚度均匀统一。

进一步地，第二接头为焊接接头。

进一步地，第一接头的内壁与密封压管的内壁平齐对接。

本实用新型至少具有以下有益效果：

本实用新型的外部为波纹管体，保护内部的PFA管体，提高产品抗破坏性，耐久性好，内嵌的PFA管体的内壁光滑，绝对粗糙度低，流阻特性好，进而使得卡套波纹管的内部洁净度较高，适用于超高纯度场景。

本实用新型通过端部的密封压管、第二接头将PFA管体和波纹管体密封整合，保证了产品的低渗透率。

本实用新型端部可根据设备接头形式选型，提高了产品的适配性。

本实用新型的其他有益效果将在具体实施方式部分详细说明。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型优选实施例公开的卡套波纹管的剖面图。

图2是本实用新型优选实施例公开的卡套波纹管的结构图。

其中，1-第一接头，2-密封压管，3-第二接头，4-PFA管体，5-波纹管体。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本实用新型的技术方案进行详细的描述。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所得到的所有其它实施方式，都属于本实用新型所保护的范围。

如图1和图2所示，本实用新型公开了一种卡套波纹管，包括：第一接头1、密封压管2、第二接头3、波纹管体5、内壁光滑的PFA管体4，PFA管体4内壁光滑，绝对粗糙度低，流阻特性好。PFA（Polyfluoroalkoxy）中文名称为可溶性聚四氟乙烯，PFA塑料为少量全氟丙基全氟乙烯基醚与聚四氟乙烯的共聚物。熔融粘结性增强，溶体粘度下降，而性能与聚四氟乙烯相比无变化。

PFA管体4套接于波纹管体5内，使得卡套波纹管内部洁净度较高，能够适用于超高纯度场景，卡套波纹管的外部为成型的波纹管，能够保护内部的PFA管体4，提高产品抗破坏性，耐久性好。两密封压管2分别套设于PFA管体4两端的内壁，PFA管体4的两端外还分别套设有第二接头3，用于分别向对应的密封压管2压紧以固定PFA管体4的两端，通过密封压管2、第二接头3将PFA管体4和波纹管体5密封整合，保证了产品的低渗透率。各密封压管2远离波纹管体5的一端分别连接一个呈管状的第一接头1，其具体可根据实际需求选择现有的接头结构。

在本实用新型的一些实施例中，PFA管体4包括位于两端且超过波纹管体5的超出管体，以及位于两个超出管体之间的主管体。

在本实用新型的一些实施例中，PFA管体4的管壁厚度均匀统一。

在本实用新型的一些实施例中，第二接头3为焊接接头，第一接头1可采用VCR接头、直管或其他类型的现有结构接头，还可以根据设备接头形式选型，提高了产品的适配性。

在本实用新型的一些实施例中，第一接头1的内壁与密封压管2的内壁平齐对接。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种卡套波纹管，其特征在于，包括：第一接头（1）、密封压管（2）、第二接头（3）、波纹管体（5）、内壁光滑的PFA管体（4）；其中，PFA管体（4）套接于波纹管体（5）内，两密封压管（2）分别套设于PFA管体（4）两端的内壁，PFA管体（4）的两端外还分别套设有第二接头（3），用于分别向对应的密封压管（2）压紧以固定PFA管体（4）的两端，各密封压管（2）远离波纹管体（5）的一端分别连接一个呈管状的第一接头（1）。

2.根据权利要求1所述的卡套波纹管，其特征在于，PFA管体（4）包括位于两端且超过波纹管体（5）的超出管体，以及位于两个超出管体之间的主管体。

3.根据权利要求2所述的卡套波纹管，其特征在于，PFA管体（4）的管壁厚度均匀统一。

4.根据权利要求1所述的卡套波纹管，其特征在于，第二接头（3）为焊接接头。

5.根据权利要求1所述的卡套波纹管，其特征在于，第一接头（1）的内壁与密封压管（2）的内壁平齐对接。