CN220279670U - 多孔陶瓷吸盘 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于陶瓷吸盘技术领域，尤其涉及一种多孔陶瓷吸盘，包括，吸盘背板、吸盘底板、至少一组真空腔和支撑机构，所述吸盘背板用于实现与外机架固定连接，所述吸盘底板顶面与所述吸盘背板可拆卸连接，所述吸盘底板在远离吸盘背板的一侧设有吸盘触头，所述真空腔设于所述吸盘背板、吸盘底板之间，所述真空腔内设置有至少一组气孔阵，所述气孔阵用于与外真空泵连通，所述气孔阵包括若干均匀分布的气孔以及与气孔配合的气嘴，所述气嘴设置于所述真空腔内侧，所述真空腔外侧设置有至少一组与外真空泵连通的抽气孔，所述抽气孔与所述真空腔内连通，所述支撑机构包覆于所述真空腔表面，可以提高真空腔内的结构强度，延长陶瓷吸盘的使用寿命。

Description

多孔陶瓷吸盘

技术领域

本实用新型属于陶瓷吸盘技术领域，尤其涉及一种多孔陶瓷吸盘。

背景技术

陶瓷具有优良的常温力学性能，如高强度、高硬度、高弹性模量等，优异的高温稳定性，如高导热系数、低热膨胀系数等，以及良好的比刚度和光学加工性能，特别适合用于半导体集成电路装备用精密陶瓷部件，陶瓷材料虽然有良好的抗压性能，但抗拉强度较弱，真空吸盘通常需要通过真空泵在真空吸盘内抽气形成负压从而产生吸力，而现有的真空吸盘通常缺少支撑机构，导致真空吸盘的使用寿命不长，更换真空吸盘会导致生产成本增加。

例如，申请号为CN202022696475.2的专利文件中，提供了一种新型多孔质陶瓷真空吸盘，包括第一真空吸盘、第二真空吸盘和气缸，所述第一真空吸盘为圆环形，所述第一真空吸盘包括第一底座，所述第一底座底面固定连接有第一陶瓷片，该技术方案中由于缺少支撑机构，随着使用时长的增加，吸盘内更容易形成暗伤，导致吸力下降甚至吸盘报废，使用寿命较短。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种多孔陶瓷吸盘，旨在解决现有技术中的的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型实施例提供的一种多孔陶瓷吸盘，包括，吸盘背板、吸盘底板、至少一组真空腔和支撑机构，所述吸盘背板用于实现与外机架固定连接，所述吸盘底板顶面与所述吸盘背板可拆卸连接，所述吸盘底板在远离吸盘背板的一侧设有吸盘触头，所述真空腔与所述吸盘触头对应，所述真空腔设于所述吸盘背板、吸盘底板之间，所述真空腔内设置有至少一组气孔阵，所述气孔阵用于与外真空泵连通，所述气孔阵包括若干均匀分布的气孔以及与气孔配合的气嘴，所述气嘴设置于所述真空腔内侧，所述真空腔外侧设置有至少一组与外真空泵连通的抽气孔，所述抽气孔与所述真空腔内连通，所述支撑机构包覆于所述真空腔表面，所述支撑机构上下两面分别与所述吸盘背板、所述吸盘底板抵接，使用时，通过将所述吸盘触头与物料接触，通过外真空泵将所述真空腔内空气抽出，外部空气通过气孔、气嘴进入真空腔内，使所述吸盘触头外侧形成负压用于吸附物料，通过设置所述支撑机构可以实现提高所述真空腔内的结构强度，延长使用寿命。

优选的，所述气嘴穿过所述支撑机构向所述真空腔内延伸，所述气嘴包括外壳、防尘网和缓冲扇，所述外壳上下两端贯通连接有进气口和出气口，所述防尘网与所述进气口活动连接，所述缓冲扇与所述外壳靠近所述出气口的一侧活动连接。

优选的，所述防尘网中部设有与所述进气口活动连接的第一转轴。

优选的，所述进气口一侧边缘处设有第一限位块，另一侧边缘出设有第二限位块，所述第一限位块与所述防尘网底部抵接，所述第二限位块与所述防尘网顶部抵接。

优选的，所述缓冲扇外侧固定连接有保护壳，所述保护壳设有与所述外壳活动连接的第二转轴。

优选的，所述外壳设有第三限位块，所述第三限位块与所述保护壳底部抵接。

优选的，所述支撑机构包括第一支撑板、第二支撑板以及连接所述第一支撑板、所述第二支撑板的支撑柱，所述第一支撑板与所述吸盘触头靠近所述真空腔的一侧抵接，所述第一支撑板贯穿有若干穿孔，所述穿孔与所述气嘴配合，所述第二支撑板与所述吸盘背板靠近所述真空腔的一侧抵接。

优选的，所述第二支撑板顶面设有用于实现与所述吸盘背板抵接的橡胶垫。

优选的，所述支撑机构还包括第三支撑板，所述第三支撑板与所述第二支撑板固定连接。

优选的，所述气孔阵为矩形结构。。

本实用新型实施例提供的多孔陶瓷吸盘中的上述一个或多个技术方案至少具有如下技术效果之一：

可以提高真空腔内的结构强度，延长陶瓷吸盘的使用寿命，使用时，通过将所述吸盘触头与物料接触，通过外真空泵将所述真空腔内空气抽出，外部空气通过气孔、气嘴进入真空腔内，使所述吸盘触头外侧形成负压用于吸附物料，陶瓷材料虽然有良好的抗压性能，但抗拉强度较弱，真空吸盘通常需要通过真空泵在真空吸盘内抽气形成负压从而产生吸力，而现有的真空吸盘通常缺少支撑机构，导致真空吸盘的使用寿命不长，更换真空吸盘会导致生产成本增加，为此通过设置所述支撑机构可以实现提高所述真空腔内的结构强度，提高吸盘的使用寿命。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的多孔陶瓷吸盘的结构示意图。

图2为本实用新型实施例提供的多孔陶瓷吸盘的剖面图。

图3为图2中A处结构示意图。

图4为图2中B处结构示意图。

其中，图中各附图标记：

1—吸盘背板 2—吸盘底板 21—吸盘触头

3—真空腔 31—气孔阵 311—气孔

32—气嘴 321—外壳 3211—进气口

3212—出气口 322—防尘网 3221—第一转轴

323—缓冲扇 324—第一限位块 325—第二限位块

326—保护壳 3261—第二转轴 327—第三限位块

33—抽气孔 4—支撑机构 41—第一支撑板

411—穿孔 42—第二支撑板 421—橡胶垫

43—支撑柱 44—第三支撑板。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图1～4描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型的实施例，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型实施例的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型实施例的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型实施例中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型实施例中的具体含义。

在本实用新型的一个实施例中，如图1～4所示，提供一种多孔陶瓷吸盘，其特征在于，包括，吸盘背板1、吸盘底板2、至少一组真空腔3和支撑机构4，所述吸盘背板1用于实现与外机架固定连接，所述吸盘底板2顶面与所述吸盘背板1可拆卸连接，所述吸盘底板2在远离吸盘背板1的一侧设有吸盘触头21，所述真空腔3与所述吸盘触头21对应，所述真空腔3设于所述吸盘背板1、吸盘底板2之间，所述真空腔3内设置有至少一组气孔阵31，所述气孔阵31用于与外真空泵连通，所述气孔阵31包括若干均匀分布的气孔311以及与气孔311配合的气嘴32，所述气嘴32设置于所述真空腔3内侧，所述真空腔3外侧设置有至少一组与外真空泵连通的抽气孔33，所述抽气孔33与所述真空腔3内连通，所述支撑机构4包覆于所述真空腔3表面，所述支撑机构4上下两面分别与所述吸盘背板1、所述吸盘底板2抵接；使用时，通过将所述吸盘触头21与物料接触，通过外真空泵将所述真空腔3内空气抽出，外部空气通过气孔311、气嘴32进入真空腔3内，使所述吸盘触头21外侧形成负压用于吸附物料，通过设置所述支撑机构4可以实现提高所述真空腔3内的结构强度，延长使用寿命。

进一步的，所述气嘴32穿过所述支撑机构4向所述真空腔3内延伸，所述气嘴32包括外壳321、防尘网322和缓冲扇323，所述外壳321上下两端贯通连接有进气口3211和出气口3212，所述防尘网322与所述进气口3211活动连接，所述缓冲扇323与所述外壳321靠近所述出气口3212的一侧活动连接，具体的说，外部空气自所述进气口3211进入，将所述防尘网322的一端顶起，可以实现保证外部空气穿过所述进气口3211时的流畅度。

进一步的，所述防尘网322中部设有与所述进气口3211活动连接的第一转轴3221，具体的说可以使所述防尘网322更好的与所述进气口3211活动连接。

进一步的，所述进气口3211一侧边缘处设有第一限位块324，另一侧边缘出设有第二限位块325，所述第一限位块324与所述防尘网322底部抵接，所述第二限位块325与所述防尘网322顶部抵接，具体的说，外部空气自所述进气口3211进入，将所述防尘网322靠近所述第一限位块324的一端顶起，当空气自所述进气口3211流出时，空气推动所述防尘网322下压，并且所述防尘网322一端与所述第一限位块324抵接，另一端与所述第二限位块325抵接，由于所述第一限位块324和所述第二限位块325的配合，此时所述防尘网322处于水平状态，使空气在通过时需要穿过防尘网322，减缓空气流动速度。

进一步的，所述缓冲扇323外侧固定连接有保护壳326，所述保护壳326设有与所述外壳321活动连接的第二转轴3261，具体的说，可以使所述缓冲扇323更好的与所述外壳321活动连接。

进一步的，所述外壳321设有第三限位块327，所述第三限位块327与所述保护壳326底部抵接，具体的说，当空气自所述出气口3212流入所述气嘴32时，空气推动所述保护壳326与所述第三限位块327抵接，此时所述缓冲扇323处于水平状态，从而引导空气推动缓冲扇旋转，减缓空气的流动速度。

进一步的，所述支撑机构4包括第一支撑板41、第二支撑板42以及连接所述第一支撑板41、所述第二支撑板42的支撑柱43，所述第一支撑板41与所述吸盘触头21靠近所述真空腔3的一侧抵接，所述第一支撑板41贯穿有若干穿孔411，所述穿孔411与所述气嘴32配合，所述第二支撑板42与所述吸盘背板1靠近所述真空腔3的一侧抵接，具体的说，通过设置所述第一支撑板41、所述第二支撑板42、所述支撑柱43可以提高所述真空腔3内的结构强度，当使用外真空泵抽气时所述第一支撑板41、所述第二支撑板42、所述支撑柱43可以产生辅助支撑作用。

进一步的，所述第二支撑板42顶面设有用于实现与所述吸盘背板1抵接的橡胶垫421，具体的说，通过设置所述橡胶垫421可以实现提高所述第二支撑板42与所述吸盘背板1的接触强度。

进一步的，所述支撑机构4还包括第三支撑板44，所述第三支撑板44与所述第二支撑板42固定连接，具体的说，所述第三支撑板44可以实现提高所述真空腔3侧壁的结构强度。

进一步的，所述气孔阵31为矩形结构。

工作原理：使用时，通过将所述吸盘触头21与物料接触，通过外真空泵将所述真空腔3内空气抽出，外部空气通过气孔311、气嘴32进入真空腔3内，使所述吸盘触头21外侧形成负压用于吸附物料，具体地说外部空气通过气嘴32时，外部空气自进气口3211进入，将防尘网322靠近第一限位块324的一端顶起，防尘网322翘起的一端与保护壳326接触并将保护壳326靠近第三限位块327的一端顶起，使外部空气可以较为流畅的通过气嘴32，当空气自真空腔3通过气嘴32时，空气自出气口3212进入外壳321内，推动保护壳326与第三限位块327抵接并推动缓冲扇323旋转，使防尘网322一端与第一限位块324抵接，另一端与第二限位块325抵接，由于第一限位块324和第二限位块325的配合，此时所述防尘网322处于水平状态，再穿过防尘网322，通过进气口3211流出，通过缓冲扇323和防尘网322时可以实现出气更平缓，避免空气流速过快导致物料损坏，或在放置物料时时物料错位，提高放置精度。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种多孔陶瓷吸盘，其特征在于，包括：

吸盘背板，所述吸盘背板用于实现与外机架固定连接；

吸盘底板，所述吸盘底板顶面与所述吸盘背板可拆卸连接，所述吸盘底板在远离吸盘背板的一侧设有吸盘触头；

至少一组真空腔，所述真空腔与所述吸盘触头对应，所述真空腔设于所述吸盘背板、吸盘底板之间，所述真空腔内设置有至少一组气孔阵，所述气孔阵用于与外真空泵连通，所述气孔阵包括若干均匀分布的气孔以及与气孔配合的气嘴，所述气嘴设置于所述真空腔内侧，所述真空腔外侧设置有至少一组与外真空泵连通的抽气孔，所述抽气孔与所述真空腔内连通；

支撑机构，所述支撑机构包覆于所述真空腔表面，所述支撑机构上下两面分别与所述吸盘背板、所述吸盘底板抵接；

使用时，通过将所述吸盘触头与物料接触，通过外真空泵将所述真空腔内空气抽出，外部空气通过气孔、气嘴进入真空腔内，使所述吸盘触头外侧形成负压用于吸附物料，通过设置所述支撑机构可以实现提高所述真空腔内的结构强度，延长使用寿命。

2.根据权利要求1所述的一种多孔陶瓷吸盘，其特征在于：所述气嘴穿过所述支撑机构向所述真空腔内延伸，所述气嘴包括外壳、防尘网和缓冲扇，所述外壳上下两端贯通连接有进气口和出气口，所述防尘网与所述进气口活动连接，所述缓冲扇与所述外壳靠近所述出气口的一侧活动连接。

3.根据权利要求2所述的一种多孔陶瓷吸盘，其特征在于：所述防尘网中部设有与所述进气口活动连接的第一转轴。

4.根据权利要求3所述的一种多孔陶瓷吸盘，其特征在于：所述进气口一侧边缘处设有第一限位块，另一侧边缘出设有第二限位块，所述第一限位块与所述防尘网底部抵接，所述第二限位块与所述防尘网顶部抵接。

5.根据权利要求2所述的一种多孔陶瓷吸盘，其特征在于：所述缓冲扇外侧固定连接有保护壳，所述保护壳设有与所述外壳活动连接的第二转轴。

6.根据权利要求5所述的一种多孔陶瓷吸盘，其特征在于：所述外壳设有第三限位块，所述第三限位块与所述保护壳底部抵接。

7.根据权利要求1所述的一种多孔陶瓷吸盘，其特征在于：所述支撑机构包括第一支撑板、第二支撑板以及连接所述第一支撑板、所述第二支撑板的支撑柱，所述第一支撑板与所述吸盘触头靠近所述真空腔的一侧抵接，所述第一支撑板贯穿有若干穿孔，所述穿孔与所述气嘴配合，所述第二支撑板与所述吸盘背板靠近所述真空腔的一侧抵接。

8.根据权利要求7所述的一种多孔陶瓷吸盘，其特征在于：所述第二支撑板顶面设有用于实现与所述吸盘背板抵接的橡胶垫。

9.根据权利要求7所述的一种多孔陶瓷吸盘，其特征在于：所述支撑机构还包括第三支撑板，所述第三支撑板与所述第二支撑板固定连接。

10.根据权利要求1所述的一种多孔陶瓷吸盘，其特征在于：所述气孔阵为矩形结构。