CN220258862U - 一种晶圆清洗结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆清洗结构，包括底座，底座的顶部固定连接有固定筒，固定筒的前侧设置有集水槽，集水槽固定连接在底座上，其横截面为圆形，且集水槽的侧壁开设有排水管，排水管内安装有排水阀，集水槽内安装有定位组件，固定筒为方形筒结构，其筒内插入有调节架，且固定筒的两侧顶端侧壁均螺纹连接有螺栓，调节架的侧面呈L形，其两侧均开设有若干个与螺栓相配合的调节槽，且调节架上安装有冲洗组件。本实用新型可在冲洗的过程中有效清除粘附在晶圆表面的固态污渍，并且可对污水进行回收再利用，有利于节能环保，此外还可对晶圆进行夹持定位，以防止其在清洗过程中发生打滑和位移。

Description

一种晶圆清洗结构

技术领域

本实用新型属于晶圆清洗技术领域，特别是涉及一种晶圆清洗结构。

背景技术

晶圆在不断被加工成形及抛光处理的过程中，由于与各种有机物、粒子及金属接触，其表面往往而产生各种污染物，需要进行清除，因此晶圆清洗是晶圆制造过程中的一个重要工艺步骤。

目前市面上存在一些可用于晶圆清洗的设备，如中国专利网上公开了一种晶圆清洗台及晶圆清洗装置，其公开号为CN215613584U，这种清洗装置虽然可对晶圆进行清洗，但是存在一些缺陷和不足有待改进：(1)现有的清洗设备大多只是通过清水对晶圆的表面进行冲洗，这种清洗方式难以有效清除粘附在晶圆表面的的固态污渍，从而影响清洗后的晶圆成品质量；(2)现有的清洗设备在对晶圆进行冲洗时，往往需要消耗大量的水资源，冲洗时难以对污水进行统一回收，以便后续再利用，从而不利于节能环保；(3)现有的清洗设备在对晶圆进行清洗时，难以对晶圆进行有效的定位，使得晶圆在清洗过程中容易发生打滑和位移，从而降低了清洗效果。因此，针对以上问题，本实用新型提供的一种晶圆清洗结构具有重要意义。

实用新型内容

本实用新型提供了一种晶圆清洗结构，解决了以上问题。

为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

本实用新型的一种晶圆清洗结构，包括底座，所述底座的顶部固定连接有固定筒，所述固定筒的前侧设置有集水槽，所述集水槽固定连接在底座上，其横截面为圆形，且所述集水槽的侧壁开设有排水管，所述排水管内安装有排水阀，所述集水槽内安装有定位组件，所述固定筒为方形筒结构，其筒内插入有调节架，且所述固定筒的两侧顶端侧壁均螺纹连接有螺栓，所述调节架的侧面呈L形，其两侧均开设有若干个与螺栓相配合的调节槽，且所述调节架上安装有冲洗组件；

所述定位组件包括壳体，所述壳体固定安装在集水槽的槽底，其内部安装有电机，所述电机的输出轴顶端贯穿壳体的顶部并固定连接有定位槽，所述定位槽的横截面为圆形，其底部开设有若干个导水孔，且所述定位槽的侧壁开设有若干个螺纹孔，每个所述螺纹孔内均螺纹连接有螺杆；

所述冲洗组件包括储水箱和冲洗仓，所述储水箱固定安装在调节架的顶部，其顶部开设有进水管，且所述储水箱的前侧设置有抽水泵，所述抽水泵上分别安装有抽水管和导水管，所述冲洗仓的横截面为圆形，其侧壁开设有若干根冲洗管，且所述冲洗仓的顶部固定连接有若干根固定杆，所述固定杆的顶端固定连接在调节架的顶部内壁，所述抽水管的另一端管口贯穿储水箱的侧壁并与储水箱相连通，所述导水管的另一端管口贯穿调节架和冲洗仓的顶部并与冲洗仓的内腔相连通，所述冲洗仓的底端边缘处固定连接有若干个安装座，每个所述安装座上均开设有安装孔，所述冲洗仓的底部安装有清理件；

所述清理件包括清理盘，所述清理盘为圆形，其底部表面设置有一层清理刷，且所述清理盘的顶部固定连接有若干根螺柱，每根所述螺柱上均螺纹连接有与其相配合的螺母。

进一步地，所述集水槽的槽底固定连接有导水块，所述导水块固定连接在壳体的外壁，其顶部为倾斜端面。

进一步地，所述定位槽的槽底表面固定安装有一层防滑垫，所述防滑垫为圆形，其表面刻有人字形防滑纹。

进一步地，所述螺杆的一端固定连接有旋块，其另一端固定连接有缓冲块，所述旋块的侧壁为弧形并向内凹陷。

进一步地，所述螺柱的数量与安装座相同，其直径与安装孔的孔径相等，且每个所述螺柱均与对应的安装孔中心位于同一条直线上。

本实用新型相对于现有技术包括有以下有益效果：

(1)本实用新型中的清洗结构在使用时，可通过冲洗组件对晶圆进行冲洗，并且通过清理件可有效清除粘附在晶圆表面的固态污渍，以便提高清洗后的晶圆成品质量；

(2)本实用新型中的清洗结构在使用时，可通过集水槽对清洗过程中产生的污水进行统一回收，以便后续再利用，从而有效避免了水资源的浪费，有利于节能环保；

(3)本实用新型中的清洗结构在使用时，可通过定位组件对晶圆进行夹持定位，以便提高晶圆的稳定性，从而防止其在清洗过程中发生打滑和位移。

当然，实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的一种晶圆清洗结构的立体结构示意图；

图2为本实用新型中底座、固定筒与集水槽的立体结构示意图；

图3为本实用新型中底座、固定筒与集水槽的侧面剖视图；

图4为本实用新型中定位组件的立体结构示意图；

图5为本实用新型中定位组件的结构俯视图；

图6为本实用新型中调节架、储水箱与抽水泵的结构俯视图；

图7为本实用新型中冲洗仓的立体结构示意图；

图8为本实用新型中冲洗仓的结构俯视图；

图9为本实用新型中清理件的立体结构示意图；

图10为本实用新型中清理件的结构主视图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1、底座；2、固定筒；3、集水槽；4、排水管；5、排水阀；6、调节架；7、螺栓；8、调节槽；9、壳体；10、电机；11、定位槽；12、导水孔；13、螺杆；14、储水箱；15、冲洗仓；16、进水管；17、抽水泵；18、抽水管；19、导水管；20、冲洗管；21、固定杆；22、安装座；23、清理盘；24、清理刷；25、螺柱；26、螺母；27、导水块；28、防滑垫；29、旋块；30、缓冲块；31、安装孔。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“相对”、“一端”、“内部”、“横向”、“端部”、“两端”、“两侧”、“正面”、“一端面”、“另一端面”等指示方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的组件或元件必须具有特定的方位，以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

请参阅图1-10所示，本实用新型的一种晶圆清洗结构，包括底座1，底座1的顶部固定连接有固定筒2，固定筒2的前侧设置有集水槽3，集水槽3固定连接在底座1上，其横截面为圆形，且集水槽3的侧壁开设有排水管4，排水管4内安装有排水阀5，集水槽3内安装有定位组件，固定筒2为方形筒结构，其筒内插入有调节架6，且固定筒2的两侧顶端侧壁均螺纹连接有螺栓7，调节架6的侧面呈L形，其两侧均开设有若干个与螺栓7相配合的定位槽11，且调节架6上安装有冲洗组件，调节架6可带动冲洗组件上下移动，螺栓7的末端可旋入至对应的定位槽11内，通过螺栓7与定位槽11之间的相互配合可对冲洗组件的高度进行调节和固定；

定位组件包括壳体9，壳体9固定安装在集水槽3的槽底，其内部安装有电机10，电机10的输出轴顶端贯穿壳体9的顶部并固定连接有定位槽11，定位槽11的横截面为圆形，其底部开设有若干个导水孔12，且定位槽11的侧壁开设有若干个螺纹孔，每个螺纹孔内均螺纹连接有螺杆13，清洗时可将晶圆放置于定位槽11内，并拧紧各个螺杆13，直至螺杆13的末端紧紧抵在晶圆的侧壁，此时通过各个螺杆13可对晶圆进行夹持定位，以便将其牢牢固定在定位槽11内；

冲洗组件包括储水箱14和冲洗仓15，储水箱14固定安装在调节架6的顶部，其顶部开设有进水管16，且储水箱14的前侧设置有抽水泵17，抽水泵17上分别安装有抽水管18和导水管19，冲洗仓15的横截面为圆形，其侧壁开设有若干根冲洗管20，且冲洗仓15的顶部固定连接有若干根固定杆21，固定杆21的顶端固定连接在调节架6的顶部内壁，抽水管18的另一端管口贯穿储水箱14的侧壁并与储水箱14相连通，导水管19的另一端管口贯穿调节架6和冲洗仓15的顶部并与冲洗仓15的内腔相连通，通过驱动抽水泵17可将储水箱14内储存的清水吸入抽水管18，并通过导水管19导入至冲洗仓15内，清水进入冲洗仓15内后可通过各个冲洗管20喷出，以便对定位槽11内的晶圆进行冲洗，冲洗管20以冲洗仓15为中心呈环形阵列分布，通过各个冲洗管20可有效扩大冲洗范围，并且在冲洗过程中可驱动电机10使其带动定位槽11进行转动，以便让清水充分、均匀地喷洒至晶圆表面的各个位置，冲洗仓15的底端边缘处固定连接有若干个安装座22，每个安装座22上均开设有安装孔31，冲洗仓15的底部安装有清理件；

清理件包括清理盘23，清理盘23为圆形，其底部表面设置有一层清理刷24，且清理盘23的顶部固定连接有若干根螺柱25，每根螺柱25上均螺纹连接有与其相配合的螺母26，在冲洗组件对晶圆进行冲洗时，清理盘23底部的清理刷24可在定位槽11的不断转动下对晶圆的表面进行往复刮刷，从而可利用清理刷24有效清除粘附在晶圆表面的固态污渍。

其中，集水槽3的槽底固定连接有导水块27，导水块27固定连接在壳体9的外壁，其顶部为倾斜端面，定位槽11底部的导水孔12呈环形阵列分布，冲洗过程中产生的污水可透过各个导水孔12流入集水槽3，并沿着导水块27的倾斜表面汇集至排水管4，通过打开排水阀5可将污水沿着排水管4排出，以便后续再利用，从而有效避免了水资源的浪费，有利于节能环保。

其中，定位槽11的槽底表面固定安装有一层防滑垫28，防滑垫28为圆形，其表面刻有人字形防滑纹，防滑垫28选用橡胶等弹性材质，当晶圆放置于定位槽11内时，通过防滑垫28可起到一定的缓冲防磨作用，以避免晶圆的底部与定位槽11直接接触而产生磨损，并且利用防滑垫28表面的防滑纹可增大晶圆与定位槽11之间的摩擦力，以便进一步提高晶圆的稳定性，从而防止其在清洗过程中发生打滑和位移。

其中，螺杆13的一端固定连接有旋块29，其另一端固定连接有缓冲块30，缓冲块30选用橡胶等弹性材质，当螺杆13在对晶圆进行夹持定位时，利用缓冲块30可起到缓冲保护的作用，以避免晶圆与螺杆13直接接触而产生碰撞和磨损，旋块29的侧壁为弧形并向内凹陷，拧动螺杆13时手指可贴合在旋块29的弧形凹陷内，以防止打滑和脱手。

其中，螺柱25的数量与安装座22相同，其直径与安装孔31的孔径相等，且每个螺柱25均与对应的安装孔31中心位于同一条直线上，各个螺柱25可对准并穿过对应的安装孔31，此时将螺母26螺纹连接在各个螺柱25上，可通过螺柱25与安装孔31之间的相互配合对清理盘23进行固定，通过旋下螺母26可将清理盘23从冲洗仓15的底部取下，以便长时间使用后对清理刷24进行清洗。

本实用新型的工作原理是：

本实用新型在使用时，首先将待清洗的晶圆放置于定位槽11内，并使其贴合在防滑垫28的顶部，然后拧动各个螺杆13，直至螺杆13的末端紧紧抵在晶圆的侧壁，以便通过各个螺杆13对晶圆进行夹持定位，从而将其牢牢固定在定位槽11内，接着沿着固定筒2上下移动调节架6，直至清理盘23底部的清理刷24与晶圆表面接触后，将螺栓7旋入至对应的调节槽8内，以便对调节架6和整个冲洗组件的高度进行固定，之后驱动抽水泵17将储水箱14内储存的清水吸入抽水管18，并通过导水管19导入至冲洗仓15内，清水进入冲洗仓15内后可通过各个冲洗管20喷出，以便对定位槽11内的晶圆进行冲洗，与此同时，驱动电机10使其带动定位槽11进行转动，以便让清水充分、均匀地喷洒至晶圆表面的各个位置，在冲洗组件对晶圆进行冲洗时，清理盘23底部的清理刷24可在定位槽11的不断转动下对晶圆的表面进行往复刮刷，从而可利用清理刷24有效清除粘附在晶圆表面的固态污渍，当清洗完成后，将晶圆从定位槽11内取出即可，冲洗过程中产生的污水可透过各个导水孔12流入集水槽3，并沿着导水块27的倾斜表面汇集至排水管4，通过打开排水阀5可将污水沿着排水管4排出，以便后续再利用，从而有效避免了水资源的浪费，有利于节能环保。

以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (5)

1.一种晶圆清洗结构，其特征在于，包括底座，所述底座的顶部固定连接有固定筒，所述固定筒的前侧设置有集水槽，所述集水槽固定连接在底座上，其横截面为圆形，且所述集水槽的侧壁开设有排水管，所述排水管内安装有排水阀，所述集水槽内安装有定位组件，所述固定筒为方形筒结构，其筒内插入有调节架，且所述固定筒的两侧顶端侧壁均螺纹连接有螺栓，所述调节架的侧面呈L形，其两侧均开设有若干个与螺栓相配合的调节槽，且所述调节架上安装有冲洗组件；

所述定位组件包括壳体，所述壳体固定安装在集水槽的槽底，其内部安装有电机，所述电机的输出轴顶端贯穿壳体的顶部并固定连接有定位槽，所述定位槽的横截面为圆形，其底部开设有若干个导水孔，且所述定位槽的侧壁开设有若干个螺纹孔，每个所述螺纹孔内均螺纹连接有螺杆；

所述冲洗组件包括储水箱和冲洗仓，所述储水箱固定安装在调节架的顶部，其顶部开设有进水管，且所述储水箱的前侧设置有抽水泵，所述抽水泵上分别安装有抽水管和导水管，所述冲洗仓的横截面为圆形，其侧壁开设有若干根冲洗管，且所述冲洗仓的顶部固定连接有若干根固定杆，所述固定杆的顶端固定连接在调节架的顶部内壁，所述抽水管的另一端管口贯穿储水箱的侧壁并与储水箱相连通，所述导水管的另一端管口贯穿调节架和冲洗仓的顶部并与冲洗仓的内腔相连通，所述冲洗仓的底端边缘处固定连接有若干个安装座，每个所述安装座上均开设有安装孔，所述冲洗仓的底部安装有清理件；

所述清理件包括清理盘，所述清理盘为圆形，其底部表面设置有一层清理刷，且所述清理盘的顶部固定连接有若干根螺柱，每根所述螺柱上均螺纹连接有与其相配合的螺母。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗结构，其特征在于，所述集水槽的槽底固定连接有导水块，所述导水块固定连接在壳体的外壁，其顶部为倾斜端面。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗结构，其特征在于，所述定位槽的槽底表面固定安装有一层防滑垫，所述防滑垫为圆形，其表面刻有人字形防滑纹。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗结构，其特征在于，所述螺杆的一端固定连接有旋块，其另一端固定连接有缓冲块，所述旋块的侧壁为弧形并向内凹陷。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗结构，其特征在于，所述螺柱的数量与安装座相同，其直径与安装孔的孔径相等，且每个所述螺柱均与对应的安装孔中心位于同一条直线上。