CN220179110U - 一种晶圆载具pod夹爪运动控制 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种晶圆载具POD夹爪运动控制，包括POD底板、POD底盖、POD夹爪和驱动轮，POD夹爪设有一组，一组POD夹爪呈对称方式固定在POD底盖顶部，POD底板固定在POD底盖顶部且位于POD夹爪上方，驱动轮安装在POD底板顶部正中位置；POD夹爪呈叉子状结构，POD夹爪表面设有一组呈对称方式分布的POD夹爪让位空间，POD夹爪顶部前端设有POD夹爪PIN点；驱动轮呈圆形结构，驱动轮底部分别设有一组呈环状等距方式分布的凸轮压合PIN点位和凸轮避空PIN点，驱动轮左右两侧均设有S型弹簧，一组S型弹簧分别与一组POD夹爪相连接。该种装置可以大大提高了对夹爪控制的灵敏度，且还提高了对夹爪控制的稳定性，防止出现对夹爪控制时出现失灵的情况发生。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆载具POD夹爪的安装机构领域，具体为一种晶圆载具POD夹爪运动控制。
背景技术
随着科技的进步，半导体电子产品已经应用到社会生活的诸多领域，而这些半导体电子产品都具有半导体芯片。可见，半导体芯片在当今生活中具有非常显著的重要性。
现有的晶圆载具POD夹爪的安装机构有如下缺陷：
现有晶圆载具POD夹爪运动的系统中，有用弹簧控制夹爪水平远动，有时还要控制上下运动轨迹，由于POD夹爪运行的弹簧为不锈钢材料，这种材料偏软容易出现变形和回弹，这对夹爪控制有时会有失效现象。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种晶圆载具POD夹爪运动控制，解决了现有弹簧控制夹爪运行的弹簧为不锈钢材料，这种材料偏软容易出现变形和回弹，进一步导致夹爪控制时会有失效现象的问题。
(二)技术方案
为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种晶圆载具POD夹爪运动控制，包括POD底板、POD底盖、POD夹爪和驱动轮，所述POD夹爪设有一组，一组所述POD夹爪呈对称方式固定在POD底盖顶部，所述POD底板固定在POD底盖顶部且位于POD夹爪上方，所述驱动轮安装在POD底板顶部正中位置；
优选的，所述POD夹爪呈叉子状结构，所述POD夹爪表面设有一组呈对称方式分布的POD夹爪让位空间，所述POD夹爪顶部前端设有POD夹爪PIN点；
优选的，所述驱动轮呈圆形结构，所述驱动轮底部分别设有一组呈环状等距方式分布的凸轮压合PIN点位和凸轮避空PIN点，所述驱动轮左右两侧均设有S型弹簧，一组所述S型弹簧分别与一组POD夹爪相连接。
优选的，所述驱动轮左右两侧均设有POD驱动轮与弹簧连接块。
优选的，所述POD夹爪顶部设有POD夹爪与弹簧连接块。
优选的，所述POD底板底部设有一组呈左右对称方式分布的POD底板限位筋条，所述POD底板限位筋条呈凸出状结构。
(三)有益效果
本实用新型提供了一种晶圆载具POD夹爪运动控制。具备以下有益效果：
该种晶圆载具POD夹爪运动控制设计一种机械式控制夹爪上下远动和S型弹簧控制夹爪水平结构，从而大大提高了对夹爪控制的灵敏度，且还提高了夹爪控制的稳定性，防止出现对夹爪控制失灵的情况发生，这种该种晶圆载具POD夹爪运动控制机构简单有效，安装方便快捷可靠，便于工作人员进行使用。
附图说明
图1为本实用新型整体的结构示意图；
图2为本实用新型POD夹爪闭合的结构示意图；
图3为本实用新型POD夹爪打开的结构示意图；
图4为本实用新型驱动轮底部的结构示意图；
图5为本实用新型POD夹爪安装的结构示意图；
图6为本实用新型POD底板的结构示意图。
图中，1、POD底板；2、POD底盖；3、POD夹爪；4、POD夹爪PIN点；5、驱动轮；6、S型弹簧；7、POD底板限位筋条；8、POD夹爪让位空间；9、凸轮压合PIN点位；10、凸轮避空PIN点；11、POD夹爪与弹簧连接块；12、POD驱动轮与弹簧连接块。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-6，本实用新型实施例提供一种技术方案：一种晶圆载具POD夹爪运动控制，包括POD底板1、POD底盖2、POD夹爪3和驱动轮5，所述POD夹爪3设有一组，一组所述POD夹爪3呈对称方式固定在POD底盖2顶部，所述POD底板1固定在POD底盖2顶部且位于POD夹爪3上方，所述驱动轮5安装在POD底板1顶部正中位置；
所述POD夹爪3呈叉子状结构，所述POD夹爪3表面设有一组呈对称方式分布的POD夹爪让位空间8，所述POD夹爪3顶部前端设有POD夹爪PIN点4；
所述驱动轮5呈圆形结构，所述驱动轮5底部分别设有一组呈环状等距方式分布的凸轮压合PIN点位9和凸轮避空PIN点10，所述驱动轮5左右两侧均设有S型弹簧6，一组所述S型弹簧6分别与一组POD夹爪3相连接，通过对驱动轮5进行转动，进一步就驱动轮5通过S型弹簧6分别带动一组POD夹爪3进行运行，从而提高了对POD夹爪3控制的稳定性和灵敏性。
所述驱动轮5左右两侧均设有POD驱动轮与弹簧连接块12，POD驱动轮与弹簧连接块12是为了便于便于S型弹簧6一端进行固定，进一步使S型弹簧6一端与驱动轮5相连接。
所述POD夹爪3顶部设有POD夹爪与弹簧连接块11，POD夹爪与弹簧连接块11是为了便于固定S型弹簧6一端进行固定，从而方便S型弹簧6与POD夹爪3相连接。
所述POD底板1底部设有一组呈左右对称方式分布的POD底板限位筋条7，所述POD底板限位筋条7呈凸出状结构，POD底板限位筋条7可以卡入POD夹爪让位空间8内，进一步对POD夹爪3进行固定、限位。
工作原理：作业时，把POD底板1、POD夹爪3、POD底盖2、驱动轮5及PIN点等部件安装完成之后，POD夹爪3的运动轨迹分为伸出闭合及缩进打开两种状态，需要对其运动过程上下浮动进行控制。
闭合状态:POD夹爪3在驱动轮5旋转作用下，驱动轮5的凸轮压合PIN点位9位置与POD夹爪PIN点4相互作用力，POD夹爪PIN点4位置下移，POD夹爪3在POD底盖2支撑点作用下形成一个跷跷板，而且POD夹爪3的POD夹爪让位空间8位置与POD底板1的POD底板限位筋条7位置形成避空不干涉，POD夹爪3伸出部分实现向上偏移实现锁定状态。
打开状态：POD夹爪3在驱动轮5反旋转作用下，驱动轮5的凸轮避空PIN点10位置与POD夹爪PIN点4形成悬空状态，POD夹爪3在POD底板1的POD底板限位筋条7位置挤压下，POD夹爪3平直运动，促使POD夹爪3锁定状态更改为打开状态。
S型弹簧6的原理为：
S型弹簧6通过连接POD夹爪与弹簧连接块11和POD驱动轮与弹簧连接块12分别接连在POD夹爪3和驱动轮5，通过旋转驱动轮5促使S型弹簧6压缩转态到一半位置，S型弹簧6压缩最大，旋转扭力也达到最大值，再旋转到终止位置时，S型弹簧6压力相比初始位置大，因此，在使用S型弹簧6均初在压缩状态，有效实现开关复位，避免震动中移位现象。
本实用新型的1、POD底板；2、POD底盖；3、POD夹爪；4、POD夹爪PIN点；5、驱动轮；6、S型弹簧；7、POD底板限位筋条；8、POD夹爪让位空间；9、凸轮压合PIN点位；10、凸轮避空PIN点；11、POD夹爪与弹簧连接块；12、POD驱动轮与弹簧连接块，部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知，本实用新型解决的问题是现有弹簧控制夹爪的弹簧为不锈钢材料，这种材料偏软容易出现变形和回弹，进一步导致夹爪控制时会有失效现象的问题，本实用新型通过上述部件的互相组合，可以大大提高了对夹爪控制的灵敏度，且还提高了对夹爪控制的稳定性，防止出现对夹爪控制失灵的情况发生。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点,对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
Claims (4)
1.一种晶圆载具POD夹爪运动控制，其特征在于：包括POD底板(1)、POD底盖(2)、POD夹爪(3)和驱动轮(5)，所述POD夹爪(3)设有一组，一组所述POD夹爪(3)呈对称方式固定在POD底盖(2)顶部，所述POD底板(1)固定在POD底盖(2)顶部且位于POD夹爪(3)上方，所述驱动轮(5)安装在POD底板(1)顶部正中位置；
所述POD夹爪(3)呈叉子状结构，所述POD夹爪(3)表面设有一组呈对称方式分布的POD夹爪让位空间(8)，所述POD夹爪(3)顶部前端设有POD夹爪PIN点(4)；
所述驱动轮(5)呈圆形结构，所述驱动轮(5)底部分别设有一组呈环状等距方式分布的凸轮压合PIN点位(9)和凸轮避空PIN点(10)，所述驱动轮(5)左右两侧均设有S型弹簧(6)，一组所述S型弹簧(6)分别与一组POD夹爪(3)相连接。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆载具POD夹爪运动控制，其特征在于：所述驱动轮(5)左右两侧均设有POD驱动轮与弹簧连接块(12)。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆载具POD夹爪运动控制，其特征在于：所述POD夹爪(3)顶部设有POD夹爪与弹簧连接块(11)。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆载具POD夹爪运动控制，其特征在于：所述POD底板(1)底部设有一组呈左右对称方式分布的POD底板限位筋条(7)，所述POD底板限位筋条(7)呈凸出状结构。
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