CN220160840U - 一种便捷的硅片清洗烘箱 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种便捷的硅片清洗烘箱，包括箱体，所述箱体内具有中空结构，所述中空结构后端设置出风口，所述中空结构的底部开设凹槽，所述凹槽内设置至少两个凸台，所述凸台内设置风机，所述凸台与凹槽之间卡设有第二框体，所述第二框体远端设置滤网，所述第二框体用于承载花篮。本实用新型的一种便捷的硅片清洗烘箱，通过在箱体内凸台外侧卡设带有把手的第二框体，所述第二框体远端设置滤网，同时风机位于滤网和花篮下方，使得硅片和花篮吹出的水滴和硅粉不会滴落到风机内，同时便于拆下第二框体进行清洗，提高了硅片清洗烘箱使用便捷性。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片清洗设备技术领域，尤其涉及一种便捷的硅片清洗烘箱。
背景技术
硅片在生产制造过程中必须要经过清洗程序，将硅片表面污染杂质进行清除，包括有机物和无机物。这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面。清除污染的方法有物理清洗和化学清洗两种。物理清洗将硅片放置在花篮上，将花篮放入清洗池中对硅片进行清洗。
清洗后的硅片需要烘干，目前现有的烘干装置采用的是从清洗槽中提出花篮直接提至烘干槽内进行烘干，此种设备存在一定的缺陷。花篮底部会有大量水以及硅粉残留，残留物进入烘干槽后会滴入烘干槽内，一方面对烘干槽的使用寿命存在影响，另一方面会增加硅片烘干的时间。
因此需要设计一种便捷的硅片清洗烘箱以解决上述问题。
实用新型内容
针对上述现有技术的缺点，本实用新型的目的是提供一种便捷的硅片清洗烘箱，以解决现有技术中的一个或多个问题。
为实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：
一种便捷的硅片清洗烘箱，包括箱体，所述箱体内具有中空结构，所述中空结构后端设置出风口，所述中空结构的底部开设凹槽，所述凹槽内设置至少两个凸台，所述凸台内设置风机，所述凸台与凹槽之间卡设有第二框体，所述第二框体远端设置滤网，所述第二框体用于承载花篮。
进一步的，所述第二框体远端设置把手。
进一步的，所述第二框体与凹槽之间还设置第一框体，所述第一框体两侧倾斜设置若干挡板。
进一步的，所述箱体两侧的侧壁内设置加热管。
进一步的，所述箱体近端设置排水口。
进一步的，所述箱体近端设置四根底脚。
进一步的，所述箱体后端上方具有墙体，所述硅片清洗烘箱还包括推板机构，所述推板机构包括设置在所述墙体上的贯穿式丝杆电机，所述贯穿式丝杆电机螺纹连接一螺杆，所述螺杆通过连接块连接箱盖，贯穿式丝杆电机旋转驱动螺杆螺纹位移带动箱盖沿水平方向移动。
进一步的，所述连接块两侧还设置导向杆穿过所述墙体。
进一步的，所述花篮包括两块固定板以及设置在所述固定板之间的若干支撑杆，所述支撑杆与固定板围成放置硅片的空间，所述固定板侧面具有吊耳，相邻所述挡板之间具有供所述吊耳穿过的间隙。
与现有技术相比，本实用新型的有益技术效果如下：
(一)本实用新型的一种便捷的硅片清洗烘箱，通过在箱体内凸台外侧卡设带有把手的第二框体，所述第二框体远端设置滤网，同时风机位于滤网和花篮下方，使得硅片和花篮吹出的水滴和硅粉不会滴落到风机内，同时便于拆下第二框体进行清洗，提高了硅片清洗烘箱使用便捷性。
(二)进一步的，所述第二框体与凹槽之间还设置第一框体，所述第一框体两侧设置挡板，用于对花篮进行限位，避免机械臂抓取花篮时晃动，提高了硅片清洗烘箱使用安全性。
附图说明
图1示出了本实用新型实施例一提供的一种便捷的硅片清洗烘箱的正视图结构示意图。
图2示出了本实用新型实施例一提供的一种便捷的硅片清洗烘箱的俯视结构示意图。
图3示出了本实用新型实施例一提供的一种便捷的硅片清洗烘箱取走第一框体和第二框体后的俯视结构示意图。
图4示出了本实用新型实施例一提供的一种便捷的硅片清洗烘箱中推板机构的结构示意图。
附图中标记：
1、箱体；11、底脚；12、凹槽；13、第一框体；131、挡板；14、第二框体；141、滤网；142、把手；15、出风口；16、排水口；17、加热管；18、凸台；19、风机；2、推板机构；21、墙体；22、贯穿式丝杆电机；23、螺杆；24、导向杆；25、箱盖；251、连接块；3、花篮；31、固定板；32、支撑杆；33、吊耳。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、特征和优点能够更加明显易懂，请参阅附图。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容能涵盖的范围内。
在本实用新型的描述中，限定术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
为了更加清楚地描述上述一种便捷的硅片清洗烘箱的结构，本实用新型限定术语“远端”和“近端”，具体而言，“远端”表示远离地面的一端，“近端”表示靠近地面的一端，以图1为例，图1中箱体1的下端为近端，图1中箱体1的上端为远端。
实施例一
请参考图1、图2和图3，一种便捷的硅片清洗烘箱，包括箱体1，所述箱体1内具有中空结构，所述中空结构后端设置出风口15，所述中空结构的底部开设凹槽12，所述凹槽12内设置两个凸台18，所述凸台18内设置风机19，所述凸台18与凹槽12之间卡设有第二框体14，所述第二框体14远端设置滤网141，所述第二框体14用于承载花篮3。
请参考图2，具体的，所述第二框体14刚好套设在凸台18的外侧，滤网141用于防止花篮3中硅片上的硅粉及水滴落入风机19内。所述第二框体14远端设置把手142，便于取放第二框体14。
请参考图2，进一步的，所述第二框体14与凹槽12之间还设置第一框体13，所述第一框体13为半框型，便于取放，所述第一框体13两侧倾斜设置若干挡板131，用于对花篮3进行限位，避免机械臂抓取花篮3时晃动。
请参考图1，进一步的，所述箱体1两侧的侧壁内设置加热管17，用于对花篮3中硅片加热烘干。
请参考图1和图2，进一步的，所述箱体1近端设置排水口16，用于排出残留水滴。
请参考图1，进一步的，所述箱体1近端设置四根底脚11。
请参考图4，进一步的，所述箱体1后端上方具有墙体21，所述硅片清洗烘箱还包括推板机构2，所述推板机构2包括设置在所述墙体21上的贯穿式丝杆电机22，所述贯穿式丝杆电机22螺纹连接一螺杆23，所述螺杆23通过连接块251连接箱盖25，贯穿式丝杆电机22旋转驱动螺杆23螺纹位移带动箱盖25沿水平方向移动，当需要烘干花篮3中硅片时推动箱盖25关闭箱体1。
请参考图4，进一步的，所述连接块251两侧还设置导向杆24穿过所述墙体21，用于对箱盖25移动进行限位。
请参考图1，进一步的，所述花篮3包括两块固定板31以及设置在所述固定板31之间的五根支撑杆32，所述支撑杆32与固定板31围成放置硅片的空间，所述固定板31侧面具有吊耳33，相邻所述挡板131之间具有供所述吊耳33穿过的间隙(图中未标注)，便于花篮3放置。
本实用新型的具体工作流程如下：
通过机械臂(图中未示出)抓取多组花篮3放置在第一框体13和第二框体14上，贯穿式丝杆电机22启动，驱动螺杆23螺纹位移带动箱盖25沿水平方向向前移动，使箱盖25关闭箱体1。启动加热管17和风机19，对花篮3中硅片进行烘干，热风通过出风口15排出。烘干后启动贯穿式丝杆电机22反向转动，驱动螺杆23螺纹位移带动箱盖25沿水平方向向后移动，使箱盖25打开箱体1，机械臂抓取烘干的多组花篮3。
需要清洁烘箱时，只需拉动拉手将第二框体14取出，再将第一框体13取出即可清洁。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (9)
1.一种便捷的硅片清洗烘箱，其特征在于：包括箱体，所述箱体内具有中空结构，所述中空结构后端设置出风口，所述中空结构的底部开设凹槽，所述凹槽内设置至少两个凸台，所述凸台内设置风机，所述凸台与凹槽之间卡设有第二框体，所述第二框体远端设置滤网，所述第二框体用于承载花篮。
2.如权利要求1所述的一种便捷的硅片清洗烘箱，其特征在于：所述第二框体远端设置把手。
3.如权利要求1所述的一种便捷的硅片清洗烘箱，其特征在于：所述第二框体与凹槽之间还设置第一框体，所述第一框体两侧倾斜设置若干挡板。
4.如权利要求1所述的一种便捷的硅片清洗烘箱，其特征在于：所述箱体两侧的侧壁内设置加热管。
5.如权利要求1所述的一种便捷的硅片清洗烘箱，其特征在于：所述箱体近端设置排水口。
6.如权利要求1所述的一种便捷的硅片清洗烘箱，其特征在于：所述箱体近端设置四根底脚。
7.如权利要求1所述的一种便捷的硅片清洗烘箱，其特征在于：所述箱体后端上方具有墙体，所述硅片清洗烘箱还包括推板机构，所述推板机构包括设置在所述墙体上的贯穿式丝杆电机，所述贯穿式丝杆电机螺纹连接一螺杆，所述螺杆通过连接块连接箱盖，贯穿式丝杆电机旋转驱动螺杆螺纹位移带动箱盖沿水平方向移动。
8.如权利要求7所述的一种便捷的硅片清洗烘箱，其特征在于：所述连接块两侧还设置导向杆穿过所述墙体。
9.如权利要求3所述的一种便捷的硅片清洗烘箱，其特征在于：所述花篮包括两块固定板以及设置在所述固定板之间的若干支撑杆，所述支撑杆与固定板围成放置硅片的空间，所述固定板侧面具有吊耳，相邻所述挡板之间具有供所述吊耳穿过的间隙。
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Cited By (1)
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| CN118009647A (zh) * | 2024-04-09 | 2024-05-10 | 常州比太科技有限公司 | 一种硅片生产烘干装置及其烘干方法 |
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2023
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