CN220159288U - 一种光刻胶用除泡装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种光刻胶用除泡装置，涉及光刻胶加工技术领域。本实用新型包括底座，底座上表面固定有若干伸缩杆，伸缩杆外侧套接有拉簧；伸缩杆一端固定有放置板，放置板上表面开有放置槽；底座上表面固定有电机，电机输出轴固定有传动杆；放置板两侧均开有调节槽，调节槽内部滑动连接有调节块，调节块一侧固定有限位板；底座一侧固定有若干定位条，两定位条之间固定有连接杆；连接杆两端均固定有弹簧。本实用新型通过放置板的作用，放置板则不断的上下活动，带动除泡瓶产生震动，将除泡瓶中的气泡震出，以此达到除泡的目的，同时可以通过调节电机的转速来调节放置板的活动频率，以此便于工作人员根据情况调节放置板的振幅。

Description

一种光刻胶用除泡装置

技术领域

本实用新型属于光刻胶加工技术领域，特别是涉及一种光刻胶用除泡装置。

背景技术

在光刻胶涂布机的光刻胶传输系统中，光刻胶的输入端管路是直接插入到装有光刻胶的瓶子中的，在更换光阻瓶时，需要将光刻胶输入端的管路从当前光阻瓶中取出，然后放入到另一个光阻瓶中，这样就会导致光刻胶输入端的管路会有一段时间是直接暴露在空气中的，在此过程中光刻胶内部会出现大小不一的泡沫,使其涂布偏差,直接影响光化学反应,干扰图形转移,最终在硅片上形成大量缺陷。

现有的除泡一般采用专业的破泡装置或者通过注入氮气的方式破除光刻胶内部的气泡，但是这种方式成本较高，同时操作要求较为精细，无法在短时间内很好的去除光刻胶中的微小气泡。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种光刻胶用除泡装置，通过放置板的作用，放置板则不断的上下活动，带动除泡瓶产生震动，将除泡瓶中的气泡震出，以此达到除泡的目的，同时可以通过调节电机的转速来调节放置板的活动频率，以此便于工作人员根据情况调节放置板的振幅，解决了现有方式成本较高，同时操作要求较为精细，无法在短时间内很好的去除光刻胶中的微小气泡的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：

一种光刻胶用除泡装置，包括底座，所述底座上表面固定有若干伸缩杆，所述伸缩杆外侧套接有拉簧；

所述伸缩杆一端固定有放置板，所述放置板上表面开有放置槽；

所述底座上表面固定有电机，所述电机输出轴固定有传动杆；

所述放置板两侧均开有调节槽，所述调节槽内部滑动连接有调节块，所述调节块一侧固定有限位板；

所述底座一侧固定有若干定位条，两所述定位条之间固定有连接杆；

所述连接杆两端均固定有弹簧，所述弹簧一端固定有活动板，所述连接杆贯穿活动板，所述活动板与限位板固定连接；

所述放置槽上表面活动连接有除泡瓶。

本实用新型进一步设置为：所述放置槽内部固定有若干防滑条，所述防滑条采用橡胶材料制成。

本实用新型进一步设置为：所述底座上表面开有若干限位孔，所述限位孔内部活动连接有限位杆；

所述限位杆一端固定有遮光壳，所述遮光壳表面固定有观察窗；

所述观察窗采用茶色钢化玻璃制成。

本实用新型进一步设置为：所述遮光壳顶部固定有螺纹管，所述螺纹管内部螺纹连接有螺纹杆；

所述螺纹杆一端固定有轴承，所述轴承外圈固定有紧固板。

本实用新型进一步设置为：所述遮光壳上表面固定有抽气泵，所述抽气泵输出端固定有连接管，所述连接管一端贯穿紧固板。

本实用新型具有以下有益效果：

1、本实用新型通过放置板的作用，放置板则不断的上下活动，带动除泡瓶产生震动，将除泡瓶中的气泡震出，以此达到除泡的目的，同时可以通过调节电机的转速来调节放置板的活动频率，以此便于工作人员根据情况调节放置板的振幅。

2、本实用新型通过紧固板的作用，紧固板的四周盖在除泡瓶顶部外侧，并打开抽气泵，在震动过程中，产生的气泡可以被抽气泵及时抽走，避免空气再次进入光刻胶中，以此保障该装置的除泡效率。

当然，实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型一种光刻胶用除泡装置的结构示意图。

图2为本实用新型的放置板结构示意图。

图3为本实用新型的放置板后视视角结构示意图。

图4为本实用新型的遮光壳内部结构示意图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1-底座，2-伸缩杆，3-拉簧，4-放置板，5-放置槽，6-电机，7-传动杆，8-调节槽，9-调节块，10-限位板，11-定位条，12-连接杆，13-弹簧，14-活动板，15-除泡瓶，16-防滑条，17-限位孔，18-限位杆，19-遮光壳，20-观察窗，21-螺纹管，22-螺纹杆，23-轴承，24-紧固板，25-抽气泵，26-连接管。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互结合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。

需要指出的是，除非另有指明，本申请使用的所有技术和科学术语具有与本申请所属技术领域的普通技术人员通常理解的相同含义。

本实用新型中，在未作相反说明的情况下，使用的方位如“上、下”通常是针对附图所示的方向而言，或者是针对竖直、垂直或重力方向上而言的；同样地，为便于理解和描述，“左、右”通常是针对附图所示的左、右；“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内、外，但上述方位词并不用于限制本实用新型。

实施例一

请参阅图1-4，本实用新型提供以下技术方案：

具体地是指一种光刻胶用除泡装置，包括底座1，底座1上表面固定有若干伸缩杆2，伸缩杆2外侧套接有拉簧3；伸缩杆2一端固定有放置板4，放置板4上表面开有放置槽5；底座1上表面固定有电机6，电机6输出轴固定有传动杆7；放置板4两侧均开有调节槽8，调节槽8内部滑动连接有调节块9，调节块9一侧固定有限位板10；底座1一侧固定有若干定位条11，两定位条11之间固定有连接杆12；连接杆12两端均固定有弹簧13，弹簧13一端固定有活动板14，连接杆12贯穿活动板14，活动板14与限位板10固定连接；放置槽5上表面活动连接有除泡瓶15；放置槽5内部固定有若干防滑条16，防滑条16采用橡胶材料制成；本实用新型在使用时，将需要进行除泡的、装有光刻胶的除泡瓶15放在放置槽5内部，此时在弹簧13的作用力下，两侧的限位板10向中间靠拢，对除泡瓶15的两侧进行固定，固定好除泡瓶15之后，盖上遮光壳19，避免光线对光刻胶产生影响，同时打开电机6，电机6输出轴转动的同时，带动其一端的传动杆7转动，横截面为三角形的传动杆7不断的顶起放置板4，放置板4则不断的上下活动，带动除泡瓶15产生震动，将除泡瓶15中的气泡震出，以此达到除泡的目的，同时可以通过调节电机6的转速来调节放置板4的活动频率，以此便于工作人员根据情况调节放置板4的振幅。

实施例二

请参阅图4，在实施例一的基础上本实用新型提供以下技术方案：

底座1上表面开有若干限位孔17，限位孔17内部活动连接有限位杆18；限位杆18一端固定有遮光壳19，遮光壳19表面固定有观察窗20；观察窗20采用茶色钢化玻璃制成；遮光壳19顶部固定有螺纹管21，螺纹管21内部螺纹连接有螺纹杆22；螺纹杆22一端固定有轴承23，轴承23外圈固定有紧固板24；遮光壳19上表面固定有抽气泵25，抽气泵25输出端固定有连接管26，连接管26一端贯穿紧固板24；在使用时，转动螺纹杆22，螺纹杆22一端带动紧固板24活动，使得紧固板24的四周盖在除泡瓶15顶部外侧，并打开抽气泵25，在震动过程中，产生的气泡可以被抽气泵25及时抽走，避免空气再次进入光刻胶中，以此保障该装置的除泡效率。

本实用新型提供的一种光刻胶用除泡装置的工作原理如下：本实用新型在使用时，将需要进行除泡的、装有光刻胶的除泡瓶15放在放置槽5内部，此时在弹簧13的作用力下，两侧的限位板10向中间靠拢，对除泡瓶15的两侧进行固定，固定好除泡瓶15之后，盖上遮光壳19，避免光线对光刻胶产生影响，同时打开电机6，电机6输出轴转动的同时，带动其一端的传动杆7转动，横截面为三角形的传动杆7不断的顶起放置板4，放置板4则不断的上下活动，带动除泡瓶15产生震动，将除泡瓶15中的气泡震出；在使用时，转动螺纹杆22，螺纹杆22一端带动紧固板24活动，使得紧固板24的四周盖在除泡瓶15顶部外侧，并打开抽气泵25，在震动过程中，产生的气泡可以被抽气泵25及时抽走，避免空气再次进入光刻胶中。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (5)

1.一种光刻胶用除泡装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上表面固定有若干伸缩杆(2)，所述伸缩杆(2)外侧套接有拉簧(3)；

所述伸缩杆(2)一端固定有放置板(4)，所述放置板(4)上表面开有放置槽(5)；

所述底座(1)上表面固定有电机(6)，所述电机(6)输出轴固定有传动杆(7)；

所述放置板(4)两侧均开有调节槽(8)，所述调节槽(8)内部滑动连接有调节块(9)，所述调节块(9)一侧固定有限位板(10)；

所述底座(1)一侧固定有若干定位条(11)，两所述定位条(11)之间固定有连接杆(12)；

所述连接杆(12)两端均固定有弹簧(13)，所述弹簧(13)一端固定有活动板(14)，所述连接杆(12)贯穿活动板(14)，所述活动板(14)与限位板(10)固定连接；

所述放置槽(5)上表面活动连接有除泡瓶(15)。

2.根据权利要求1所述的一种光刻胶用除泡装置，其特征在于，所述放置槽(5)内部固定有若干防滑条(16)，所述防滑条(16)采用橡胶材料制成。

3.根据权利要求1所述的一种光刻胶用除泡装置，其特征在于，所述底座(1)上表面开有若干限位孔(17)，所述限位孔(17)内部活动连接有限位杆(18)；

所述限位杆(18)一端固定有遮光壳(19)，所述遮光壳(19)表面固定有观察窗(20)；

所述观察窗(20)采用茶色钢化玻璃制成。

4.根据权利要求3所述的一种光刻胶用除泡装置，其特征在于，所述遮光壳(19)顶部固定有螺纹管(21)，所述螺纹管(21)内部螺纹连接有螺纹杆(22)；

所述螺纹杆(22)一端固定有轴承(23)，所述轴承(23)外圈固定有紧固板(24)。

5.根据权利要求4所述的一种光刻胶用除泡装置，其特征在于，所述遮光壳(19)上表面固定有抽气泵(25)，所述抽气泵(25)输出端固定有连接管(26)，所述连接管(26)一端贯穿紧固板(24)。