CN220155499U - 一种晶圆加工用甩干机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及晶圆加工技术领域，公开了一种晶圆加工用甩干机，包括箱体和旋转桶，所述旋转桶的后部固定连接有螺纹套筒，所述螺纹套筒的内壁螺纹连接有螺纹接头，所述螺纹接头的前部固定连接有底板，所述底板的后侧中部转动连接有六边形金属杆，所述六边形金属杆的前端固定连接有齿轮，所述六边形金属杆的前端贯穿底板。本实用新型中，限位挡板可以防止晶圆跑偏，使得晶圆固定不产生缝隙，解决了甩干机高速运转时晶圆发生碰撞的问题，保护了晶圆，降低了成本，并且内部结构相互不固定，甩干后方便拆卸，解决了甩干后残留在甩干机内的杂质不易清洗的问题，降低甩干机生锈和被磨损的情况。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆加工技术领域，尤其涉及一种晶圆加工用甩干机。
背景技术
简单的来说，晶圆指的就是硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，其形状都是圆形，所以也被称作晶圆，内部是由硅组成的集成电路，其工艺流程最后需要进行清洗和甩干去除水分，去除水分的方法大多是用到甩干机进行水分甩干。
市面上有很多种的晶圆加工用甩干机，基本上都能实现自动化，但在甩干过程中不能对晶圆进行很好的限位，导致甩干机高速运转时晶圆发生碰撞，产生晶圆的损坏，增加了成本，并且甩干机甩干后其内部会留有大量的污水杂质，市面上甩干机大多为一体式不方便拆卸，使得甩干机生锈和被磨损，造成甩干机的损坏。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种晶圆加工用甩干机。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种晶圆加工用甩干机，包括箱体和旋转桶，所述旋转桶的后部固定连接有螺纹套筒，所述螺纹套筒的内壁螺纹连接有螺纹接头，所述螺纹接头的前部固定连接有底板，所述底板的后侧中部转动连接有六边形金属杆，所述六边形金属杆的前端固定连接有齿轮，所述六边形金属杆的前端贯穿底板，所述齿轮的上侧啮合连接有第一齿条，所述第一齿条的左端固定连接有第一挡板，所述齿轮的下侧啮合连接有第二齿条，所述第二齿条的右端固定连接有第二挡板。
作为上述技术方案的进一步描述：
所述箱体的内部后侧固定连接有电机，所述电机的输出端固定连接有旋转杆，所述旋转杆的中后部固定连接有圆形挡板，所述圆形挡板的前侧下部固定连接有第二伸缩杆，所述圆形挡板的前侧上部固定连接有第三伸缩杆，两个所述第二伸缩杆和第三伸缩杆的前端固定连接有金属管，所述旋转杆的前端固定连接按压套筒。
所述箱体的底部左右侧均固定连接有滑轮。
作为上述技术方案的进一步描述：
所述箱体的顶部前侧中部固定连接有控制器。
作为上述技术方案的进一步描述：
所述箱体的内部底端前侧固定连接有放置台，所述放置台的顶部设置有曲线凹槽。
作为上述技术方案的进一步描述：
所述齿轮的前侧固定连接有垫片。
作为上述技术方案的进一步描述：
所述旋转桶的前侧右端转动连接有盖板，所述盖板的左侧中部固定连接有第一伸缩杆。
作为上述技术方案的进一步描述：
所述盖板的前侧中部固定连接有卡扣。
本实用新型具有如下有益效果：
1、本实用新型中，利用齿轮齿条来活动限位挡板，限位挡板可以固定晶圆不跑偏，从而达到在甩干前将晶圆固定不产生缝隙，解决了甩干机高速运转时晶圆发生碰撞的问题，保护了晶圆，降低了成本。
2、本实用新型中，利用螺纹结构和卡扣内缩结构来固定转筒进行甩干，甩干后方便拆卸，解决了甩干后残留在甩干机内的杂质不易清洗的问题，降低甩干机生锈和被磨损的情况，减少了使用成本。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种晶圆加工用甩干机的正视图；
图2为本实用新型提出的一种晶圆加工用甩干机的正视局部结构拆分图；
图3为本实用新型提出的一种晶圆加工用甩干机的侧视局部结构拆分图；
图4为本实用新型提出的一种晶圆加工用甩干机的侧视局部结构拆分图。
图例说明：
1、箱体；2、放置台；3、滑轮；4、控制器；5、盖板；6、第一伸缩杆；7、卡扣；8、曲线凹槽；9、第一挡板；10、第二挡板；11、垫片；12、齿轮；13、第一齿条；14、第二齿条；15、底板；16、螺纹接头；17、螺纹套筒；18、旋转桶；19、按压套筒；20、第二伸缩杆；21、第三伸缩杆；22、圆形挡板；23、电机；24、旋转杆；25、金属管；26、六边形金属杆。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
参照图1-4，本实用新型提供的一种实施例：一种晶圆加工用甩干机，包括箱体1和旋转桶18，旋转桶18的后部固定连接有螺纹套筒17，螺纹套筒17的内壁螺纹连接有螺纹接头16，螺纹接头16的前部固定连接有底板15，使底板15和旋转桶18之间通过螺纹连接，使其在旋转时更加紧密，底板15的后侧中部转动连接有六边形金属杆26，六边形金属杆26的前端固定连接有齿轮12，六边形金属杆26的前端贯穿底板15，通过捏转六边形金属杆26带动齿轮12转动，齿轮12的上侧啮合连接有第一齿条13，第一齿条13的左端固定连接有第一挡板9，齿轮12的下侧啮合连接有第二齿条14，第二齿条14的右端固定连接有第二挡板10，齿轮12转动，带动第一齿条13和第二齿条14分别带动对应的第一挡板9和第二挡板10移动，第一挡板9和第二挡板10移动两者可同时向内或向外运动，第一挡板9和第二挡板10可以固定晶圆不跑偏，从而达到在甩干前将晶圆固定不产生缝隙，解决了甩干机高速运转时晶圆发生碰撞的问题，保护了晶圆，降低了成本。
箱体1的内部后侧固定连接有电机23，电机23的输出端固定连接有旋转杆24，电机23的输出端带动旋转杆24旋转，旋转杆24的中后部固定连接有圆形挡板22，圆形挡板22会跟随旋转杆24同时转动，圆形挡板22的前侧下部固定连接有第二伸缩杆20，圆形挡板22的前侧上部固定连接有第三伸缩杆21，第二伸缩杆20和第三伸缩杆21可在圆形挡板22上自由伸缩，第二伸缩杆20和第三伸缩杆21的前端固定连接有金属管25，第二伸缩杆20和第三伸缩杆21伸缩可使金属管25前后移动，旋转杆24的前端固定连接按压套筒19，金属管25向前运动后会挤压按压套筒19，使其加紧旋转桶18进行旋转，其各个结构之间都可拆卸，在甩干结束后可轻松拆卸机器进行清洗，解决了甩干后残留在甩干机内的杂质不易清洗的问题，降低甩干机生锈和被磨损的情况，减少了使用成本，箱体1的底部左右侧均固定连接有滑轮3，方便甩干机移动，箱体1的顶部前侧中部固定连接有控制器4，可控制甩干机速率，箱体1的内部底端前侧固定连接有放置台2，放置台2的顶部设置有曲线凹槽8，没有夹紧前放置旋转桶18，齿轮12的前侧固定连接有垫片11，防止晶圆和齿轮12直接接触，旋转桶18的前侧右端转动连接有盖板5，盖板5的左侧中部固定连接有第一伸缩杆6，关闭盖板5后进行固定，盖板5的前侧中部固定连接有卡扣7，方便固定盖板5。
工作原理：旋转桶18的后部固定连接有螺纹套筒17，螺纹套筒17的内壁螺纹连接有螺纹接头16，螺纹接头16的前部固定连接有底板15，使底板15和旋转桶18之间通过螺纹连接，使其在旋转时更加紧密，通过捏转六边形金属杆26带动齿轮12转动，齿轮12转动，带动第一齿条13和第二齿条14分别带动对应的第一挡板9和第二挡板10移动，第一挡板9和第二挡板10移动两者可同时向内或向外运动，第一挡板9和第二挡板10可以固定晶圆不跑偏，从而达到在甩干前将晶圆固定不产生缝隙，解决了甩干机高速运转时晶圆发生碰撞的问题，保护了晶圆，降低了成本，并且箱体1的内部后侧固定连接有电机23，电机23的输出端固定连接有旋转杆24，电机23的输出端带动旋转杆24旋转，圆形挡板22会跟随旋转杆24同时转动，第二伸缩杆20和第三伸缩杆21可在圆形挡板22上自由伸缩，第二伸缩杆20和第三伸缩杆21伸缩可使金属管25前后移动，金属管25向前运动后会挤压按压套筒19，使其加紧旋转桶18进行旋转，其各个结构之间都可拆卸，在甩干结束后可轻松拆卸机器进行清洗，解决了甩干后残留在甩干机内的杂质不易清洗的问题，降低甩干机生锈和被磨损的情况，减少了使用成本。
最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种晶圆加工用甩干机，包括箱体(1)和旋转桶(18)，其特征在于：所述旋转桶(18)的后部固定连接有螺纹套筒(17)，所述螺纹套筒(17)的内壁螺纹连接有螺纹接头(16)，所述螺纹接头(16)的前部固定连接有底板(15)，所述底板(15)的后侧中部转动连接有六边形金属杆(26)，所述六边形金属杆(26)的前端固定连接有齿轮(12)，所述六边形金属杆(26)的前端贯穿底板(15)，所述齿轮(12)的上侧啮合连接有第一齿条(13)，所述第一齿条(13)的左端固定连接有第一挡板(9)，所述齿轮(12)的下侧啮合连接有第二齿条(14)，所述第二齿条(14)的右端固定连接有第二挡板(10)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用甩干机，其特征在于：所述箱体(1)的内部后侧固定连接有电机(23)，所述电机(23)的输出端固定连接有旋转杆(24)，所述旋转杆(24)的中后部固定连接有圆形挡板(22)，所述圆形挡板(22)的前侧下部固定连接有第二伸缩杆(20)，所述圆形挡板(22)的前侧上部固定连接有第三伸缩杆(21)，两个所述第二伸缩杆(20)和第三伸缩杆(21)的前端固定连接有金属管(25)，所述旋转杆(24)的前端固定连接按压套筒(19)。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用甩干机，其特征在于：所述箱体(1)的底部左右侧均固定连接有滑轮(3)。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用甩干机，其特征在于：所述箱体(1)的顶部前侧中部固定连接有控制器(4)。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用甩干机，其特征在于：所述箱体(1)的内部底端前侧固定连接有放置台(2)，所述放置台(2)的顶部设置有曲线凹槽(8)。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用甩干机，其特征在于：所述齿轮(12)的前侧固定连接有垫片(11)。
7.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用甩干机，其特征在于：所述旋转桶(18)的前侧右端转动连接有盖板(5)，所述盖板(5)的左侧中部固定连接有第一伸缩杆(6)。
8.根据权利要求7所述的一种晶圆加工用甩干机，其特征在于：所述盖板(5)的前侧中部固定连接有卡扣(7)。
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