CN220113244U - 载台、清洁装置以及检测装置 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种载台、检测装置以及清洁装置。载台用于承载工件，包括底座、摆臂、摆臂驱动电机、活动板、驱动组件以及若干治具组件；其中，摆臂以第一方向为转轴转动地设于底座；摆臂驱动电机安装于底座或者摆臂，用于驱动摆臂绕着第一方向相对底座转动；治具组件用于固定工件，治具组件绕第二方向可转动地安装于摆臂，治具组件包括丝杆段，其中，第二方向垂直于第一方向；活动板设有若干个第一丝杆螺母，第一丝杆螺母套设于丝杆段并与丝杆段螺纹啮合；驱动组件用于驱动活动板沿着第二方向靠近和远离摆臂；其中，第一丝杆螺母随着活动板移动过程中，驱使丝杆段带动治具组件转动。该载台使产品检测或加工过程中工作效率提高、可靠性提高。

Description

载台、清洁装置以及检测装置

技术领域

本实用新型涉及自动化设备技术领域，尤其涉及载台、包括上述载台的检测装置和包括上述载台的清洁装置。

背景技术

在对一些工件进行加工或者处理之前，需要对工件的周壁进行检测或者清洁，以确认周壁是否有瑕疵和/或获取工件参数，或者擦拭掉工件周壁上的脏污。针对一些对精度和/或外观完美程度较高的工件来说，相应的检测或者清洁过程显得比较复杂和低效。

实用新型内容

本申请的目的是提供一种载台、检测装置以及清洁装置，该载台使产品检测或加工过程中工作效率提高、可靠性提高。

本申请实施例第一方面提供一种载台，用于承载工件，包括：底座、摆臂、摆臂驱动电机、活动板、驱动组件以及若干治具组件。其中，摆臂以第一方向为转轴可转动地设于所述底座；摆臂驱动电机安装于所述底座或者所述摆臂，用于驱动所述摆臂绕着所述第一方向相对所述底座转动；所述治具组件用于固定工件，所述治具组件绕第二方向可转动地安装于所述摆臂，所述治具组件包括丝杆段，其中，所述第二方向垂直于所述第一方向；活动板设有若干个第一丝杆螺母，所述第一丝杆螺母套设于所述丝杆段并与所述丝杆段螺纹啮合；驱动组件用于驱动所述活动板沿着所述第二方向靠近和远离所述摆臂；其中，所述第一丝杆螺母随着所述活动板移动过程中，驱使所述丝杆段带动所述治具组件转动。

在可能的实施方式中，所述驱动组件包括：丝杆、活动板驱动电机和第二丝杆螺母。其中，丝杆绕所述第二方向可转动地安装于所述摆臂；活动板驱动电机安装于所述摆臂，用于驱动所述丝杆绕所述第二方向转动；第二丝杆螺母安装于所述活动板，且其螺纹与所述丝杆啮合。

在可能的实施方式中，还包括支架，安装于所述摆臂朝向所述活动板的一侧；其中，所述丝杆通过轴承安装于所述支架，所述活动板驱动电机安装于所述支架，所述活动板驱动电机和所述丝杆分别包括远离所述摆臂的动力输出端和动力输入端。

在可能的实施方式中，所述活动板驱动电机布置在所述活动板的中段，且位于所述活动板沿所述第二方向的投影区域内；所述活动板包括避让部，所述活动板驱动电机穿过所述避让部；沿着所述第二方向，所述活动板位于所述丝杆和所述活动板驱动电机的中段。

在可能的实施方式中，还包括导向组件，分别连接所述摆臂与所述活动板，包括沿着所述第二方向延伸且相互适配的导向轴和导向套，所述导向组件用于限定所述活动板的移动轨迹。

在可能的实施方式中，所述导向组件至少有两组，且至少两组所述导向组件沿着垂直于所述第一方向和所述第二方向的方向间隔排布。

在可能的实施方式中，所述治具组件还包括具有吸附孔的承载台、具有中空气流通道的转轴，所述中空气流通道与所述吸附孔连通，所述丝杆段形成于所述转轴外周壁；所述底座和所述摆臂的连接处设置有供气管穿过的通孔，所述气管一端用于与外部负压系统连通、另一端通过防缠绕接头与所述中空气流通道连通，所述气管的至少部分固定在所述活动板上。

在可能的实施方式中，所述底座包括两个朝所述摆臂延伸的第一支腿，所述摆臂包括两个朝所述底座延伸的第二支腿；在所述第一方向上，两所述第二支腿均在所述第一支腿的外侧并分别转动连接；所述摆臂驱动电机从内侧安装于任一所述第一支腿，其输出端连接第二支腿。

在可能的实施方式中，所述丝杆段与所述第一丝杆螺母被配置为滚珠丝杆机构；和/或，所述丝杆与所述第二丝杆螺母被配置为滚珠丝杆机构。

在可能的实施方式中，所述丝杆段与所述第一丝杆螺母被配置为梯形丝杆机构；和/或，所述丝杆与所述第二丝杆螺母被配置为梯形丝杆机构。

在可能的实施方式中，还包括减速机构，减速机构包括外环以及可相对所述外环转动的内环，所述内环用于与所述摆臂驱动电机驱动连接；所述内环和所述外环中的一个与所述第一支腿连接，所述内环和所述外环中的另一个与所述第二支腿连接。

本申请实施例第二方面还提供一种检测装置，包括控制装置、用于获取所述工件图像的图像获取装置以及上述的载台，所述图像获取装置与所述控制装置信号连接。

本申请实施例第三方面还提供一种清洁装置，包括控制装置、用于擦拭所述工件周壁的擦拭装置以及上述的载台，所述擦拭装置与所述控制装置信号连接。

本申请中，驱动组件用于驱动活动板沿着第二方向靠近和远离摆臂，使得第一丝杆螺母沿着治具组件的丝杆段移动，以使所有治具组件同步绕第二方向相对摆臂转动；同时，摆臂绕第一方向转动时，实现所有治具组件同步随摆臂绕第一方向转动。该载台传动结构简单、可靠，可以长期稳定的运行。上述两种运动形式协同下，该载台可以让多个工件的姿态以较高的精度同步进行调整，使得工件的周壁朝向所需的位置，例如上方，方便同步的对工件周壁进行操作，例如拍摄或者擦拭等等。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例所提供的载台的整体结构示意图，其中隐藏了盖板；

图2为本实用新型实施例所提供的载台的局部结构示意图，其中隐藏了底座、摆臂驱动电机等特征；

图3为图2的沿A-A的剖面示图，其中的两处局部放大部分分别示意了丝杆段与第一丝杆螺母的配合、丝杆与第二丝杆螺母的配合；

图4为本实用新型实施例所提供的驱动组件的结构示意图；

图5为本实用新型实施例所提供的治具组件的结构示意图；

图6为图5沿B-B的剖示图，其视角做了一定调整；

图7为本实用新型实施例所提供的载台的整体结构示意图。

图8为本实用新型实施例所提供的载台的爆炸图。

需说明的是，清晰起见，附图中仅对丝杆段、丝杆、第一丝杆螺母以及第二丝杆螺母进行了简化示意。

其中：

10为底座、11为第一支腿；

20为摆臂、21为第二支腿；

30为摆臂驱动电机；

40为治具组件、41为承载台、411为吸附孔、42为转轴、421为中空气流通道、422为丝杆段；

50为活动板、51为第一丝杆螺母、52为避让部；

60为驱动组件、61为丝杆、62为活动板驱动电机、63为第二丝杆螺母；

70为支架、71为主体部分、72为延伸部分；

80为导向组件、81为导向轴、82为导向套；

90为盖板；

100为第一轮、110为第二轮、120为皮带；

130为减速机构、131为外环、132为内环；

X为第一方向、Y为第二方向。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

为了使本技术领域的技术人员更好地理解本申请方案，下面结合附图和具体实施方式对本申请作进一步的详细说明。

如附图1所示，并参考附图2、3。本实用新型提供一种载台，用于承载工件，包括底座10、摆臂20、摆臂驱动电机30、若干治具组件40、活动板50以及驱动组件60。其中，摆臂20以第一方向为转轴可转动地设于底座10；摆臂驱动电机30安装于底座10或者摆臂20，用于驱动摆臂20绕着第一方向相对底座10转动；治具组件40用于固定工件，治具组件40绕第二方向可转动地安装于摆臂20，治具组件40包括丝杆段422，其中，第二方向垂直于第一方向；活动板50设有若干个第一丝杆螺母51，第一丝杆螺母51套设于丝杆段422并与丝杆段422螺纹啮合；驱动组件60用于驱动活动板50沿着第二方向靠近和远离摆臂20。

具体地，以图1的方位为参考，在此状态下，摆臂20与底座10上下对应设置，四个治具组件40均穿设安装于摆臂20，且沿摆臂20的第一方向依次排列，同时治具组件40的丝杆段422沿第二方向延伸，活动板50位于底座10与摆臂20之间，具有与四个丝杆段422一一对应设置的四个第一丝杆螺母51，且所有第一丝杆螺母51与相对应的丝杆段422螺纹啮合，以使当驱动组件60驱动活动板50沿着第二方向靠近和远离摆臂20时，所有第一丝杆螺母51同步沿着相对应的丝杆段422靠近和远离摆臂20，第一丝杆螺母51可以使得丝杆段422正转或者反转，从而实现所有治具组件40同步绕第二方向转动。同时摆臂20绕第一方向转动时，实现所有治具组件40同步随摆臂20绕第一方向转动。该载台可以将所有产品除固定面以外的所有外部面，同步进行高精度姿态调整，使得检测装置能够自动捕捉产品的完整外部特征，以及能够在单位时间内检测更多的产品，从而提高了产品检测或加工的效率与可靠性。

在图1展示的实施例中，摆臂驱动电机30固定安装于底座10，其输出端连接摆臂20。但在可能的实施例中，摆臂驱动电机30也可以固定安装于摆臂20，而让其输出端连接于底座10。而且，摆臂驱动电机30的输出端可以直接连接于摆臂20或者底座10，也可以通过减速机构连接于摆臂20或者底座10。

需要说明的是，上述的第一方向为摆臂20的长度方向，即图1的X方向，第二方向垂直于摆臂的长度方向，即图1的Y方向，同时，摆臂驱动电机30采用伺服配套行星减速机的方式进行驱动。需说明的，图1中第二方向与Y方向共向仅仅是一种特殊的状态，实际使用中，Y方向时随着摆臂20转动变化的，但可以确定的，第二方向始终垂直于第一方向。

参考附图2、3。在本申请的一些实施例中，驱动组件60包括丝杆61、活动板驱动电机62与第二丝杆螺母63。其中，丝杆61绕第二方向可转动地安装于摆臂20；活动板驱动电机62安装于摆臂20，用于驱动丝杆61绕第二方向转动；第二丝杆螺母63安装于活动板50，且其螺纹与丝杆61啮合。

具体地，其中，丝杆61沿第二方向延伸，其输入端套设有第一轮100，另一端安装于摆臂20；活动板驱动电机62与丝杆61平行设置，其输出端套设有第二轮110，另一端安装于摆臂20，第一轮与第二轮之间通过皮带120传动，以使第二轮110带动第一轮100转动，从而实现丝杆61绕第二方向转动；同时第二丝杆螺母63安装于活动板50，且与丝杆61螺纹啮合，从而实现丝杆61驱动第二丝杆螺母63带着活动板50沿着第二方向靠近和远离摆臂20。

在其他可能的实施例中，驱动组件60也可以是其他形式，能够让活动板50沿着第二方向靠近和远离摆臂20，例如直线气缸等。

需要说明的是，活动板驱动电机62与丝杆61之间的传动方式不限于皮带传动，示例性地，可以是齿轮传动等。

附图3中两处局部放大部分分别示意了丝杆段422与第一丝杆螺母51的配合、丝杆61与第二丝杆螺母63的配合。在丝杆段422、丝杆63外壁设置外螺纹，在第一丝杆螺母51、第二丝杆螺母63内周壁设置内螺纹。基于内外螺纹的啮合关系，丝杆61绕着第二方向转动时，会驱动第二丝杆螺母63沿着第二方向直线移动；第一丝杆螺母51沿着第二方向直线移动时，会驱动丝杆段422绕着第二方向转动。可以理解的。结合上文描述，第二丝杆螺母63沿着第二方向直线移动会带着活动板50移动，而活动板50移动又进一步的带着第一丝杆螺母51移动，第一丝杆螺母51的移动又会进一步的通过丝杆段422转换的转动，从而实现本实施例的发明目的。

在一些实施方式中，丝杆段422与第一丝杆螺母51的传动副被配置为梯形丝杆机构，和或，丝杆61与第二丝杆螺母63传动副被配置为梯形丝杆机构。梯形丝杆机构结构简单、技术成熟，能够稳定地将旋转运动转换成直线运动、以及将直线运动转换成旋转运动。

更进一步地，如图3所示，丝杆段422与第一丝杆螺母51可以被配置为滚珠丝杆机构，和或，丝杆61与第二丝杆螺母63可以被配置为滚珠丝杆机构，即在丝杆61与第二丝杆螺母63之间、丝杆段422与第一丝杆螺母51之间设置若干滚珠，具体的，将若干滚珠设置在螺纹槽内。使用时，滚珠位于螺纹槽壁与丝杆螺母的内壁之间。如此配置，可以将传动过程中的部分滑动摩擦转换成滚动摩擦，使得传动机构更加敏感、精度更高；而且，也可以减少机构磨损。滚珠丝杆机构的配置的具体方法可以参照现有技术实现，本说明书不予赘述。

如附图1、3和4所示。在本申请的一些实施例中，该载台还包括支架70，安装于摆臂20朝向活动板50的一侧；其中，丝杆61通过轴承安装于支架70，活动板驱动电机62安装于支架70，活动板驱动电机62和丝杆61分别包括远离摆臂20的动力输出端和动力输入端。

活动板驱动电机62和丝杆61通过支架70间接安装于摆臂20上，具体的，支架70包括沿着第二方向延伸的主体部分71以及两端垂直于主体部分71延伸的延伸部分72，其中一延伸部分72用于连接至摆臂20上，活动板驱动电机62则安装于另一延伸部分72上；上述两延伸部分72上均设置轴承，丝杆61穿设于两轴承中，且远离摆臂20的一端伸出上述另一延伸部分72，在该一端上设置有动力输入端。第二丝杆螺母73套设于丝杆在上述两延伸部分72之间的杆段部分。上述的配置情况下，传动所涉及的各部件得以更稳定的固定，在动作过程中不易产生晃动，载台在整个工作过程中也能保持良好的稳定性以及传动精度。

在其他变形例中，驱动组件60可直接或间接安装于摆臂20。

参考附图1-3。在本申请的一些实施例中，活动板驱动电机62布置在活动板50的中段，且位于活动板50沿第二方向的投影区域内；活动板50包括避让部52，活动板驱动电机62穿过避让部52。摆臂20的重心更加靠近其几何中心，减少了在运动过程中因重量分布不均匀造成的局部过度磨损导致精度丢失的问题。沿着第二方向，活动板50位于丝杆61和活动板驱动电机62的中段，如此配置，使得载台的结构更加紧凑，且不影响活动板50的行程。

具体地，活动板驱动电机62和丝杆61均沿第二方向延伸，其一端穿过活动板50安装于摆臂20(或通过支架70安装于摆臂20)，另一端位于活动板50的正下方且互相传动连接。

参考附图1-2。在本申请的一些实施例中，该载台还包括导向组件80，分别连接摆臂20与活动板50，包括沿着第二方向延伸且相互适配的导向轴81和导向套82，导向组件80用于限定活动板50的移动轨迹。

具体地，导向套82安装于摆臂20，导向轴81的一端安装于活动板50，另一端设于导向套82内。当然，需要说明的是，导向组件80为导向轴81和导向套82但不限定于导向轴81和导向套82。导向组件80的作用下，进一步限制了活动板50的移动方向，减少了动作过程中丝杆61与第二丝杆螺母63之间、以及丝杆段422与第一丝杆螺母51之间偏心的可能，确保载台可以长期稳定的运行。

在本申请的一些实施例中，导向组件80至少有两组，且至少两组导向组件80沿着垂直于第一方向和第二方向的方向(载台的宽度方向)间隔排布。更进一步的，通过在宽度方向配置两组或者更多组导向组件80，提升了活动板50在宽度方向的稳定状态。

以图2的方位为参考，导向组件80排布方式为具体为4×2，治具组件40具体为四个，四个治具组件40沿摆臂20的第一方向间隔设置，驱动组件60位于中间相邻两个治具组件40之间，而两组导向组件80分别位于左右两边相邻两个治具组件40之间，每组导向组件80具体为两个，两个导向组件80沿活动板50的宽度方向间隔设置，这样对称设置的方式，增加了活动板50的移动稳定性。

如附图3、5和6所示。在本申请的一些实施例中，治具组件40还包括具有吸附孔411的承载台41、具有中空气流通道421的转轴42，中空气流通道421与吸附孔411连通，丝杆61段形成于转轴42外周壁；底座10和摆臂20的连接处设置有供气管穿过的通孔，气管一端用于与外部负压系统连通、另一端通过防缠绕接头与中空气流通道421连通，气管的至少部分固定在活动板50上。

具体地，转轴42伸出摆臂20顶部的一端套设有轴承座，承载台41设于轴承座上，也就是说，承载台41位于摆臂20的正上方，转轴42伸出活动板50底部的一端设有防缠绕的真空接头。这样一来，外部负压系统可依次通过气管、真空接头、中空气流通道421与吸附孔411将工件紧紧吸附在承载台41上。

如附图7、8所示。在本申请的一些实施例中，底座10包括两个朝摆臂20延伸的第一支腿11，摆臂20包括两个朝底座10延伸的第二支腿21；在第一方向上，两第二支腿21均在第一支腿11的外侧并分别转动连接；摆臂驱动电机30从内侧安装于任一第一支腿11，其输出端连接第二支腿21。

具体地，底座10包括沿第一方向延伸的底板，底板的两端朝摆臂20设有第一支腿11；对应地，摆臂20包括与底板平行设置的安装板，安装板的两端朝底板设有第二支腿21，第一支腿11与相对应的第二支腿21可转动连接；同时，其中任一个第一支腿11与相对应的第二支腿21的连接处具有供气管穿过的通孔，活动板50位于通孔的上端，这样一来，气管可贴合活动板50的底部延伸至通孔，使得气管的布置变得更加简洁。

需要说明的是，载台还包括盖板90，盖板90设于摆臂20上，且沿第二方向延伸至底座10，用于覆盖载台的传动部分，以密封传动部分。

附图8以爆炸图的形式示意了本实用新型实施例。未详述部分，可以参照上文进行理解。本实施例中，还配置了减速机构130，减速机构130连接于摆臂驱动电机30，将摆臂驱动电机30所输出的转速降低。减速机构130包括外环131和相对外环131转动的内环132，内环132传动连接于减速机构130内部的传动输出机构。具体的，减速机构130通过用紧固件将外环131锁定于第一支腿11的方式安装于底座，同时，用紧固件将内环132锁定于第二支腿21的，如此配置，在摆臂驱动电机30、减速机构130的共同作用下，摆臂20能够受驱动而相对底座转动。本实施例中，所采用的减速机构130为行星齿轮减速机，但在可行的方案中，减速机构130也可选用其他形式减速机，例如谐波减速机。此外，上述外环132、内外132分别与第一支腿11、第二支腿连接的关系也可互换。

在一些可能的实施方式中，底座10还被配置在线性模组上被驱动，从而使得载台整体能够移动。例如，能够从上料位置移动至检测位置或者清洁位置等。

本申请实施例所提供的载台，其摆臂20的摆动幅度和治具组件40的旋转幅度可以根据实际的需要做调整。例如，通过控制摆臂驱动电机30的转动角度或者通过减速机构，可以实现摆臂20摆动幅度的调整；通过调整丝杆段422或第一丝杆螺母51的螺纹圈数等，实现治具组件40旋转幅度的调整。具体的，本申请实施例中，将摆臂20的摆动幅度设置为90°，将治具组件40的旋转幅度设置为360°，此种配置的情况下，摆臂20先摆动90°，可以工件周壁朝上，此时在通过治具组件40旋转，使得工件可以旋转360°，工件周壁上的每一个点位都可以朝向。当然，摆臂20的正反摆动方向可以不做限制，治具组件40的旋转可以设置+360°或﹣360°或±180°等等。

本申请还提供一种检测装置，包括控制装置、用于获取工件图像的图像获取装置以及上述的载台，图像获取装置与控制装置信号连接。

具体地，上述的检测装置旨在实现对产品的外形特征尺寸或者完好程度进行全面检测，在实际运用过程中，主要配合相机进行使用，相机处于一个固定的角度，并可以自动调节焦距或者可以调整镜头与工件的距离，在检测过程中，载台可以将多个产品的周壁，同步进行高精度姿态调整，到达相机的视野中心，使得相机可以自动捕捉产品的完整外部特征。

本申请还提供一种清洁装置，包括控制装置、用于获擦拭工件周壁的擦拭装置以及上述的载台，擦拭装置与控制装置信号连接。

具体地，工件被装载至载台上后，基于摆臂20的摆动和治具组件40的转动，工件的姿态可以调整，使得工件的周壁可以朝向想要的方向，例如，上方。并在该方向上配置擦拭装置，擦拭装置与工件的周壁接触，通过治具组件40旋转，使得工件周壁相对擦拭装置移动，从而周壁上的脏污被擦拭干净。

本申请实施例所提供的检测装置和清洁装置，其优势之处未予详述部分，可以参考本说明书中其他对载台的相关描述。

需要说明的是，在本说明书中，诸如第一和第二之类的关系术语仅仅用来将一个实体与另外几个实体区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体之间存在任何这种实际的关系或者顺序。

本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以对本申请进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本申请权利要求的保护范围内。

Claims (13)

1.一种载台，用于承载工件，其特征在于，包括：

底座(10)；

摆臂(20)，以第一方向为转轴转动地设于所述底座(10)；

摆臂驱动电机(30)，安装于所述底座(10)或者所述摆臂(20)，用于驱动所述摆臂(20)绕着所述第一方向相对所述底座(10)转动；

若干治具组件(40)，所述治具组件(40)用于固定工件，所述治具组件(40)绕第二方向可转动地安装于所述摆臂(20)，所述治具组件(40)包括丝杆段(422)，其中，所述第二方向垂直于所述第一方向；

活动板(50)，设有若干个第一丝杆螺母(51)，所述第一丝杆螺母(51)套设于所述丝杆段(422)并与所述丝杆段(422)螺纹啮合；

驱动组件(60)，用于驱动所述活动板(50)沿着所述第二方向靠近和远离所述摆臂(20)；

其中，所述第一丝杆螺母(51)随着所述活动板(50)移动过程中，驱使所述丝杆段(422)带动所述治具组件(40)转动。

2.根据权利要求1所述的载台，其特征在于，所述驱动组件(60)包括：

丝杆(61)，绕所述第二方向可转动地安装于所述摆臂(20)；

活动板驱动电机(62)，安装于所述摆臂(20)，用于驱动所述丝杆(61)绕所述第二方向转动；

第二丝杆螺母(63)，安装于所述活动板(50)，且其螺纹与所述丝杆(61)啮合。

3.根据权利要求2所述的载台，其特征在于，还包括：

支架(70)，安装于所述摆臂(20)朝向所述活动板(50)的一侧；

其中，所述丝杆(61)通过轴承安装于所述支架(70)，所述活动板驱动电机(62)安装于所述支架(70)，所述活动板驱动电机(62)和所述丝杆(61)分别包括远离所述摆臂(20)的动力输出端和动力输入端。

4.根据权利要求3所述的载台，其特征在于：所述活动板驱动电机(62)布置在所述摆臂(20)的中段，且位于所述摆臂(20)沿所述第二方向的投影区域内；

所述活动板(50)包括避让部(52)，所述活动板驱动电机(62)穿过所述避让部(52)；

沿着所述第二方向，所述活动板(50)位于所述丝杆(61)和所述活动板驱动电机(62)的中段。

5.根据权利要求3所述的载台，其特征在于，还包括：

导向组件(80)，分别连接所述摆臂(20)与所述活动板(50)，包括沿着所述第二方向延伸且相互适配的导向轴(81)和导向套(82)，所述导向组件(80)用于限定所述活动板(50)的移动轨迹。

6.根据权利要求5所述的载台，其特征在于，所述导向组件(80)至少有两组，且至少两组所述导向组件(80)沿着垂直于所述第一方向和所述第二方向的方向间隔排布。

7.根据权利要求1至6任一项所述的载台，其特征在于，所述治具组件(40)还包括具有吸附孔(411)的承载台(41)、具有中空气流通道(421)的转轴(42)，所述中空气流通道(421)与所述吸附孔(411)连通，所述丝杆段(422)形成于所述转轴(42)外周壁；

所述底座(10)和所述摆臂(20)的连接处设置有供气管穿过的通孔，所述气管一端用于与外部负压系统连通、另一端通过防缠绕接头与所述中空气流通道连通，所述气管的至少部分固定在所述活动板(50)上。

8.根据权利要求1至6任一项所述的载台，其特征在于，所述底座(10)包括两个朝所述摆臂(20)延伸的第一支腿(11)，所述摆臂(20)包括两个朝所述底座延伸的第二支腿(21)；在所述第一方向上，两所述第二支腿(21)均在所述第一支腿(11)的外侧并分别转动连接；所述摆臂驱动电机从内侧安装于任一所述第一支腿(11)，其输出端连接所述第二支腿(21)。

9.根据权利要求2所述的载台，其特征在于，所述丝杆段(422)与所述第一丝杆螺母(51)被配置为滚珠丝杆机构；和/或，所述丝杆(61)与所述第二丝杆螺母(63)被配置为滚珠丝杆机构。

10.根据权利要求2所述的载台，其特征在于，所述丝杆段(422)与所述第一丝杆螺母(51)被配置为梯形丝杆机构；和/或，所述丝杆(61)与所述第二丝杆螺母(63)被配置为梯形丝杆机构。

11.根据权利要求8所述的载台，其特征在于，还包括：

减速机构(130)，包括外环(132)以及可相对所述外环(132)转动的内环(131)，所述内环(131)用于与所述摆臂驱动电机(30)驱动连接；所述内环(131)和所述外环(132)中的一个与所述第一支腿(11)连接，所述内环(131)和所述外环(132)中的另一个与所述第二支腿(21)连接。

12.一种检测装置，其特征在于，包括控制装置、用于获取所述工件图像的图像获取装置以及上述权利要求1至11任一项所述的载台，所述图像获取装置与所述控制装置信号连接。

13.一种清洁装置，其特征在于，包括控制装置、用于擦拭所述工件周壁的擦拭装置以及上述权利要求1至11任一项所述的载台，所述擦拭装置与所述控制装置信号连接。