CN220085981U - 一种晶圆片清洗装置 - Google Patents

Abstract

一种晶圆片清洗装置，属于晶圆片清洗装置技术领域。本实用新型包括箱体，箱体内腔的两侧均固定连接有滑轨，两个滑轨的内腔之间活动连接有滤板，滤板的顶部设置有支撑架，箱体内腔的顶部固定连接有连接杆，连接杆的底部固定连接有连接板，连接板的两侧均固定连接有电动伸缩杆，其中一个电动伸缩杆的底部固定连接有喷管，喷管连通有导流管，导流管贯穿至箱体的外侧并连通有水泵，水泵的底部连通有进水管，箱体内腔的底部固定连接有存储箱，进水管贯穿至存储箱的内部，喷管连通有连接管。通过滤板将使用后的纯水过滤再生，并存储至存储箱中，通过喷管、导流管、水泵和进水管相配合，将纯水再次使用对晶圆片进行冲洗，以实现纯水的重复利用。

Description

一种晶圆片清洗装置

技术领域

本实用新型属于晶圆片清洗装置技术领域，具体是涉及一种晶圆片清洗装置。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。

在晶圆片的清洗过程中，需要使用纯水进行高压清洗，但使用一次性的纯水清洗方式较为耗费纯水资源，具有一定的局限性，因此我们需要提出一种晶圆片清洗装置。

发明内容

本实用新型主要是解决上述现有技术所存在的技术问题，提供一种晶圆片清洗装置。

本实用新型的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：一种晶圆片清洗装置，包括箱体，所述箱体内腔的两侧均固定连接有滑轨，两个滑轨的内腔之间活动连接有滤板，所述滤板的顶部设置有支撑架，所述支撑架的内腔固定连接有旋转组件，所述箱体内腔的顶部固定连接有连接杆，所述连接杆的底部固定连接有连接板，所述连接板的两侧均固定连接有电动伸缩杆，其中一个所述电动伸缩杆的底部固定连接有喷管，所述喷管连通有导流管，所述导流管贯穿至箱体的外侧并连通有水泵，所述水泵的底部连通有进水管，所述箱体内腔的底部固定连接有存储箱，所述进水管贯穿至存储箱的内部，所述喷管连通有连接管，所述连接管贯穿至箱体的顶部，另外一个所述电动伸缩杆的底部固定连接有刮板，所述支撑架的内腔固定连接有支撑杆，所述支撑杆的顶部贯穿支撑架的顶部，并固定连接有放置板。

作为优选，所述放置板顶部的一侧固定连接有若干固定卡块，所述放置板顶部的另一侧通过扭簧连接有活动卡块。

作为优选，所述旋转组件包括电机，所述电机的底部与支撑架内腔的底部固定连接，所述电机的输出端固定连接有传动杆，所述传动杆的顶部固定连接有小齿轮，所述小齿轮啮合连接有大齿轮，所述大齿轮固定安装在支撑杆上。

作为优选，所述电机表面的底部套设有加固环，所述加固环的底部与支撑架内腔的底部固定连接。

作为优选，所述滑轨的顶部固定连接有连接块，所述连接块靠近箱体内壁的一侧与箱体内壁固定连接。

本实用新型具有的有益效果：本实用新型通过滤板将使用后的纯水过滤再生，并存储至存储箱中，通过喷管、导流管、水泵和进水管相配合，将纯水再次使用对晶圆片进行冲洗，以实现纯水的重复利用。本实用新型具备水循环、节省资源的效果，解决了现有在清洗晶圆片时，使用一次性的纯水清洗方式较为耗费纯水资源的问题。

附图说明

图1是本实用新型的一种结构示意图；

图2是本实用新型箱体的一种内部结构示意图；

图3是本实用新型旋转组件的一种结构示意图。

图中：1、箱体；2、箱门；3、滑轨；4、滤板；5、支撑架；6、旋转组件；601、电机；602、传动杆；603、小齿轮；604、大齿轮；605、加固环；7、连接杆；8、连接板；9、电动伸缩杆；10、喷管；11、导流管；12、水泵；13、进水管；14、存储箱；15、连接管；16、刮板；17、连接块；18、限位环；19、连接座；20、支撑杆；21、放置板；22、固位环；23、固定卡块；24、扭簧；25、活动卡块。

具体实施方式

下面通过实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步具体的说明。

实施例：一种晶圆片清洗装置，如图1-图3所示，包括箱体1，箱体1的前侧通过轴销活动连接有箱门2，箱体1内腔的两侧均固定连接有滑轨3，两个滑轨3的内腔之间活动连接有滤板4，滤板4的顶部设置有支撑架5，支撑架5的内腔固定连接有旋转组件6，箱体1内腔的顶部固定连接有连接杆7，连接杆7的底部固定连接有连接板8，连接板8的两侧均固定连接有电动伸缩杆9，其中一个电动伸缩杆9的底部固定连接有喷管10，喷管10连通有导流管11，导流管11的左侧贯穿至箱体1的外侧并连通有水泵12，水泵12的底部连通有进水管13，箱体1内腔的底部固定连接有存储箱14，进水管13的右侧贯穿至存储箱14的内部，喷管10连通有连接管15，连接管15的顶部贯穿至箱体1的顶部，另外一个电动伸缩杆9的底部固定连接有刮板16，支撑架5内腔的底部通过轴承座固定连接有支撑杆20，支撑杆20的顶部贯穿支撑架5的顶部，并固定连接有放置板21，放置板21顶部的一侧固定连接有若干固定卡块23，放置板21顶部的另一侧通过扭簧24连接有活动卡块25。

如图2和图3所示，旋转组件6包括电机601，电机601的底部与支撑架5内腔的底部固定连接，电机601的输出端固定连接有传动杆602，传动杆602的顶部固定连接有小齿轮603，小齿轮603的左侧啮合连接有大齿轮604，大齿轮604固定安装在支撑杆20上，电机601表面的底部套设有加固环605，加固环605的底部与支撑架5内腔的底部固定连接。

通过电机601、传动杆602、小齿轮603和大齿轮604的配合使用，当需要对晶圆片进行清洗时，先将活动卡块25向后拨动，然后从活动卡块25方向将晶圆片放置于放置板21的顶部，且位于固定卡块23的下方，随后松开活动卡块25，活动卡块25在扭簧24弹力的作用下复位，将晶圆片进行整体限位；随后将连接管15的外端连通输送纯水的管道，此时外部通过压力将纯水通过连接管15注入喷管10的内部，对晶圆片进行冲洗；与此同时，电机601的输出端通过传动杆602带动小齿轮603转动，小齿轮603啮合大齿轮604，大齿轮604带动支撑杆20顶部的放置板21进行旋转，以此来带动晶圆片进行匀速旋转，再配合喷管10内的纯水对晶圆片的表面进行冲洗。通过设置加固环605，加固环605与支撑架5内腔的底部固定连接，起到了对电机601的定位作用。

在冲洗过程中，纯水不断向下流淌，并通过滤板4过滤再生后落入存储箱14的内部，随着存储箱14内部的纯水不断增加，外接纯水的管道关闭，水泵12打开，水泵12通过进水管13将存储箱14内部的纯水向上泵送至导流管11，经导流管11将纯水再次通过喷管10对晶圆片的表面进行冲洗；冲洗后，承载着喷管10的电动伸缩杆9上升，另外一个电动伸缩杆9将延伸，并带动刮板16下降，以此来对晶圆片表面的水渍进行刮除清理，达到良好的清洗效果。

如图1所示，滑轨3顶部的前侧和后侧均固定连接有连接块17，连接块17靠近箱体1内壁的一侧与箱体1内壁固定连接。通过设置连接块17，连接块17与箱体1的内壁固定连接，起到了对滑轨3的定位作用。

水泵12的右侧固定连接有连接座19，连接座19的右侧与箱体1固定连接。通过设置连接座19，连接座19与箱体1固定连接，起到了对水泵12的定位作用。

如图2所示，电动伸缩杆9的表面套设有限位环18，限位环18的底部与连接板8固定连接。通过设置限位环18，限位环18与连接板8固定连接，起到了对电动伸缩杆9的加固作用。

如图3所示，支撑杆20表面的顶部套设有固位环22，固位环22的顶部与放置板21固定连接。通过设置固位环22，固位环22与放置板21固定连接，起到了对支撑杆20在旋转时进行限位的作用。

最后，应当指出，以上实施例仅是本实用新型较有代表性的例子。显然，本实用新型不限于上述实施例，还可以有许多变形。凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均应认为属于本实用新型的保护范围。

Claims (5)

1.一种晶圆片清洗装置，包括箱体(1)，其特征在于，所述箱体(1)内腔的两侧均固定连接有滑轨(3)，两个滑轨(3)的内腔之间活动连接有滤板(4)，所述滤板(4)的顶部设置有支撑架(5)，所述支撑架(5)的内腔固定连接有旋转组件(6)，所述箱体(1)内腔的顶部固定连接有连接杆(7)，所述连接杆(7)的底部固定连接有连接板(8)，所述连接板(8)的两侧均固定连接有电动伸缩杆(9)，其中一个所述电动伸缩杆(9)的底部固定连接有喷管(10)，所述喷管(10)连通有导流管(11)，所述导流管(11)贯穿至箱体(1)的外侧并连通有水泵(12)，所述水泵(12)的底部连通有进水管(13)，所述箱体(1)内腔的底部固定连接有存储箱(14)，所述进水管(13)贯穿至存储箱(14)的内部，所述喷管(10)连通有连接管(15)，所述连接管(15)贯穿至箱体(1)的顶部，另外一个所述电动伸缩杆(9)的底部固定连接有刮板(16)，所述支撑架(5)的内腔固定连接有支撑杆(20)，所述支撑杆(20)的顶部贯穿支撑架(5)的顶部，并固定连接有放置板(21)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆片清洗装置，其特征在于，所述放置板(21)顶部的一侧固定连接有若干固定卡块(23)，所述放置板(21)顶部的另一侧通过扭簧(24)连接有活动卡块(25)。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆片清洗装置，其特征在于，所述旋转组件(6)包括电机(601)，所述电机(601)的底部与支撑架(5)内腔的底部固定连接，所述电机(601)的输出端固定连接有传动杆(602)，所述传动杆(602)的顶部固定连接有小齿轮(603)，所述小齿轮(603)啮合连接有大齿轮(604)，所述大齿轮(604)固定安装在支撑杆(20)上。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆片清洗装置，其特征在于，所述电机(601)表面的底部套设有加固环(605)，所述加固环(605)的底部与支撑架(5)内腔的底部固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆片清洗装置，其特征在于，所述滑轨(3)的顶部固定连接有连接块(17)，所述连接块(17)靠近箱体(1)内壁的一侧与箱体(1)内壁固定连接。