CN220029615U - 一种卧式硅棒检测机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种卧式硅棒检测机构，其包括支架和两组传感器组件；所述支架包括分别设在上料机构两侧的立柱和连接两个立柱的横梁，所述横梁长度方向与夹紧机构的两个夹头的轴线空间平行；两组所述传感器组件沿横梁长度方向相对活动连接在横梁上；每组传感器组件包括Y向距离传感器和Z向距离传感器，两组所述传感器组件的Y向距离传感器测量硅棒两端垂直方向距离的距离差；两组所述传感器组件的Z向距离传感器测量硅棒两端高度方向距离的距离差，采用以上方案直接对上料机构中的待加工的硅棒两端的位置进行检测，方便上料机构上的硅棒位置进行调整，提升硅棒上料精度，减小硅棒加工处理的误差，实现打磨标准化。

Description

一种卧式硅棒检测机构

技术领域

本实用新型涉及磨削辅助设备领域，尤其涉及一种卧式硅棒检测机构。

背景技术

现有的磨削装置主要用于将作为待加工件的开方后的硅棒磨削加工至设定的规格。包括对开方后的硅棒表面进行平整(开方后的硅棒表面并不平整，通常其中间部分较之于两端部分凸起，硅棒出刀口尺寸大于入刀口尺寸)或对硅棒进行倒角(减少装配过程中因锐边割伤)，磨削装置通常包括上料组件、进给组件以及磨削组件。如首先将开方后的硅棒固定至上料组件，对其所处的位置进行后一定的初步调节后，将硅棒送达至进给组件的两个夹头之间，如两个夹头可以均为动夹头或者一个夹头为动夹头一个夹头为定夹头。通过的硅棒轴向运动，将硅棒送达磨削组件从而对硅棒的磨削面进行包括粗磨和精磨在内的磨削加工。

由于硅棒的规格不同且同种规格的硅棒的外形尺寸也有区别，因此，在将硅棒放在上料平台上的情形下，硅棒的轴线与两个夹头的轴线之间通常存在一定的位置偏差。此外，由于磨削前的硅棒表面本身存在不平整的现象，硅棒的轴线与两个夹头的轴线之间还存在一定的角度偏差。显然，位置偏差和角度偏差的存在均会对两根轴线的同轴度产生影响，而两根轴线之间的同轴度在磨床上则表现为硅棒的上料精度。上述位置偏差和角度偏差中的任一环节的不达标将会影响硅棒的上料精度，上料精度的降低通常会表现为不同程度的硅棒磨削量的增加、硅损提高，从而导致磨床的加工效率降低、硅棒的表面质量降低。

专利号为CN218639221U的对中组件以及包括该对中组件的磨床，公开了包括：夹板组，其包括对置的第一夹板和第二夹板，所述第一夹板和所述第二夹板分别配置有能够检测待加工件的位姿的探针组；以及齿轮齿条机构，其包括齿轮以及分别与所述齿轮啮合的第一齿条和第二齿条；其中，所述第一夹板和所述第二夹板均包括安装部分，所述探针组设置于所述安装部分，所述第一齿条和所述第二齿条分别与所述第一夹板和所述第二夹板的夹板主体固定连接，通过所述齿轮与所述第一齿条和所述第二齿条的啮合带动所述第一夹板和所述第二夹板的夹板主体向靠近彼此的方向活动进而将待加工件夹持，通过使所述探针组和/或待加工件活动的方式，使得所述探针组能够检测待加工件的位姿。通过这样的设置，本实用新型能够实现与上料组件相适配的对中、姿态测量功能。但是上述结构需要探针组夹持待加工件才能检测待加工件夹持位置，结构复杂，操作复杂；另外该结构在第一夹板和所述第二夹板相向运动中，会在中部产生碰撞，相互干扰，使该结构无法正常工作。

实用新型内容

为此，需要提供一种直接对上料机构中的硅棒两端的位置进行检测的卧式硅棒检测机构，解决现有技术中需要探针组夹持待加工件才能检测待加工件夹持位置的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种卧式硅棒检测机构，设于磨削装置中上料机构前进方向，用于在夹紧机构的两个夹头夹夹紧硅棒两端前对上料机构上的硅棒位置进行检测，其包括支架和两组传感器组件；所述支架包括分别设在上料机构两侧的立柱和连接两个立柱的横梁，所述横梁长度方向与夹紧机构的两个夹头的轴线空间平行；两组所述传感器组件沿横梁长度方向相对活动连接在横梁上；每组传感器组件包括Y向距离传感器和Z向距离传感器，两组所述传感器组件的Y向距离传感器测量硅棒两端垂直方向距离的距离差；两组所述传感器组件的Z向距离传感器测量硅棒两端高度方向距离的距离差。

进一步地，两组所述传感器组件沿横梁长度方向滑动连接横梁上。

进一步地，所述横梁一侧面沿横梁长度方向设有滑动组件，所述滑动组件包括滑轨和滑块，所述滑轨上滑动连接两个滑块，两组传感器组件分别设在对应端的滑块上，由一个滑块带动对应的传感器组件与另一个滑块带动对应的传感器组件相向或相背活动。

进一步地，滑轨组件具有两组，两组所述滑轨组件上下间隔平行设在横梁的一侧面，两组所述传感器组件分别对应设置在对应端的两个滑块上，由两个滑块带动对应的传感器组件与另两个滑块带动对应的传感器组件相向或相背活动。

进一步地，所述横梁上设有驱动组件，驱动组件带动滑动组件上两个滑块相向或相背滑动。

进一步地，所述驱动组件还包括螺杆、螺母座和电机，所述滑动组件上的两个滑块分别与所述螺母座固定连接，两个螺母座的内螺纹相反设置；所述螺杆与两个螺母座螺纹连接；所述电机设在横梁任意一端，其输出轴与螺杆连接。

进一步地，其还包括调零组件，所述调零组件包括调零感应片和调零传感器，所述调零感应片设在横梁顶部，所述调零传感器与调零感应片对应端的传感器组件一同活动连接在横梁上。

进一步地，其还包括限位传感器和限位感应片，所述限位传感器与传感器组件一同活动连接在横梁上，所述限位感应片设在限位传感器对应端的横梁端部。

进一步地，滑块或/和螺母座背离横梁一面上分别设有固定座，固定座向顶部上设有固定板一，所述限位传感器和调零传感器设在固定板一上，调零传感器和限位传感器高于横梁顶部的高度，限位传感器的探针朝向上料机构内硅棒；固定座底部向下延伸有固定板二，所述Y向距离传感器固定在固定板二上，Y向距离传感器的低于横梁底部的高度，Y向距离传感器的探针朝向上料机构内硅棒的侧面；两个固定座相向延伸有固定板三，所述Z向距离传感器固定在固定板三上，Z向距离传感器的探针朝向上料机构内硅棒的顶面。

进一步地，两组所述传感器组件沿横梁长度方向滑动连接横梁一侧面；所述横梁的一端开设滑槽，其中一组传感器组件的Z向距离传感器设在横梁另一侧面，通过滑槽滑动连接在横梁一侧面上。

区别于现有技术，上述技术方案采用两组传感器组件，每组传感器组件包括Y向距离传感器和Z向距离传感器；其中Y向距离传感器测量硅棒的侧面与Y向距离传感器的垂直距离，即两组传感器组件中的Y向距离传感器分别测量硅棒两端与Y向距离传感器的距离，获得硅棒两端垂直方向距离的距离差；其中Z向距离传感器测量硅棒顶面与Z向距离传感器的高度距离，即两组传感器组件中的Z向距离传感器分别测量硅棒两端与Z向距离传感器的距离，获得硅棒两端高度方向距离的距离差；无需夹持待加工的硅棒，直接对上料机构中的待加工的硅棒两端的位置进行检测，方便夹紧机构的两个夹头夹夹紧硅棒两端前对上料机构上的硅棒位置进行调整，提升硅棒上料精度，减小硅棒加工处理的误差，实现打磨标准化。

附图说明

图1为磨削装置立体结构示意图；

图2为具体实施方式所述一种卧式硅棒检测机构立体结构示意图；

图3为具体实施方式所述一种卧式硅棒检测机构立体结构示意图；

图4为图3中A处放大示意图；

图5为图3另一方向卧式硅棒检测机构立体结构示意图。

附图标记说明：

10、上料机构；

20、卧式硅棒检测机构；

201、立柱；

2011、底座；

2012、立杆；

2013、加强筋；

202、横梁；

2021、滑槽；

203、滑动组件；

2031、滑轨；

2032、滑块；

2033、限位块；

2041、螺母座；

2042、螺杆；

2043、电机；

2044、螺母座；

2051、Y向限位传感器；

2052、Z向距离传感器；

2053、固定座；

2054、固定板一；

2055、固定板二；

2056、固定板三；

2061、Y向距离传感器；

2062、Z向距离传感器；

2063、固定座；

2064、固定板一；

2065、固定板二；

2066、固定板三；

207、调零组件；

2071、调零感应片；

2072、调零传感器；

208、限位传感器；

209、限位感应片；

30、夹紧机构；

40、硅棒。

具体实施方式

为详细说明技术方案的技术内容、构造特征、所实现目的及效果，以下结合具体实施例并配合附图详予说明。

在本文中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中各个位置出现的“实施例”一词并不一定指代相同的实施例，亦不特别限定其与其它实施例之间的独立性或关联性。原则上，在本申请中，只要不存在技术矛盾或冲突，各实施例中所提到的各项技术特征均可以以任意方式进行组合，以形成相应的可实施的技术方案。

除非另有定义，本文所使用的技术术语的含义与本申请所属技术领域的技术人员通常理解的含义相同；本文中对相关术语的使用只是为了描述具体的实施例，而不是旨在限制本申请。

在本申请的描述中，用语“和/或”是用于描述对象之间逻辑关系的表述，表示可以存在三种关系，例如A和/或B，表示：存在A，存在B，以及同时存在A和B这三种情况。另外，本文中字符“/”一般表示前后关联对象是一类“或”的逻辑关系。

在本申请中，诸如“第一”和“第二”之类的用语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何实际的数量、主次或顺序等关系。

在没有更多限制的情况下，在本申请中，语句中所使用的“包括”、“包含”、“具有”或者其他类似的表述，意在涵盖非排他性的包含，这些表述并不排除在包括所述要素的过程、方法或者产品中还可以存在另外的要素，从而使得包括一系列要素的过程、方法或者产品中不仅可以包括那些限定的要素，而且还可以包括没有明确列出的其他要素，或者还包括为这种过程、方法或者产品所固有的要素。

与《审查指南》中的理解相同，在本申请中，“大于”、“小于”、“超过”等表述理解为不包括本数；“以上”、“以下”、“以内”等表述理解为包括本数。此外，在本申请实施例的描述中“多个”的含义是两个以上(包括两个)，与之类似的与“多”相关的表述亦做此类理解，例如“多组”、“多次”等，除非另有明确具体的限定。

在本申请实施例的描述中，所使用的与空间相关的表述，诸如“中心”“纵向”“横向”“长度”“宽度”“厚度”“上”“下”“前”“后”“左”“右”“竖直”“水平”“垂直”“顶”“底”“内”“外”“顺时针”“逆时针”“轴向”“径向”“周向”等，所指示的方位或位置关系是基于具体实施例或附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请的具体实施例或便于读者理解，而不是指示或暗示所指的装置或部件必须具有特定的位置、特定的方位、或以特定的方位构造或操作，因此不能理解为对本申请实施例的限制。

除非另有明确的规定或限定，在本申请实施例的描述中，所使用的“安装”“相连”“连接”“固定”“设置”等用语应做广义理解。例如，所述“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体设置；其可以是机械连接，也可以是电连接，也可以是通信连接；其可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连；其可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本申请所属技术领域的技术人员而言，可以根据具体情况理解上述用语在本申请实施例中的具体含义。

参见图1到图5所示，建立XYZ坐标轴，方便理解本实用新型所阐述的Y向和Z向分别为前后方向和上下方向，本实施例提供一种卧式硅棒检测机构20，设于磨削装置中上料机构10中给进方向的一侧，用于在夹紧机构30夹持硅棒40前对上料机构10中的硅棒40位置先进行检测，其包括支架和两组传感器组件；每组传感器组件包括Y向距离传感器2051、2061和Z向距离传感器2052、2062；其中Y向距离传感器2051、2061测量硅棒40的侧面与Y向距离传感器2051、2061的垂直距离，即两组传感器组件中的Y向距离传感器2051、2061分别测量硅棒两端与Y向距离传感器2051、2061的距离，获得硅棒40两端垂直方向距离的距离差；其中Z向距离传感器2052、2062测量硅棒顶面与Z向距离传感器2052、2062的高度距离，即两组传感器组件中的Z向距离传感器2052、2062分别测量硅棒40两端与Z向距离传感器2052、2062的距离，获得硅棒40两端高度方向距离的距离差；无需夹持待加工的硅棒，直接对上料机构10中的待加工的硅棒40两端的位置进行检测，方便夹紧机构30的两个夹头夹夹紧硅棒40两端前对上料机构10上的硅棒40位置进行调整，提升硅棒40上料精度，减小硅棒40加工处理的误差，实现打磨标准化。

参见图2所示，本实施方案的具体实施方式为，所述支架包括分别设在上料机构101两端外的立柱201和连接两个立柱201的横梁202，所述横梁202长度方向与夹紧机构30的两个夹头的轴线(所述轴线为两个夹头相向面的中心连接成的线)空间平行；两组所述传感器组件沿横梁长度方向相对活动(所述相对活动指两组传感器组件内对应的传感器相向或相背活动，或者一组传感器组件内的传感器向或背离另一组传感器组件内对应的传感器)连接在横梁202上；每组传感器组件包括Y向距离传感器2051、2061和Z向距离传感器2052、2062，两组所述传感器组件的Y向距离传感器2051、2061测量硅棒40两端垂直方向距离的距离差；两组所述传感器组件的Z向距离传感器2052、2062测量硅棒40两端高度方向距离的距离差。方便夹紧机构30的两个夹头夹夹紧硅棒40两端前对上料机构10上的硅棒40位置沿Y轴进行Z向的调整和沿Z轴进行Y向的调整。上述的立柱201的包括立杆2012和底座2011，立杆2012固定在底座2011上，当然为了加强立柱的稳固性，可以在立杆2012和底座2011之间加设加强筋2013。

上述实施方案的具体实施方式中，由于硅棒40长短不一，相对活动中一组传感器组件内的传感器向或背离另一组传感器组件内对应的传感器活动，存在固定的那组传感器组件内的传感器感应不到硅棒40，即无法工作，因此，优选两组传感器组件内对应的传感器相向或相背活动。为了减少传感器组件中Y向距离传感器2051、2061和Z向距离传感器2052、2062相向或相背活动中所运用到的活动组件，简化相对活动结构，可以将每组传感器组件中Y向距离传感器2051、2061和Z向距离传感器2052、2062共用一个活动组件，使其一同活动连接在横梁上。所述的相对活动可以有多种，具体可以是由多个连杆转动连接形成的连杆组件，连杆组件转动连接在横梁上，将传感器组件设在连杆上，通过转动连杆调节两组传感器组件相向或相背活动。由于连杆组件转动连杆难以精确，优选两组所述传感器组件沿横梁长度方向相对滑动连接横梁上。

优选的两组所述传感器组件沿横梁202长度方向相对滑动连接横梁202上，具体可以是横梁202一侧面沿横梁202长度方向设有滑动组件，所述滑动组件203包括滑轨2031和滑块2032，所述滑轨2031上滑动连接两个滑块2032，两个滑块2032相向或相背滑动，两组传感器组件分别设在对应端的滑块2032上，由一个滑块2032带动对应的传感器组件与另一个滑块2032带动对应的传感器组件相向或相背活动。采用滑动组件调节两组传感器组件相向或相背活动更为直观，且调节也更为简单，当然为防止滑块2032滑出滑轨2031，滑动组件203还包括限位块2033，所述限位块2033设在滑轨2031两端。

为保证两组传感组件在横梁202两端的相向或相背活动更为精确，可以增设驱动组件，驱动组件的电机带动两个滑块2032相向或相背滑动。驱动组件中的电机可以是伸缩缸，伸缩缸分别设在在横梁两端，伸缩缸推拉对应侧的滑块2032相向或相背滑动；当然为了保证两组传感组件在横梁上的位移相同，驱动组件优选为电机2043、螺杆2042和两个螺母座2041、2044，两个所述螺母座2041、2044分别与对应端的滑块2032固定连接，两个螺母座2041、2044的内螺纹相反设置；所述螺杆2042与两个螺母座2041、2044螺纹连接；所述电机2043设在横梁202任意一端，电机2043的输出轴与螺杆2042连接。工作时，驱动组件的电机2043驱动，带动螺杆2042转动，使两个螺母座2041、2044带着对应侧的滑块2032相向或相背运动。

为了使滑动更为稳定，可以在上述优选的具体实施方式的基础下将再增设一组滑动组件203，两组所述滑动组件203上下间隔平行设在横梁202的一侧面，可以将螺母座2041、2044固定在上下两组所述滑动组件203的滑块2032间隔处。由两个滑块2032带动对应的传感器组件与另两个滑块2032带动对应的传感器组件相向或相背活动。此时传感器组件可以设在滑块2032或/和螺母座2041、2044背离横梁202的一面。

为两组传感器在检测结束，重新开始下一次检测，可以增设调零组件207，所述调零组件包括调零感应片2071和调零传感器2072，所述调零感应片2071设在横梁202顶部(介于横梁202中部和两端之间)，所述调零传感器2072与调零感应片2071对应端的传感器组件一同活动连接在横梁202上，即调零传感器2072与调零感应片2071对应端的传感器组件一同固定在滑动组件203对应端的滑块2032上。当驱动组件驱动滑动组件203带动对应的传感器组件相向滑动时，与调零感应片2071对应端的调零传感器2072检测到调零感应片2071，停止驱动组件上的电机2043输出轴转动，使滑动组件203上的滑块2032停止在横梁202上相向滑动，控制驱动组件上的电机2043输出轴反向转动，使滑动组件203上的滑块2032在横梁202上相背滑动一段距离，进而使两组传感器组件在横梁202上相背活动一定距离到达设定位置。

为了实现检测机构自动避停的需求，对传感器组件的移动边界进行限位停止，其包括限位传感器208和限位感应片209，所述限位传感器208可以设在任意一组传感器组件上，即限位传感器208与任意一组传感器组件一同固定在滑动组件203对应端的滑块2032上。优选未设置调零传感器2072的传感器组件，限位感应片209设在限位传感器208对应端的横梁端部，当限位传感器208感应到横梁端部设置的限位感应片209后，随即控制传感器组件停止运动，防止传感器组件已经处于移动边界后，还一直往边界移动，而发生故障。

两组所述传感器组件、调零传感器2072以及限位传感器208的固定在滑动组件上的结构可以多种，可以是固定滑块2032或/和螺母座2041、2044背离横梁202的一面，本实施例中滑块2032和螺母座2041、2044背离横梁202一面分别设有固定座2053、2063，固定座2053、2063的顶部分别设有固定板一2054、2064，所述限位传感器208和调零传感器2072分别设在固定板一2054、2064上，限位传感器208和调零传感器2072高于横梁202顶部的高度，限位传感器208的探针朝向上料机构10上的硅棒40；固定板一2054、2064优选为L型，其一面固定在对应滑块2032顶面，另一面固定在对应固定座2053、2063上，其固定限位传感器208和调零传感器2072的同时，加固了固定座2053、2063与滑块2032和螺母座2041、2044连接；固定座2053、2063底部向下延伸有固定板二，所述Y向距离传感器固定在固定板二2055、2065上，Y向距离传感器2051、2061的低于横梁202底部的高度，Y向距离传感器2051、2061的探针朝向上料机构10上硅棒40的侧面；两个固定座2053、2063相向延伸有固定板三2056、2066，所述Z向距离传感器2052、2062固定在固定板三2056、2066上，Z向距离传感器2052、2062的探针朝向上料机构10上硅棒40的顶面。

在上述具体实施方式的基础上进行改进，两组所述传感器组件沿横梁202长度方向滑动连接横梁202一侧面；所述横梁202的一端开设滑槽2021，其中一组传感器组件的Z向距离传感器2052设在横梁202另一侧面，通过滑槽2021滑动连接在横梁202一侧面上，即其中一组传感器组件的固定板三2056穿过滑槽2021向设在横梁202另一侧面延伸，Z向距离传感器2052固定在固定板三2056的延伸处，处于横梁202另一侧面；使两组传感器组件的Z向距离传感器2052、2062分别处于横梁202的两个侧面。由于固定板三2056、2066是在固定座2053、2063相向的延伸，如果两组传感器组件的Z向距离传感器2052、2062处于由于横梁202同一侧面，当两个滑块2032同时相向移动，即使二者不发生碰撞，但是两组传感器组件在横梁202上的滑动距离就会非常小，不利于检测较短的硅棒。因此开设滑槽2021将其中一组传感器组件的Z向距离传感器2052设置到横梁202另一侧面可避免干涉，移动到中间的时候，两组传感器组件的Z向距离传感器2052、2062相互错开。

本新型所采用的感应、识别、测量、检测、控制等功能均基于现有技术的软件实现，不涉及对软件的改进。其工作原理如下：

两组所述传感器组件开始工作前，先进行调零设置，即驱动组件的驱动电机2043驱动，带动螺杆2042转动，使两个螺母座2041、2044带着对应侧的滑块2032相向运动，当调零传感器2072感应到调零感应片2071时，根据系统设定距离，驱动组件的驱动电机2043驱动，带动螺杆2042转动，使两个螺母座2041、2044带着对应侧的滑块2032相背运动一定距离到达设定位置。

两组所述传感器组件开始工作，两组传感器组件的Y向距离传感器2051、2061分别测量该Y向距离传感器2051、2061到对应端硅棒40侧面的距离，检测两组传感器组件的Y向距离传感器2051、2061测量得到的距离是否相同，若不相同，对硅棒40两端的沿Z轴对Y向进行调整，直到相同；当上料机构101上的硅棒40移动到两组传感器组件的Z向距离传感器2052、2062的下方，两组传感器组件的Z向距离传感器分别测量该Z向距离传感器2052、2062到对应端硅棒40顶面的距离，检测两组传感器组件的Z向距离传感器2052、2062测量得到的距离是否相同，若不相同，对硅棒40两端的沿X轴对Z向进行调整，直到相同。当然上述对硅棒40两端的Y向和Z向的调整可以人工调整也可以通过其他机构实现，其不属于本实用新型保护范围。

需要说明的是，尽管在本文中已经对上述各实施例进行了描述，但并非因此限制本实用新型的专利保护范围。因此，基于本实用新型的创新理念，对本文所述实施例进行的变更和修改，或利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，直接或间接地将以上技术方案运用在其他相关的技术领域，均包括在本实用新型专利的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种卧式硅棒检测机构，设于磨削装置中上料机构前进方向，用于在夹紧机构的两个夹头夹夹紧硅棒两端前对上料机构上的硅棒位置进行检测，其特征在于：包括支架和两组传感器组件；所述支架包括分别设在上料机构两侧的立柱和连接两个立柱的横梁，所述横梁长度方向与夹紧机构的两个夹头的轴线空间平行；两组所述传感器组件沿横梁长度方向相对活动连接在横梁上；每组传感器组件包括Y向距离传感器和Z向距离传感器，两组所述传感器组件的Y向距离传感器测量硅棒两端垂直方向距离的距离差；两组所述传感器组件的Z向距离传感器测量硅棒两端高度方向距离的距离差。

2.根据权利要求1所述的一种卧式硅棒检测机构，其特征在于：两组所述传感器组件沿横梁长度方向滑动连接横梁上。

3.根据权利要求2所述的一种卧式硅棒检测机构，其特征在于：所述横梁一侧面沿横梁长度方向设有滑动组件，所述滑动组件包括滑轨和滑块，所述滑轨上滑动连接两个滑块，两组传感器组件分别设在对应端的滑块上，由一个滑块带动对应的传感器组件与另一个滑块带动对应的传感器组件相向或相背活动。

4.根据权利要求3所述的一种卧式硅棒检测机构，其特征在于：滑轨组件具有两组，两组所述滑轨组件上下间隔平行设在横梁的一侧面，两组所述传感器组件分别对应设置在对应端的两个滑块上，由两个滑块带动对应的传感器组件与另两个滑块带动对应的传感器组件相向或相背活动。

5.根据权利要求3所述的一种卧式硅棒检测机构，其特征在于：所述横梁上设有驱动组件，驱动组件带动滑动组件上两个滑块相向或相背滑动。

6.根据权利要求5所述的一种卧式硅棒检测机构，其特征在于：所述驱动组件还包括螺杆、螺母座和电机，所述滑动组件上的两个滑块分别与所述螺母座固定连接，两个螺母座的内螺纹相反设置；所述螺杆与两个螺母座螺纹连接；所述电机设在横梁任意一端，其输出轴与螺杆连接。

7.根据权利要求1所述的一种卧式硅棒检测机构，其特征在于：其还包括调零组件，所述调零组件包括调零感应片和调零传感器，所述调零感应片设在横梁顶部，所述调零传感器与调零感应片对应端的传感器组件一同活动连接在横梁上。

8.根据权利要求7所述的一种卧式硅棒检测机构，其特征在于：其还包括限位传感器和限位感应片，所述限位传感器与传感器组件一同活动连接在横梁上，所述限位感应片设在限位传感器对应端的横梁端部。

9.根据权利要求8所述的一种卧式硅棒检测机构，其特征在于：滑块或/和螺母座背离横梁一面上分别设有固定座，固定座向顶部上设有固定板一，所述限位传感器和调零传感器设在固定板一上，调零传感器和限位传感器高于横梁顶部的高度，限位传感器的探针朝向上料机构内硅棒；固定座底部向下延伸有固定板二，所述Y向距离传感器固定在固定板二上，Y向距离传感器的低于横梁底部的高度，Y向距离传感器的探针朝向上料机构内硅棒的侧面；两个固定座相向延伸有固定板三，所述Z向距离传感器固定在固定板三上，Z向距离传感器的探针朝向上料机构内硅棒的顶面。

10.根据权利要求1-9任意一项所述的一种卧式硅棒检测机构，其特征在于：两组所述传感器组件沿横梁长度方向滑动连接横梁一侧面；所述横梁的一端开设滑槽，其中一组传感器组件的Z向距离传感器设在横梁另一侧面，通过滑槽滑动连接在横梁一侧面上。