CN218639221U - 对中组件以及包括该对中组件的磨床 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及磨床等设备中的对中技术领域,具体提供了一种对中组件以及包括该对中组件的磨床,旨在提供一种能够与提高上料精度的上料组件相适配的对中组件。为此目的,本实用新型的对中组件包括:夹板组,其包括对置的第一夹板和第二夹板,所述第一夹板和所述第二夹板分别配置有能够检测待加工件的位姿的探针组;以及齿轮齿条机构,其包括齿轮以及分别与所述齿轮啮合的第一齿条和第二齿条;其中,所述第一夹板和所述第二夹板均包括安装部分,所述探针组设置于所述安装部分,通过使所述探针组和/或待加工件活动的方式,使得所述探针组能够检测待加工件的位姿。通过这样的设置,本实用新型能够实现与上料组件相适配的对中、姿态测量功能。
Description
技术领域
本实用新型涉及磨床等设备的调整技术领域,具体提供一种对中组件以及包括该对中组件的磨床。
背景技术
磨床是对硬脆材料进行磨削加工的设备。如磨床通常包括上料组件、进给组件以及磨削组件。以硬脆材料的件为硅棒为例,如首先将开方后的硅棒固定至上料组件,对其所处的位置和姿态进行后一定的初步调节后,将硅棒送达至进给组件的两个夹头之间,如两个夹头可以均为动夹头或者一个夹头为动夹头一个夹头为定夹头。通过的硅棒轴向运动,将硅棒送达磨削组件从而对第一组待磨削面进行包括粗磨和精磨在内的磨削加工。之后,通过使硅棒的旋转,从而转动至第二组待磨削面,在此基础上,对该第二组待磨削面进行包括粗磨和精磨在内的磨削加工。如此重复,直至硅棒所有的待磨削面按照设定的磨削标准被磨削。
仍以硬脆材料的件为硅棒为例,由于硅棒的规格不同且同种规格的硅棒的外形尺寸也有区别,因此,在将硅棒放在上料平台上的情形下,硅棒的轴线与两个夹头的轴线之间通常存在一定的位置偏差。此外,由于磨削前的硅棒表面本身存在不平整的现象,硅棒的轴线与两个夹头的轴线之间还存在一定的角度偏差。显然,位置偏差和角度偏差的存在均会对两根轴线的同轴度产生影响,而两根轴线之间的同轴度在磨床上则表现为硅棒的上料精度。上述位置偏差和角度偏差中的任一环节的不达标将会影响硅棒的上料精度,上料精度的降低通常会表现为不同程度的硅棒磨削量的增加、硅损提高,从而导致磨床的加工效率降低、硅棒的表面质量降低。其中,上料组件和进给组件通过对中组件衔接,故而需要对对中组件进行相应的改进。
实用新型内容
本实用新型旨在提供一种与能够提高上料精度的上料组件相适配的对中组件。
在第一方面,本实用新型提供了一种对中组件,该对中组件包括:夹板组,其包括对置的第一夹板和第二夹板,所述第一夹板和所述第二夹板分别配置有能够检测待加工件的位姿的探针组;以及齿轮齿条机构,其包括齿轮以及与分别与所述齿轮啮合的第一齿条和第二齿条;其中,所述第一夹板和所述第二夹板均包括夹板主体以及与所述夹板主体固定连接或者一体成型的安装部,所述探针组设置于所述安装部,所述第一齿条和所述第二齿条分别与所述第一夹板和所述第二夹板的夹板主体固定连接,从而:通过所述齿轮与所述第一齿条和所述第二齿条的啮合带动所述第一夹板和所述第二夹板的夹板主体向靠近彼此的方向活动进而将待加工件夹持,通过使所述探针组和/或待加工件活动的方式,使得所述探针组能够检测待加工件的位姿。
通过这样的构成,给出了对中组件的一种可能的结构形式。
可以理解的是,本领域技术人员可以根据实际需求确定对应于第一夹板和第二夹板的夹板主体以及安装部的结构形式及其与探针组的对应关系。如可以是:对应于第一夹板和第二夹板的安装部分可以大致相同(如沿对中组件的中部对称设置)或者有所区别;探针组包括多个探针的情形下,安装部件可以包括对应于多个探针的多个子部分,可以将多个子部分中的至少一部分合成为同一个结构(如在一个L型板的两个板面上分别设置有探针1和探针2)。以安装部件包括多个子部分为例,如多个子部分之间可以固定连接或者一体成型。
对于上述对中组件,在一种可能的实施方式中,所述探针组包括:第一探针,通过使待加工件以活动的方式靠近所述第一探针使得所述第一探针能够检测到待加工件的位姿;以及第二探针,所述第二探针以可活动的方式设置于所述对中组件并使得所述第二探针能够检测到待加工件的位姿。
通过这样的构成,给出了探针组的一种构成方式。
可以理解的是,本领域技术人员可以根据实际需求确定第一、第二探针的检测方式(如接触或者非接触)、能够检测的待加工件的位姿(位置和姿态)形式以及具体的设置位置等。
对于上述对中组件,在一种可能的实施方式中,所述第一安装板上设置有第一驱动部件,所述第一驱动部件与所述第一探头驱动连接,从而带动所述第一探头沿竖直方向伸缩运动。
对于上述对中组件,在一种可能的实施方式中,所述第一驱动部件为动力缸或者电机。
通过这样的构成,给出了第一驱动部件的可能的结构形式,
如动力缸可以为电缸、气缸、液缸等。此时,第一探针与作为动力输出轴与活塞直接相连即可。
如在第一驱动部件为电机的情形下,电机的轴应当通过与如丝杠螺母副等传动机构与第一探针间接相连以实现第一探针沿竖直方向的伸缩运动。
对于上述对中组件,在一种可能的实施方式中,所述探针组包括第一探针和第二探针,所述安装部包括固定设置或者一体成型的第一安装部分和第二安装部分,其中,所述第一探针和所述驱动部件设置于所述第一安装部分,所述第二探针沿待加工件的进料方向固定设置于所述第二安装部分。
通过这样的构成,给出了安装部的一种可能的结构形式。
可以理解的是,本领域技术人员可以根据实际需求确定第一/第二安装部分的具体结构形式以及二者之间的设置方位、第一探针可活动地设置于第一安装部分所依赖的具体结构以及第二探针固定设置于第二安装部分的具体方式等,如第一/第二安装部分可以为板状结构、柱状结构、块状结构等。
对于上述对中组件,在一种可能的实施方式中,所述对中组件包括底板,所述底板上设置有导轨或者所述导槽,所述夹板组能够沿所述导轨或者所述导槽滑动。
通过这样的构成,保证了夹板组中的两个夹板在靠近/远离彼此过程中的平稳性。
可以理解的是,由于安装部和夹板主体之间为固定连接或者一体成型的结构,因此,与导轨或者导槽配合的结构可以是安装部、夹板或者额外增设的结构,本领域技术人员可以根据实际情况灵活选择。
对于上述对中组件,在一种可能的实施方式中,所述第一安装部分与所述导轨或者所述导槽滑动配合。
通过这样的构成,给出了滑动配合的一种具体的位置。
对于上述对中组件,在一种可能的实施方式中,所述安装部分还包括连接部分,所述连接部分设置于所述第二安装部分和所述第一安装部分之间并与所述第一安装部分和/或所述第二安装部分固定连接或者一体成型。
通过这样的构成,给出了安装部的一种具体的结构形式。如连接部分可以为横向板、斜板、折板、曲面板、条状结构等。
对于上述对中组件,在一种可能的实施方式中,所述齿轮设置于所述底板靠近中部的位置,所述对中组件包括第二驱动部件,所述第二驱动部件设置于底板并与所述齿轮驱动连接。
通过这样的构成,给出了对中组件的一种具体的结构形式。如第二驱动部件为电机。
在第二方面,本实用新型提供了一种磨床,该磨床包括前述任一项所述的对中组件。
可以理解的是,该磨床具有前述任一项所述的对中组件的所有技术效果,在此不再赘述。
对于上述磨床,在一种可能的实施方式中,所述磨床包括上料装置,所述上料装置包括所述对中组件。
通过这样的构成,给出了对中组件与磨床之间的可能的关联方式。
对于上述磨床,在一种可能的实施方式中,所述上料装置包括上料平台,所述对中组件设置于所述上料平台。
通过这样的构成,给出了对中组件在磨床上的一种具体的配置方式。
对于上述磨床,在一种可能的实施方式中,所述磨床为加工硅棒的磨床。
通过这样的构成,给出了待加工件的一种具体的形式。
附图说明
下面以待加工件为待磨削的硅棒(下文简称硅棒)为例并参照附图来描述本实用新型的优选实施方式,附图中:
图1示出本实用新型一种实施例的磨床的结构示意图;
图2示出本实用新型一种实施例的磨床的上料装置的结构示意图一,该图示出了对中组件;
图3示出本实用新型一种实施例的磨床的上料装置的结构示意图二,该图未示出对中组件;
图4示出本实用新型一种实施例的磨床的上料装置中抬升组件的剖视示意图;
图5示出本实用新型一种实施例的磨床的上料装置中抬升组件的剖视示意图一,图中示出了抬升组件的内部结构;
图6示出本实用新型一种实施例的磨床的上料装置中抬升组件的剖视示意图二,图中示出了偏心轴的安装细节;
图7示出本实用新型一种实施例的磨床的上料装置的夹持组件中夹持活动端组件的结构示意图;
图8示出本实用新型一种实施例的磨床的上料装置的夹持组件中夹持固定端组件的结构示意图;
图9示出本实用新型一种实施例的磨床的上料装置的夹持组件中夹持固定端组件的剖视(局部)示意图;
图10示出本实用新型一种实施例的磨床的上料装置中上料台组件的结构示意图;
图11示出本实用新型一种实施例的磨床的对中组件的结构示意图;
图12示出图11中局部A的放大示意图;
图13示出本实用新型一种实施例的磨床的进给滑台装置的结构示意图;
图14示出本实用新型一种实施例的磨床的磨削装置中粗磨砂轮的结构示意图;
图15示出本实用新型一种实施例的磨床的磨削装置中检测组件的结构示意图;以及
图16示出本实用新型一种实施例的磨床的磨削装置中检测组件的检测状态示意图。
附图标记列表:
磨床1、底座101、立式框架102、上料装置11、上料组件111、抬升组件1111、第一底板11111、电缸11112、传动板11113、斜面111131、第一升降轮111141、第二升降轮111142、封板111143、托板11115、托板主体111151、支撑板111152、连接块11116、连接轴1117、关节轴承11171、复位弹簧1118、第一轮轴111191、第一调整电机1111911、第二轮轴111192、封板1111921、夹持组件1112、夹持活动端组件11121、第一气缸111211、X轴导轨滑块111212、Y轴导轨滑块111213、活动端复位弹簧111214、活动夹持板111215、夹持固定端组件11122、固定夹持板111221、第二底板1112221、调整板1112222、定位块1112223、螺钉11122231、第二调整电机1112224、调整顶块1112225、调整楔块1112226、对中组件112、第三底板1121、齿轮11240、第一齿条11241、第二齿条11242、第一夹板11251、第二夹板11252、夹板主体112521、第一安装板112522、槽1125221、连接槽1125222、第二安装板112523、连接板112524、支撑结构112525、第一探针11261、第二气缸112611、第二探针11262、上料台组件113、上料平台1131、下料平台1132、上下料电机11331、第一滚珠丝杠11332、第一导轨滑块11333、风琴护罩11334、进给滑台装置12、滑台壳体1201、滑台驱动电机1202、第二滚珠丝杠1203、丝杠座1204、第二导轨滑块1205、定夹头121、定夹头旋转电机1211、动夹头122、动夹头旋转电机1221、动夹头驱动电机1222、磨削装置13、粗磨砂轮131、粗磨电机1311、第四滚珠丝杠1312、第四导轨滑块1313、支架1314、精磨砂轮132、检测组件133、基座1331、基板1332、滑板1333、第三探针1334、第三气缸1335、第五导轨滑块1336、硅棒2。
具体实施方式
下面参照附图来描述本实用新型的优选实施方式。本领域技术人员应当理解的是,这些实施方式仅仅用于解释本实用新型的技术原理,并非旨在限制本实用新型的保护范围。
需要说明的是,在本实用新型的描述中,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方向或位置关系的术语是基于附图所示的方向或位置关系,这仅仅是为了便于描述,而不是指示或暗示所述装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
此外,还需要说明的是,在本实用新型的描述中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“设置”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,还可以是两个元件内部的连通。对于本领域技术人员而言,可根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
另外,为了更好地说明本实用新型,在下文的具体实施方式中给出了众多的具体细节,本领域技术人员应当理解,没有某些具体细节,本实用新型同样可以实施。在一些实例中,对于本领域技术人员熟知的磨床的原理等未作详细描述,以便于凸显本实用新型的主旨。
为了便于描述,本实用新型首先定义出这样的硅棒的三维坐标系。硅棒的中心为原点,硅棒在磨床上的进料方向的反方向为X轴正向,硅棒在磨床上的进给方向为Y轴正向,竖直向上的方向为Z轴正向。基于此,本实用新型的上料组件实现的精度调整主要包括四个维度:使硅棒沿Z轴抬升一定的距离(下文称作沿Z轴的位置调整)、沿X轴移动一定的距离(下文称作沿X轴的位置调整)、绕Z轴方向旋转一定的角度(下文称作沿Z轴的角度调整)和绕X轴方向旋转一定的角度(下文称作沿X轴的角度调整)。按照图1中的方位,X轴正向为自后向前,Y轴正向为自左向右,Z轴正向为竖直向上。与之相对应,沿X/Y/Z轴的位置调整为前后/左右/竖直方向移动一定的距离,沿X/Y/Z轴的角度调整为前后/左右/竖直方向的轴转动一定的距离。
如图1至图16所示,图1示出本实用新型一种实施例的磨床的结构示意图,图2示出本实用新型一种实施例的磨床的上料装置的结构示意图一,图3示出本实用新型一种实施例的磨床的上料装置的结构示意图二,图4示出本实用新型一种实施例的磨床的上料装置中抬升组件的剖视示意图,图5示出本实用新型一种实施例的磨床的上料装置中抬升组件的剖视示意图一,图6示出本实用新型一种实施例的磨床的上料装置中抬升组件的剖视示意图二,图7示出本实用新型一种实施例的磨床的上料装置的夹持组件中夹持活动端组件的结构示意图,图8示出本实用新型一种实施例的磨床的上料装置的夹持组件中夹持固定端组件的结构示意图,图9示出本实用新型一种实施例的磨床的上料装置的夹持组件中夹持固定端组件的剖视示意图,图10示出本实用新型一种实施例的磨床的上料装置中上料台组件的结构示意图,图11示出本实用新型一种实施例的磨床的对中组件的结构示意图,图12示出图11中局部A的放大示意图,图13示出本实用新型一种实施例的磨床的进给滑台装置的结构示意图,图14示出本实用新型一种实施例的磨床的磨削装置中粗磨砂轮的结构示意图,图15示出本实用新型一种实施例的磨床的磨削装置中检测组件的结构示意图,图16示出本实用新型一种实施例的磨床的磨削装置中检测组件的检测状态示意图。下面参照图1至图16中的部分或者全部来描述本实用新型。
主要参照图1,在一种可能的实施方式中,磨床1的主体部分主要包括底座101、设置于底部立式框架102,底座101具备一定的水平调整功能,从而为磨床1的上料装置11、磨削装置13等结构提供一个水平程度较高的安装面。其中,立式框架102的顶部设置有导轨,进给滑台装置12安装于导轨上。磨床主要用于将作为待加工件的开方后的硅棒2磨削加工至设定的规格。具体而言,理想状态下,开方后的硅棒2通常是宽度和高度相等的长方体。但在实际中,开方后的硅棒2的表面并不平整,如通常情形下表现为:硅棒的中间部分较之于两端部分凸起,硅棒出刀口尺寸大于入刀口尺寸(金刚线切出端面的正方形的边长大于金刚线切入端面的正方形的边长)。因此,需要通过磨床将开方后的硅棒磨削至标准规格的理想长方体。
主要参照图2和图3,在一种可能的实施方式中,上料装置11主要用于将硅棒调整到适合的位置和角度后,进给滑台装置12的定夹头121和动夹头122夹紧硅棒2。为了减小磨削量、降低硅损,提高磨削效率,磨床1需要一个很高的上料精度。在上料精度达标的情形下,硅棒2的理想轴线与动、定夹头121之间的轴线应当有较高的同轴度。本实用新型主要是通过上料装置的调整使得同轴度达到较为理想的水平。
在一种可能的实施方式中,上料装置11主要包括上料组件111、对中组件112和上料台组件113。其中,上料组件111和上料台组件113需要在前述的四个维度上对硅棒2的位置和姿态(下文称作位姿)进行调整,对中组件112用于主要确定上料组件111对硅棒2的位姿的调整量。具体而言,上料组件111主要包括抬升组件1111和夹持组件1112。根据对中组件112的检测结果,抬升组件1111主要用于对硅棒2进行沿Z轴的位置调整和沿X轴的角度调整(竖直平面内的转动),夹持组件1112主要用于对硅棒2进行沿Z轴的角度调整(水平面内的转动)。上料台组件113主要用于使夹持有硅棒2的上料组件111移动至对中组件112处的过程中,对硅棒进行沿X轴的位置调整。基于此,在上料组件111完成对硅棒在四个维度上的调整之后,使(定、动)夹头夹紧位姿达标的硅棒,至此上料过程完成。
主要参照图4至图6,在一种可能的实施方式中,抬升组件1111主要包括第一底板11111、电缸11112、作为传动部件的传动板11113、升降轮组以及托板11115,其中,升降轮组包括第一升降轮111141(如第一升降轮包括设置于第一轮轴111191上的两个轮单体)和第二升降轮111142,传动板11113在对应于第一升降轮111141和第二升降轮111142的位置分别具有作为引导面的自左向右向下倾斜的斜面111131。
在本示例中,电缸11112的动力输出轴与传动板11113之间的连接方式为:第一底板11111上设置有连接块11116,连接块11116一方面借助于螺钉等紧固件与处于第一底板11111上方的传动板11113固定连接,连接块11116的下方具有伸出端,相应地,电缸11112的动力输出轴上设置有的与伸出端匹配的环槽,连接块11116另一方面通过伸出端与环槽的配合与电缸11112相连接。
这样一来,电缸11112的动力输出轴向右伸出时,便可带动设置于壳体底部的传动板11113同步向右运动。与此相适配,安装在托板11115上的两个升降轮此时便可沿斜面111131板自右向左滚动,即由低向高地滚动,伴随着这一滚动,便可带动托板产生沿竖直方向的位移。这样一来,设置于托板11115上的硅棒便实现了沿Z轴的位置调整。同理,电缸11112的动力输出轴缩回,传动板11113向左移动,升降轮由高向低滚动,托板11115下降。如为了更好地引导传动板11113的运动,如可以在第一底板11111上设置有与传动板11113的运动轨迹相适配的滑轨。
如前所述,开方后的硅棒2的表面并不平整的表现之一是:硅棒的中间部分较之于两端部分凸起。为了能够将具有该属性的硅棒更平稳地放置于托板上,如托板的中部较之于两侧向远离硅棒的方向凹陷,即图中的向下凹陷。
示例性地,托板11115包括托板主体111151,托板主体的顶部沿其长度方向延伸的两个侧边分别设置有向上延伸的支撑板111152,支撑板111152的上表面为与硅棒2的下表面直接接触的基准面(如称作基准面a),如可以在支撑板的上侧边增加聚氨酯等材质的防滑层或者防滑结构,并在支撑板靠近中部的位置形成前述的凹陷,如具体的实现方式是:每个侧边设置有分开设置的两段支撑板111152,如支撑板可以借助于螺钉等紧固件固定至托板的顶部,两段支撑板之间形成凹陷。在本示例中,支撑板在对应于紧固件的安装部分具有避让硅棒的结构,如在支撑板上设置有多个安装位,螺钉设置于在对应于安装位的位置,并且在安装好的状态下,螺钉完全容纳于安装位并因此使得螺钉的顶部不与硅棒的底部接触。
可以理解的是,本领域技术人员可以根据实际需求对托板形成凹陷的方式进行灵活地调整,如可以将两段分置的支撑板一体设置然后将中部设置成凹陷、支撑板与托板主体一体设置等。
在一种可能的实施方式中,第一底板11111上设置有与托板11115配合的连接轴1117,第一底板和托板之间还设置有复位弹簧1118。通过连接轴1117的设置,限制了托板11115沿X轴和Y轴方向的运动,因此托板11115在连接轴的引导下只能沿Z轴方向运动。当电缸11112伸出、托板11115被抬升时,复位弹簧1118处于被压紧/拉伸(如本示例中为压紧)的状态。当电缸11112缩回时,托板11115在复位弹簧1118的弹力与托板11115的自身重力的共同使作用下降,实现托板11115的复位。如在本示例中,托板上开设有孔,连接轴自由容纳于孔中以便托板能够沿连接轴的轴向顺利地上升(抬升)/下降(回位)。连接轴的底端与第一底板固定连接或者一体成型,连接轴的顶端具有大于孔的径向尺寸,且连接轴的轴向尺寸能够保证硅棒所需的抬升量。
如在本示例中,托板的托板主体大致为底部开放的罩壳结构,前述的支撑板设置于罩壳结构的顶部,升降轮设置于罩壳结构的侧部。示例性地,两个升降轮安装至托板11115的方式为:第一升降轮111141和第二升降轮111142分别通过第一轮轴111191和第二轮轴111192安装至罩壳结构的侧部。在电缸11112伸出/缩回时,托板11115伴随着两个升降轮的自转及其在斜面111131上的滚动实现托板11115的抬升/复位。基于此,可以对抬升组件1111的功能进行改进,具体地,使抬升组件具有调节硅棒沿Z轴的位置调整的功能的同时还具有调节硅棒沿X轴的角度调整的功能。
在一种可能的实施方式中,可以将第一轮轴111191以及第二轮轴111192中的其中一个变更为偏心轴(轴的外圆与外圆的轴线平行而不重合),如在本示例中,是将对应于第一升降轮111141的第一轮轴111191变更为偏心轴,并为偏心轴为配置第一调整电机1111911,如第一调整电机通过减速器-联轴器与偏心轴相连。这样一来,当第一调整电机驱动对应于第一升降轮的偏心轴旋转一定的角度时,安装于偏心轴上的第一升降轮111141本身会抬升/下降一定的距离,此时,由于两个升降轮之间出现高度差,因此,托板11115便会绕X轴旋转一定的角度,从而实现了对硅棒沿X轴的角度调整。与之相适配,在连接轴1117上安装有关节轴承11171,这样一来,连接轴的设置只限制托板11115沿X轴、Y轴方向的移动,而不会限制托板11115绕X轴的转动。在实际产品中,如可以在对应于第一升降轮111141和第二升降轮111142的位置均配置有对应于第一调整电机的安装位,如本示例中,在对应于第二升降轮111142的位置配置有一个可移除的封板1111921。通过将封板移除,便可将第一调整电机更换至对应于第二升降轮111142的位置。
这样一来,通过电缸、传动板和(第一、第二)升降轮的配合,可以使托板上的硅棒沿竖直方向抬升一定的高度。通过第一调整电机、偏心轴和第一升降轮的配合,可以使托板上的硅棒的不同局部沿高度方向的位置有所区别。这样一来,便可通过抬升组件实现了对硅棒的沿Z轴的位置调整以及沿X轴的角度调整。
主要参照图7至图9,在一种可能的实施方式中,夹持组件1112主要包括夹持活动端组件11121和夹持固定端组件11122,通过夹持活动端组件11121相对夹持固定端组件11122,能够将处于托板11115的基准面a上的硅棒2沿X轴方向夹紧。需要说明的是,夹持活动端组件和夹持固定端组件只是构成夹持组件的一种具体的形式,如可以将夹持活动端组件和夹持固定端组件均设置为可活动的形式。
在一种可能的实施方式中,夹持固定端组件11122主要包括固定夹持板111221和调整组件。固定夹持板具有基准面(如称作基准面b),通过第一气缸111211带动活动端夹持板向靠近固定端夹持板的方向移动,可以将硅棒沿X方向夹紧。与夹持活动端组件11121的结构和功能类似,夹持固定端组件11122也设置能够使活动端夹持板复位的Y轴导轨滑块和固定端复位弹簧。调整组件主要用于实现硅棒沿Z轴的角度调整。
在一种可能的实施方式中,调整组件主要包括第二底板1112221、调整板1112222和定位块1112223,其中,定位块1112223可以通过如螺钉11122231等紧固件固定在第二底板1112221上,调整板1112222一方面固定在位于其一侧的固定夹持板上,调整板1112222另一方面通过定位块1112223安装在位于其另一侧的第二底板1112221上(靠近左侧的位置)。其中,定位块1112223与调整板1112222之间存在间隙,因此允许调整板1112222绕Z轴发生小角度的转动。这样一来,通过改变调整板1112222与第二底板1112221之间的夹角,便可使夹置于固定端夹持板与活动端夹持板之间的硅棒2绕Z轴旋转,从而实现对硅棒2沿Z轴的角度调整。
在一种可能的实施方式中,调整组件还包括第二调整电机1112224、调整顶块1112225和调整楔块1112226,本实用新型主要是基于第二底板1112221、调整板1112222和定位块1112223,通过调整顶块和调整楔块的配合来对硅棒2沿Z轴的角度进行调整的。如在本示例中,第二调整电机1112224为步进电机。其中,第二底板1112221在对应于调整顶块的位置(靠近右侧的位置)预留有安装空间,调整顶块1112225可自由容纳于该安装空间并借助于螺钉等紧固件固定在调整板上。并且,在组装好的状态下,调整顶块1112225靠近第二底板的侧(上侧)具有伸出底板的部分(调整顶块中的顶)。
如在本示例中,调整顶块的上侧大致为弧面结构,弧面结构靠近中部的位置伸出第二底板1112221。其中,步进电机与调整楔块1112226相连从而推动调整楔块向靠近/远离调整顶块1112225的方向运动。如沿步进电机的前进方向观察,调整楔块靠近第二底板的侧的下游位置与底板之间的距离小于调整楔块靠近第二底板的侧的上游位置与底板之间的距离(调整楔块中的楔)。如调整楔块1112226靠近第二底板的侧可以为斜面、曲面或者二者的组合。按照图中所示的方位,如在本实施例中,调整楔块的下侧为自右向左地向下倾斜的斜面。
在一种可能的实施方式中,如步进电机可通过T型丝杠带动调整楔块1112226向左运行。优选地,可以在第二底板1112221上设置与调整楔块的运动轨迹相适配的导轨,这样一来,步进电机通过T型丝杠带动调整楔块沿导轨向左运动。按照图示中的方位,调整楔块向左运动的过程会推动调整顶块向下运动,由于调整顶块固定在调整板1112222上,调整板便会绕定位块1112223顺时针旋转。同理,步进电机反方向旋转,则调整楔块1112226向右运动、调整顶块1112225向上运动、调整板1112222绕定位块1112223逆时针旋转。
可以理解的是,在精度满足的前提下,也可以将调整楔块的底面变更为平面,而将步进电机的前进方向设定为与第二底板之间具有一定的夹角。
主要参照图3和图10,在一种可能的实施方式中,上料台组件113主要包括上料平台1131、下料平台1132以及设置于二者之间的两套驱动传动机构。如在本示例中,驱动传动机构主要包括上下料电机11331、第一滚珠丝杠11332和第一导轨滑块11333,上下料电机驱动第一滚珠丝杠在第一导轨滑块的引导下移动并产生沿X轴方向的位移。两套驱动传动机构分别用于驱动上料平台1131和下料平台1132沿X轴方向运动,从而实现硅棒沿X轴方向上的位置调整,完成上料过程和下料过程。如在本示例中,上料台和下料台之间设置有风琴护罩11334,以在保证上下料可实现的前提下起到一定的防水防尘作用。
主要参照图11和图12,在一种可能的实施方式中,对中组件112主要包括第三底板1121(底板)、设置于第三底板1121上的对中电机(第二驱动部件,未示出)、齿轮齿条机构、夹板组以及第一探针组(探针组),如本示例中,对中电机为伺服电机,齿轮齿条机构包括与伺服电机的动力输出轴相连的齿轮11240以及与齿轮11240啮合的上下两个齿条(分别记作第一齿条11241和第二齿条11242),夹板组包括相向设置的、分别与第一齿条11241和第二齿条11242相连的第一夹板11251和第二夹板11252,第一夹板11251和第二夹板11252分别配置有一个第一探针组,其中的第一探针组包括两个探针(分别记作第一探针11261和第二探针11262),主要用于检测需要对硅棒的位姿进行的调整量。
在本示例中,伺服电机设置于第三底板的背侧(图中的后侧)并位于大致中部的位置,伺服电机的动力输出轴伸出第三底板的前侧并连接有第一齿轮11240,位于上方的第一齿条11241靠近左侧的位置以及位于下方的第二齿条11242靠近右侧的位置分别与齿轮11240啮合,第一齿条11241的右端和第二齿条11242的左端分别连接至左侧的第一夹板11251和右侧的第二夹板11252。在工作时,上料组件111将硅棒搬运到对中组件112的下方后停止运动,(第一、第二)夹板分别从外侧向内侧运动,夹紧硅棒后停止运动。为了保证运动的稳定性,底板上设置有导轨,(第一、第二)夹板设置有与导轨匹配的导槽,这样一来,伺服电机转动带动齿轮转动,(第一、第二)齿条借助于与齿轮的啮合带动(第一、第二)夹板在导轨上移动的方式向内运动。
对中组件112的(第一、第二)夹板通过调整硅棒在Y轴方向上的位置,使进给滑台装置12的(动、定)夹头在夹紧硅棒前预先到达合适的位置,同时可测量出硅棒的长度。两个第一探针组中的第一探针11261和第二探针11262分别通过检测硅棒的后侧表面和上侧表面来确定出硅棒的位置和角度的调整量。
下面以对应于右侧的第二夹板11252为例来说明第一/第二夹板的结构形式以及第一探针组在相应的夹板上的设置方式。在一种可能的实施方式中,第二夹板11252主要包括夹板部分112521、第一安装板112522以及第二安装板112523,其中,夹板部分用于夹持硅棒2,第一安装板上设置有与前述的第三底板上的导轨配合的槽1125221,且第一探针11261设置于第一安装板上,第二安装板112523与第一安装板大致平行并设置于第一安装板的下侧靠后的位置,第二探针11262设置于第二安装板上。第二安装板通过横向的连接板112524设置于第一连接板上。如在本示例中,第二安装板的底部设置有连接槽1125222,连接板的至少一部分容纳于连接槽内。为了保证第二夹板的可靠性,在安装板112523和连接板112524之间的交接处设置有支撑结构112525。
在本示例中,其中的第一探针11261则需要通过使其头部伸出碰到硅棒2的上侧表面后,根据第一探针11261的头部的压缩量的大小计算出硅棒2的外形尺寸。在检测完毕之后,需要将使其头部远离硅棒2的上侧表面。为了实现第一探针11261的头部的伸缩,如可以为第一探针11261配置一个第二气缸112611(第一驱动部件),如第二气缸112611安装至第一安装板可以推动第一探针的头部伸出,碰到硅棒2表面后可得到第一探针的头部的压缩量。而第二探针11262则不需要配置气缸,只需将其固定在第二安装板112523上即可。具体而言,只需通过上料装置11使硅棒2向靠近第二探针11262的方向移动便可压缩第二探针11262,从而得到压缩量的大小。即:伴随着硅棒沿X轴方向的移动即可实现第二探头11262对硅棒的后侧表面的检测。
基于此,对中组件112的工作原理为:对中组件112的一对夹板夹紧硅棒2后松开,上料平台1131上继续沿X轴方向前进一段距离,压缩两个第二探针11262,从而得到硅棒2沿X轴方向的外形尺寸(宽度),并通过一对第二探针11262得到硅棒2两头的宽度差。然后对应于两个第一探头的第二气缸112611伸出带动两个第一探针11261的头部与硅棒的上表面接触且压缩一段距离,从而得到硅棒沿Z轴方向的外形尺寸(高度),并通过一对第一探针11261得到硅棒两头的高度差。通过检测的宽度差和高度差,计算出所需的硅棒的调整量并通过上料装置11进行调整,调整完成后,使(定、动)夹头夹紧硅棒2,完成上料。
主要参照图13,在一种可能的实施方式中,进给滑台装置12主要包括滑台组件、定夹头121和动夹头122,其中,滑台组件主要包括滑台壳体1201和滑台驱动系统。滑台驱动系统主要包括滑台驱动电机1202、第二滚珠丝杠1203、丝杠座1204和第二导轨滑块1205。丝杠座1204和第二导轨滑块1205均安装在磨床1的立式框架102之上,滑台驱动电机1202驱动滚珠丝杠在第二导轨滑块1205的引导下移动并产生沿X轴方向的位移,实现滑台组件沿Y轴运动。滑台壳体1201安装于第二导轨滑块1205上,定夹头121固定于滑台壳体1201之上,与滑台组件同步沿Y轴运动。动夹头122通过动夹头驱动系统安装于滑台壳体1201之上,如与滑台驱动系统类似,动夹头驱动系统包括动夹头驱动电机1222、第三滚珠丝杠(未示出)和第三导轨滑块(未示出)。这样一来,动夹头122即可以通过滑台驱动电机1202和滑台组件同步沿Y轴运动,也可以在动夹头驱动系统的作用下相对于滑台组件沿Y轴运动。此外,定夹头121和动夹头122分别配置有定夹头旋转电机1211和动夹头旋转电机1221,以便在(定、动)夹头夹紧硅棒后使硅棒旋转,如可以从一组待磨削面旋转至另一组待磨削面。
主要参照图1、图14至图16,在一种可能的实施方式中,磨削装置13主要包括一对相向设置的、用于对硅棒2进行粗磨的粗磨砂轮131、一对相向设置的对硅棒2进行精磨的精磨砂轮132以及检测组件133。其中,精磨砂轮132沿硅棒进给方向位于粗磨砂轮132的下游侧,以便在对某一磨削面粗磨之后进行精磨,检测组件133配置于粗磨砂轮131,主要用于在磨削作业开始前对硅棒2的位置进行检测。
在一种可能的实施方式中,粗磨电机1311驱动第四滚珠丝杠1312带动搭载有粗磨砂轮131的支架1314借助于第四导轨滑块1313的引导沿X轴方向移动。检测组件133安装在用于搭载粗磨砂轮131的支架1314上。如精磨砂轮132的运动方式可以与粗磨砂轮131类似,在此不再赘述。
在一种可能的实施方式中,检测组件133主要包括基座1331、基板1332、滑板1333、第二探针组、第三气缸1335和第五导轨滑块1336。其中,基板1332固定在基座1331上,滑板1333通过第五导轨滑块1336组设置于基板1332上,如第二探针组包括沿竖直方向排布的、安装在滑板1333上的三个第三探针1334。检测时,第三气缸1335伸出推动滑板1333沿X轴方向伸出,检测完毕后,第三气缸1335缩回拉动滑板1333缩回。
基于上述结构,本实用新型的磨床1的工作过程大致为:
上料装置11完成对硅棒2的位姿调整后,进给滑台装置12根据对中组件112测得的硅棒的长度到达预定的位置后,动夹头122相对于滑台组件沿Y轴运动,从而通过定夹头121和动夹头122之间的配合将硅棒夹紧。之后,进给滑台装置12沿Y轴运动,将硅棒2运送到磨削区域,进给滑台装置12使硅棒按照程序设定沿Y轴运动以及对硅棒进行旋转,并完成磨削。完成磨削后,进给滑台装置返回至上料装置11的下料区,此时(定、动)夹头松开硅棒,使硅棒落至与下料区对应的下料台,完成下料。
磨削前,检测组件133会对硅棒2进行检测。具体地,当硅棒2来到第一个检测位置后停止运动,检测组件133的第三气缸1335伸出,推动第三探针1334沿X轴方向运动,此时第三探针1334的位置会超前于砂轮。然后,粗磨砂轮131和检测组件133在粗磨电机1311的驱动下沿X轴方向继续运动,直到第三探针与硅棒接触并完成检测(打点未磨削)。伴随着硅棒沿Y轴方向的运动,第三探针如可以依次对硅棒的入刀口位置、沿棒长的中间位置以及硅棒的出刀口位置进行检测,然后夹头带动硅棒旋转90°,重复上述检测过程。
通过检测组件133的检测结果,确定出是否对硅棒2进行前述的磨削加工。具体而言,若硅棒的最大磨削尺寸小于磨削后的标准尺寸,则判定棒料尺寸不合格,无法磨削,如此时需要退棒,即将硅棒退回下料平台,之后进行不同程度的人工介入。在硅棒合格的前提下,则通过第二探针组对硅的三个位置的测量可以测得(定、动)夹头的轴线和硅棒的轴线之间的位置偏差和角度偏差,若涉及到前述的四个维度(即属于上料装置的调节能力之内)偏差大于规定值,则将硅棒重新放置于(返回至)上料装置的上料平台,在上料平台上对硅棒的位姿进行二次调整,调整完成后重新检测。如偏差为沿Y轴的位置的情形下,可通过对中组件调整。如偏差为沿Y轴的角度的情形下,可通过进给滑台装置的(定、动)夹头来实现。检测完毕后,可以开始磨削。检测过程中可以计算出粗磨砂轮131的磨削量,根据磨削量,粗磨砂轮向X轴前进一定距离,进行粗磨。粗磨结束后,检测组件重复之前的检测过程,计算出精磨砂轮132的磨削量,根据磨削量,精磨砂轮同样向X轴前进一定距离,进行精磨。在本实用新型中,上料组件与检测组件之间会有直接关联,因此在可选的情形下,也可将对应于对中组件的前述的第一探针组进行适当的减少或者省略。
可以看出,在本实用新型的磨床的上料装置中,通过抬升组件中的传动板、连接轴与升降轮的配合实现了对硅棒沿Z轴的位置调整。在此基础上,通过为其中一个升降轮配置偏心轴,通过抬升组件同时实现了对硅棒沿X轴的角度调整。以及,通过为夹持组件的夹持固定端组件增加调整组件,基于调整楔块与调整顶块的配合实现了固定至固定端夹持板上的调整板绕定位块的旋转,从而实现了对硅棒沿Z轴的角度调整。加之上料台组件使夹持有硅棒的上料组件移动的过程中可以对硅棒进行沿X轴的位置调整。基于本实用新型的方案,可以通过上料装置对硅棒实现四个维度的调整,从而保证了磨床的上料精度。
至此,已经结合附图所示的优选实施方式描述了本实用新型的技术方案,但是,本领域技术人员容易理解的是,本实用新型的保护范围显然不局限于这些具体实施方式。在不偏离本实用新型的原理的前提下,本领域技术人员可以对相关技术特征作出等同的更改或替换,这些更改或替换之后的技术方案都将落入本实用新型的保护范围之内。
Claims (13)
1.一种对中组件,其特征在于,所述对中组件包括:
夹板组,其包括对置的第一夹板和第二夹板,所述第一夹板和所述第二夹板分别配置有能够检测待加工件的位姿的探针组;以及
齿轮齿条机构,其包括齿轮以及分别与所述齿轮啮合的第一齿条和第二齿条;
其中,所述第一夹板和所述第二夹板均包括夹板主体以及与所述夹板主体固定连接或者一体成型的安装部,所述探针组设置于所述安装部,所述第一齿条和所述第二齿条分别与所述第一夹板和所述第二夹板的夹板主体固定连接,从而:
通过所述齿轮与所述第一齿条和所述第二齿条的啮合带动所述第一夹板和所述第二夹板的夹板主体向靠近彼此的方向活动进而将待加工件夹持,
通过使所述探针组和/或待加工件活动的方式,使得所述探针组能够检测待加工件的位姿。
2.根据权利要求1所述的对中组件,其特征在于,所述探针组包括:
第一探针,通过使待加工件以活动的方式靠近所述第一探针使得所述第一探针能够检测到待加工件的位姿;以及
第二探针,所述第二探针以可活动的方式设置于所述对中组件并使得所述第二探针能够检测到待加工件的位姿。
3.根据权利要求2所述的对中组件,其特征在于,所述对中组件包括第一驱动部件,所述第一驱动部件与所述第一探针驱动连接并因此带动所述第一探针沿竖直方向靠近/远离待加工件。
4.根据权利要求3所述的对中组件,其特征在于,所述第一驱动部件为动力缸或者电机。
5.根据权利要求4所述的对中组件,其特征在于,所述安装部包括固定设置或者一体成型的第一安装部分和第二安装部分,
其中,所述第一探针和所述第一驱动部件设置于所述第一安装部分;
其中,所述第二探针沿待加工件的移动方向固定设置于所述第二安装部分。
6.根据权利要求5所述的对中组件,其特征在于,所述对中组件包括底板,所述底板上设置有导轨或者导槽,
所述夹板组能够沿所述导轨或者所述导槽滑动。
7.根据权利要求6所述的对中组件,其特征在于,所述第一安装部分与所述导轨或者所述导槽滑动配合。
8.根据权利要求5所述的对中组件,其特征在于,所述安装部分还包括连接部分,所述连接部分设置于所述第二安装部分和所述第一安装部分之间并与所述第一安装部分和/或所述第二安装部分固定连接或者一体成型。
9.根据权利要求6所述的对中组件,其特征在于,所述齿轮设置于所述底板靠近中部的位置,
所述对中组件包括第二驱动部件,所述第二驱动部件设置于底板并与所述齿轮驱动连接。
10.一种磨床,其特征在于,所述磨床包括权利要求1至9中任一项所述的对中组件。
11.根据权利要求10所述的磨床,其特征在于,所述磨床包括上料装置,所述上料装置包括所述对中组件。
12.根据权利要求11所述的磨床,其特征在于,所述上料装置包括上料平台,所述对中组件设置于所述上料平台。
13.根据权利要求10所述的磨床,其特征在于,所述磨床为加工硅棒的磨床。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202222112932.8U CN218639221U (zh) | 2022-08-11 | 2022-08-11 | 对中组件以及包括该对中组件的磨床 |
PCT/CN2023/112346 WO2024032734A1 (zh) | 2022-08-11 | 2023-08-10 | 上料装置以及包括该上料装置的磨床 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202222112932.8U CN218639221U (zh) | 2022-08-11 | 2022-08-11 | 对中组件以及包括该对中组件的磨床 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN218639221U true CN218639221U (zh) | 2023-03-17 |
Family
ID=85490371
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202222112932.8U Active CN218639221U (zh) | 2022-08-11 | 2022-08-11 | 对中组件以及包括该对中组件的磨床 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN218639221U (zh) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN117140275A (zh) * | 2023-11-01 | 2023-12-01 | 山西东玉玻璃股份有限公司 | 一种玻璃器皿冷加工自动定位装置 |
WO2024032734A1 (zh) * | 2022-08-11 | 2024-02-15 | 青岛高测科技股份有限公司 | 上料装置以及包括该上料装置的磨床 |
-
2022
- 2022-08-11 CN CN202222112932.8U patent/CN218639221U/zh active Active
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