CN219998193U - 一种碳化硅悬臂浆板 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种碳化硅悬臂浆板，包括悬臂浆板本体，所述悬臂浆板本体包括浆板下框和浆板上框，所述浆板下框内侧壁固定连接有两个第一固定块，两个所述第一固定块表面一侧均固定连接有第一转动杆，所述第一转动杆外部套设转动连接有第一斜杆，本实用新型通过阻尼、第一弹簧、套杆、第二弹簧和弹簧杆等结构，利用阻尼配合第一弹簧，使得第一弹簧具备缓慢回弹，能够实现减少压力的作用，从而达到增强悬臂浆板承受力的效果，同时利用套杆在弹簧杆上滑动，挤压第二弹簧，由于第二弹簧本身具备弹力的作用，使得再次减少压力的作用，进一步增强悬臂浆板承受力的效果，实用性更强。
Description
技术领域
本实用新型涉及碳化硅悬臂浆板领域，特别是涉及一种碳化硅悬臂浆板。
背景技术
碳化硅悬臂浆，也称为碳化硅棒反应烧结碳化硅悬臂浆料，是半导体晶片装载系统的关键部件，悬臂浆料性能稳定，在高温环境下不变形，晶圆加载力大，适用于机器人自动加载和搬运系统。
在现有的碳化硅悬臂浆板大多数是一体式，碳化硅悬臂浆板韧性较差，不能达到缓冲的效果，受到过大压力时，容易发生断裂，为了解决这一问题，因此提出一种碳化硅悬臂浆板。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是碳化硅悬臂浆板断裂的问题。
为解决上述技术问题，本实用新型采用的一个技术方案是：提供一种碳化硅悬臂浆板，包括悬臂浆板本体，所述悬臂浆板本体包括浆板下框和浆板上框，所述浆板下框内侧壁固定连接有两个第一固定块，两个所述第一固定块表面一侧均固定连接有第一转动杆，所述第一转动杆外部套设转动连接有第一斜杆，所述浆板上框内底部固定连接有两个第三固定块，两个所述第三固定块表面一侧均固定连接有第三转动杆，所述第三转动杆外部套设转动连接有第二斜杆；
所述浆板下框表面上固定连接有弹簧框，所述弹簧框内底部固定连接有阻尼，所述阻尼的输出端固定连接有滑动板，所述阻尼的外部套设有第一弹簧，所述第一弹簧的两端与弹簧框的内底部和滑动板的底部为固定连接，所述滑动板的顶部固定连接有顶块，所述顶块顶部与浆板上框内底部的表面一侧固定连接。
优选的，所述浆板下框两端均开设有凹槽，所述浆板下框的内侧壁固定连接有两个凸型块，两个所述凸型块的表面一侧固定连接有弹簧杆，所述弹簧杆的一端套设滑动连接有套杆，所述弹簧杆外部套设有第二弹簧，所述第二弹簧的一端与凸型块的表面一侧为固定连接，所述第二弹簧与套杆的表面一侧为固定连接，使得浆板上框能够向下滑动减轻一定的压力。
优选的，两个所述凸型块的一侧均开设有活动槽，所述活动槽内部设置有第二固定块，所述第二固定块的一端安装至活动槽内部滑动连接，所述第二固定块表面一侧固定连接有第二转动杆，所述第一斜杆和第二斜杆均套设转动连接在第二转动杆的外部，使得活动块在活动槽里运动，进而减少压力。
优选的，所述顶块的一端贯穿滑动连接在弹簧框的内部，使得顶块运动得更加丝滑。
优选的，所述套杆的一端设置有第一斜面，所述浆板上框的内侧壁两端设置有第二斜面，且第一斜面和第二斜面为滑动连接，使得浆板上框滑动时不会卡住。
优选的，所述浆板上框的外表面两侧滑动连接在浆板下框内部，使得浆板上框和浆板下框之间滑动更加丝滑。
本实用新型的有益效果如下：
本实用新型通过阻尼、第一弹簧、套杆、第二弹簧和弹簧杆等结构，利用阻尼配合第一弹簧，使得第一弹簧具备缓慢回弹，能够实现减少压力的作用，从而达到增强悬臂浆板承受力的效果，同时利用套杆在弹簧杆上滑动，挤压第二弹簧，由于第二弹簧本身具备弹力的作用，使得再次减少压力的作用，进一步增强悬臂浆板承受力的效果，实用性更强。
附图说明
图1为本实用新型一种碳化硅悬臂浆板的立体图；
图2为本实用新型一种碳化硅悬臂浆板的侧面剖视图；
图3为本实用新型一种碳化硅悬臂浆板的左视图。
图中：1、第二斜杆；2、第二固定块；3、第二转动杆；4、第一斜杆；5、第一固定块；6、第一转动杆；7、阻尼；8、弹簧框；9、第一弹簧；10、浆板下框；11、浆板上框；12、活动槽；13、凹槽；14、悬臂浆板本体；15、顶块；16、滑动板；17、第三固定块；18、第三转动杆；19、第二弹簧；20、套杆；21、凸型块；22、弹簧杆。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。
请参阅图1和图2，一种碳化硅悬臂浆板，包括悬臂浆板本体14，悬臂浆板本体14包括浆板下框10和浆板上框11，浆板下框10内侧壁固定连接有两个第一固定块5，两个第一固定块5表面一侧均固定连接有第一转动杆6，第一转动杆6外部套设转动连接有第一斜杆4，浆板上框11内底部固定连接有两个第三固定块17，两个第三固定块17表面一侧均固定连接有第三转动杆18，第三转动杆18外部套设转动连接有第二斜杆1，通过浆板上框11，使得承受压力的面增大；
浆板下框10表面上固定连接有弹簧框8，弹簧框8内底部固定连接有阻尼7，阻尼7的输出端固定连接有滑动板16，阻尼7的外部套设有第一弹簧9，第一弹簧9的两端与弹簧框8的内底部和滑动板16的底部为固定连接，滑动板16的顶部固定连接有顶块15，顶块15顶部与浆板上框11内底部的表面一侧固定连接，通过第一弹簧9和阻尼7的压缩，使得悬臂浆板本体14承受力增强。
如图2和图3所示，两个凸型块21的一侧均开设有活动槽12，活动槽12内部设置有第二固定块2，第二固定块2的一端安装至活动槽12内部滑动连接，第二固定块2表面一侧固定连接有第二转动杆3，第一斜杆4和第二斜杆1均套设转动连接在第二转动杆3的外部，套杆20的一端设置有第一斜面，浆板上框11的内侧壁两端设置有第二斜面，且第一斜面和第二斜面为滑动连接，浆板上框11的外表面两侧滑动连接在浆板下框10内部，浆板下框10两端均开设有凹槽13，浆板下框10的内侧壁固定连接有两个凸型块21，两个凸型块21的表面一侧固定连接有弹簧杆22，弹簧杆22的一端套设滑动连接有套杆20，弹簧杆22外部套设有第二弹簧19，第二弹簧19的一端与凸型块21的表面一侧为固定连接，第二弹簧19与套杆20的表面一侧为固定连接，顶块15的一端贯穿滑动连接在弹簧框8的内部，通过套杆20的斜面和浆板下框10两侧内的斜边，使得浆板上框11向下滑动时更加畅通。
本实用新型在使用时，当浆板上框11承受较大压力时，浆板上框11向下移动并挤压套杆20，套杆20在弹簧杆22上运动，挤压第二弹簧19，第二弹簧19压缩产生了弹性势能，减少浆板上框11受到的压力，同时浆板上框11向下移动时带动第三固定块17向下移动，第二斜杆1随着第三转动杆18运动，第二斜杆1推动第二固定块2在活动槽12内滑动，第二固定块2带动第一斜杆4运动，第一斜杆4将压力作用到浆板下框10，使得悬臂浆板受到的压力减少，同时浆板下框10挤压顶块15，顶块15挤压滑动板16，滑动板16沿着弹簧框8内侧壁滑动，然后滑动板16挤压第一弹簧9和阻尼7，第一弹簧9压缩产生了弹性势能，减少浆板上框11受到的压力，与此同时阻尼7也在缓慢收缩，减少浆板上框11受到的压力，最后使得碳化硅悬臂浆板受到的压力减少，通过第一弹簧9和阻尼7的配合，同时通过套杆20和第二弹簧19的配合，使得碳化硅悬臂浆板承受力增强，不易发生断裂。
以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所做的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
Claims (6)
1.一种碳化硅悬臂浆板，包括悬臂浆板本体(14)，其特征在于：所述悬臂浆板本体(14)包括浆板下框(10)和浆板上框(11)，所述浆板下框(10)内侧壁固定连接有两个第一固定块(5)，两个所述第一固定块(5)表面一侧均固定连接有第一转动杆(6)，所述第一转动杆(6)外部套设转动连接有第一斜杆(4)，所述浆板上框(11)内底部固定连接有两个第三固定块(17)，两个所述第三固定块(17)表面一侧均固定连接有第三转动杆(18)，所述第三转动杆(18)外部套设转动连接有第二斜杆(1)；
所述浆板下框(10)表面上固定连接有弹簧框(8)，所述弹簧框(8)内底部固定连接有阻尼(7)，所述阻尼(7)的输出端固定连接有滑动板(16)，所述阻尼(7)的外部套设有第一弹簧(9)，所述第一弹簧(9)的两端与弹簧框(8)的内底部和滑动板(16)的底部为固定连接，所述滑动板(16)的顶部固定连接有顶块(15)，所述顶块(15)顶部与浆板上框(11)内底部的表面一侧固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅悬臂浆板，其特征在于：所述浆板下框(10)两端均开设有凹槽(13)，所述浆板下框(10)的内侧壁固定连接有两个凸型块(21)，两个所述凸型块(21)的表面一侧固定连接有弹簧杆(22)，所述弹簧杆(22)的一端套设滑动连接有套杆(20)，所述弹簧杆(22)外部套设有第二弹簧(19)，所述第二弹簧(19)的一端与凸型块(21)的表面一侧为固定连接，所述第二弹簧(19)与套杆(20)的表面一侧为固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种碳化硅悬臂浆板，其特征在于：两个所述凸型块(21)的一侧均开设有活动槽(12)，所述活动槽(12)内部设置有第二固定块(2)，所述第二固定块(2)的一端安装至活动槽(12)内部滑动连接，所述第二固定块(2)表面一侧固定连接有第二转动杆(3)，所述第一斜杆(4)和第二斜杆(1)均套设转动连接在第二转动杆(3)的外部。
4.根据权利要求1所述的一种碳化硅悬臂浆板，其特征在于：所述顶块(15)的一端贯穿滑动连接在弹簧框(8)的内部。
5.根据权利要求2所述的一种碳化硅悬臂浆板，其特征在于：所述套杆(20)的一端设置有第一斜面，所述浆板上框(11)的内侧壁两端设置有第二斜面，且第一斜面和第二斜面为滑动连接。
6.根据权利要求1所述的一种碳化硅悬臂浆板，其特征在于：所述浆板上框(11)的外表面两侧滑动连接在浆板下框(10)内部。
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